ATE361427T1 - Verfahren zur herstellung eines mikromechanischen bauteils, vorzugsweise für fluidische anwendungen und mikropumpe mit einer pumpmemembran aus einer polysiliciumschicht - Google Patents

Verfahren zur herstellung eines mikromechanischen bauteils, vorzugsweise für fluidische anwendungen und mikropumpe mit einer pumpmemembran aus einer polysiliciumschicht

Info

Publication number
ATE361427T1
ATE361427T1 AT04738869T AT04738869T ATE361427T1 AT E361427 T1 ATE361427 T1 AT E361427T1 AT 04738869 T AT04738869 T AT 04738869T AT 04738869 T AT04738869 T AT 04738869T AT E361427 T1 ATE361427 T1 AT E361427T1
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
layer
etch stop
producing
functional
stop layer
Prior art date
Application number
AT04738869T
Other languages
English (en)
Inventor
Matthias Fuertsch
Hubert Benzel
Stefan Finkbeiner
Stefan Pinter
Frank Fischer
Heiko Stahl
Tjalf Pirk
Original Assignee
Bosch Gmbh Robert
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=34088871&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=ATE361427(T1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Bosch Gmbh Robert filed Critical Bosch Gmbh Robert
Application granted granted Critical
Publication of ATE361427T1 publication Critical patent/ATE361427T1/de

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04—Pumps having electric drive
    • F04B43/043—Micropumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
AT04738869T 2003-07-28 2004-07-07 Verfahren zur herstellung eines mikromechanischen bauteils, vorzugsweise für fluidische anwendungen und mikropumpe mit einer pumpmemembran aus einer polysiliciumschicht ATE361427T1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10334240A DE10334240A1 (de) 2003-07-28 2003-07-28 Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauteils vorzugsweise für fluidische Anwendungen und Mikropumpe mit einer Pumpmembran aus einer Polysiliciumschicht

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ATE361427T1 true ATE361427T1 (de) 2007-05-15

Family

ID=34088871

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT04738869T ATE361427T1 (de) 2003-07-28 2004-07-07 Verfahren zur herstellung eines mikromechanischen bauteils, vorzugsweise für fluidische anwendungen und mikropumpe mit einer pumpmemembran aus einer polysiliciumschicht

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7740459B2 (de)
EP (1) EP1651867B1 (de)
AT (1) ATE361427T1 (de)
DE (2) DE10334240A1 (de)
WO (1) WO2005015021A1 (de)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7620717B2 (en) * 2003-09-12 2009-11-17 Ricoh Co., Ltd. Method and system for remote diagnostic, control and information collection based on various communication modes for sending messages to a resource manager
DE102005042648B4 (de) * 2005-09-08 2007-06-21 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung von kommunizierenden Hohlräumen
DE112007000722B4 (de) * 2006-03-29 2013-07-04 Murata Manufacturing Co., Ltd. Mikropumpe
US8051905B2 (en) * 2006-08-15 2011-11-08 General Electric Company Cooling systems employing fluidic jets, methods for their use and methods for cooling
DE102006040343A1 (de) * 2006-08-29 2008-03-06 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung von Bauteilen zur Steuerung eines Fluidflusses sowie Bauteile, hergestellt nach diesem Verfahren
DE602006009405D1 (de) 2006-10-28 2009-11-05 Sensirion Holding Ag Mehrzellenpumpe
DE102007035721B4 (de) 2007-07-30 2019-02-07 Robert Bosch Gmbh Mikroventil, Verfahren zum Herstellen eines Mikroventils sowie Mikropumpe
DE102007045637A1 (de) * 2007-09-25 2009-04-02 Robert Bosch Gmbh Mikrodosiervorrichtung zum Dosieren von Kleinstmengen eines Mediums
DE102008003792A1 (de) * 2008-01-10 2009-07-16 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Herstellen einer Mikropumpe sowie Mikropumpe
DE102008041178B4 (de) * 2008-08-12 2018-11-15 Robert Bosch Gmbh Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil
DE102008042054A1 (de) 2008-09-12 2010-03-18 Robert Bosch Gmbh Mikroventil, Mikropumpe sowie Herstellungsverfahren
FR2952628A1 (fr) * 2009-11-13 2011-05-20 Commissariat Energie Atomique Procede de fabrication d'au moins une micropompe a membrane deformable et micropompe a membrane deformable
DE102010038733A1 (de) 2010-07-30 2012-02-02 Robert Bosch Gmbh Modulare Mikronadel-Transportvorrichtung
FR2974598B1 (fr) * 2011-04-28 2013-06-07 Commissariat Energie Atomique Micropompe a debitmetre et son procede de realisation
US10950497B2 (en) 2018-11-26 2021-03-16 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Electrical connection for semiconductor devices
US10743442B2 (en) * 2018-12-11 2020-08-11 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Cooling devices including jet cooling with an intermediate mesh and methods for using the same

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5096388A (en) 1990-03-22 1992-03-17 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Microfabricated pump
DE4035852A1 (de) * 1990-11-10 1992-05-14 Bosch Gmbh Robert Mikroventil in mehrschichtenaufbau
DE19511198A1 (de) 1995-03-27 1996-10-02 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Herstellung von Strukturen, insbesondere für ein Mikrodosiersystem
EP1003973B1 (de) 1997-08-20 2003-04-16 Westonbridge International Limited Mikropumpe mit einem einlasssteuerorgan zum selbstansaugen
AU7250001A (en) * 2000-05-25 2001-12-03 Westonbridge Internat Ltd Micromachined fluidic device and method for making same
CA2311622A1 (en) * 2000-06-15 2001-12-15 Moussa Hoummady Sub-nanoliter liquid drop dispensing system and method therefor
US6572218B2 (en) 2001-01-24 2003-06-03 Xerox Corporation Electrostatically-actuated device having a corrugated multi-layer membrane structure

Also Published As

Publication number Publication date
WO2005015021A1 (de) 2005-02-17
EP1651867A1 (de) 2006-05-03
EP1651867B1 (de) 2007-05-02
US7740459B2 (en) 2010-06-22
US20060186085A1 (en) 2006-08-24
DE10334240A1 (de) 2005-02-24
DE502004003703D1 (de) 2007-06-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE361427T1 (de) Verfahren zur herstellung eines mikromechanischen bauteils, vorzugsweise für fluidische anwendungen und mikropumpe mit einer pumpmemembran aus einer polysiliciumschicht
ATE350333T1 (de) Verfahren zur herstellung aufgehängter poröser siliziummikrostrukturen und anwendung in gassensoren
Kim et al. A disposable thermopneumatic-actuated micropump stacked with PDMS layers and ITO-coated glass
ATE509355T1 (de) Verfahren zur herstellung einer nanolücke für variable kapazitive elemente
TW200744940A (en) Non-planar surface structures and process for microelectromechanical systems
ATE544093T1 (de) Imprintmethode zur herstellung einer reliefschicht und deren nutzung als ätzmaske
DE60223193D1 (de) Herstellung von intergrierten fluidischen Vorrichtungen
ATE504082T1 (de) Verfahren zur herstellung einer heteroepitaktischen mikrostruktur
ATE284120T1 (de) Verfahren zur bereitstellung einer hydrophoben schicht und kondesatormikrofon mit einer solchen schicht
EP1752415A3 (de) Herstellungsverfahren einer hängenden MEMS Struktur
KR20020091856A (ko) 점착 방지 미세 구조물 제조 방법
DE60215642D1 (de) Membran für Mikroelektromekanischen Schalter und Verfahren zu dessen Herstellung und Verwendung
WO2009005863A3 (en) Fabricating complex micro and nanoscale structures, electronic devices, and components
AT11920U2 (de) Verfahren zur herstellung einer mems-vorrichtung mit hohem aspektverhältnis, sowie wandler und kondensator
CN103663357B (zh) 硅的刻蚀方法
ATE528256T1 (de) Verfahren zur gemeinsamen herstellung von membranen und hohlräumen mit kleinem volumen und grosser masshaltigkeit
US9556018B2 (en) Three-dimensional nano-structure array
US8865007B2 (en) Method for making three-dimensional nano-structure array
Gao et al. Material characterization and transfer of large-area ultra-thin polydimethylsiloxane membranes
TW200731336A (en) Manufacturing method of microstructure and microelectromechanical system
Arscott et al. A polysilicon nanoelectrospray–mass spectrometry source based on a microfluidic capillary slot
Balakrisnan et al. Challenges in the microfabrication of dielectric elastomer actuators
Kakati et al. Unveiling the wet chemical etching characteristics of polydimethylsiloxane film for soft micromachining applications
Pal et al. A novel process for perfect convex corner realization in bulk micromachining
Niimi et al. Polymer micromachining based on Cu On Polyimide substrate and its application to flexible MEMS sensor

Legal Events

Date Code Title Description
REN Ceased due to non-payment of the annual fee