ATE269170T1 - Verfahren und vorrichtung zur herstellung von dünnen filmen aus polymeren oder verbundmaterialien auf verschiedenen substraten - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur herstellung von dünnen filmen aus polymeren oder verbundmaterialien auf verschiedenen substraten

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ATE269170T1
ATE269170T1 AT96830429T AT96830429T ATE269170T1 AT E269170 T1 ATE269170 T1 AT E269170T1 AT 96830429 T AT96830429 T AT 96830429T AT 96830429 T AT96830429 T AT 96830429T AT E269170 T1 ATE269170 T1 AT E269170T1
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fipol
homogeneous
polymers
thin film
metals
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AT96830429T
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Sara Carturan
Mea Gianantonio Della
Ugo Pieri
Original Assignee
Istituto Naz Di Fisica Nuclear
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/60—Deposition of organic layers from vapour phase
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/12—Organic material

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