ATE390759T1 - Piezoelektrischer resonator mit kleinen abmessungen - Google Patents
Piezoelektrischer resonator mit kleinen abmessungenInfo
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- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP05105087A EP1732220B1 (de) | 2005-06-09 | 2005-06-09 | Piezoelektrischer Resonator mit kleinen Abmessungen |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| ATE390759T1 true ATE390759T1 (de) | 2008-04-15 |
Family
ID=35478229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| AT05105087T ATE390759T1 (de) | 2005-06-09 | 2005-06-09 | Piezoelektrischer resonator mit kleinen abmessungen |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP1732220B1 (de) |
| JP (1) | JP4904091B2 (de) |
| CN (1) | CN1881790B (de) |
| AT (1) | ATE390759T1 (de) |
| DE (1) | DE602005005647T2 (de) |
| TW (1) | TWI383585B (de) |
Families Citing this family (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ATE421799T1 (de) * | 2005-06-09 | 2009-02-15 | Eta Sa Mft Horlogere Suisse | Kompakter piezoelektrischer resonator |
| ATE390758T1 (de) * | 2005-06-09 | 2008-04-15 | Eta Sa Mft Horlogere Suisse | Piezoelektrischer resonator und anordnung mit dem in ein gehäuse eingeschlossenen resonator |
| JP4578499B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2010-11-10 | 京セラキンセキ株式会社 | 音叉型屈曲水晶振動素子、及びそれを搭載した水晶振動子並びに水晶発振器 |
| ATE453954T1 (de) * | 2007-07-19 | 2010-01-15 | Eta Sa Mft Horlogere Suisse | Piezoelektrischer resonator mit optimierten bewegungsfähigkeiten |
| JP2009206759A (ja) * | 2008-02-27 | 2009-09-10 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法 |
| JP4885206B2 (ja) | 2008-12-22 | 2012-02-29 | 日本電波工業株式会社 | 音叉型圧電振動片および圧電デバイス |
| US8067880B2 (en) * | 2008-12-27 | 2011-11-29 | Seiko Epson Corporation | Flexural vibration element and electronic component |
| CN103199817B (zh) * | 2009-12-02 | 2015-11-18 | 威华微机电股份有限公司 | 音叉型石英晶体谐振器 |
| JP5476964B2 (ja) * | 2009-12-09 | 2014-04-23 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、発振器、ジャイロ及び電子機器 |
| JP5520618B2 (ja) * | 2010-01-21 | 2014-06-11 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 音叉型屈曲水晶振動素子 |
| FI124103B (fi) * | 2010-02-22 | 2014-03-14 | Murata Electronics Oy | Parannettu mikromekaaninen resonaattori |
| US8692632B2 (en) * | 2010-03-17 | 2014-04-08 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, and electronic device |
| CN102176665B (zh) * | 2011-01-07 | 2015-03-18 | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 | 压电振动器 |
| EP2613440B1 (de) * | 2012-01-09 | 2019-07-10 | Micro Crystal AG | Kleiner piezolektrischer Stimmgabelresonator |
| JP6119134B2 (ja) | 2012-07-19 | 2017-04-26 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器および電子機器 |
| JP2014057236A (ja) * | 2012-09-13 | 2014-03-27 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器、電子機器及び移動体 |
| JP2014135654A (ja) | 2013-01-10 | 2014-07-24 | Sii Crystal Technology Inc | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
| JP6013228B2 (ja) | 2013-02-25 | 2016-10-25 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
| JP6148502B2 (ja) | 2013-03-11 | 2017-06-14 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
| JP6148881B2 (ja) | 2013-03-11 | 2017-06-14 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
| JP6155897B2 (ja) | 2013-06-24 | 2017-07-05 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器及び移動体 |
| JP6168949B2 (ja) * | 2013-09-25 | 2017-07-26 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片および圧電振動子 |
| JP6216213B2 (ja) * | 2013-10-29 | 2017-10-18 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、及び圧電振動子 |
| JP6375622B2 (ja) | 2013-12-27 | 2018-08-22 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、電子機器、センサーおよび移動体 |
| JP2015170965A (ja) | 2014-03-06 | 2015-09-28 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片及び圧電振動子 |
| JP6419491B2 (ja) * | 2014-09-03 | 2018-11-07 | 京セラ株式会社 | 水晶振動素子 |
| EP3468036A1 (de) * | 2017-10-03 | 2019-04-10 | Micro Crystal AG | Piezoelektrischer resonator kleiner grösse |
| JP2019165348A (ja) * | 2018-03-20 | 2019-09-26 | 日本電波工業株式会社 | 音叉型水晶振動子 |
Family Cites Families (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5115388A (ja) * | 1974-07-29 | 1976-02-06 | Citizen Watch Co Ltd | Suishoshindoshi |
| JPS58170110A (ja) * | 1982-03-30 | 1983-10-06 | Citizen Watch Co Ltd | 水晶振動子 |
| JPS6196812A (ja) * | 1984-10-17 | 1986-05-15 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品 |
| JPH02268220A (ja) * | 1989-04-10 | 1990-11-01 | Tokimec Inc | ジャイロ装置 |
| JPH03151707A (ja) * | 1989-11-08 | 1991-06-27 | Seiko Electronic Components Ltd | 表面実装型水晶振動子 |
| JP4050343B2 (ja) * | 1996-04-02 | 2008-02-20 | 富士通株式会社 | 音叉型振動ジャイロ |
| JP2000049561A (ja) * | 1998-07-24 | 2000-02-18 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電振動子の構造及びその製造方法 |
| JP4852195B2 (ja) * | 1999-01-20 | 2012-01-11 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型水晶振動子 |
| JP3858575B2 (ja) * | 2000-09-01 | 2006-12-13 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器及び携帯電話装置 |
| JP2002141770A (ja) * | 2000-11-01 | 2002-05-17 | Citizen Watch Co Ltd | 小型振動子 |
| US6628048B2 (en) * | 2000-11-29 | 2003-09-30 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Crystal oscillator with improved shock resistance |
| TW567664B (en) * | 2001-10-09 | 2003-12-21 | Ebauchesfabrik Eta Ag | Piezoelectric resonator and assembly comprising the same enclosed in a case |
| JP2004289650A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法 |
| JP4219737B2 (ja) * | 2003-05-30 | 2009-02-04 | リバーエレテック株式会社 | 圧電振動子 |
| JP3951058B2 (ja) * | 2003-08-19 | 2007-08-01 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型圧電振動片 |
| ATE421799T1 (de) * | 2005-06-09 | 2009-02-15 | Eta Sa Mft Horlogere Suisse | Kompakter piezoelektrischer resonator |
| ATE390758T1 (de) * | 2005-06-09 | 2008-04-15 | Eta Sa Mft Horlogere Suisse | Piezoelektrischer resonator und anordnung mit dem in ein gehäuse eingeschlossenen resonator |
-
2005
- 2005-06-09 AT AT05105087T patent/ATE390759T1/de not_active IP Right Cessation
- 2005-06-09 EP EP05105087A patent/EP1732220B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2005-06-09 DE DE602005005647T patent/DE602005005647T2/de not_active Expired - Lifetime
-
2006
- 2006-05-25 TW TW095118632A patent/TWI383585B/zh active
- 2006-06-05 JP JP2006156196A patent/JP4904091B2/ja active Active
- 2006-06-09 CN CN2006100879828A patent/CN1881790B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1881790B (zh) | 2010-06-09 |
| EP1732220B1 (de) | 2008-03-26 |
| HK1098886A1 (en) | 2007-07-27 |
| JP4904091B2 (ja) | 2012-03-28 |
| DE602005005647D1 (de) | 2008-05-08 |
| DE602005005647T2 (de) | 2009-04-16 |
| TW200711298A (en) | 2007-03-16 |
| TWI383585B (zh) | 2013-01-21 |
| EP1732220A1 (de) | 2006-12-13 |
| CN1881790A (zh) | 2006-12-20 |
| JP2006345517A (ja) | 2006-12-21 |
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| ATE417405T1 (de) | Piezoelektrischer resonator mit kleinen abmessungen | |
| JP2012054946A5 (de) |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RER | Ceased as to paragraph 5 lit. 3 law introducing patent treaties |