ATE458384T1 - Verfahren zur erzeugung eines grundplasmas, um ein gleichförmiges plasma für eine zieloberfläche zu erzeugen und erzeugungsvorrichtung dafür - Google Patents

Verfahren zur erzeugung eines grundplasmas, um ein gleichförmiges plasma für eine zieloberfläche zu erzeugen und erzeugungsvorrichtung dafür

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ATE458384T1
ATE458384T1 AT00420172T AT00420172T ATE458384T1 AT E458384 T1 ATE458384 T1 AT E458384T1 AT 00420172 T AT00420172 T AT 00420172T AT 00420172 T AT00420172 T AT 00420172T AT E458384 T1 ATE458384 T1 AT E458384T1
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target surface
device therefor
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AT00420172T
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Thierry Lagarde
Jacques Pelletier
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St Plasmas
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