ATA211088A - Verfahren und vorrichtung zum aufdampfen einer beschichtung auf einem traeger im vakuum - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum aufdampfen einer beschichtung auf einem traeger im vakuum

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US3361591A (en) * 1964-04-15 1968-01-02 Hughes Aircraft Co Production of thin films of cadmium sulfide, cadmium telluride or cadmium selenide
CH626407A5 (de) * 1977-07-08 1981-11-13 Balzers Hochvakuum
DE3204337A1 (de) * 1981-02-10 1982-11-04 Fuji Photo Film Co., Ltd., Minami-Ashigara, Kanagawa Verfahren und vorrichtung zum bilden eines duennen films
JPS62500110A (ja) * 1984-06-12 1987-01-16 キエフスキ　ポリテヒニチェスキ　インスティテュト　イメニ　５０−レティア　ベリコイ　オクトヤブルスコイ　ソツィアリスティチェスコイ　レボリュツィイ 真空中でフィルムを蒸着させるための蒸発器

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