WO2020003516A1

WO2020003516A1 - 剥離装置及び剥離方法

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Publication number: WO2020003516A1
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Inventors: 和彦河東; 慎一羽生
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Filing date: 2018-06-29
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Abstract

本発明の剥離装置１は、最上層基板４８の剥離対象部分４６の範囲を規定する開口部１３を有するメタルマスク１０を保持固定するメタルマスク固定枠１１と、メタルマスク１０の上面１０ａから粘着テープ２０の粘着層２０ｂを開口部１３内の最上層基板４８に押圧する押圧ローラ３２と、剥離ヘッド６とを有している。さらに、剥離装置１は、剥離ヘッド６の移動方向を切り換えることが可能、かつ最上層基板４８に粘着層２０ｂを押圧した状態で押圧ローラ３２を移動させる剥離ヘッド駆動機構１９と、を有することを特徴とする。本発明の剥離装置１によれば、剥離対象部分４６の大きさ、形状及び配置に関わらず下層基板４７から最上層基板４８の剥離対象部分４６を下層基板４７から剥離し、最上層基板４８から剥離対象部分４６を切断分離することができる。

Description

剥離装置及び剥離方法

　本発明は、剥離装置及び剥離方法に関する。

　回路基板（フレキシブル回路基板を含む）、半導体ウエハやディスプレイ装置などにおいて、機能面を保護するために製造過程ではカバーフィルム、いわゆる保護フィルムを貼り合せておき、カバーフィルムを剥離して次工程に移行することが一般的に行われている。カバーフィルムを剥離する手段としては、粘着テープの粘着面をカバーフィルムに押圧して粘着テープの粘着力によってカバーフィルムを剥離する装置及び剥離方法が従来から採用されている。回路基板や半導体ウエハとほぼ同じサイズのカバーフィルムを剥離する場合には、単純に粘着テープをカバーフィルムに押圧して粘着テープを引上げたり、巻き上げたりすることによってカバーフィルムを剥離することが容易に可能である。しかし、このような剥離装置や剥離方法では、カバーフィルムのうちの特定範囲のみを剥離することは困難であった。

　特許文献１には、回路基板などに貼り合わされたカバーフィルムの特定箇所のみを剥離する剥離装置が開示されている。特許文献１に記載された剥離装置は、剥離対象部分の周囲にハーフカットによって切り込みを入れ、この切り込みで囲まれた内側に粘着テープの粘着面を押圧部材によって押圧し、次いで、押圧部材を粘着テープと共に回路基板から離間させて剥離対象部分のカバーフィルムを剥離する、というものである。

特開２０１７－７５０２８号公報

　特許文献１に記載の剥離装置は、カバーフィルムの剥離対象部分の周囲にハーフカットによって切り込みを入れ、切り込みで囲まれたカバーフィルムの剥離対象部分に粘着テープを押圧して粘着テープの粘着力でカバーフィルムを下層基板から剥離する装置である。従って、下層の回路基板などに剥離する部分と剥離しない部分とに跨って導電パターンや電極などの機能パターンが形成されている場合には、機能パターン上のカバーフィルムに切り込みを入れることは機能パターンに損傷を与える恐れがあるので困難である。特許文献１に記載の剥離装置では、切り込みがない特定の剥離対象部分のみを剥離することはできないという課題がある。

　又、特許文献１に記載の剥離装置は、ハーフカットされた剥離対象部分の表面積の８０％以上、かつ１００％以下の面積に対して均一に粘着テープを押圧部材で押圧し、押圧部材を回路基板から離間させてカバーフィルムを剥離するというものである。従って、回路基板が積層基板（フレキシブル積層基板）であって、最上層基板を下層基板から剥離するような場合、しかも剥離対象部分の面積が大きくなったり、剥離対象部分が縦横比の大きい形状であったりすると、押圧部材の単純な昇降動作では、剥離できなかったり、剥離の際に回路基板が反ってしまったりするなどの課題がある。

　さらに、特許文献１に記載の剥離装置は、剥離ヘッド（作業ヘッド）が一方向に直線的に移動する構成であるから、最上層基板上に複数の剥離対象部分が散在する場合などには対応できない。しかも、剥離対象部分が複数種類の形状で構成される場合などでは、押圧部材の押圧平面の向きや形状を剥離対象部分に合わせて切換えなければならず生産性が著しく悪くなるという課題がある。

　そこで、本発明は、このような課題の少なくとも一つを解決するためになされたものであり、剥離対象部分の大きさ、形状及び配置に関わらず下層基板から最上層基板の剥離対象部分を下層基板から剥離し、最上層基板から剥離対象部分を切断分離することが可能な剥離装置及び剥離方法を提供しようとするものである。

　［１］本発明の剥離装置は、積層基板の最上層基板の剥離対象部分を粘着テープの粘着力で下層基板から剥離する剥離装置であって、前記最上層基板の上面側に配置され前記剥離対象部分の範囲を規定する開口部を有するメタルマスクを保持固定するメタルマスク固定枠と、前記メタルマスクの上面から前記粘着テープの粘着層を前記開口部内の前記最上層基板に押圧する押圧ローラ、前記粘着テープを巻き取る粘着テープ巻取りロール及び前記粘着テープを送り出す粘着テープ送出しロールを有する剥離ヘッドと、前記剥離ヘッドの移動方向を切り換えることが可能、かつ前記最上層基板に前記粘着層を押圧した状態で前記押圧ローラを移動させる剥離ヘッド駆動機構と、を有することを特徴とする。

　本発明の剥離装置によれば、メタルマスクの開口部内において、最上層基板に粘着テープの粘着層を粘着した状態で押圧ローラが移動することによって、メタルマスクの開口部の下面側のエッジ部で剥離対象部分を切断しながら剥離していくことができる。さらに、剥離ヘッドは、移動方向を切り換えることが可能となっていることから、剥離対象部分の大きさ、形状及び配置に関わらず下層基板から剥離対象部分を剥離し、最上層基板から剥離対象部分を切断分離することが可能となる。

　［２］本発明の剥離装置においては、前記粘着テープ巻取りロールと前記粘着テープ送出しロールは、前記押圧ローラを挟んで平面視直線的に配置されており、前記剥離ヘッドは、前記押圧ローラ、前記粘着テープ巻取りロール及び前記粘着テープ送出しロールを前記メタルマスクの上面に沿って回転するθ軸駆動機構と、前記押圧ローラを前記メタルマスクの上面に対して鉛直方向に昇降させる押圧ローラ昇降機構と、を有することが好ましい。

　剥離ヘッドは、押圧ローラ、粘着テープ巻取りロール及び粘着テープ巻出しりロールをメタルマスクの開口部、つまり剥離対象部分の配列に合わせて移動させことが可能であるから、剥離対象部分の配列に関わらず最上層基板を下層基板から剥離することが可能となる。又、押圧ローラを上昇させれば、粘着テープが押圧ローラに追従してメタルマスクから上方側に上昇し、剥離対象部分を最上層基板から開口部のエッジ部で切断し、確実に切断分離することが可能となる。

　［３］本発明の剥離装置においては、前記押圧ローラは可撓性を有しており、軸方向長さが前記押圧ローラの移動方向に対して直交する方向の前記開口部の最大幅よりも長く、前記粘着テープは、前記押圧ローラの移動軌跡外に配列される前記開口部に架からない幅であることが好ましい。

　押圧ローラは可撓性を有しており、押圧ローラで剥離対象の開口部の縁周囲を押えながら剥離することから、メタルマスクの浮き上がりがなく、剥離対象部分の切断及び剥離を行うことが可能となる。又、押圧ローラの長さの範囲にあれば剥離対象部分の形状やサイズに関わらず剥離対象部分を剥離することが可能となる。粘着テープは押圧ローラの移動軌跡外にある開口部には架からないことから、移動軌跡の範囲にある最上層基板のみを剥離することが可能となる。

　［４］本発明の剥離装置においては、前記押圧ローラは、前記剥離対象部分に前記粘着テープを押圧して移動しつつ前記粘着テープの粘着力で剥離対象部分を剥離していき、前記開口部のエッジ部で前記押圧ローラの移動方向側端部で前記粘着テープを前記積層基板から離れる方向に上昇させるように制御されることをことが好ましい。

　このように、剥離動作終了後に、押圧ローラを上昇させて粘着テープを引き上げることによって、剥離対象部分を最上層基板からより一層確実に切断・分離することが可能となる。

　［５］本発明の剥離装置においては、前記粘着テープ巻取りロールは、前記押圧ローラが前記粘着テープを前記剥離対象部分に押圧して移動する剥離動作に同期して前記粘着テープを巻き取るように制御されることが好ましい。

　このようにすれば、剥離動作中に常に粘着層の新しい部分が剥離対象部分に粘着することが可能となり、さらに、分離した剥離対象部分（以降、最上層基板片と記載する）を次の剥離対象部分から離間させることができるから、最上層基板片が次の剥離動作の妨げになることを防ぐことが可能となる。

　［６］本発明の剥離装置においては、前記剥離ヘッドは、前記押圧ローラの前記粘着テープ送出しロール側の直近に配置されて前記押圧ローラの上昇動作中に前記粘着テープにブレーキを掛けるストッパー機構を有していることが好ましい。

　このように剥離ヘッドを構成すれば、粘着テープ巻取りロールとストッパー機構によって粘着テープに張力を与えて粘着テープが弛むこと防ぎ、押圧ローラが上昇する際に粘着テープが押圧ローラに追従することで確実に剥離対象部分を最上層基板から分離することが可能となる。

　［７］本発明の剥離装置においては、前記剥離ヘッドは、前記押圧ローラの前記粘着テープ巻取りロール側の直近に配置されて前記押圧ローラの上昇動作中に前記メタルマスクを押えるマスク押え機構を有していることが好ましい。

　このようにマスク押え機構によってメタルマスクを押圧したうえで押圧ローラを上昇させれば、粘着テープの粘着力でメタルマスクが浮きあがることを防止でき、メタルマスクと最上層基板との間に隙間ができないことから剥離対象部分の最上層基板からの切断・分離をより一層確実に行うことが可能となる。

　［８］本発明の剥離装置においては、前記メタルマスク固定枠は、前記開口部と前記剥離対象部分との位置補正を行うアライメント機構を有していることが好ましい。

　メタルマスクの開口部を所定の剥離対象部分に位置合せすることによって、位置ずれに起因する剥離不良を排除することが可能となる。

　［９］本発明の剥離装置においては、少なくとも前記粘着テープが接触する部材には、非粘着処理が施されていることが好ましい。

　粘着テープの粘着層が剥離装置、特に剥離ヘッドの構成部材に接触すると、剥離装置の正常な駆動や剥離動作が妨げられることがある。そこで、粘着テープが接触する部材に非粘着処理を施すことによって、粘着テープの粘着に起因する不具合を排除することが可能となる。

　［１０］本発明の剥離方法は、上記記載の剥離装置を使用して前記最上層基板の剥離対象部分を前記粘着テープの粘着力で前記下層基板から剥離するする剥離方法であって、前記積層基板を所定位置に搬送して前記メタルマスクに当接する位置に上昇させる工程と、前記メタルマスクの開口部と前記剥離対象部分との位置補正を行う工程と、前記押圧ローラの押圧位置及び移動方向を前記剥離対象部分の配列に合わせる工程と、前記押圧ローラを降下し、さらに前記開口部に移動させることにより前記粘着テープを前記開口部内の前記最上層基板に押圧する押圧工程と、前記粘着テープを前記開口部内の前記最上層基板に押圧しつつ前記押圧ローラを移動して前記剥離対象部分を前記開口部のエッジ部で切断しながら剥離する工程と、前記押圧ローラを前記メタルマスクから離間する方向に上昇させて最上層基板片を前記下層基板から分離する工程と、を含むことを特徴とする。

　本発明の剥離方法によれば、メタルマスクの開口部内において、最上層基板に粘着テープの粘着層を押圧した状態で押圧ローラを移動することによって、開口部の下面側のエッジ部で剥離対象部分を切断しながら剥離していくことが可能となる。そして、押圧ローラがメタルマスクの開口部の押圧ローラ移動方向端部に達したところで押圧ローラを上昇させて剥離対象部分を開口部のエッジ部で切断し、剥離対象部分を最上層基板から分離することが可能となる。

　［１１］本発明の剥離方法においては、前記積層基板は剥離対象範囲内に前記剥離対象部分が複数有し、前記メタルマスクは前記剥離対象部分の形状及び配列に対応する開口部を有しており、前記開口部の配列に合わせて前記押圧ローラの押圧位置及び移動方向を切り換えることが好ましい。

　このように、剥離対象部分の配列に対応して押圧ローラの位置及び移動方向を切り換えることによって、剥離対象範囲内に複数種類の剥離対象部分があっても連続して剥離を行うことが可能となる。このようにすれば、生産性を極めて高くすることが可能となる。

実施の形態に係る剥離装置１の概略構成を示す斜視図である。図１の図示Ｙ方向手前側から見た剥離装置１の側面図である。図１に示す剥離ヘッド６を拡大して示す斜視図である。剥離ヘッド６の構成及び動作を示す説明図である。剥離対象ワークとしての積層基板の１例であるフレキシブル積層基板２を示す図である。実施の形態に係る剥離方法の主要工程を示す工程フロー図である。実施の形態に係る剥離方法の主要工程を示す説明図である。

　以下、本発明の実施の形態に係る剥離装置１及び剥離方法について、図１～図７を参照しながら説明する。なお、本実施の形態においては、ワークである積層基板としてフレキシブル積層基板２を例示して説明する。

　［剥離装置１の構成］
　図１は、実施の形態に係る剥離装置１の概略構成を示す斜視図であり、図２は、図１のＹ方向図示手前側から見た剥離装置１の正面図である。図１は、フレキシブル積層基板２の図示を省略している。図１、図２において、フレキシブル積層基板２の搬送方向をＸ方向（又はＸ軸）、Ｘ方向に直交する方向をＹ方向（又はＹ軸）、Ｘ－Ｙ平面に対して鉛直方向をＺ方向又は上下方向と記載して説明する。図１、図２に示すように、剥離装置１は、ベース架台５の上部に剥離ヘッド６と、Ｘ方向の両端側に配置されてフレキシブル積層基板２の搬送を行う基板巻取りロールユニット７及び基板送出しロールユニット８とを有している。

　基板巻取りユニット７と基板送出しロールユニット８との間には、フレキシブル積層基板２を載置し保持するテーブル９（図２参照）と、テーブル９の上方側に配設されるメタルマスク１０とが配置されている。テーブル９は、剥離動作の際にフレキシブル積層基板２がメタルマスク１０に当接する位置までテーブル昇降機構（図示せず）によって上昇される。メタルマスク１０は、メタルマスク固定枠１１に複数のマスク固定具１２によって固定されている。メタルマスク１０には複数の開口部１３が設けられている。図１に示す開口部１３は、配置や形状が実際とは異なり、存在を示すものである。

　メタルマスク１０は、Ｘ軸駆動機構１４及びＹ軸駆動機構１５によってＸ方向及びＹ方向に移動させることが可能であり、後述するフレキシブル積層基板２の剥離対象部分４６（図５参照）と開口部１３との平面方向の位置補正を可能としている。なお、位置補正には、Ｘ軸又はＹ軸に対する角度（姿勢）の補正も含まれる。位置補正は、剥離ヘッド６のＹ方向両側に配置される一対の検出カメラ１６の検出結果に基づき画像処理によって行われる。検出カメラ１６は、例えばＣＣＤカメラなどの撮像装置である。Ｘ軸駆動機構１４、Ｙ軸駆動機構１５及び検出カメラ１６を含めてアライメント機構１８という。

　剥離装置１は剥離ヘッド駆動機構１９を有している。剥離ヘッド駆動機構１９は、剥離ヘッド６をＸ方向に移動するヘッドＸ軸駆動機構２１と、剥離ヘッド６をＹ方向に移動するヘッドＹ軸駆動機構２２とを有している。ヘッドＸ軸駆動機構２１及びヘッドＹ軸駆動機構２２は共に周知のボールねじ機構によって動作する。ボールねじ機構は周知のものを使用することが可能なので説明を省略する。

　図２に示すように、基板巻取りロールユニット７は、基板巻取りロール２８と巻取りダンサーローラ２７と出口ローラ２６とを有している。基板送出しロールユニット８は、基板送出しロール２３と送出しダンサーローラ２４と入口ローラ２５とを有している。フレキシブル積層基板２は、基板送出しロールユニット８と基板巻取りロールユニット７との間に張り渡されている。基板巻取りロール２８は駆動ロールであり、基板送出しロール２３は従動ロールである。

　具体的には、フレキシブル積層基板２は、基板送出しロール２３から送出しダンサーローラ２４、入口ローラ２５を介してテーブル９とメタルマスク１０との隙間を通って出口ローラ２６に渡し、巻取りダンサーローラ２７を介して基板巻取りロール２８によって巻き取られる。フレキシブル積層基板２は、送出しダンサーローラ２４及び巻取りダンサーローラ２７を設けることによって基板送出しロール２３と基板巻取りロール２８との間に弛みなく張り渡される。フレキシブル積層基板２は、剥離動作時にはテーブル９に真空吸着される。図２では、フレキシブル積層基板２の搬送方向を矢印で示している。図示は省略するが、ベース架台５の内部には電源装置及び剥離装置１の駆動全体を制御する制御部などが格納されている。

　図３は、剥離ヘッド６を拡大して示す斜視図である。剥離ヘッド６は、粘着テープ２０を巻き取る粘着テープ巻取りロール３０と、粘着テープ２０を送出す粘着テープ送出しロール３１と、粘着テープ巻取りロール３０と粘着テープ送出しロール３１との間に配置されて粘着テープ２０をフレキシブル積層基板２（図２、図７参照）に押圧する押圧ローラ３２とを有している。粘着テープ巻取りロール３０、粘着テープ送出しロール３１及び押圧ローラ３２は、ヘッド本体３８（図４参照）に取付けられている。図３に示す剥離ヘッド６は、剥離装置１が起動する前の状態を表している。粘着テープ巻取りロール３０、押圧ローラ３２及び粘着テープ送出しロール３１は平面視直線的に配置されている。粘着テープ巻取りロール３０は駆動ロールであり、粘着テープ送出しロール３１は従動ロールである。剥離ヘッド６は、粘着テープ巻取りロール３０、押圧ローラ３２及び粘着テープ送出しロール３１の配置を変えずにメタルマスク１０の上面１０ａに沿って回転するθ軸駆動機構３３をさらに有している。θ軸駆動機構３３は、押圧ローラ３２の開口部１３の配列に対する平面方向の角度（姿勢）を調整する。剥離ヘッド６は、上下動駆動機構３４によってメタルマスク１０に対して上下動可能である。粘着テープ２０において、押圧ローラ３２に接触する面を非粘着層２０ａ、反対側の面を粘着層２０ｂとする。

　剥離ヘッド６は、押圧ローラ３２をメタルマスク１０の上面に対して鉛直方向に昇降させる押圧ローラ昇降機構３５と、メタルマスク１０の浮き上がりを防止するマスク押え機構３６と、粘着テープ２０の過剰巻出しによる弛みを抑制するストッパー機構３７と、を有している。押圧ローラ３２、押圧ローラ昇降機構３５、マスク押え機構３６及びストッパー機構３７の詳しい構成及び動作については図４を参照しながら後述する。

　［剥離ヘッド６の構成及び動作］
　図４は、剥離ヘッド６の構成及び動作を示す説明図である。ここでは、剥離ヘッド６の構成及び動作を説明し、剥離動作の詳細は図６、図７を参照して後述する。図４（ａ）は剥離動作中を表し、図４（ｂ）は剥離動作を終了し押圧ローラ３２を上昇させる直前を表し、図４（ｃ）は、剥離動作を終了し押圧ローラ３２を上昇させた直後を示している。

　図４（ａ）に示すように、剥離動作中において、押圧ローラ３２はメタルマスク１０を押圧する。粘着テープ２０は、粘着テープ送出しロール３１から中間ローラ３９、ストッパーローラ４０、押圧ローラ３２の順に張り渡されて粘着テープ巻取りロール３０に弛みがないように巻き取られる。マスク押え機構３６は、マスク押えローラ４１と、マスク押えローラ４１をメタルマスク１０に対して上下動させるマスク押えローラ駆動部４２とを有している。マスク押えローラ４１は、押圧ローラ－３２の粘着テープ巻取りロール３０側直近に配置される。又、マスク押えローラ４１の軸方向長さは、押圧ローラ３２の長さと同じか長くすることが好ましく、必ずしも可撓性がなくてもよい。マスク押えローラ４１は、マスク押えローラ駆動部４２の下端よりも突出させる。剥離動作中においては、マスク押えローラ４１はメタルマスク１０に接触しない位置に待機している。中間ローラ３９は、粘着テープ送出しロール３１と押圧ローラ３２の間の粘着テープの弛みを減少させ、巻取りに影響しない適度なブレーキを掛ける機能を有する。

　押圧ローラ３２、ストッパーローラ４０及びストッパー機構３７は、押圧ローラ昇降機構３５に取付けられており、押圧ローラ昇降機構３５によってメタルマスク１０に対して降下又は上昇するように構成されている。ストッパー機構３７は、ストッパーローラ４０とストッパー部４３とを有している。ストッパー部４３は押圧ローラ昇降機構３５とは独立して昇降可能である。剥離動作中においては、ストッパーローラ４０とストッパー部４３とは離間していて、粘着テープ２０は、粘着テープ巻取りロール３０によって巻取り可能な状態である。図４（ａ）では、剥離ヘッド６の移動方向を太い矢印で表し、粘着テープ２０の移動方向を細い矢印で表している。押圧ローラ３２は、粘着テープ２０をメタルマスク１０に押圧しつつ、押圧ローラ６の可撓性を利用してメタルマスク１０に設けられた開口部１３内の最上層基板４８に粘着テープ２０の粘着層２０ｂ（図７参照）を押圧する。押圧ローラ６は、太い矢印方向に移動しながら転動して開口部１３内の最上層基板４８を下層基板４７から剥離していく。なお、剥離ヘッド６は、図５（ａ）の剥離対象範囲４９内に示す矢印方向に移動する。

　図４（ｂ）は、剥離動作が終了し押圧ローラ３２を上昇させる直前を表している。各機構及び各ローラの構成は、図４（ａ）で説明しているので説明は省略する。剥離動作を終了した時点で、剥離ヘッド６の水平方向の移動を停止し、ストッパー部４３がストッパーローラ４０に向かって降下し、粘着テープ２０をストッパーローラ４０に押圧して粘着テープ２０にブレーキを掛ける。粘着テープ２０には、粘着テープ巻取りロール３０とストッパーローラ４０の間に張力が働くことによって弛みがなくなる。マスク押えローラ４１は、マスク押えローラ駆動部４２によってメタルマスク１０を押圧するまで降下する。

　図４（ｃ）は、剥離動作を終了し押圧ローラ３２を上昇させた直後を表している。各機構及び各ローラの構成は、図４（ａ）で説明しているので説明は省略する。剥離動作を終了したところで、押圧ローラ６をメタルマスクから離間するまで上昇させる。押圧ローラ６の上昇動作中は、マスク押えローラ４１はメタルマスク１０を押圧している。マスク押えローラ４１によるメタルマスク１０の押圧は、押圧ローラ６の上昇が停止するまで継続する。ストッパー機構３７は、次の剥離動作に移行するまで粘着テープ２０にブレーキを掛けて粘着テープ２０の弛みを抑える。図示は省略するが、押圧ローラ３２が上昇したところでマスク押えローラ４１を図４（ａ）に示す位置まで上昇させる。なお、図４（ａ）～図４（ｃ）に示す各工程において剥離ヘッド６の上下動はない。以上説明した剥離ヘッド６による剥離動作の詳細及び剥離方法を図５～図７を参照して説明する。

　図５は、剥離対象ワークとしての積層基板の１例であるフレキシブル積層基板２を示す図である。図５（ａ）はフレキシブル積層基板２の１部を示す平面図であり、最上層基板４８の剥離対象部分４６（４６ａ、４６ｂ、４６ｃ）及びメタルマスク１０の開口部１３の配置の１例を表している。剥離対象部分とは、最上層基板４８の剥離すべき範囲であり、メタルマスク１０の開口部１３（１３ａ、１３ｂ、１３ｃ）によって規定される。図５（ａ）に示す剥離対象部分４６の形状や配置パターンは剥離動作を説明するためのものであり実際とは異なる例を模式的に表しており、剥離対象部分４６がさらに密集して配置される場合や疎に配置される場合もある。図５（ｂ）は、フレキシブル積層基板２の構成の１例を示す断面図である。なお、図５（ｂ）は、厚みを誇張して記載している。なお、剥離対象部分４６ａ，４６ｂ，４６ｃを総称して剥離対象部分４６と記載し、開口部１３ａ，１３ｂ，１３ｃを総称して開口部１３と記載する。

　フレキシブル積層基板２は、複数層の基板から構成されている。図５（ｂ）に示す例においては、フレキシブル積層基板２は、下層基板４７と、下層基板４７に熱硬化性樹脂などで貼り合された最上層基板４８で構成されている。下層基板４７が２層以上の多層基板の場合も含まれる。最上層基板４８と下層基板４７それぞれの上面又は下面又は上下両面に導電パターンや電極などの機能パターンが形成されているが図示を省略している。なお、最上層基板４８には、機能パターンがない場合もある。最上層基板４の厚みは、例えば１０μｍ～８０μｍであり、フレキシブル積層基板２の総厚は、基板巻取りロール２８や基板送出しロール２３に巻き付けることが可能な厚みであれば特に限定されない。積層基板としては、テープ状のフレキシブル積層基板２に限らず単板の積層基板にも適合可能である。

　図５（ａ），（ｂ）では、メタルマスク１０及びメタルマスク１０の開口部１３を二点鎖線で表している。図５（ａ）に示す例では、同じ形状で同じサイズの剥離対象部分４６ａ（開口部１３ａ）がフレキシブル積層基板２の送り方向（太い矢印）に対して平行に４個配列されるＡ群、ほぼ同じ形状、同じサイズの剥離対象部分４６ｂ（開口部１３ｂ）がＡ群の配列に直交して３個配列されるＢ群、同じ形状で同じサイズの剥離対象部分４６ｃがＡ群の配列に対して斜め方向に２個配列されるＣ群とする。図５（ａ）の剥離対象範囲４９中の細い矢印は、剥離順を表している。なお、メタルマスク１０の厚みは３０μｍ～８０μｍ程度としたが、限定されるものではない。

　フレキシブル積層基板２の搬送方向に対して押圧ローラ３２の角度と移動方向を切り換えることによって、向きや形状が異なる剥離対象部分４６を下層基板４７から剥離することが可能となる。図５（ａ）には、各剥離対象部分の剥離位置をＰ１～Ｐ９で表している。なお、図５（ａ）において、フレキシブル積層基板２をテーブル９に保持してＡ群、Ｂ群、Ｃ群の各剥離対象部分の１サイクルの剥離を行う範囲を剥離範囲４９とする。

　Ａ群、Ｂ群、Ｃ群それぞれにおいて、押圧ローラ３２がメタルマスク１０を押圧しながら移動する領域を移動軌跡と呼ぶ。押圧ローラ３２の軸方向長さは、押圧ローラ３２の移動方向に対して直交する方向の開口部１３ａ，１３ｂ，１３ｃの最大幅よりも長い。従って、Ａ群、Ｂ群及びＣ群において開口部１３の大きさが押圧ローラ３２の長さ範囲であれば押圧ローラ３２を取り替える必要がない。又、粘着テープ２０は、押圧ローラ３２の移動軌跡外に配列される開口部１３に架からない幅を有している。すなわち、Ａ群を剥離する際に粘着テープ２０がＢ群の開口部１３ｂに架かることはなく、Ｂ群を剥離する際に粘着テープ２０がＣ群の開口部１３ｃに架かることはない。

　以上説明した剥離装置１は、積層基板であるフレキシブル積層基板２の最上層基板４８の剥離対象部分４６を粘着テープ２０の粘着力で下層基板４７から剥離する剥離装置である。剥離装置１は、最上層基板４８の剥離対象部分４６の範囲を規定する開口部１３を有するメタルマスク１０を保持固定するメタルマスク固定枠１１と、メタルマスク１０の上面１０ａから粘着テープ２０の粘着層２０ｂを開口部１３内の最上層基板４８に押圧する押圧ローラ３２と、粘着テープ２０を巻き取る粘着テープ巻取りロール３０及び粘着テープ２０を送り出す粘着テープ送出しロール３１を有する剥離ヘッド６とを有している。さらに、剥離装置１は、剥離ヘッド６の移動方向を切り換えることが可能、かつ最上層基板４８に粘着層２０ｂを押圧した状態で押圧ローラ３２を移動させる剥離ヘッド駆動機構１９を有している。

　このように構成される剥離装置１によれば、メタルマスク１０の開口部１３（１３ａ、１３ｂ、１３ｃ）内において、最上層基板４８に粘着テープ２０の粘着層２０ｂを粘着した状態で押圧ローラ３２を移動することによって、開口部１３の下面側のエッジ部５０（図７（ｂ）参照）で剥離対象部分４６（４６ａ、４６ｂ、４６ｃ）を切断しながら剥離していくことが可能である。さらに剥離ヘッド３２は、移動方向を切り換えることが可能となっているので剥離対象部分４６の大きさ、形状及び配置に関わらず下層基板４７から剥離対象部分４６を剥離することが可能となる。

　又、粘着テープ巻取りロール３０と粘着テープ送出しロール３１は、押圧ローラ３２を挟んで平面視直線的に配置されている。剥離ヘッド６は、押圧ローラ３２、粘着テープ巻取りロール３０及び粘着テープ送出しロール３１をメタルマスク１０の上面１０ａに沿って回転させるθ軸駆動機構３３と、押圧ローラ３２をメタルマスク１０の上面に対して鉛直方向に昇降させる押圧ローラ昇降機構３５とを有している。

　このように、剥離ヘッド６は、押圧ローラ３２、粘着テープ巻取りロール３０及び粘着テープ巻出しりロールをメタルマスク１０の開口部１３（１３ａ，１３ｂ，１３ｃ）の配列、言い換えれば剥離対象部分４６（４６ａ，４６ｂ，４６ｃ）の配列に合わせて移動させことが可能であるから、最上層基板４８の特定部分である剥離対象部分４６の大きさ、形状及び配列に関わらず最上層基板４８を下層基板４７から剥離することが可能となる。又、押圧ローラ３２を上昇させれば、粘着テープ２０が押圧ローラ３２に追従してメタルマスク１０から上方側に離れることから、剥離対象部分４６を最上層基板４８から開口部１３のエッジ部５０で切断し、分離することが可能となる。

　押圧ローラ３２は可撓性を有しており、軸方向長さが押圧ローラ３２の移動方向に対して直交する方向の開口部１３の最大幅よりも長く、粘着テープ２０は、押圧ローラの移動軌跡外に配列される開口部１３に架からない幅である。押圧ローラ３２は可撓性を有しているから、メタルマスク上面１０ａから開口部１３内の最上層基板４８に粘着テープ２０を押圧することができる。従って、開口部１３が押圧ローラ３２の長さの範囲にあれば剥離対象部分の形状やサイズに関わらず剥離対象部分４６を剥離することが可能となる。又、粘着テープ２０は押圧ローラ１３の移動軌跡外にある開口部には架からないことから、移動軌跡の範囲にある剥離対象部分４６の最上層基板４８のみを剥離することが可能となる。

　押圧ローラ３２は、剥離対象部分４６に粘着テープ２０を押圧して移動しながら粘着テープ２０の粘着力で剥離対象部分４６を剥離していき、開口部１３の押圧ローラ３２の移動方向側端部で粘着テープ２０をフレキシブル積層基板２から離れる方向に上昇させる。このように、剥離動作終了後に、押圧ローラ３２、すなわち粘着テープ２０を上昇させることによって、開口部１３のエッジ部５０で剥離対象部分４６を最上層基板４８から確実に分離することが可能となる。

　又、粘着テープ巻取りロール３０は、押圧ローラ３２が粘着テープ２０を剥離対象部分４６に押圧して移動する剥離動作に同期して粘着テープ２０を巻き取るように制御される。このようにすれば、剥離動作中に常に粘着層２０ｂの新しい未粘着部分が剥離対象部分４６に粘着することが可能となる。さらに、分離した剥離対象部分４６（最上層基板片４８ａとする、図７参照）が次の剥離対象部分から離れた位置に移動させていることから、最上層基板片４８ａが次の剥離動作の妨げになることを防ぐことが可能となる。

　又、剥離ヘッド６は、押圧ローラ３２の粘着テープ送出しロール３１側の直近に配置されて押圧ローラ３２の上昇動作中に粘着テープ２０にブレーキを掛けるストッパー機構３７を有している。剥離ヘッド６をこのように構成すれば、粘着テープ巻取りロール３０とストッパー機構３７によって粘着テープ２０に張力を与えて粘着テープ２０が弛むこと防ぎ、押圧ローラ３２が上昇する際に粘着テープ２０が押圧ローラ３２に追従することで確実に剥離対象部分を最上層基板４８から分離することが可能となる。さらに、粘着テープ２０が弛むことでメタルマスク１０に貼り付いてしまうこと防ぐことが可能となる。

　剥離ヘッド６は、押圧ローラ３２の粘着テープ巻取りロール３１側の直近に配置されて押圧ローラ３２の上昇動作中にメタルマスク１０を押えるマスク押え機構３６を有している。このようにマスク押え機構３６によってメタルマスク１０を押圧した状態で押圧ローラ３２を上昇させれば、粘着テープ２０の粘着力でメタルマスク１０が浮きあがることを防止でき、メタルマスク１０と最上層基板４８との間に隙間ができずに剥離対象部分４６の最上層基板４８からの切断・分離をより一層確実に行うことが可能となる。

　メタルマスク固定枠１１は、開口部１３と剥離対象部分４６との位置補正を行うアライメント機構１８としてＸ軸駆動機構１４及びＹ軸駆動機構１５をさらに有している。メタルマスク１０の開口部１３を所定の剥離対象部分４６に位置合せすることによって、位置ずれに起因する剥離不良を排除することが可能となる。さらに、開口部１３と剥離対象部分４６との位置合わせを行うことによって、下層基板４７に形成されている機能パターンを正確に露出させることが可能となる。

　又、剥離装置１は、少なくとも粘着テープ２０が接触する部材には、非粘着処理が施される。粘着テープ２０の粘着層２０ｂが剥離ヘッド６の構成部材に接触すると、剥離装置１の正常な駆動や剥離動作が妨げられることがある。そこで、粘着テープ２０が接触する部材に非粘着処理を施すことによって、粘着テープ２０が粘着することに起因する不具合を排除することが可能となる。例えば、粘着テープ巻取ロール３０、押圧ローラ３２、ストッパーローラ４０、ストッパー部４３、中間ローラ３９及び粘着テープ送出しロール３１などが対象となる。特に、剥離動作中にメタルマスク１０の開口部１３周縁に押圧ローラによって粘着層２０ｂが押圧される。そこで、メタルマスク上面２０ａに非粘着処理を施すことによって粘着層２０ｂがメタルマスク１０に貼りついてしまうことを防止できる。

　［剥離動作及び剥離方法］
　図６は、実施の形態に係る剥離方法の主要工程を示す工程フロー図であり、図７は、剥離方法の主要工程を示す説明図である。なお、図７は、分かり易く説明するために各部の縮尺や形状を誇張して記載した模式図である。図７（ａ）は剥離動作開始直前を表し、図７（ｂ）は剥離動作終了時を表し、図７（ｃ）は分離動作を表している。ここでは、剥離対象ワークとして図５（ａ）に示すフレキシブル積層基板２のＡ群の剥離動作を代表例として説明する。

　まず、フレキシブル積層基板２の剥離範囲４９をテーブル９上の所定位置に搬送し、テーブル９に吸着した後、フレキシブル積層基板２をメタルマスク１０に当接する位置に上昇させる（ステップＳ１）。フレキシブル積層基板２の上下動は、テーブル昇降機構（図示せず）によって制御される。

　次に、メタルマスク１０の開口部１３と最上層基板４８の剥離対象部分４６との位置補正を行う（ステップＳ２）。図示は省略するが、位置補正は、検出カメラ１６によって最上層基板４８に設けられたアライメントマークとメタルマスク１０に設けられたアライメントマークとを検出し、このずれ量をＸ軸駆動機構１４及びＹ軸駆動機構１５によってメタルマスク１０の位置を最上層基板４８に合わせることによって行われる。メタルマスク１０のアライメントマークを複数の開口部１３としてもよい。

　次に、押圧ローラ３２の位置、移動方向を剥離対象部分４６の配列に合わせる（ステップＳ３）。Ａ群の剥離においては、図５（ａ）に示す位置Ｐ１、位置Ｐ２、位置Ｐ３、位置Ｐ４の順に剥離する。位置Ｐ１の剥離においては、図５（ａ）に示すように、押圧ローラ３２の軸方向をフレキシブル積層基板２の搬送方向に直交する方向とし、位置Ｐ１の開口部１３ａよりも図示左方側（基板巻き取りロール２８側）の位置に合わせる（図中、押圧ローラ３２を二点鎖線で示す）。ステップＳ３の動作は、ヘッドＸ軸駆動機構２１、ヘッドＹ軸駆動機構２２及びθ軸駆動機構３３によって実行される。

　続いて、図７（ａ）に示すように、押圧ローラ３２がメタルマスク１０を押圧するまで降下し、さらに押圧ローラ３２を開口部１３ａに移動して粘着テープ２０を開口部１３ａ内の最上層基板４８、つまり剥離対象部分４６ａに押圧する（ステップＳ４）。図中、押圧ローラ３２の移動方向を太い矢印で表している。押圧ローラ３２は、メタルマスク上面１０ａを押圧したときに自身の可撓性によって変形し開口部１３ａ内の最上層基板４８に粘着テープ２０を押圧することが可能となっている。従って、ステップＳ４の動作においては、押圧ローラ３２の剥離動作前の位置として、押圧ローラ３２が開口部１３ａに架かる位置又は開口部１３ａの図示左方側端部から若干離れたメタルマスク１０上の位置としてもよい。ステップＳ４の動作においては、マスク押えローラ４１は、メタルマスク１０から離間した位置にある。又、ストッパー部４３は、ストッパーローラ４０と離間し粘着テープ２０にブレーキを掛けていない。

　続いて、図７（ｂ）に示すように、押圧ローラ３２を太い矢印方向に移動し最上層基板４８の剥離対象部分４６ａを剥離する（ステップＳ５）。押圧ローラ開口部１３ａにおいて、最上層基板４８は粘着テープ２０の粘着力で強く粘着され、押圧ローラ３２が太い矢印方向へ移動することによって、メタルマスク１０の開口部１３ａのエッジ部５０で押圧ローラ３２の移動経路上の剥離対象部分４６ａを切断しながら剥離していく。エッジ部５０は、開口部１３ａの４辺の下面側角部に形成されている。

　粘着テープ２０に粘着された最上層基板４８は、押圧ローラ３２の移動に同期して押圧ローラ３２の移動方向に対して逆方向に基板巻き取りロール３０によって巻き取られ、図中点線の矢印方向に移動していく。最上層基板４８は、開口部１３ａの３辺のエッジ部５０で切断されつつ剥離されていく。押圧ローラ３２は移動に伴い矢印方向に転動する。なお、押圧ローラ３２は、開口部１３ａの図示右方側端部を超えてメタルマスク１０上に載るまで移動させるようにしてもよい。図７（ｂ）に示す状態、つまり剥離動作が終了し分離動作に移行する直前においては、マスク押えローラ４１はメタルマスク１０から離間しており、ストッパー部４３はストッパーローラ４０に粘着テープ２０を押圧して粘着テープ２０にブレーキを掛けて粘着テープ巻取りロール３０との間で粘着テープ２０に張力を与えて粘着テープ２０の弛みをなくす。

　続いて、図７（ｃ）に示すように、押圧ローラ３２を上昇させて剥離対象部分４６ａを最上層基板４８から分離する（ステップＳ６）。剥離対象部分４６ａは、押圧ローラ３２と共に上昇する粘着テープ２０の粘着力で引き剥がされ、開口部１３ａの図示右方側端部のエッジ部５０で切断されて最上層基板４８から分離される。ステップＳ６の動作中において、ストッパー部４３は、ストッパーローラ４０との間で粘着テープ２０にブレーキを掛けた状態で押圧ローラ３２と連動して上昇する。押圧ローラ３２が上昇を開始する前に、マスク押えローラ４１が降下してメタルマスク１０を押圧する。このことによって、剥離対象部分４６ａを切断・分離する際にメタルマスク１０がフレキシブル積層基板２から浮いてしまうことがない。メタルマスク１０と最上層基板４８との間に隙間がないことから最上層基板片４８ａを最上層基板４８から確実に分離することが可能となる。なお、粘着テープ巻き取りロール３０は、押圧ロール３２が上昇した距離分の粘着テープ２０を巻き取り、粘着テープ２０に弛みが発生しないようにしている。

　位置Ｐ１の剥離・分離動作が終了した後、押圧ローラ３２を位置Ｐ１の右方側にある位置Ｐ２に移動し剥離動作を開始する。具体的は、剥離ヘッド６を駆動し、押圧ローラ３２を位置Ｐ２に移動させ（ステップＳ７）、ステップＳ４～ステップＳ７を実行する。次いで、位置Ｐ３、位置Ｐ４の順に、開口部１３ａ内の剥離対象部分４６ａを前述したステップＳ４～ステップＳ７を繰り返して順に剥離・分離していく。なお、剥離順は、位置Ｐ４から位置Ｐ１に向かう順番に行ってもよく、剥離対象部４６の配列によって適宜変更可能である。

　Ａ群の剥離が終了したところで、剥離ヘッド６を次の剥離対象群であるＢ群に移動する（ステップ８）。Ｂ群においてもＡ群と同じように、位置Ｐ５、位置Ｐ６、位置Ｐ７の順にステップＳ３～ステップＳ７の各工程を繰り返して開口部１３ｂ内の剥離対象部分４６ｂを剥離する。まず、剥離ヘッド６をＡ群における剥離動作姿勢から９０度回転する。つまり、粘着テープ巻取りロール３０、押圧ロール３２及び粘着テープ送出しロール３１の配列をフレキシブル積層基板２の搬送方向に直交する姿勢とし、位置Ｐ５の開口部１３ｂの図示下方側の所定位置に押圧ロール３２を配置する（ステップＰ３）。そして、押圧ロール３２を図示上方側に移動しながら開口部１３ｂ内の剥離対象部分４６ｂを剥離・分離する。すなわち、ステップＳ４～ステップＳ７の工程を繰り返して位置Ｐ６、位置Ｐ７において剥離動作を繰り返す。Ｂ群の剥離動作がすべて終了後、剥離ヘッド６を次の剥離対象群であるＣ群に移動し、Ｃ群において剥離・分離動作を実行する。Ｂ群においても剥離順は、位置Ｐ７から位置Ｐ５の順番に行ってもよく、剥離対象部４６の配列によって適宜変更可能である。

　Ｃ群の２個の剥離対象部分４６ｃ、すなわち開口部１３ｃの配列は、Ａ群の配列に対し傾斜して配列されているため、位置Ｐ８、位置Ｐ９が独立しているかのように剥離動作を実行する。つまり、位置Ｐ８の剥離を行った後に、剥離ヘッド６を位置Ｐ９側に移動して剥離動作を実行する。図５（ａ）に示す例では、剥離ヘッド６の姿勢はＢ群の剥離動作時に対して変えなくてもよい。Ｃ群の剥離動作は、Ａ群及びＢ群の剥離動作を踏襲することが可能である。まず、位置Ｐ８の開口部１３ｃの図示上方側の所定位置に押圧ロール３２を配置する。そして、押圧ロール３２を図示下方側に移動しながら開口部１３ｃ内の剥離対象部分４６ｃを剥離・分離する。そして、押圧ローラ３２を位置Ｐ９に移動し、ステップＳ４～ステップＳ６の工程を繰り返して位置Ｐ９において剥離・分離動作を繰り返す。位置Ｐ９の次に位置Ｐ８の剥離を行うようにしてもよい。

　Ａ群、Ｂ群及びＣ群の剥離を終了した後、つまり、剥離対象範囲４９の剥離がすべて終了した後、剥離ヘッド６は図３に示す剥離装置１の起動前に戻って待機する。そして、テーブル９を降下し、フレキシブル積層基板２を次の剥離対象位置４９が所定位置に達するまで基板巻き取りロール２８によって搬送し、ステップＳ１～ステップＳ８を繰り返す。

　以上説明した剥離方法において、フレキシブル積層基板２の搬送、剥離ヘッド６の動作、押圧ローラ３２、基板巻取りロール２８、粘着テープ巻取りロール３０、ストッパーローラ４０及びストッパー部４３などの動作は、フレキシブル積層基板２の剥離対象部分４６の配置に適合するプログラムによって制御される。なお、Ａ群、Ｂ群、Ｃ群の剥離順は、例えば、Ｃ群、Ｂ群、Ａ群というように変更することが可能である

　以上説明した剥離方法は、剥離装置１を使用して最上層基板４８の剥離対象部分４６を粘着テープ２０の粘着力で下層基板４７から剥離する剥離方法である。剥離方法は、ワークとしての積層基板であるフレキシブル積層基板２を所定位置に搬送してメタルマスク１０に当接する位置に上昇させる工程と、メタルマスク１０の開口部１３と剥離対象部分４６との位置補正を行う工程と、押圧ローラ３２の押圧位置及び移動方向を剥離対象部分４６の配列に合わせる工程と、押圧ローラ３２を降下し、さらに開口部１３内に移動させることにより粘着テープ２０を最上層基板４８に押圧する工程と、粘着テープ２０を開口部１３内の最上層基板４８に押圧しつつ押圧ローラ３２を移動して剥離対象部分４６を開口部１３のエッジ部５０で切断しながら剥離する工程と、押圧ローラ３２をメタルマスク１０から離間する方向に上昇させて最上層基板片４８ａを下層基板４７から分離する工程と、を有する。

　このような剥離方法によれば、メタルマスク１０の開口部１３内において、最上層基板４８に粘着テープ２０の粘着層２０ｂを押圧した状態で押圧ローラ３２を移動することによって、開口部１３の下面側のエッジ部５０で剥離対象部分４６を切断しながら剥離していくことが可能となる。そして、押圧ローラ３２が開口部１３の押圧ローラ移動方向端部に達したところで押圧ローラ３２を上昇させて剥離対象部分の残りの接続部を開口部１３のエッジ部５０で切断し、剥離対象部分４６を最上層基板４８から分離することが可能となる。

　又、積層基板であるフレキシブル積層基板２は剥離対象範囲４９内に剥離対象部分４６を複数有し、メタルマスク１０は剥離対象部分４６の形状及び配列に対応する開口部１３を有しており、開口部１３の配列に合わせて押圧ローラ３２の押圧位置及び移動方向を切り換えることが可能となっている。

　このように、剥離対象部分４６の配列に対応して押圧ローラ３２の位置及び移動方向を切り換えれば、剥離対象範囲４９内に複数種類の剥離対象部分４６があり、配列方向が複数ある場合においても、メタルマスク１０を剥離対象部分の形状や配列に対応したものに切り換えたり、押圧ローラ３２や粘着テープ２０の幅を変えたりしなくても剥離対象部分４６の剥離を行うことが可能となる。従って、生産性を極めて高くすることが可能となる。

　なお、本実施の形態においては、剥離対象部分４６を剥離・分離した後に剥離残りや下層基板４７に汚れがないことを外観検査することが好ましい。この外観検査は、例えば検査用カメラなどによる画像処理で行うことが可能であり、或いは目視検査であってもよい。

　なお、以上説明した剥離装置１及び剥離方法においては、前述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。例えば、前述した実施の形態においては、剥離対象ワークとして２層構成のフレキシブル積層基板２を例示して説明したが、下層基板４７が多層基板やリジット基板など、或いは単板の積層基板、又は、半導体ウエハやディスプレイ装置などの保護フィルムの特定箇所のみを剥離するものに適用可能である。

　又、例えば、回路基板などの電子部品に限らず複数層からなる板状物品の最上層板の剥離においても、粘着テープで最上層板を引き上げメタルマスクのエッジで切断が可能なものであれば適用可能である。

　１…剥離装置、２…フレキシブル積層基板（積層基板）、６…剥離ヘッド、９…テーブル、１０…メタルマスク、１１…メタルマスク固定枠、１３（１３ａ、１３ｂ、１３ｃ）…開口部、１４…Ｘ軸駆動機構、１５…Ｙ軸駆動機構、１６…検出カメラ、１８…アライメント機構、１９…剥離ヘッド駆動機構、２０…粘着テープ、２０ａ…非粘着層、２０ｂ…粘着層、３０…粘着テープ巻取りロール、３１…粘着テープ送出しロール、３２…押圧ローラ、３３…θ軸駆動機構、３５…押圧ローラ昇降機構、３６…マスク押え機構、３７…ストッパー機構、４６（４６ａ、４６ｂ、４６ｃ）…剥離対象部分、４７…下層基板、４８…最上層基板、４９…剥離対象範囲、５０…エッジ部

Claims

　積層基板の最上層基板の剥離対象部分を粘着テープの粘着力で下層基板から剥離する剥離装置であって、
　前記剥離対象部分の範囲を規定する開口部を有するメタルマスクを保持固定するメタルマスク固定枠と、
　前記メタルマスクの上面から前記粘着テープの粘着層を前記開口部内の前記最上層基板に押圧する押圧ローラ、前記粘着テープを巻き取る粘着テープ巻取りロール及び前記粘着テープを送り出す粘着テープ送出しロールを有する剥離ヘッドと、
　前記剥離ヘッドの移動方向を切り換えることが可能、かつ前記最上層基板に前記粘着層を押圧した状態で前記押圧ローラを移動させる剥離ヘッド駆動機構と、
を有する、
ことを特徴とする剥離装置。
　請求項１に記載の剥離装置において、
　前記粘着テープ巻取りロールと前記粘着テープ送出しロールは、前記押圧ローラを挟んで平面視直線的に配置されており、
　前記剥離ヘッドは、前記押圧ローラ、前記粘着テープ巻取りロール及び前記粘着テープ送出しロールを前記メタルマスクの上面に沿って回転するθ軸駆動機構と、前記押圧ローラを前記メタルマスクの上面に対して鉛直方向に昇降させる押圧ローラ昇降機構と、
を有する、
ことを特徴とする剥離装置。
　請求項１又は請求項２に記載の剥離装置において、
　前記押圧ローラは可撓性を有しており、軸方向長さは前記押圧ローラの移動方向に対して直交する方向の前記開口部の最大幅よりも長く、
　前記粘着テープは、前記押圧ローラの移動軌跡外に配列される前記開口部に架からない幅である、
ことを特徴とする剥離装置。
　請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の剥離装置において、
　前記押圧ローラは、前記剥離対象部分に前記粘着テープを押圧して移動しつつ前記粘着テープの粘着力で剥離対象部分を前記開口部のエッジ部で切断しながら剥離していき、前記開口部の前記押圧ローラの移動方向側端部で前記粘着テープを前記積層基板から離れる方向に上昇させるように制御される、
ことを特徴とする剥離装置。
　請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の剥離装置において、
前記粘着テープ巻取りロールは、前記押圧ローラが前記粘着テープを前記最上層基板に押圧して移動する剥離動作に同期して前記粘着テープを巻き取るように制御される、
ことを特徴とする剥離装置。
　請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の剥離装置において、
　前記剥離ヘッドは、前記押圧ローラの前記粘着テープ送出しロール側の直近に配置されて前記押圧ローラの上昇動作中に前記粘着テープにブレーキを掛けるストッパー機構を有している、
ことを特徴とする剥離装置。
　請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の剥離装置において、
　前記剥離ヘッドは、前記押圧ローラの前記粘着テープ巻取りロール側の直近に配置されて前記押圧ローラの上昇動作中に前記メタルマスクを押えるマスク押え機構を有している、
ことを特徴とする剥離装置。
　請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の剥離装置において、
　前記メタルマスク固定枠は、前記開口部と前記剥離対象部分との位置補正を行うアライメント機構を有している、
ことを特徴とする剥離装置。
　請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の剥離装置において、
　少なくとも前記粘着テープが接触する部材には、非粘着処理が施されている、
ことを特徴とする剥離装置。
　請求項１から請求項９のいずれかに記載の剥離装置を使用して前記最上層基板の剥離対象部分を前記粘着テープの粘着力で前記下層基板から剥離する剥離方法であって、
　前記積層基板を所定位置に搬送して前記メタルマスクに当接する位置に上昇させる工程と、
　前記メタルマスクの開口部と前記剥離対象部分との位置補正を行う工程と、
　前記押圧ローラの押圧位置及び移動方向を前記剥離対象部分の配列に合わせる工程と、
　前記押圧ローラを降下し、さらに前記開口部に移動させることにより前記粘着テープを前記加工部内の前記最上層基板に押圧する工程と、
　前記粘着テープを前記開口部内の前記最上層基板に押圧しつつ前記押圧ローラを移動して前記剥離対象部分を前記開口部のエッジ部で切断しながら剥離する工程と、
　前記押圧ローラを前記メタルマスクから離間する方向に上昇させて最上層基板片を前記下層基板から分離する分離工程と、
を含む、
ことを特徴とする剥離方法。
　請求項１０に記載の剥離方法において、
　前記積層基板は、剥離対象範囲内に前記剥離対象部分を複数有し、
前記メタルマスクは、前記剥離対象部分の形状及び配列に対応する開口部を有しており、
　前記開口部の配列に合わせて前記押圧ローラの押圧位置及び移動方向を切り換える、
ことを特徴とする剥離方法。