ATE429699T1 - Verfahren zur herstellung einer matrize für optisches informationsaufzeichnungsmedium - Google Patents

Verfahren zur herstellung einer matrize für optisches informationsaufzeichnungsmedium

Info

Publication number
ATE429699T1
ATE429699T1 AT04012009T AT04012009T ATE429699T1 AT E429699 T1 ATE429699 T1 AT E429699T1 AT 04012009 T AT04012009 T AT 04012009T AT 04012009 T AT04012009 T AT 04012009T AT E429699 T1 ATE429699 T1 AT E429699T1
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
master
concavo
forming
conductive film
convex pattern
Prior art date
Application number
AT04012009T
Other languages
English (en)
Inventor
Eiichi Ito
Eiji Ohno
Morio Tomiyama
Original Assignee
Panasonic Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp filed Critical Panasonic Corp
Application granted granted Critical
Publication of ATE429699T1 publication Critical patent/ATE429699T1/de

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
    • G11B7/261—Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
    • G11B7/263—Preparing and using a stamper, e.g. pressing or injection molding substrates
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
    • G11B7/266—Sputtering or spin-coating layers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
AT04012009T 2003-06-23 2004-05-21 Verfahren zur herstellung einer matrize für optisches informationsaufzeichnungsmedium ATE429699T1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003178133 2003-06-23

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ATE429699T1 true ATE429699T1 (de) 2009-05-15

Family

ID=33411037

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT04012009T ATE429699T1 (de) 2003-06-23 2004-05-21 Verfahren zur herstellung einer matrize für optisches informationsaufzeichnungsmedium

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20040256762A1 (de)
EP (1) EP1492102B1 (de)
KR (1) KR20050000310A (de)
CN (1) CN100373487C (de)
AT (1) ATE429699T1 (de)
DE (1) DE602004020709D1 (de)
TW (1) TW200504746A (de)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008527590A (ja) * 2005-01-06 2008-07-24 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ マスタリング方法及びマスタリング基板
JP4320312B2 (ja) * 2005-06-02 2009-08-26 株式会社日立製作所 相変化膜を含む記録媒体の製造方法
KR101265321B1 (ko) 2005-11-14 2013-05-20 엘지디스플레이 주식회사 스탬프 제조 방법, 그를 이용한 박막트랜지스터 및액정표시장치의 제조 방법
FR2909797B1 (fr) * 2006-12-08 2009-02-13 Commissariat Energie Atomique Formation de zones en creux profondes et son utilisation lors de la fabrication d'un support d'enregistrement optique
JP5194129B2 (ja) * 2008-10-14 2013-05-08 旭化成株式会社 熱反応型レジスト材料、それを用いた熱リソグラフィ用積層体及びそれらを用いたモールドの製造方法
EP2273501A1 (de) * 2009-06-24 2011-01-12 Singulus Mastering B.V. Masterplatte mit einer PTM-Schicht und einer Nickelgrundschicht
CN104597719B (zh) * 2015-01-12 2016-09-14 北京同方生物芯片技术有限公司 基于正性光刻胶的镍阳模具制作方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57130430A (en) * 1981-02-06 1982-08-12 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Pattern formation
JPS6045956A (ja) * 1983-08-20 1985-03-12 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 光ディスク原盤作成方法
JPS6222249A (ja) * 1985-07-19 1987-01-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学式記録担体およびその製造方法
GB8818835D0 (en) * 1988-08-09 1988-09-14 Plasmon Data Systems Ltd Intermediate smoothing during optical disk manufacture
US5051340A (en) * 1989-06-23 1991-09-24 Eastman Kodak Company Master for optical element replication
JPH06175172A (ja) * 1992-07-13 1994-06-24 Fujitsu Ltd 非線形光学材料、その製造方法並びにそれを用いた非線形光学デバイス及び方向性結合型光スイッチ
JP3058062B2 (ja) * 1995-10-13 2000-07-04 日本電気株式会社 光ディスク用記録原盤の製造方
US6814897B2 (en) * 1998-03-27 2004-11-09 Discovision Associates Method for manufacturing a molding tool used for substrate molding
JP3971561B2 (ja) * 2000-10-05 2007-09-05 株式会社リコー 光記録媒体
WO2002019322A1 (fr) * 2000-08-28 2002-03-07 Nikon Corporation Support d'enregistrement d'information optique, horodateur et procede de fabrication d'un horodateur
JP2002184045A (ja) * 2000-12-14 2002-06-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光ディスク用ネガ型レジスト層付き基材、光ディスク用スタンパの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20040256762A1 (en) 2004-12-23
TW200504746A (en) 2005-02-01
EP1492102B1 (de) 2009-04-22
DE602004020709D1 (de) 2009-06-04
CN1573999A (zh) 2005-02-02
CN100373487C (zh) 2008-03-05
EP1492102A2 (de) 2004-12-29
EP1492102A3 (de) 2007-07-25
KR20050000310A (ko) 2005-01-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE602006010307D1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Stempel für Mikro/Nano Imprint-Lithographie
DE60334825D1 (de) Verfahren zur herstellung eines originals für optische datenträgerbenutzung und verfahren zur herstellung eines optischen datenträgers
ATE535907T1 (de) Informationsspeichermedium sowie verfahren und vorrichtung zur aufzeichnung und/oder wiedergabe von daten
ATA119098A (de) Verfahren zur erzeugung eines kohlenstoffilmes auf einem substrat
TW200627446A (en) Master substrate and method of manufacturing a high-density relief structure
ATE429699T1 (de) Verfahren zur herstellung einer matrize für optisches informationsaufzeichnungsmedium
WO2009022442A1 (ja) ピットパターンで情報が記録された媒体を製造する方法
DE60238406D1 (de) Verfahren zur herstellung einer originalplatte für ein optisches informationsaufzeichnungsmedium
SG131019A1 (en) Magnetic recording medium, method of manufacturing the same, and magnetic recording/reproducing apparatus
ATE435487T1 (de) Verfahren zur herstellung eines prägestempels für optische informationsmedien, originalplatte eines solchen prägestempels
DE60218750D1 (de) Verfahren zur herstellung von oxidschichten mit unterschiedlicher dicke auf einer substratoberfläche
TW200511302A (en) Method for producing a master disk of a recording medium, method for producing a stamper, method for producing a recording medium, master disk of a recording medium, stamper of a recording medium, and recording medium
ATE521968T1 (de) Verfahren zur herstellung eines stempels zur herstellung eines optischen datenträgers und herstellungsverfahren für optische datenträger
US20130032958A1 (en) Apparatus and method of manufacturing light guide plate
DE60105141D1 (de) Verfahren zur Herstellung einer organischen Dünnschicht
DE69814754D1 (de) Polycarbonatharz zur Herstellung eines Substrates für optisches Aufzeichnungsmedium
ATE375592T1 (de) Verfahren zur herstellung einer masterplatte für ein optisches aufzeichnungsmedium, verfahren zur herstellung eines musters, einer mutterplatte, einer matrize, eines optischen aufzeichnungsmediums und eines resists
EP1291859A3 (de) Verfahren zur Herstellung von Matrizen für optische Informationsmedien, Photoresist Originalplatte dafür, Matrize für optische Informationsmedien, und optisches Informationsmedium
ATE552587T1 (de) Verfahren zur aufzeichnung von holografischen informationen und vorrichtung zur aufzeichnung/wiedergabe holografischer informationen
DE602005022918D1 (de) Optischer datenträger und verfahren zur herstellung eines optischen datenträgers
ATE357029T1 (de) Verfahren zur herstellung eines datenträgers
JP2012252771A (ja) 単一の記録マスタから両面テンプレートを作成する方法および装置ならびに第二面テンプレート
ATE472796T1 (de) Mutterplatte zur herstellung einer matrize, matrize, speichermedium, und verfahren zur herstellung der mutterplatte, der matrize und des speichermediums
DE60230985D1 (de) Verfahren zur herstellung einer matrize für optische platten
MXPA04001914A (es) Medio de almacenamiento optico y metodo de manufactura del mismo.

Legal Events

Date Code Title Description
RER Ceased as to paragraph 5 lit. 3 law introducing patent treaties