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RESISTANCES ELECTRIQUES ET PROCEDE POUR LEUR OBTENTION.
La présente invention est relative aux résistances électriques à revêtement de carbone et aux procédés pour leur obtention.
Les éléments de résistance électrique sont communément formés soit comme revêtement de carbone, sur une base non conductrice, telle qu'une base en matière céramique, soit comme fil de résistance métallique, ordinai- rement enroulé en hélice sur une base non conductrice. Les résistances au car- bone sont ordinairement beaucoup moins coûteuses que les résistances à fil enroulé. De plus, ces résistances au carbone permettent d'atteindre des valeurs de résistance beaucoup plus élevées et ne présentent pas les propriétés induc- tives des résistances constituées par un fil métallique enroulé. Par contre, ces dernières résistances possèdent, outre certains autres avantages, un coef- ficient température-résistance sensiblement moindre que les résistances à re- vêtement de carbone connues jusqu'à présent.
Ainsi, les résistances à revêtement de carbone plus stables vis-à- vis des changements de température possèdent, à température ambiante, des coefficients de résistance s'élevant en moyenne, dans la large gamme des va- leurs de résistance, au voisinage de 300 parties par million par degré centi- grade (PPM/ C), tandis que les résistances à fil enroulé connues présentent, dans une gamme plus limitée de valeurs de résistance, des coefficients de tem- pérature s'élevant en moyenne à 100 PPM/ C. Dès lors, dans les circuits élec- triques nécessitant une grande stabilité des valeurs de résistance, dans une gamme considérable de températures, il est souvent nécessaire d'employer les résistances à fil enroulé, qui sont plus coûteuses.
Avec la tendance à l'utilisation de fréquences de plus en plus éle- vées, les limitations des résistances connues sont devenues plus apparenteso A mesure que la fréquence croît, l'effet inductif des résistances à fil en- roulé, combiné avec leur effet de concentration de la densité de courant en surface, rend leur utilisation de moins en moins souhaitable et finalement
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impossibleo Il est, par conséquent, nécessaire d'employer des résistances à revêtement de carbone dans les circuits destinés à porter ces fréquences plus élevées.
La stabilité des valeurs de résistance dans une certaine gam- me de températures peut., dans de tels circuits, n'être obtenue qu'en utili- sant des résistances à revêtement de carbone, dont les coefficients tempéra- ture-résistance sont moins élevés que ceux des résistances de ce type connues antérieurement.
Les résistances suivant la présente invention sont revêtues d'une couche de carbone contenant une certaine proportion de bore, ces deux con- stituants étant déposés simultanément, à température élevée, sur une base non conductrice, à partir d'un gaz ou d'un mélange gazeux contenant du bore et du carboneo Ces résistances possèdent de plus faibles coefficients tempé- rature-résistance que les résistances à revêtement de carbone simlaires, qui sont exemptes de bore et qui possèdent des valeurs de résistance comparableso En proportionnant convenablement le bore et le carbone et en réglant., de ma- nière appropriée, les conditions de dépôt, on obtient des résistances,
qui possèdent des coefficients température-résistance comparables ou inférieurs aux valeurs moyennes pouvant être obtenues avec des résistances à fil enrou- lé, à savoir des coefficients de 100 PPM/ C ou moinsoDe plus;, en introdui- sant des teneurs relativement élevées en bore dans la couche de carbone, il est possible d'obtenir des résistances qui;, pour des dimensions données pos- sèdent des valeurs de résistance considérablement plus élevées que celles pouvant être obtenues avec d'autres résistances à revêtement de carbone.
Le dessin annexé au présent mémoire représente, partie en coupe et partie en élévation frontale., une forme d'exécution d'une résistance sui- vant la présente invention.
La résistance représentée sur le dessin est constituée d'une ba- se non conductrice 1, communément réalisée en une matière céramique et revê- tue superficiellement d'une couche de carbone et de bore. Des bornes métalli- ques 4 sont assujetties à chaque extrémité de la résistance et sont en con- tact électrique avec la couche de carbone. Un bon contact est ordinairement assuré entre les bornes et la couche de carbone, en formant une pellicule mé- tallisée sur la couche de carbone, avant l'application des bornes. Cette pel- licule métallisée peut être formée à l'aide d'une composition de métallisa- tion habituelle, telle que la pâte à l'argent ordinaire.
Dans la forme de résistance représentée sur le dessin;, une rainure hélicoïdale 3 est découpée dans la base 1, à travers la couche de carbone 2, de façon à allonger le tra- jet électrique passant au travers de la couche de carbone et à augmenter la valeur de la résistance.
Comme base pour la résistance, on peut employer n'importe quelle matière non conductricequi puisse résister aux conditions dans lequelles s'opère le dépôt de la couche de carbone. Des matières céramiques telles que des matières vitreuses;, comme le verre ou la silice fondue, des matières ana- logues à la porcelaine., comme celles qu'on peut former par la calcination d'une masse de particules d'un oxyde réfractaire., tel que la silice, l'alu- mine, la magnésie, l'oxyde de calciums l'oxyde de baryum, l'oxyde -de stron- tium, l'oxyde de titane, l'oxyde de zirconium ou des mélanges de ces oxydes réfractaires ou d'oxydes similaires l'un avec l'autre ou avec d'autres oxy- des, tels que l'oxyde de lithium ou l'oxyde de sodium, ou encore des corps cristallins,, notamment un cristal de quartz., de rubis,
de saphir ou de zircon sont les matières convenant le mieux pour former les bases des résistances à revêtement de carbone.
On préfère utiliser des corps en matière cétamique qui possèdent une surface extrêmement peu poreuse? en raison de leur teneur substantielle en verre. Ces corps sont formés à partir d'argile, de silice et d'un mélan- ge calciné d'au moins trois oxydes de métaux alcalino-terreux, en propor- tions telles qu'on obtienne un produit contenant de 60 à 68 mol % de SiO2, de 17 à 23 mol % de Al2O3, et pour le reste les oxydes des métaux alcalino- terreux, chacun de ceux-ci étant présent à raison d'au moins 1 mol %.
Un
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corps en matière céramique de ce type, présentant une qualité supérieure, est obtenu en formant d'abord un calcin de 60 parties en poids de kaolin, 10 parties de MgCO3, 10 parties de CaCO3, 10 parties de SrCO3 et 10 parties de BaC03 par calcination à 1200 C, puis en broyant le calcin jusqu'à 325 mailleso A 35 parties de ce calcin, on ajoute 50 parties de kaolin et 15 parties de silex broyé. Le mélange résultant est mélangé à de l'eau, mis en forme, séché et calciné à 1250 C.
Comme indiqué ci-dessus., la couche de carbone et de bore est dé- posée à chaud sur la base, à partir d'un gaz contenant du bore et du carbo- ne. Un tel dépôt peut, par exemple;, s'effectuer en déposant sur une base de matière céramique une couche de carbone et de bore,à partir d'un mélange gazeux d'hydrogène,de vapeur de benzène et de vapeur de trichlorure de bore. L'appareillage utilisé pour ce dépôt comprend, par exemple, un four chauffé par résistance, comportant un espace libre central cylindrique d'un diamètre de 4 pouces et d'une longueur de 10 pouces. Au centre de cet espa- ce est placé un flacon rotatifdesilice fondue, dont lediamètre extérieur est de 3 pouces et la longueur de 4 pouces.
A une extrémité du flacon est adap- té, par fusion, un long col, tandis qu'à l'autre extrémité de ce flacon est adapté, également par fusion, un court tube de faible diamètre pour les gaz d'échappement.
Le flacon est chargé par le long col de 30 morceaux cylindriques de matière céramique d'un diamètre d'l/8e de pouce et d'une longueur de 3/4 de pouce. Ces morceaux de matière céramique sont formés à l'aide de la matière spécifiée ci-dessus. En outre,30 ce de particules de quartz de 60 à 80 mailles et 20 billes d'alumine d'un diamètre d'un quart de pouce sont placés dans le flacon. Les particules fines sont ajoutées pour conférer un effet de lissage au dépôt de carbone et de bore, lors de sa formation.
Quant aux billes d'alumine, elles sont utilisées pour donner lieu à une agitation supplémentaire, en vue d'obtenir un degré suffisant d'uniformité dans les couches déposées.
Le flacon ainsi chargé est mis en rotation dans le four et au- tour de l'axe de l'espace libre du four, qui est horizontal, à une vitesse de 40 tous par minute. Le mélange gazeux d'hydrogène, de vapeur de benzène et de trichlorure de bore est amené, de manière continue, au centre du fla- con en rotation, par un petit tube de silice fondue introduit par le long col du flacon. Autour de ce petit tube se trouve un tube de diamètre quel- que peu supérieur, qui s'étend, sur une certaine longueur,dans le col du flacon et qui sert à l'introduction continue d'hydrogène,afin d'empêcher l'introduction d'air dans le flacon.
Il est nécessaire que l'hydrogène utilisé soit sensiblement com- plètement exempt d'oxygène et de vapeur d'eau. Pour cette raison, on fait d'abord passer l'hydrogène venant d'un réservoir commercial sur des grains d'alumine palladinisée pour transformer en vapeur deau, tout l'oxygène qui pourrait y être présent, après quoi on sèche l'hydrogène en le faisant pas- ser à travers de l'hydrure de calcium. Le mélange gazeux est formé en fai- sant barbotter de l'hydrogène purifié séparément dans du benzène maintenu à 35 C dans un bain d'huile contrôlé, et dans du trichlorure de bore main- tenu à -78 C dans un bain d'acétone glacé anhydre. Les deux courants de gaz, dont l'un contient du benzène et l'autre du trichlorure de'boresont ensuite combinés en proportions convenables et introduits dans le four.
Le courant total de gaz dans le four est maintenu à une vitesse de 1000 cc par minute. Le temps pendant lequel s'opère le dépôt sur la ba- se de la résistance est d'une heure. Des échantillons de résistances ont été formés à diverses températures, avec diverses proportions de trichloru- re de bore et de benzène et avec diverses dilutions de ces gaz par de l'hy- drogène.
Dans les différentes conditions de dépôt, les pellicules déposées présentent des proportions variables de bore dans le dépôt ou la couche de
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carbonée Les pellicules en question sont,, de plus? d'épaisseurs variables et présentent des caractéristiques de résistance variableso Dans chaque cas la pellicule déposée est cependant homogène;, adhérente, continue-9 mécanique- ment résistante et durable.
Dans des conditions déterminées de débit total de gaz et de di- mensions du fourla teneur en bore des pellicules déposées augmente à mesu- re que croit la proportion relative de gaz contenant du bore au gaz carboné et à mesure que diminue la température à laquelle on opère le dépôto Toute- fois;, ainsi qu'il ressortira de la suite du présent mémoire, même dans le cas d'un rapport déterminé des teneurs en bore et en carbone du gaz -et dans le cas d'une température déterminée de dépôt, la proportion de bore dans la pellicule déposée variera selon les dimensions la forme et le type de four selon la nature du gaz carboné;, du gaz contenant du bore et du gaz diluants selon la vitesse du courant de gaz et selon la nature du trajet de celui-ci à travers la chambre de traitement.
Ce sont la teneur en bore de la pellicule de carbone déposée, la température à laquelle s'opère le dépôt de la pellicule et l'épaisseur de celle-ciqui déterminent les caractéristiques de résistance de la pellicu- leo Les effets d'autres conditions prévalant lors du dépôt de la pellicule sont moins significatifs.
Quelle que soit la température du dépôt;, le coefficient tempéra- ture-résistance a une valeur minimum, lorsque la teneur en bore de la pelli- cule déposée de carbone et de bore est comprise entre 3 et 4 % en poids en- viron et lorsque l'épaisseur de la pellicule est telle que la résistance par unité de surface est de 200 ohms ou moins.
Lorsque les pellicules sont plus minces, la valeur minimum du coefficient température-résistance se présente à des teneurs en bore plus élevées. Lorsque la teneur en bore de la pellicule diminue à partir de cet- te valeur,la valeur absolue du coefficient de température augmente de ma= nière relativement rapide, tandis que lorsque la teneur en bore augmente à partir de la dite valeur,le coefficient en question augmente moins rapi- dement. Avec des teneurs en bore comprises entre 1 et 6 %, il est possible d'obtenir des valeurs proches du coefficient de température minimum.
Avec une épaisseur de pellicule optimum et une température de dépôt de 1200 C, la valeur du coefficient température-résistance, à ce point minimum;, peut être de l'ordre de -15 PPM/ C. Lorsque la teneur en bore d'une pellicule d'épaisseur comparable et déposée à la même températu- re est diminuée jusqu'à environ 0,25 %, le coefficient de température aug- mente jusqu'à une valeur de l'ordre de -350 PPM/ C. Lorsqu'on augmente la teneur en bore jusqu'à 8 % environ, le coefficient de température augmente jusqu'à des valeurs de l'ordre de -100 PPM/ C.
A des températures de dépôt moindres, les valeurs minima du coefficient de température, qui se présentent à une teneur en bore de 3 à 4 % environ dans la pellicule., sont quelque peu plus élevées. Ainsi à une température de dépôt de 1100 C, une valeur minimum du coefficient de tempé- rature de l'ordre de -50 PPM/ C peut être obtenue.
Lorsque la teneur en bore de la pellicule déposée est comprise entre 0,35 et 20 %, et que les températures de dépôt sont comprises entre 1000 et 1300 C et en particulier, entre 1100 et 1250 C, il est possible d'obtenir des coefficients de température inférieurs à environ -150 PPM/ C.
En limitant la teneur en bore à une valeur comprise entre 0,5 et 10 %, à ces températures de dépota il est possible d'obtenir des coefficients de température inférieurs à environ 100 PPM/ C. Dans le procédé de dépôt par- ticulier décrit ci-dessus., dans lequel on fait usage d'un mélange gazeux d'hydrogène.\} de vapeur de benzène et de vapeur de trichlorure de bore, et dans lequel le dépôt s'effectue à des températures de 1200 et 1100 C, on obtient une pellicule dont la teneur en bore est comprise entre 3 et 4 %, ce qui correspond à une valeur minimum de coefficient de température, lors- que la concentration en bore du mélange gazeux est voisine de 5 équivalent
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atomiques % du total de carbone et de bore présent dans le gaz.
Toutefois, si on pratique une méthode de dépôt similaire, mais en utilisant du méthane comme gaz carboné plutôt que du benzène;, on obtient;, dans la pellicule déposéeune teneur en bore comprise entre 3 et 4 %, lors- que la concentration en bore du gaz est comprise entre 3 et 5 % environ, pour une température de dépôt de 1200 C, entre 1 et 2 % environ pour une température de dépôt de 11000C et de moins de 0,1 % environ pour une tempé- rature de dépôt de 1000 C.
Similairement, lorsque d'autres variations sont pratiquées dans les sources de bore ou de carbone du gaz ou dans les autres conditions de dépôt, notamment la structure du four ou la vitesse du courant gazeux, le rapport du bore au carbone dans le gaz doit être modifié pour fournir le rapport voulu du bore au carbone dans la pellicule déposée.
Bien que la valeur minimum du coefficient de température se pré- sente, lorsque la teneur en bore de la pellicule déposée est voisine de 3 à 4 %, quelles que soient les conditions du dépôt et sauf dans le cas de pellicules relativement fines, la valeur du coefficient de température à ce minimum (ainsi que pour d'autres teneurs en bore) varie quelque peu en fonc- tion des variations dans les conditions du dépôt.
Ainsi, comme il a été spé- cifié ci-dessus, des coefficients de température plus élevés sont obtenus lorsque les températures auxquelles s'opèrent le dépôt sont plus basseso De même, on obtient des coefficients de température plus faibles, lorsque la source de carbone dans le gaz introduit dans le four est un alkane norma- lement gazeux;, tel que le méthane, l'éthane, le propane ou le butane, que lorsque cette source de carbone est un hydrocarbure aromatique, tel que le benzène.
La résistivité de la matière constituant la pellicule déposée ne parait pas être sensiblement dépendante des conditions du dépôt et on peut dire que cette résistivité est essentiellement fonction de la teneur en bore de la pelliculeo La résistivité de la matière déposée présente, tout comme son coefficient de température, une valeur minimum, lorsque la teneur en bore de la pellicule, varie. Cette valeur minimum;, déterminée sur une tige cylindrique en matière céramique du type particulier décrit ci-dessus, parait être de l'ordre de 1,25 x 10-3 ohm -cm et se manifeste pour une te- neur en bore de la pellicule d'environ 4 %. La résistivité augmente lorsque la teneur en bore augmente ou diminue pour atteindre une valeur de l'ordre 5 x 10-3 ohm-cm pour une teneur en bore d'environ 20 %.
Lorsqu'on augmente la teneur en bore, on arrive, lorsque la dite teneur en bore est voisine de 45 à 50 %, à une valeur de résistivité au delà de laquelle il n'est pas avantageux d'aller, car la résistivité commence à approcher de celle d'un isolant plutôt que d'un semi-conducteur et parce que, tout au moins à l'heu- re actuelle;, des résistivités aussi élevées ne peuvent être mesurées avec précision et ne donnent pas lieu à des applications utiles. Ce n'est que dans le cas de valeurs de résistance exceptionnellement élevées que l'on pourra excéder des teneurs en bore d'environ 35 %. Dans la plupart des ap- plications pratiques, on utilisera le plus communément des teneurs en bore de 20 % ou moins.
Ainsi qu'il est vrai de toutes les résistances à revêtement de carbone, le coefficient température-résistance des pellicules de carbone contenant du bore augmente notablement à mesure que diminue l'épaisseur de la pellicule déposéeo Toutefois, les résistances à revêtement de carbone et de bore selon la présente invention sont avantageuses en ce sens que,, quelle que soit la valeur élevée de résistance nécessaire, il est possible de former la pellicule avec une épaisseur aussi grande que l'exigent les conditions mécaniques ou autres.
Dès lors, 1-'augmentation du coefficient de température en fonction de la diminution de l'épaisseur de la pellicule n'offre pas de désavantageso Par contre;, la.résistance des pellicules ordi- naires au carbone peut être modifiée uniquement en faisant varier l'épais- seur de la pellicule déposée, étant donné que la résistivité de la matière déposée est relativement constanteo Ceci signifie que, pour des valeurs éle- vées de résistances, on doit faire usage de minces pellicules de carbone, ce qui non seulement donne lieu à l'obtention de coefficients de température
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plus élevés, mais également augmente la difficulté d'obtention de pellicu- les stables et continues.
Il s'ensuit également que, puisqu'il existe une épaisseur minimum de pellicule, en dessous de laquelle il n'est pas possi- ble, pour des raisons mécaniques, de former un dépôt continu de carbone? il y a une limite aux valeurs de résistance., qui peuvent être obtenues avec un dépôt de carbone ordinaire.
Par contre, avec les résistances selon la présente invention., on peut augmenter la résistance de la pellicule déposée? sensiblement sans au- cune limitation, en accroissant la teneur en bore et avec elle la résistivi- té de la pelliculeo Dès lors, l'épaisseur optimum de pellicule déposée peut être employée, aussi bien au point de vue des¯propriétés mécaniques de cet- te pellicule que de son coefficient de températureo Cependant, il va de soi que, s'il existe une raison quelconque pour le désirer, des pellicules plus minces peuvent être employéesMême avec les pellicules les plus min- ces... des coefficients de température moindres sont obtenus qu'avec les pel- licules au carbone ordinaires dont les valeurs de résistance sont compara- bles.
De plus, il est possible d'obtenir des coefficients de température n'excédant pas sensiblement 100 PPM/ C, si la résistance de la pellicule déposée est maintenue., en réglant l'épaisseur de la pellicule et/ou sa te- neur en bore, à une valeur n'excédant pas 500 ohms par unité de surface.
Avec les résistances à revêtement de carbone ordinaire, il n'est ordinairement pas possible de former des pellicules de carbone présentant, par unité de surface., une résistance supérieure à 100000 ohms. Avec les ré- sistances à revêtement de carbone et de bore suivant la présente invention, on peut obtenir des valeurs de résistance supérieures à la valeur indiquée ci-dessus, avec des pellicules d'épaisseur optimum du point de vue mécani- que, avec des teneurs en bore d'environ 18 % et davantage, correspondant à des résistivités de 10-2 ohm/cm ou davantage.
L'épaisseur de la pellicule dans les résistances suivant la présente invention, calculées d'après le poids total du dépôt... la surface du dépôt et la densité estimée de la ma- tière, est de préférence de l'ordre de 10-4 à 10-5 cm. Etant donné qu'à ces épaisseurs on obtient les meilleurs propriétés mécaniques, lorsque 1-'épais- seur de la pellicule augmente au delà de ces valeurs, il devient très diffi- cile de former une pellicule mécaniquement stable,, qui ne se détachera pas de la bandeo Avec le meilleur type de bases en matière céramique, il est possible, dans certains cas, d'obtenir des épaisseurs de pellicules de l'or- dre de 5 x 10-3 sans altérer indûment les propriétés mécaniques.
Toutefois, on emploiera ordinairement des épaisseurs de pellicules comprises entre 10-4 et 10-6 cm. La limite inférieure de l'épaisseur de la pellicule, qui donnera lieu à la formation de pellicules appropriées est de l'ordre de 5 x 10-7 cm, ou bien que cette limite dépende aussi de la nature de la surfa- ce sur laquelle se fait le dépôt.
Un mode spécifique de dépôt de la pellicule de carbone et de bore a été décrit ci-dessus. Ce mode de dépôt peut subir des variations considé- râblés? à condition que la pellicule soit déposée sur un non-conducteur à température élevée, à l'aide d'un gaz carboné et contenant du boreo
Comme source de carbone dans le gaz, on peut faire usage de n'im- porte quel composé du carbone capable d'être introduit, sous forme d'un gaz ou d'une vapeur, dans le four et capable d'être décomposé dans celui-ci, de manière à précipiter du.carbone. La meilleure de ces sources de carbone est constituée par les hydrocarbures paraffiniques et aromatiques tels que mé- thane., éthane, propane, butane, benzène., toluène et xylène,
ainsi que par les hydrocarbures halogènes, tels que méthanes chlorés, CC14, CHCl3, CH2Cl2, CH3Cl et les méthanes bromés et iodés correspondants. Le fluor et ses compo- sés doivent ordinairement être évités... car ils attaquent les bases en ma- tière céramique des résistances., ainsi que les matériaux constitutifs du four.
Toutefois, si les bases et les matériaux constitutifs du four étaient d'une nature propre à résister aux attaques du fluor, cette substance ne présen- terait aucun inconvénient ni au point de vue de la marche de l'opération,
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ni en ce qui concerne la qualité du produito
Comme source de bore, on peut utiliser n'importe quel composé de bore capable d'être introduit dans le four, sous forme de gaz et de va- peuro Parmi ces composés du bore:, on peut citer le borane (BH3)2, ainsi que les boranes partiellement ou complètement halogènes., CH2CI,BH2Br,BH2I, BHCI2, BHBr2, BHI2, BCI3, BBr et BI3.
L'emploi des composés fluorés corres- pondants est sujet également à une restriction dans la seule mesure où on se trouve en présence de matières pouvant être attaquées par le fluoro
Le carbone et le bore peuvent être introduits sous forme d'un seul compose, notamment sous forme de boranes substitués par des radicaux hydrocarbonés, tels que les composés de structure g
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/"1 B,R2 dans laquelle Rl. R2 et R3 désignent soit de l'hydrogène, soit un ra- R3 dical hydrocarboné monovalente Des exemples de composés appropriés de ce ty- pe sont le propyl allyl borane et le tri propyl borane. Le borane peut aus- si être partiellement substitué par des radicaux hydrocarbonés et partielle- ment substitué par des halogènes.
Tel est le cas notamment du phényl dichlo- roboraneo Lorsque le rapport du bore au carbone dans le borane substitué n'est pas le rapport convenant à la teneur en bore que l'on désire dans la pellicule déposée, on peut obtenir le rapport désiré dans le gaz, en ajou- tant la quantité requise de composé de bore exempt de carbone ou de composé de carbone exempt de bore.
Dans le procédé décrit ci-dessus,, on emploie de l'hydrogène comme diluant pour les gaz contenant du bore et contenant du carbone. Ce gaz diluant sert de milieu pour contrôler les proportions relatives de bore et de carbo- ne dans le gaz, étant donné qu'il peut être amené à se dégager bulle à bulle à travers les composés générateurs de ces éléments,, lorsque ces composés sont à une température à laquelle ils sont à l'état liquide et ont une tension de vapeur définie.
La vitesse de dépôt de la pellicule et, dès lors, l'épais- seur de celle-ci peuvent aussi être contrôlées en réglant le degré de dilu- tion des gaz contenant du bore et du'carbonée L'hydrogène est employé de pré- férence comme gaz diluant, parce que sa présence tend à supprimer la forma- tion de carbone dans le gaz, avant que celui-ci ne soit en contact avec la surface sur laquelle doit être formé le dépôt et parce qu'il peut être aisé- ment libéré des traces d'oxygène qui affecteraient la bonne marche de l'opé- ration.
On peut employer tout autre gaz, qui est inerte vis-à-vis de la ré- action se produisant pendant le dépôt et qui peut être rendu suffisamment exempt d'oxygène et de vapeur d'eau Comme tel autre gaz, on peut citer l'hé- lium et l'oxyde de carboneo
Il est théoriquement possible d'employer!) pour l'opération de dé- pôt, un gaz ne contenant aucun diluante Toutefois, en pratique, afin de ré- duire la vitesse de dépôt jusqu'en une valeur pratique, il n'est ordinaire- ment pas souhaitable d'employer un gaz pour le dépota contenant plus de 30 % de gaz carboné, le restant étant constitué par un gaz diluant et par un gaz contenant du bore.
De même, il n'est ordinairement pas souhaitable que le gaz carboné soit présent à raison de moins de 5 % du gaz total et il est préférable qu'il soit présent à raison d'au moins 10 % du gaz totale
Le dépôt progresse plus rapidement en présence d'halogènes li- bres ou chimiquement combinés,, et il est, dès lors, souhaitable bien que non nécessaire, que le gaz de dépôt contienne du chlore, du brome ou de l'iodeo L'halogène peut être présent dans le gaz contenant du bore, comme dans le cas,où il est fait usage de trichlorure de bore ou de phénol dichlo- ro boraneg ou dans le gaz contenant du carbone, comme dans le cas où il est fait usage de tétrachlorure de carbonée Enfin,
l'halogène peut être présent dans le gaz diluanto
Comme indiqué ci-dessus, pour obtenir des coefficients de tempé-
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rature inférieurs à 100 PPM/ C, la température du dépôt ne doit pas être'in- férieure à 1000 C et de préférence à 1100 Co La température la plus appro- priée est de 1200 Co Des températures plus élevées peuvent être utilisées, mais il n'est ordinairement pas possible d'opérer à des températures excédant sensiblement 1250 ou 1300 C, étant donné qu'à ces températures 'élevées,
la plupart des bases connues de résistance deviennent chimiquement ou'physique- ment instables et étant donné que la conception de fours pouvant opérer à ces températures devient de plus en plus difficileo Toutefois, avec des ba- ses de résistance et des fours capables de résister aux températures les plus élevées, des températures allant jusqu'à 1400 C peuvent être employées et permettront de produire des résistances à faibles coefficients de tempé- rature.
Lorsqu'on désire produire des résistances à valeurs de résistan- ce élevées et lorsque les faibles coefficients de température importent moins., on peut opérer à des températures plus faibles, Il est seulement nécessaire que cette température soit suffisante pour assurer la formation d'un dépote Le composé de bore a un effet catalytique sur le dépôt et il est possible d'obtenir un dépôt à des températures moins élevées que celles pratiquées lorsqu'il s'agit d'obtenir des dépôts de carbonée Ordinairement des tempéra- tures inférieures à 900 ou 950 C ne seront pas mises en oeuvre, mais il est possible, en faisant un choix convenable du gaz carboné, d'obtenir des dé- pôts à des températures de l'ordre de 650 C.