WO2012141459A2 - 기판 지지용 지지유닛 - Google Patents

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WO2012141459A2
WO2012141459A2 PCT/KR2012/002668 KR2012002668W WO2012141459A2 WO 2012141459 A2 WO2012141459 A2 WO 2012141459A2 KR 2012002668 W KR2012002668 W KR 2012002668W WO 2012141459 A2 WO2012141459 A2 WO 2012141459A2
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강호영
조병호
박주영
김철호
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Tera Semicon Corp
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Tera Semicon Corp
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
    • H10P72/17—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] specially adapted for supporting large square shaped substrates

Definitions

  • the present invention relates to a support unit for supporting a substrate, which prevents the substrate from being deformed by sag during processing of the substrate.
  • Substrate processing apparatuses are used in the manufacture of flat panel displays, and are roughly classified into vapor deposition apparatuses and annealing apparatuses.
  • the deposition apparatus is a device for forming a transparent conductive layer, an insulating layer, a metal layer, or a silicon layer, which constitute the core of a flat panel display, and is a chemical vapor deposition such as low pressure chemical vapor deposition (LPCVD) or plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD). Devices and physical vapor deposition devices such as sputtering.
  • LPCVD low pressure chemical vapor deposition
  • PECVD plasma-enhanced chemical vapor deposition
  • the annealing device is a device for improving the properties of the deposited film after depositing a film on the substrate, and is an apparatus for heat treatment to crystallize or phase change the deposited film.
  • a substrate processing apparatus includes a single substrate type for processing one substrate and a batch type for processing a plurality of substrates.
  • Single sheet substrate processing apparatus has a simple configuration, but has a disadvantage of low productivity, a batch substrate processing apparatus is frequently used for mass production.
  • the batch substrate processing apparatus is provided with a chamber that provides a space in which the substrate is processed, and a support unit for supporting the substrate loaded into the chamber is installed in the chamber.
  • the conventional support unit does not support the entire surface of the substrate, when the substrate is loaded and processed in the chamber, the substrate may be bent and deformed by its own weight. For this reason, the display characteristics of a flat panel display deteriorate, and there existed a problem that reliability fell.
  • the object of the present invention is to support the entire surface of the substrate during processing of the substrate support for supporting the substrate can improve the reliability of the flat panel display In providing the unit.
  • Supporting substrate support unit for achieving the above object, a pair of cross support bars arranged in parallel to each other; One end side and the other end side of the cross support bar are respectively supported and coupled to a counterpart to position the cross support bar on the counterpart; And a pair of outer main bars which are arranged at intervals with each other and whose one end side is supported by one of the cross support bars, and the other end side is supported by the other one of the cross support bars, which is smaller than the diameter of the outer main bar.
  • a pair of outer support bars formed with a diameter and coupled to each other in a form of being laminated to the outer main bar, a pair of outer supporting bars supporting the edge portion of the substrate, a plurality of connecting bars interconnecting the pair of outer main bars, and formed on the connecting bar It includes a boat having a plurality of support pins for supporting the.
  • the support unit for supporting the substrate according to the present invention for achieving the above object, a plurality of support bars arranged in parallel with each other; One end side and the other end side of the support bar is respectively supported, coupled to the mating support bracket for positioning the support bar on the mating object; And a plurality of support pins formed on the support bar to support the substrate.
  • the substrate supporting support unit since the entire surface of the substrate is uniformly supported by the plurality of support pins during the processing of the substrate, there is no fear that the substrate is bent and deformed by its own weight. Therefore, the reliability of the flat panel display is improved.
  • FIG. 1 is a perspective view of a substrate processing apparatus using a support unit for supporting a substrate according to a first embodiment of the present invention.
  • Figure 2 is a perspective view of the support unit for supporting the substrate shown in FIG.
  • Figure 3 is a perspective view of any one of the substrate support unit shown in FIG.
  • FIG. 4 is a perspective view of the boat shown in FIG.
  • FIG. 5 is a perspective view of a support unit for supporting a substrate according to a second embodiment of the present invention.
  • Figure 6 is a perspective view of any one of the substrate support unit shown in FIG.
  • FIG. 7 is a perspective view of any one of the support bars shown in FIG.
  • the treatment of the substrate refers to a process of heating and cooling the substrate, all deposition processes for depositing a predetermined film on the substrate, and all annealing, crystallization, or phase change for a predetermined film deposited on the substrate. It should be understood as a concept including a heat treatment process and the like.
  • FIG. 1 is a perspective view of a substrate processing apparatus using a substrate support support unit according to a first embodiment of the present invention
  • Figure 2 is a perspective view of the substrate support support units shown in FIG.
  • the substrate processing apparatus includes a main body 10 formed in a substantially rectangular parallelepiped shape to form an appearance, and inside the main body 10, a chamber 11, which is an enclosed space in which the substrate 50 is processed, is formed. do.
  • the main body 10 may be formed in various shapes according to the shape of the substrate 50 as well as the rectangular parallelepiped shape.
  • the front surface of the main body 10 is opened so that the door 13 is installed, and the door 13 opens and closes the chamber 11. That is, in the state in which the door 11 is opened and the chamber 11 is opened, the substrate 50 is supported by a robot (not shown) or the like to load the substrate 50 into the chamber 11. Then, the substrate 50 is processed while the door 13 is closed and the chamber 11 is closed.
  • the upper surface of the main body 10 may also be opened, and for this purpose, a cover 15 is installed, and the chamber 11 is also opened and closed by the cover 15.
  • the cover 15 opens the interior of the chamber 11 in the repair or replacement of components necessary for the processing of the substrate 50, installed in the chamber 11.
  • the components installed inside the chamber 11 cool the substrate support support unit 100 for mounting and supporting the substrate 50, the heater 17 for heating the substrate 50, and the substrate 50. Cooling pipes (not shown) may be included.
  • the left end side and the right end side of the heater 17 are supported by the left side wall and the right side wall of the main body 10, respectively.
  • a plurality of heaters 17 are installed while having a predetermined interval from the front side to the rear side of the main body 10, and a plurality of heaters are provided while having a predetermined interval from the upper side of the main body 10 to the lower side.
  • FIG. 2 A support unit for supporting a substrate 100 according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3.
  • 3 is a perspective view of any one of the substrate support units shown in FIG. 2.
  • the substrate support support unit 100 may be configured to include a cross support bar 110, a support bracket 120 and the boat 130.
  • a plurality of substrate supporting apparatuses 100 according to the first embodiment of the present invention may be installed in a form of stacked up and down in the substrate processing apparatus.
  • the cross support bars 110 are provided in pairs and are positioned at the same height with respect to the bottom surface of the main body 10 and disposed in parallel with each other. At this time, one cross support bar 110 is supported on both side walls of the front side of the main body 10 adjacent to the door 13, the other cross support bar 110 is both side walls of the rear side of the main body 10 Is supported.
  • the main body 10 is a counterpart on which the cross support bar 110 is supported.
  • the left end side and the right end side of the cross support bar 110 penetrate the left and right walls of the main body 10 and are located outside the main body 10, and the cross support bars on the left and right walls of the main body 10.
  • the support bracket 120 for supporting the 110 is coupled.
  • the support groove 121 and the locking groove 123 are formed in the form orthogonal to each other.
  • the support groove 121 parallel to the cross support bar 110 is inserted and supported at the lower end of the cross support bar 110 exposed to the outside of the main body 10, and is a locking groove perpendicular to the cross support bar 110.
  • 123 is inserted and supported by the engaging ring 111 formed on the outer peripheral surface of the end side of the cross support bar (110).
  • the cross support bar 110 Since the end side of the cross support bar 110 is inserted and supported in the support groove 121, and the locking ring 111 is inserted and supported in the locking groove 123, the cross support bar 110 is supported by the support bracket 120. It is firmly supported.
  • FIG. 3 A boat according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 and 4. 4 is a perspective view of the boat shown in FIG.
  • the boat 130 is preferably made of quartz that can withstand high temperatures during processing of the substrate 50 and has almost no change in structure.
  • the boat 130 includes a pair of outer main bars 131 disposed to be spaced apart from each other.
  • Each of the front end side of the outer main bar 131 is supported by any one of the cross support bars 110 positioned on the front side of the main body 10 (see FIG. 1), and each of the rear end sides of the outer main bar 131 is the rear side of the main body 10. It is supported by the other cross support bar 110 located on the side.
  • the front end portion of the outer main bar 131 is inserted into and coupled to any one of the cross support bars 110.
  • the second end piece 131b supported by the other cross support bar 110 is formed at the rear end, respectively.
  • the second locking piece 131b is formed at the connection bar 135 to be described later, which is coupled to the left end side and the right end side of the pair of outer main bars 131 to interconnect the pair of outer main bars 131, respectively. It may be.
  • the first locking piece 131a is formed in a semicircular cross section and placed in the cross support bar 110, and the second locking piece 131b is formed in a bar shape and mounted on the cross support bar 110. Supported. Since the first locking piece 131a is inserted and coupled to the cross support bar 110, and the second locking piece 131b is mounted and supported on the cross support bar 110, the boat 130 is firmly supported by the cross support bar 110. Is supported). In addition, since the first locking piece 131a of the boat 130 is formed in a semi-circular shape and is settled in the cross support bar 110, the boat 130 is simply formed by lifting the boat 130 upward. 110). Thus, the boat 130 can be easily separated from the cross support bar 110.
  • the outer support bar 133 is coupled to the outer main bar 131, respectively. Since the outer support bar 133 is coupled to the outer main bar 131, respectively, the outer support bar 133 is also provided in pairs.
  • the outer support bar 133 is formed in a diameter smaller than the diameter of the outer main bar 131 is coupled to each other laminated on the outer main bar 131. The edge portion side of the substrate 50 is supported by the outer support bar 133.
  • the outer main bar 131 In order for the outer main bar 131 to have a predetermined rigidity, the outer main bar 131 should have a relatively large diameter. However, when the substrate 50 is brought into contact with and supported by the outer main bar 131, a portion of the substrate 50 in contact with the outer main bar 131 may not be uniformly processed. Therefore, the outer support bar 133 having a smaller diameter than the outer main bar 131 is coupled to the outer main bar 131, and the substrate 50 is brought into contact with the outer support bar 133 to be supported.
  • the outer main bar 131 is coupled to each other by a plurality of connection bars 135, and a plurality of support pins 136 supporting the substrate 50 are coupled to the connection bar 135. Since the entire portion of the substrate 50 is evenly supported by the support pins 136, the substrate 50 is prevented from sagging due to its own weight or the like.
  • connection bar 135 located at the rear end of the outer main bar 131.
  • the support pin 136 is preferably detachably coupled to the connecting bar 135. If the support pin 136 can be attached to or detached from the connecting bar 135, the support pin 136 may be concentrated at a portion where the substrate 50 sags due to the weight of the substrate 50, thereby providing the substrate 50. This deformation can be completely prevented.
  • the support pin 136 may be formed in various shapes, which will be described later.
  • the plurality of substrates 50 may be partitioned and supported by the outer support bar 133.
  • a plurality of stoppers 133a are formed in the outer support bar 133.
  • the stopper 133a is in contact with the side surface of the substrate 50 to prevent the substrate 50 from flowing in the longitudinal direction of the outer support bar 133, respectively.
  • the stopper 133a is also preferably detachably coupled to the outer support bar 133. Then, since the stopper 133a may be attached or detached according to the size of the substrate 50, the substrate 50 having various sizes may be supported by the outer support bar 133.
  • the first coupling groove 135a and the second coupling groove 133b to which the lower side of the support pin 136 and the stopper 133a are detachably coupled to the connection bar 135 and the outer support bar 133 are respectively. Is formed.
  • the support piece 133c may be formed at the front end side and the rear end side of the outer support bar 133 so as to be orthogonal to the outer support bar 133 to support the edge portion side of the substrate 50.
  • the substrate 50 is more firmly supported by the support piece 133c.
  • the support piece 133c may also be formed at the center side of the outer support bar 133 to correspond to the substrate 50.
  • the boat 130 is loaded by a jig (not shown) to load the boat 130 into the chamber 11 (see FIG. 1), and unloading from the chamber 11.
  • the hook hooks 131c are formed respectively.
  • the height of the hook hook 131c may be appropriately adjusted so that the jig does not interfere with the support pin 136 and the stopper 133a.
  • Reference numeral 20 in FIG. 1 is a support frame for supporting the main body 10.
  • the entire surface of the substrate 50 is supported by the plurality of support pins 136, so that the substrate 50 is bent and deformed by its own weight. There is no fear of becoming. Therefore, the reliability of the flat panel display is improved.
  • FIGS. 5 to 7 are perspective views of a substrate supporting support unit according to a second embodiment of the present invention
  • FIG. 6 is a perspective view of any one substrate supporting support unit shown in FIG. 5, and
  • the substrate support support unit 200 may include a plurality of support bars 210, support brackets 220 and a plurality of support pins 230. have.
  • a plurality of substrate supporting apparatuses 200 according to the second embodiment of the present invention may be provided in a form of stacked up and down in the substrate processing apparatus.
  • the plurality of support bars 210 are positioned at the same height with respect to the lower surface of the main body 10 (see FIG. 1) and disposed in parallel to each other. That is, the plurality of support bars 210 are positioned on the same horizontal plane and are disposed in parallel to each other.
  • the left end side and the right end side of the support bar 210 are coupled to and supported on the left side wall and the right side wall of the counterpart body 10, respectively.
  • the left end side and the right end side of the support bar 210 are located outside the main body 10 through the left and right walls of the main body 10, and the support bar 210 on the left and right walls of the main body 10.
  • Support bracket 220 is coupled to support.
  • the support groove 221 and the locking groove 223 are formed to be orthogonal to each other.
  • the support groove 221 parallel to the support bar 210 the outer surface of the lower end portion of the support bar 210 exposed to the outside of the main body 10 is inserted and supported.
  • the engaging groove 223 perpendicular to the support bar 210 is inserted and supported by the engaging ring 211 formed on the outer peripheral surface of the end side of the support bar 210.
  • the support bar 210 Since the end side of the support bar 210 is inserted and supported in the support groove 221 and the locking ring 211 is inserted and supported in the locking groove 223, the support bar 210 is firmly supported by the support bracket 220. Supported.
  • a plurality of support pins 230 are formed on each support bar 210 and support the substrate 50. That is, the lower side of the support pin 230 is coupled to the support bar 210, the substrate 50 is supported on the upper end of the support pin 230. Since the plurality of support pins 230 are respectively coupled to the plurality of support bars 210, the substrate 50 is uniformly supported by the support pins 230. Thus, the substrate 50 is prevented from sagging due to its own weight or the like and being deformed.
  • a coupling groove 213 is formed in the support bar 210, and the support pin 230 may be detachably inserted into the coupling groove 213. Since the support pin 230 is attached to or detached from the support bar 210, when the substrate 50 is processed, the support pin 230 may be concentrated on a portion where the substrate 50 sags due to the weight of the substrate 50. have. Therefore, the deformation of the substrate 50 can be completely prevented.
  • the lower side cross-sectional shape of the support pin 230 may be variously formed, such as circular, elliptical, or square. At this time, it is obvious that the shape of the coupling groove 213 into which the support pin 230 is inserted should correspond to the cross-sectional shape of the lower side of the support pin 230.
  • the support pin 231 When the cross-sectional shape of the support pin 231 and the shape of the coupling groove 213a are circular, the support pin 231 may be rotated based on the support bar 210. In addition, when the cross-sectional shape of the support pin 233 and the shape of the coupling groove 213b are oval or the cross-sectional shape of the support pin 235 and the shape of the coupling groove 213c are square, the support pins 233 and 235 are Rotation with respect to the support bar 210 is prevented.
  • the support pin 231 is bent (231a) the middle portion, the upper portion of the support pin 231, the substrate 50 is in contact support and the lower portion of the support pin 231 is inserted and coupled to the support bar 210 Virtual straight lines L1 and L2 passing through the longitudinal center may be formed in parallel to each other.
  • the support pin 231 is rotated without having to insert the support pin 231 into the coupling groove 213a. In this way, the portion where the substrate 50 sags can be easily supported.
  • the bending part 231a of the support pin 231 may be bent a plurality of times as necessary.
  • the entire surface of the substrate 50 is supported by the plurality of support pins 230 during the processing of the substrate 50. ) Is not deformed due to its own weight. Therefore, the reliability of the flat panel display is improved.
  • the support pin 136 (see FIG. 4) according to the first embodiment of the present invention may also be configured like the support pin 230 according to the second embodiment.
  • the support pin 136 according to the first embodiment of the present invention also has a circular, elliptical, or rectangular cross-sectional shape of the lower side like the support pins 231, 233, and 235 according to the second embodiment. And the like. At this time, it is obvious that the shape of the first coupling groove 135a formed in the connection bar 135 should correspond to the cross-sectional shape of the support pin 136.
  • the support pin 136 according to the first embodiment of the present invention is also bent the middle portion, such as the support pin 231 according to the second embodiment of the support pin 136 is inserted into the connection bar 135 Virtual straight lines passing through the longitudinal centers of the lower portion and the upper portion of the upper portion of the support pin 136 on which the substrate 50 is supported may be formed in parallel to each other.
  • the lower portion of the support pin 136 is rotatably inserted and coupled to the connecting bar 135, the middle portion may be bent a plurality of times.

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Abstract

기판의 처리시 기판이 처짐에 의하여 변형되는 것을 방지한 기판 지지용 지지유닛이 개시된다. 본 발명에 따른 기판 지지용 지지유닛은, 기판의 처리시, 기판의 전체면이 복수의 지지핀에 의하여 균일하게 지지되므로, 기판이 자중에 의하여 휘어서 변형될 우려가 없다. 따라서, 평판 디스플레이의 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.

Description

기판 지지용 지지유닛
본 발명은 기판의 처리시 기판이 처짐에 의하여 변형되는 것을 방지한 기판 지지용 지지유닛에 관한 것이다.
기판 처리 장치는, 평판 디스플레이의 제조시 사용되며, 증착(Vapor Deposition) 장치와 어닐링(Annealing) 장치로 대별된다.
증착 장치는 평판 디스플레이의 핵심 구성을 이루는 투명 전도층, 절연층, 금속층 또는 실리콘층을 형성하는 장치로써, LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 또는 PECVD(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) 등과 같은 화학 기상 증착 장치와 스퍼터링(Sputtering) 등과 같은 물리 기상 증착 장치가 있다.
그리고, 어닐링 장치는 기판에 막을 증착을 한 후, 증착된 막의 특성을 향상시키는 장치로써, 증착된 막을 결정화 또는 상 변화시키기 위하여 열처리하는 장치이다.
일반적으로, 기판 처리 장치는 하나의 기판을 처리하는 매엽식(Single Substrate Type)과 복수의 기판을 처리하는 배치식(Batch Type)이 있다. 매엽식 기판 처리 장치는 구성이 간단한 이점이 있으나 생산성이 떨어지는 단점이 있어, 대량 생산에는 배치식 기판 처리 장치가 많이 사용된다.
배치식 기판 처리 장치에는 기판이 처리되는 공간을 제공하는 챔버가 형성되고, 챔버에는 챔버로 로딩된 기판을 지지하는 지지유닛이 설치된다.
그런데, 종래의 지지유닛은 기판의 전체면을 지지하지 못하므로, 기판이 챔버에 로딩되어 처리될 때, 기판이 자중에 의하여 휘어서 변형될 우려가 있다. 이로 인해, 평판 디스플레이의 표시 특성이 열화되어 신뢰성이 저하되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판의 처리시 기판의 전체면을 지지할 수 있도록 하여 평판 디스플레이의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 기판 지지용 지지유닛을 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 지지용 지지유닛은, 상호 평행하게 배치되는 한쌍의 크로스지지바; 상기 크로스지지바의 일단부측 및 타단부측이 각각 지지되며, 상대물에 결합되어 상기 크로스지지바를 상기 상대물에 위치시키는 지지브라켓; 및 상호 간격을 가지면서 배치되며 일단부측 각각은 어느 하나의 상기 크로스지지바에 지지되고, 타단부측 각각은 다른 하나의 상기 크로스지지바에 지지된 한쌍의 외측메인바, 상기 외측메인바의 직경 보다 작은 직경으로 형성되어 상기 외측메인바에 각각 적층되는 형태로 결합되며, 기판의 테두리부측이 지지되는 한쌍의 외측지지바, 상기 한쌍의 외측메인바를 상호 연결하는 복수의 연결바, 상기 연결바에 형성되어 상기 기판을 지지하는 복수의 지지핀을 구비하는 보트를 포함한다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 지지용 지지유닛은, 상호 간격을 가지면서 평행하게 배치된 복수의 지지바; 상기 지지바의 일단부측 및 타단부측이 각각 지지되며, 상대물에 결합되어 상기 지지바를 상기 상대물에 위치시키는 지지브라켓; 및 상기 지지바에 형성되어 기판을 지지하는 복수의 지지핀을 포함한다.
본 발명에 따른 기판 지지용 지지유닛은, 기판의 처리시, 기판의 전체면이 복수의 지지핀에 의하여 균일하게 지지되므로, 기판이 자중에 의하여 휘어서 변형될 우려가 없다. 따라서, 평판 디스플레이의 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 지지용 지지유닛이 사용된 기판 처리 장치의 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 기판 지지용 지지유닛들의 사시도.
도 3은 도 2에 도시된 어느 하나의 기판 지지용 지지유닛의 사시도.
도 4는 도 3에 도시된 보트의 사시도.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 지지용 지지유닛들의 사시도.
도 6은 도 5에 도시된 어느 하나의 기판 지지용 지지유닛의 사시도.
도 7은 도 6에 도시된 어느 하나의 지지바의 사시도.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시하여 도시한 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있도록 충분히 상세하게 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 상호 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 특정 구조 및 특성은 일 실시예와 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미가 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에 도시된 실시예들의 길이, 면적, 두께 및 형태는, 편의상, 과장되어 표현될 수도 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 기판 지지용 지지유닛을 상세히 설명한다.
본 실시예들을 설명함에 있어서, 기판의 처리라 함은 기판을 가열 및 냉각하는 공정, 기판에 소정의 막을 증착하기 위한 모든 증착 공정, 기판에 증착된 소정의 막을 어닐링, 결정화 또는 상변화 하기 위한 모든 열처리 공정 등을 포함하는 개념으로 이해되어야 한다.
제 1 실시예
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 지지용 지지유닛이 사용된 기판 처리 장치의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 지지용 지지유닛들의 사시도이다.
도시된 바와 같이, 기판 처리 장치는 대략 직육면체 형상으로 형성되어 외관을 이루는 본체(10)를 포함하고, 본체(10)의 내부에는 기판(50)이 처리되는 밀폐된 공간인 챔버(11)가 형성된다. 본체(10)는 직육면체 형상뿐만 아니라 기판(50)의 형상에 따라 다양한 형상으로 형성될 수 있다.
본체(10)의 전면은 개방되어 도어(13)가 설치되는데, 도어(13)는 챔버(11)를 개폐한다. 즉, 도어(13)를 열어 챔버(11)를 개방한 상태에서, 로봇(미도시) 등으로 기판(50)을 지지하여 기판(50)을 챔버(11)에 로딩한다. 그리고, 도어(13)를 닫아 챔버(11)를 폐쇄한 상태에서, 기판(50)을 처리한다.
본체(10)의 상면도 개방될 수 있으며 이를 위하여 커버(15)가 설치되는데, 챔버(11)는 커버(15)에 의하여도 개폐된다. 커버(15)는 챔버(11)에 설치된, 기판(50)의 처리에 필요한 부품들의 수리 또는 교체시 챔버(11)의 내부를 개방한다.
챔버(11)의 내부에 설치되는 상기 부품들에는 기판(50)을 탑재시켜 지지하는 기판 지지용 지지유닛(100), 기판(50)을 가열하기 위한 히터(17), 기판(50)을 냉각시키기 위한 냉각관(미도시) 등이 포함될 수 있다.
히터(17)는 좌단부측 및 우단부측이 본체(10)의 좌측벽 및 우측벽에 각각 지지된다. 히터(17)는 본체(10)의 전면측에서 후면측으로 소정 간격을 가지면서 복수개 설치됨과 동시에, 본체(10)의 상측에서 하측으로 소정 간격을 가지면서 복수개 설치된다.
본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 지지용 지지유닛(100)에 대하여 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한다. 도 3은 도 2에 도시된 어느 하나의 기판 지지용 지지유닛의 사시도이다.
도시된 바와 같이, 기판 지지용 지지유닛(100)은 크로스지지바(110), 지지브라켓(120) 및 보트(130)를 포함하여 구성될 수 있다. 복수의 기판(50)을 한번에 처리 할 수 있도록, 기판 처리 장치에는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 지지용 지지유닛(100)이 상하로 적층된 형태로 복수개가 설치될 수 있다.
크로스지지바(110)는 한쌍으로 마련되며, 본체(10)의 하면을 기준으로 동일 높이에 위치되어 상호 평행하게 배치된다. 이때, 어느 하나의 크로스지지바(110)는 도어(13)와 인접한 본체(10)의 전면측 양측벽에 지지되고, 다른 하나의 크로스지지바(110)는 본체(10)의 후면측 양측벽에 지지된다.
기판 처리 장치에 있어서는, 본체(10)가 크로스지지바(110)가 지지되는 상대물이다.
크로스지지바(110)가 본체(10)에 지지되는 구조를 상세히 설명한다.
크로스지지바(110)의 좌단부측 및 우단부측은 본체(10)의 좌측벽 및 우측벽을 관통하여 본체(10)의 외측에 위치되고, 본체(10)의 좌측벽 및 우측벽에는 크로스지지바(110)를 지지하는 지지브라켓(120)이 결합된다.
지지브라켓(120)의 상면에는 상호 직교하는 형태로 지지홈(121) 및 걸림홈(123)이 각각 형성된다. 크로스지지바(110)와 평행하는 지지홈(121)에는 본체(10)의 외측으로 노출된 크로스지지바(110)의 단부 하부측이 삽입 지지되고, 크로스지지바(110)와 직교하는 걸림홈(123)에는 크로스지지바(110)의 단부측 외주면에 형성된 걸림링(111)이 삽입 지지된다.
지지홈(121)에 크로스지지바(110)의 단부측이 삽입 지지되고, 걸림홈(123)에 걸림링(111)이 삽입 지지되므로, 크로스지지바(110)가 지지브라켓(120)에 의하여 견고하게 지지되는 것이다.
본 발명의 제 1 실시예에 따른 보트를 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한다. 도 4는 도 3에 도시된 보트의 사시도이다.
보트(130)는 기판(50)의 처리시 고온에 견딜 수 있음과 동시에 구조의 변화가 거의 없는 석영으로 이루어지는 것이 바람직하다.
도시된 바와 같이, 보트(130)는 상호 간격을 가지면서 배치된 한쌍의 외측메인바(131)를 포함한다. 외측메인바(131)의 전단부측 각각은 본체(10)(도 1 참조)의 전면측에 위치된 어느 하나의 크로스지지바(110)에 지지되고, 후단부측 각각은 본체(10)의 후면측에 위치된 다른 하나의 크로스지지바(110)에 지지된다.
외측메인바(131)를 크로스지지바(110)에 견고하게 지지하기 위하여, 외측메인바(131)의 전단부에는 어느 하나의 크로스지지바(110)에 삽입 결합되는 제 1 걸림편(131a)이 각각 형성되고, 후단부에는 다른 하나의 크로스지지바(110)에 지지되는 제 2 걸림편(131b)이 각각 형성된다. 이때, 제 2 걸림편(131b)은 한쌍의 외측메인바(131)에 좌단부측 및 우단부측이 각각 결합되어 한쌍의 외측메인바(131)를 상호 연결하는 후술할 연결바(135)에 형성될 수도 있다.
제 1 걸림편(131a)은 단면(斷面) 형상이 반원형으로 형성되어 크로스지지바(110)에 안치되고, 제 2 걸림편(131b)은 바 형상으로 형성되어 크로스지지바(110)에 탑재 지지된다. 제 1 걸림편(131a)이 크로스지지바(110)에 삽입 결합되고, 제 2 걸림편(131b)이 크로스지지바(110)에 탑재 지지되므로, 보트(130)는 견고하게 크로스지지바(110)에 지지된다. 또한, 보트(130)의 제 1 걸림편(131a)이 반원형으로 형성되어 크로스지지바(110)에 안치되어 있으므로, 보트(130)를 상측으로 들기만 하면, 보트(130)가 크로스지지바(110)로부터 분리된다. 따라서, 보트(130)를 크로스지지바(110)로부터 용이하게 분리할 수 있다.
외측메인바(131)에는 외측지지바(133)가 각각 결합된다. 외측메인바(131)에 외측지지바(133)가 각각 결합되므로, 외측지지바(133)도 한쌍으로 마련된다. 외측지지바(133)는 외측메인바(131)의 직경 보다 작은 직경으로 형성되어 외측메인바(131)에 각각 적층되는 형태로 결합된다. 외측지지바(133)에 기판(50)의 테두리부측이 지지된다.
외측메인바(131)가 소정 이상의 강성(剛性)을 가지지 위해서는 외측메인바(131)의 직경이 상대적으로 커야 한다. 그런데, 기판(50)을 외측메인바(131)에 접촉시켜 지지하면, 외측메인바(131)와 접촉하는 기판(50)의 부위가 균일하게 처리되지 않을 우려가 있다. 이로 인해, 외측메인바(131) 보다 직경이 작은 외측지지바(133)를 외측메인바(131)에 결합하고, 외측지지바(133)에 기판(50)을 접촉시켜 지지하는 것이다.
외측메인바(131)는 복수의 연결바(135)에 의하여 상호 결합되고, 연결바(135)에는 기판(50)을 지지하는 복수의 지지핀(136)이 결합된다. 지지핀(136)에 의하여 기판(50)의 전체 부위가 골고루 지지되므로, 기판(50)이 자중 등에 의하여 처져서 변형되는 것이 방지된다.
복수의 연결바(135) 중, 외측메인바(131)의 후단부에 위치된 연결바(135)에 전술한 제 2 걸림편(131b)이 형성될 수 있다.
지지핀(136)은 연결바(135)에 착탈가능하게 결합되는 것이 바람직하다. 지지핀(136)을 연결바(135)에 착탈할 수 있으면, 기판(50)의 자중에 의하여 기판(50)이 처지는 부위에 지지핀(136)을 집중적으로 배치할 수 있으므로, 기판(50)이 변형되는 것을 완전하게 방지할 수 있다. 지지핀(136)은 다양한 형상으로 형성될 수 있는데, 이는 후술한다.
외측지지바(133)에는 복수의 기판(50)이 구획되어 지지될 수 있다. 이때, 구획되어 지지된 복수의 기판(50)이 외측지지바(133) 상에서 유동하는 것을 방지하기 위하여, 외측지지바(133)에는 복수의 스토퍼(133a)가 형성된다. 스토퍼(133a)는 기판(50)의 측면과 각각 접촉되어 기판(50)이 외측지지바(133)의 길이방향으로 각각 유동하는 것을 방지한다.
스토퍼(133a)도 외측지지바(133)에 착탈가능하게 결합되는 것이 바람직하다. 그러면, 기판(50)의 크기에 따라 스토퍼(133a)를 착탈할 수 있으므로, 다양한 크기의 기판(50)을 외측지지바(133)에 지지할 수 있다.
연결바(135) 및 외측지지바(133)에는 지지핀(136) 및 스토퍼(133a)의 하부측이 각각 삽탈 가능하게 결합되는 제 1 결합홈(135a) 및 제 2 결합홈(133b)이 각각 형성된다.
외측지지바(133)의 전단부측 및 후단부측에는 외측지지바(133)와 직교하는 형태로 형성되어 기판(50)의 테두리부측을 지지하는 지지편(133c)이 형성될 수도 있다. 지지편(133c)에 의하여 기판(50)이 더욱 견고하게 지지된다. 외측지지바(133)에 기판(50)이 구획되어 복수개 지지될 경우에는 지지편(133c)이 기판(50)과 대응되게 외측지지바(133)의 중앙부측에도 형성될 수 있다.
외측메인바(131)의 전단부측 및 후단부측에는 지그(미도시)로 보트(130)를 걸어서 보트(130)를 챔버(11)(도 1 참조)로 로딩시키고, 챔버(11)로부터 언로딩시키기 위한 걸림후크(131c)가 각각 형성된다. 상기 지그로 걸림후크(131c)를 걸 때, 상기 지그가 지지핀(136) 및 스토퍼(133a)의 간섭을 받지 않도록 걸림후크(131c)의 높이를 적절하게 조절하면 된다.
도 1의 미설명 부호 20은 본체(10)를 지지하는 지지프레임이다.
본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 지지용 지지유닛(100)은, 복수의 지지핀(136)에 의하여, 기판(50)의 전체면이 지지되므로, 기판(50)이 자중에 의하여 휘어서 변형될 우려가 없다. 따라서, 평판 디스플레이의 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.
제 2 실시예
본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 지지용 지지유닛을 도 5 내지 도 7을 참조하여 설명한다. 도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 지지용 지지유닛들의 사시도이고, 도 6은 도 5에 도시된 어느 하나의 기판 지지용 지지유닛의 사시도이며, 도 7은 도 6에 도시된 어느 하나의 지지바의 사시도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 지지용 지지유닛(200)은 복수의 지지바(210), 지지브라켓(220) 및 복수의 지지핀(230)을 포함하여 구성될 수 있다. 복수의 기판(50)을 한번에 처리할 수 있도록, 기판 처리 장치에는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 지지용 지지유닛(200)이 상하로 적층된 형태로 복수개가 설치될 수 있다.
복수의 지지바(210)는 본체(10)(도 1 참조)의 하면을 기준으로 동일 높이에 위치되어 상호 평행하게 배치된다. 즉, 복수의 지지바(210)는 가상의 동일 수평면상에 위치되어, 상호 평행하게 배치된다. 지지바(210)의 좌단부측 및 우단부측은 상대물인 본체(10)의 좌측벽 및 우측벽에 각각 결합 지지된다.
지지바(210)가 본체(10)에 결합 지지되는 구조를 상세히 설명한다.
지지바(210)의 좌단부측 및 우단부측은 본체(10)의 좌측벽 및 우측벽을 관통하여 본체(10)의 외측에 위치되고, 본체(10)의 좌측벽 및 우측벽에는 지지바(210)를 지지하는 지지브라켓(220)이 결합된다.
지지브라켓(220)의 상면에는 상호 직교하는 형태로 지지홈(221) 및 걸림홈(223)이 각각 형성된다. 지지바(210)와 평행하는 지지홈(221)에는 본체(10)의 외측으로 노출된 지지바(210)의 단부 하부측 외면이 삽입 지지된다. 그리고, 지지바(210)와 직교하는 걸림홈(223)에는 지지바(210)의 단부측 외주면에 형성된 걸림링(211)이 삽입 지지된다.
지지홈(221)에 지지바(210)의 단부측이 삽입 지지되고, 걸림홈(223)에 걸림링(211)이 삽입 지지되므로, 지지바(210)가 지지브라켓(220)에 의하여 견고하게 지지된다.
지지핀(230)은 각 지지바(210)에 복수개 형성되며, 기판(50)을 지지한다. 즉, 지지핀(230)의 하부측은 지지바(210)에 결합되고, 지지핀(230)의 상단부에 기판(50)이 지지된다. 복수의 지지바(210)에 복수의 지지핀(230)이 각각 결합되므로, 기판(50)은 지지핀(230)에 의하여 전체 부위가 골고루 지지된다. 따라서, 기판(50)이 자중 등에 의하여 처져서 변형되는 것이 방지된다.
지지바(210)에는 결합홈(213)이 형성되고, 지지핀(230)은 결합홈(213)에 착탈가능하게 삽입 결합될 수 있다. 지지핀(230)이 지지바(210)에 착탈되므로, 기판(50)의 처리시, 기판(50)의 자중에 의하여 기판(50)이 처지는 부위에 지지핀(230)을 집중적으로 배치할 수 있다. 따라서, 기판(50)이 변형되는 것을 완전하게 방지할 수 있다.
지지핀(230)의 하부측 단면(斷面) 형상은 원형, 타원형 또는 각형 등과 같이 다양하게 형성될 수 있다. 이때, 지지핀(230)이 삽탈되는 결합홈(213)의 형상은 지지핀(230)의 하부측 단면 형상과 대응되어야 함은 당연하다.
지지핀(231)의 단면 형상 및 결합홈(213a)의 형상이 원형이면, 지지핀(231)은 지지바(210)를 기준으로 회전될 수 있다. 그리고, 지지핀(233)의 단면 형상 및 결합홈(213b)의 형상이 타원형이거나, 지지핀(235)의 단면 형상 및 결합홈(213c)의 형상이 각형이면, 지지핀(233, 235)은 지지바(210)를 기준으로 회전되는 것이 방지된다.
지지핀(231)은 중간 부위가 벤딩(231a)되고, 기판(50)이 접촉 지지되는 지지핀(231)의 상측 부위 및 지지바(210)에 삽입 결합되는 지지핀(231)의 하측 부위의 길이방향 중심을 각각 지나는 가상의 직선(L1, L2)은 상호 평행하게 형성될 수 있다. 이때, 지지핀(231)의 하측 부위가 원형으로 형성되어 지지핀(231)이 회전될 수 있다면, 지지핀(231)을 결합홈(213a)에 삽탈할 필요 없이, 지지핀(231)을 회전시켜 기판(50)이 처지는 부위를 간편하게 지지할 수 있다.
지지핀(231)의 벤딩부(231a)는 필요에 따라 복수번 벤딩될 수 있다.
본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 지지용 지지유닛(200)은, 기판(50)의 처리시, 복수의 지지핀(230)에 의하여 기판(50)의 전체면이 지지되므로, 기판(50)이 자중에 의하여 휘어서 변형될 우려가 없다. 따라서, 평판 디스플레이의 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.
본 발명의 제 1 실시예에 따른 지지핀(136)(도 4 참조)도 제 2 실시예에 따른 지지핀(230)과 같이 구성될 수 있다.
상세히 설명하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 지지핀(136)도 제 2 실시예에 따른 지지핀(231, 233, 235)과 같이 하부측 단면(斷面) 형상이 원형, 타원형 또는 각형 등과 같이 형성될 수 있다. 이때, 연결바(135)에 형성된 제 1 결합홈(135a)의 형상은 지지핀(136)의 단면 형상과 대응되어야 함은 당연하다.
그리고, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 지지핀(136)도 제 2 실시예에 따른 지지핀(231)과 같이 중간 부위는 벤딩되고, 연결바(135)에 삽입되는 지지핀(136)의 하측 부위 및 기판(50)이 지지되는 지지핀(136)의 상측 부위의 길이방향 중심을 각각 지나는 가상의 직선은 상호 평행하게 형성될 수 있다. 이때, 지지핀(136)의 하측 부위는 연결바(135)에 회전가능하게 삽입 결합되고, 중간 부위는 복수번 벤딩될 수 있다.
상기와 같이 기술된 본 발명의 실시예들에 대한 도면은 자세한 윤곽 라인을 생략하여, 본 발명의 기술사상에 속하는 부분을 쉽게 알 수 있도록 개략적으로 도시한 것이다. 또한, 상기 실시예들은 본 발명의 기술사상을 한정하는 기준이 될 수 없으며, 본 발명의 청구범위에 포함된 기술사항을 이해하기 위한 참조적인 사항에 불과하다.

Claims (16)

  1. 상호 평행하게 배치되는 한쌍의 크로스지지바;
    상기 크로스지지바의 일단부측 및 타단부측이 각각 지지되며, 상대물에 결합되어 상기 크로스지지바를 상기 상대물에 위치시키는 지지브라켓; 및
    상호 간격을 가지면서 배치되며 일단부측 각각은 어느 하나의 상기 크로스지지바에 지지되고, 타단부측 각각은 다른 하나의 상기 크로스지지바에 지지된 한쌍의 외측메인바, 상기 외측메인바의 직경 보다 작은 직경으로 형성되어 상기 외측메인바에 각각 적층되는 형태로 결합되며, 기판의 테두리부측이 지지되는 한쌍의 외측지지바, 상기 한쌍의 외측메인바를 상호 연결하는 복수의 연결바, 상기 연결바에 형성되어 상기 기판을 지지하는 복수의 지지핀을 구비하는 보트
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지용 지지유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 크로스지지바의 단부측 외주면에는 걸림링이 각각 형성되고,
    상기 지지브라켓에는 상기 크로스지지바의 단부측이 삽입 지지되는 지지홈 및 상기 걸림링이 삽입 결합되는 걸림홈이 각각 형성된 것을 특징으로 하는 기판 지지용 지지유닛.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 외측지지바에는 복수의 상기 기판이 구획되어 지지되고,
    상기 외측지지바에는 상기 기판의 측면과 각각 접촉되어 상기 기판이 상기 외측지지바의 길이방향으로 유동하는 것을 방지하는 복수의 스토퍼가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 지지용 지지유닛.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 연결바 및 상기 외측지지바에는 제 1 결합홈 및 제 2 결합홈이 각각 형성되고,
    상기 지지핀의 일측 및 상기 스토퍼의 일측은 상기 제 1 결합홈 및 상기 제 2 결합홈에 각각 삽탈 가능하게 결합된 것을 특징으로 하는 기판 지지용 지지유닛.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 지지핀의 일측 부위의 단면(斷面) 형상은 원형, 타원형 또는 각형 중에서 선택된 어느 하나의 형상으로 형성되고,
    상기 제 1 결합홈은 상기 지지핀의 형상과 대응되게 형성된 것을 특징으로 하는 기판 지지용 지지유닛.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 지지핀의 일측 부위는 상기 연결바에 회전가능하게 설치되고,
    상기 지지핀의 중간 부위는 벤딩되며,
    상기 연결바에 삽입되는 상기 지지핀의 일측 부위 및 상기 기판이 지지되는 상기 지지핀의 타측 부위의 길이방향 중심을 각각 지나는 가상의 직선은 상호 평행한 것을 특징으로 하는 기판 지지용 지지유닛.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 지지핀의 중간 부위는 복수번 벤딩된 것을 특징으로 하는 기판 지지용 지지유닛.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 외측메인바의 일단부에는 어느 하나의 상기 크로스지지바에 삽입 결합되는 제 1 걸림편이 각각 형성되고,
    상기 외측메인바의 타단부 또는 상기 외측메인바의 타단부측에 결합된 상기 연결바에는 다른 하나의 상기 크로스지지바에 지지되는 제 2 걸림편이 형성된 것을 특징으로 하는 기판 지지용 지지유닛.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 외측지지바에는 상기 외측지지바와 직교하는 형태로 형성되어 상기 기판의 테두리부측을 지지하는 지지편이 형성된 것을 특징으로 하는 기판 지지용 지지유닛.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 외측메인바의 일단부측 및 타단부측에는 지그로 상기 보트를 걸어서 이동시키기 위한 걸림후크가 각각 형성된 것을 특징으로 하는 기판 지지용 지지유닛.
  11. 상호 간격을 가지면서 평행하게 배치된 복수의 지지바;
    상기 지지바의 일단부측 및 타단부측이 각각 지지되며, 상대물에 결합되어 상기 지지바를 상기 상대물에 위치시키는 지지브라켓; 및
    상기 지지바에 형성되어 기판을 지지하는 복수의 지지핀
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지용 지지유닛.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 지지바의 단부측 외주면에는 걸림링이 각각 형성되고,
    상기 지지브라켓에는 상기 지지바의 단부측이 삽입 지지되는 지지홈 및 상기 걸림링이 삽입 결합되는 걸림홈이 각각 형성된 것을 특징으로 하는 기판 지지용 지지유닛.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 지지바에는 결합홈이 형성되고,
    상기 지지핀의 일측은 상기 지지바에 삽탈 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 지지용 지지유닛.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 지지핀의 일측 부위의 단면(斷面) 형상은 원형, 타원형 또는 각형 중에서 선택된 어느 하나의 형상으로 형성되고,
    상기 결합홈은 상기 지지핀의 형상과 대응되게 형성된 것을 특징으로 하는 기판 지지용 지지유닛.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 지지핀은 상기 지지바에 회전가능하게 설치되고,
    상기 지지핀의 중간 부위는 벤딩되며,
    상기 지지바에 삽입되는 상기 지지핀의 일측 부위 및 상기 기판이 지지되는 상기 지지핀의 타측 부위의 길이방향 중심을 각각 지나는 가상의 직선은 상호 평행한 것을 특징으로 하는 기판 지지용 지지유닛.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 지지핀의 중간 부위는 복수번 벤딩된 것을 특징으로 하는 기판 지지용 지지유닛.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3977481B2 (ja) * 1997-04-11 2007-09-19 淀川ヒューテック株式会社 基板用トレイカセット
JP2002154648A (ja) * 2000-11-15 2002-05-28 Fuji Photo Film Co Ltd 基板カセット
JP4079651B2 (ja) * 2002-02-12 2008-04-23 オリンパス株式会社 基板支持装置
JP2004042984A (ja) * 2002-07-15 2004-02-12 Sharp Corp 超大型基板用カセット
JP2004107006A (ja) * 2002-09-18 2004-04-08 Masato Toshima 基板の搬送装置
KR100600515B1 (ko) * 2005-01-20 2006-07-13 (주)상아프론테크 크로스바 설치용 연결구가 구비된 기판 적재용 카세트
JP4317883B2 (ja) * 2007-04-18 2009-08-19 国立大学法人東北大学 支持ピンの製造方法、支持ピン、熱処理装置および基板焼成炉
JP5022855B2 (ja) * 2007-10-05 2012-09-12 古河機械金属株式会社 リフトピン機構、加熱処理装置、減圧乾燥装置
KR101016048B1 (ko) * 2008-07-16 2011-02-23 주식회사 테라세미콘 배치식 열처리 장치
KR101058187B1 (ko) * 2008-12-05 2011-08-22 주식회사 에스에프에이 기판 보관용 카세트 시스템

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