DE3788546T2 - Halbleiterlasermodul. - Google Patents

Halbleiterlasermodul.

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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Halbleiterlasermodul und insbesondere ein kastenförmiges Halbleiterlasermodul für die Faseroptik-Kommunikation, der ein Peltier-Element enthält.
  • Ein Halbleiterlasermodul (der im folgenden als LD-Modul bezeichnet wird) wird durch einstückiges Zusammenbauen eines Halbleiterlasers und einer Licht nach außen leitenden Faser erhalten und ist eine wesentliche Einrichtung bei der Faseroptik-Kommunikationstechnik. Insbesondere da eine Monomode-Faser (im nachfolgenden als SMF bezeichnet) verwendet wird, wenn eine Faseroptik-Kommunikation hoher Leistung und über lange Strecken durchgeführt werden soll, ist ein LD-Modul mit einer SMF erforderlich (im nachfolgenden als SMF-LD-Modul bezeichnet).
  • Obwohl bisher verschiedene Typen von LD-Modulen entwickelt und in die Praxis umgesetzt worden sind, hat das beliebteste LD-Modul ein temperatursteuerndes Peltier-Element eingebaut und ist in einem geschlossenen Gehäuse zusammengebaut. Ein LD-Modul einer derartigen Form, wie in den Figuren 1A und 1B gezeigt, wird von der Firma NEC-Corporation hergestellt und ist im NEC-Technical-Report, Volume 38, Nr. 2/1985, Seite 84-89, beschrieben. Da das LD-Modul dieses Typs an seinem Hauptkörper ein zweireihiges Steckergehäuse (DIP) hat, wird er als ein DIP-Modul bezeichnet, und wird von einem später beschriebenen Koaxial-Modul unterschieden.
  • Dieses DIP-Modul hat wie im Folgenden beschrieben, viele Vorteile.
  • Erstens kann ein einzelnes Gehäuse gleichzeitig mit vielen Elementen bestückt sein. Zusätzlich sind alle Elemente in einem einzelnen Gehäuse als Ganzes mittels eines Hybridgehäuses abgedichtet, d. h. ein einzelnes Element ist nicht hermetisch verpackt. Wenn daher die Anzahl der in das Gehäuse eingebauten Elemente erhöht wird, kann die Größe des ganzen Moduls kompakt gemacht werden. Daher kann beim DIP-Modul eine Vielzahl von Elementen in einem einzelnen Gehäuse eingebaut werden, was bei einem Koaxial-Modul (der später beschrieben wird) schwierig ist. Da in einem derartigen DIP-Modul ein temperatur-steuerndes Peltier-Element und ein temperatur-detektierender Thermistor eingebaut sind, können Änderungen eines Schwellenstroms und der externen Differentialmengeneffizienz infolge Temperaturänderungen in einem Halbleiterlaser unterdrückt werden. Zusätzlich wird davon ausgegangen, daß mit dem Ansteigen der Modulations-Bitgeschwindigkeit eine Antriebsschaltung in die Nähe des Halbleiterlasers mittels eines Hybridpackverfahrens gepackt werden muß.
  • Zweitens ist die Installation des DIP-Moduls einfach. Bei dem DIP-Modul hat der Hauptkörper eines Gehäuses eine Kastenform wie sie bei einer integrierten Schaltung verwendet wird, und Leitungen sind regelmäßig angeordnet. Daher kann das DIP-Modul leicht auf einer gedruckten Leiterplatte montiert werden. Aus diesem Grund ist die Standardisierung der Stiftanschlüsse beim DIP-Modul soweit fortgeschritten wie dies bei integrierten Schaltungen der Fall ist. Obwohl die DIP-Module auch im Ausland hergestellt und verwendet werden, sind ihre Stiftanschlüsse und -größen nahezu identisch. Aus diesem Grund muß selbst für unterschiedliche Hersteller des DIP-Moduls die Konstruktion der gedruckten Leiterplatte nicht geändert werden, wenn diese mit dem DIP- Modul bestückt werden soll, was äußerst bequem ist. Der später beschriebene Koaxial-Modul hat einen derartigen Vorteil nicht.
  • Ein Innenaufbau eines herkömmlichen DIP-Moduls wird im einzelnen beschrieben.
  • Die Fig. 1A und 1B zeigen den Innenaufbau eines DIP-Moduls jeweils in schematischer Ansicht und teilweise im Schnitt. Anzumerken ist, daß in den Fig. 1A und 1B Teile, die für die Erläuterung nicht erforderlich sind, weggelassen werden, und die Figuren schematische Darstellungen sind. Wie aus den Fig. 1A und 1B zu sehen ist, ist ein Halbleiterlaser 1 mittels eines Kühlkörpers 2 auf einem Chipträger 3' und weiter zusammen mit einer Überwachungsdiode 4 und einem Thermistorchip 5 auf einem Substrat 7' montiert. Das Substrat 7' ist auf einem Peltierelement 8 montiert, das an einem Gehäuse 9' befestigt ist. Der Träger 3' hat einen Faserhalteteil 3'' und am Faserhalteteil 3'' ist eine Quarzfaser 14' mittels eines Weichlötmittels 21 angelötet. Das distale Ende der Faser 14' ist sphärisch geformt und die Seitenfläche ist metallbeschichtet. Jedes Element innerhalb des Gehäuses 9' ist mittels eines Verbindungsdrahtes 23 an eine Zuführung 22 angeschlossen. Die Faser 14' ist außerhalb des Gehäuses 9' durch eine Beschichtung 24, ein Zugelement 25 und eine Hülse 26 geschützt und ist an einer Position, wo die Hülse 26 endet, durch einen Metallzylinder 15' geschützt. Der metallbeschichtete Teil der Faser 14' und der Zylinder 15' sind miteinander durch Löten abgedichtet und der Zylinder 15' und ein vorstehender Teil 11' sind ebenfalls gegeneinander durch Löten abgedichtet. LD-Module dieser Art werden von vielen Firmen unter Verwendung einer Multimode-Faser und einer Monomode-Faser als Faser 14' hergestellt und in breitem Umfang in vielen Ländern mit äußerster Zuverlässigkeit in der Praxis durch die Anwender verwendet.
  • Aus den folgenden Gründen ist es jedoch schwierig, den Modul mit dem vorstehend beschriebenen Aufbau herzustellen.
  • Erstens ist es schwierig, die Faser 14' am Halteteil 3'' mittels Lot 21 festzulöten und daher erfordert dieser Vorgang Fachkräfte. Diese Schwierigkeit tritt hauptsächlich aus den folgenden Gründen auf:
  • (1) Es ist schwierig, eine Faser mit sphärischem Ende handzuhaben, da sie Zerstörung ausgesetzt ist.
  • (2) Da eine Operation extrem nah an einem Halbleiterpellet ausgeführt wird, kann das Pellet zerstört werden, wenn die Operation nicht sorgfältig durchgeführt wird.
  • (3) Da innerhalb des Gehäuses kein Schmelzbad verwendet werden kann, müssen die Operationsbedingungen streng kontrolliert werden, um eine gute Verbindung zwischen Lot und Faser zu erzielen.
  • (4) Die Anforderungen an die für das Ausrichten von Halbleiterlaser und Faser erforderliche Genauigkeit sind äußerst streng und diese Genauigkeit muß nach der Befestigung der Faser aufrechterhalten werden.
  • Diese Probleme sind bei einem Faserkupplungsverfahren mit sphärischem Ende, das bei einem Modul mit dem vorliegenden Aufbau angewendet wird, besonders ausgeprägt. Von den vorstehend genannten Problemen können die Probleme (1) und (2) durch Fachkräfte gelöst werden. Beim Problem (3) kann anstatt Lot ein Klebstoff verwendet werden, ohne daß das Problem selbst gelöst wird. Wenn jedoch im Inneren des Gehäuses, in welchem ein Inertgas hermetisch abgedichtet ist, ein Klebstoff verwendet wird, wird ein Verunreinigungsgas erzeugt, das die Zuverlässigkeit des Halbleiterlasers nachteilig beeinflußt, und eine positionelle Beziehung zwischen dem Halbleiterlaser und der Faser wird infolge der Verschlechterung eines ausgehärteten Klebstoffes im Laufe der Zeit tendenziell verschlechtert. Problem (4) ist ein Problem, das dem Kupplungsverfahren mit einer Faser mit sphärischem Ende eigen ist. Wie später beschrieben, ist die für die Positionierung erforderliche Genauigkeit beim Faserkupplungsverfahren mit sphärischem Ende streng verglichen mit anderen Verfahren. Da die Positionsgenauigkeit hoch sein muß, wird zusätzlich die Beziehung zwischen dem Halbleiterlaser und der Faser infolge der Verschlechterung eines Befestigungsagens im Laufe der Zeit und dgl. verschlechtert, nachdem die Faser befestigt worden ist, was zu einer Minderung der Kupplungseffizienz führt.
  • Das zweite Herstellproblem ist ein Problem der Dichtigkeitseigenschaft. Bei dem DIP-Modul mit dem wie vorstehend beschriebenen Aufbau, sind der Zylinder 15' zum Schutz der Außenfläche der Faser und der Schutzabschnitt 11' durch Löten an einem Abschnitt gegeneinander abgedichtet, wo die Faser in das Gehäuse eingeführt ist. Da bei diesem Löten kein Schmelzbad verwendet werden kann, müssen die Operationsbedingungen streng kontrolliert werden, um die Dichtigkeitseigenschaft aufrechtzuerhalten. Zusätzlich liegt ein anderes Problem vor, wenn ein Dichtungstest durchgeführt wird. Im allgemeinen wird zusätzlich zu einem groben Dichtigkeitstest für eine elektronische Einrichtung ein Fein- Dichtigkeitstest durchgeführt, der eine hohe Zuverlässigkeit sicherstellen sollte, bei dem vorstehend beschriebenen Aufbau ist es jedoch schwierig, den Fein-Dichtigkeitstest durchzuführen. Das heißt, das Spurengas (üblicherweise radioaktives Gas oder Heliumgas), das beim Beschichten der Faser während der Gaskompression absorbiert worden ist, zerstört den Gasdetektionsvorgang, weil die Menge des Spurengases aus der Faserbeschichtung weit höher als die kritische Leckgasmenge ist. Dieses Problem liegt vor, weil die hermetische Abdichtung solange nicht beendet ist, bis die Faser in dem Modul-Hauptkörper montiert ist, und diese Reihenfolge kann bei dem Faserkupplungsverfahren mit sphärischem Ende nicht umgekehrt werden. Daher ist dies ein Problem, das bei dem Kupplungsverfahren selbst vorliegt.
  • Wie vorstehend beschrieben, werden die Probleme des DIP-Moduls und seines Aufbaus hauptsächlich durch das Faserkupplungsverfahren mit sphärischem Ende verursacht. Das Faserkupplungsverfahren mit sphärischem Ende wird fast ohne Ausnahmen als Kupplungsverfahren beim DIP-Modul, der das Peltier-Element enthält, verwendet. Auf der anderen Seite werden bei dem gleichen Faserkupplungsverfahren mit sphärischem Ende verschiedene Faserbefestigungsverfahren verwendet. Diese Verfahren sind beispielsweise ein Verfahren, bei dem ein Klebstoff verwendet wird, um die Faser mit sphärischem Ende zu befestigen, und ein Verfahren, bei dem ein Metallblock vor dem distalen Ende der Faser mit sphärischem Ende aufgelötet wird und in der Nähe des Halbleiterlasers angelötet ist. Das zuletzt genannte Verfahren umfaßt viele vorgeschlagene Techniken, beispielsweise eine Technik, bei der das Peltier-Element als Heizelement verwendet wird, eine Technik, bei der ein Lot durch einen YAG-Laserstrahl erhitzt und geschmolzen wird, und eine Technik, bei der ein Block, der einen elektrischen Heizdraht enthält, in der Nähe des distalen Endes der Faser mit sphärischem Ende montiert ist, und der elektrische Heizdraht zum Erhitzen des Lotes verwendet wird. Bei jeder dieser Techniken ist es jedoch offensichtlich, daß die vorstehend genannten Probleme nicht gelöst werden.
  • Wie vorstehend beschrieben, wird das Faserkupplungsverfahren mit sphärischem Ende in breitem Umfang als ein Kupplungsverfahren für das DIP-Modul verwendet, das das Peltier-Element enthält, obwohl das Verfahren die vorstehend erwähnten Probleme enthält. Die Gründe hierfür werden im folgenden beschrieben.
  • Erstens ist das Peltier-Element selbst mechanisch unstabil. Das heißt, es wird beim Montieren des Peltier-Elementes normalerweise ein niedrigschmelzendes Lot verwendet, das auch zur Befestigung des Peltier-Elementes innerhalb des Gehäuses verwendet wird. Als ein Ergebnis ist der Halbleiterlaser, der auf dem Peltier-Element montiert ist, von einer mechanisch unstabilen Einrichtung mit geringer Zuverlässigkeit getragen. In diesem Fall ist es am einfachsten, das distale Ende der Faser auf das Peltier-Element zuzubewegen und es dort zu befestigen, um die thermische Stabilität der Verbindung zwischen dem Halbleiterlaser und der Faser, die eine hohe Genauigkeit für eine lange Zeitspanne erfordert, aufrechtzuerhalten. Dies ist deshalb der Fall, weil eine relative positionelle Beziehung zwischen dem Halbleiterlaser und der Faser selbst dann nicht geändert wird, wenn das Peltier-Element selbst mechanisch durch Ermüdung im Laufe der Zeit deformiert wird, und die Position des Halbleiterlasers verschiebt.
  • Zweitens muß der Halbleiterlaser thermisch nach außen abgeschirmt sein. Es wird angenommen, daß ein optisches System, welches den Teil vom Halbleiterlaser bis zum distalen Ende der Faser umfaßt, von einem starren Element, wie in einem Koaxial-Modul, wie später beschrieben, getragen wird. In diesem Fall können die Temperaturen nur des Halbleiters und eines Teils in der Nähe nicht gesteuert werden, da Wärme von den Umfangsteilen desselben über das starre Element geleitet wird. Auf der anderen Seite wird der Stromverbrauch des Peltier-Elementes stark erhöht, wenn die Temperatur des gesamten optischen Systems, welches das starre Element enthält, gesteuert wird, und ein derartiges Element kann nicht in einem kleinen DIP-Gehäuse aufgenommen sein. Bei dem Faserkupplungsverfahren mit sphärischem Ende ist jedoch der Halbleiterlaser thermisch gut nach außen isoliert, da das Peltier-Element über nur eine Quarzfaser mit kleinem Durchmesser mit dem äußeren verbunden ist, und während der Temperatursteuerung tritt somit kein Problem auf.
  • Anders ausgedrückt wird das Faserkupplungsverfahren mit sphärischem Ende als ein Kupplungsverfahren des DIP-Moduls, der das Peltier-Element enthält, verwendet, weil zwei Arten von Notwendigkeiten bestehen, d. h. die Stabilität der optischen Kupplung zwischen dem Halbleiterlaser und der Faser und die thermische Isolation des Halbleiterlasers gegenüber dem äußeren. Daher wird davon ausgegangen, daß die vorstehend beschriebenen Probleme als dem DIP-Modul mit eingebautem Peltier-Element inhärente Fehler sind.
  • Wie vorstehend beschrieben, können die LD-Module in zwei Arten klassifiziert werden, d. h. das DIP-Modul und das Koaxialmodul, und die vorstehend beschriebenen Probleme des DIP-Moduls werden klarer ersichtlich, wenn sie mit dem Koaxialmodul verglichen werden. Daher wird der Koaxialmodul als Referenz beschrieben, um diese Probleme zu vergleichen und zu untersuchen.
  • Das Koaxialmodul wurde früher als das DIP-Modul verwendet, in welchem ein LD in einem Gehäuse bestehend aus einem Blechgehäuse mit einem Glasfenster, das zuerst hergestellt worden ist, montiert und hermetisch abgedichtet wird, und dann wird der LD an einem Koaxialelement montiert, eine Linse und eine Faser werden aneinander befestigt, nachdem sie so eingestellt worden sind, daß am LD emittiertes Licht wirksam an die Faser gekoppelt ist. Im allgemeinen kann die Kupplungseffizienz durch Temperaturänderungen variieren oder gemäß der abgelaufenen Zeit ansteigend schlechter werden, da die Kupplung zwischen dem LD und der Faser (insbesondere bei SMF) eine extrem hohe Positionsgenauigkeit erfordert. Bei dem Koaxialmodul gleichen sich die Änderungsfaktoren in einer Schnittebene gegenseitig aus, da der Aufbau axial symmetrisch um eine zentrale Achse des Moduls ist, und es kann auf einfache Art und Weise eine stabile Kupplung erhalten werden. Dies ist einer der Gründe, warum dieser Aufbau im Modul der früheren Tage angewendet worden ist. Gemäß diesem Aufbau muß jedoch eine LD verwendet werden, die vorher in einem zylindrischen Gehäuse montiert ist. Daher ist es schwierig, ein Hybridmodul zu bilden, in dem in einem einzigen Gehäuse eine periphere Schaltung, ein Element und dgl. montiert sind. Da die Form eines Moduls zylindrisch ist, ist zusätzlich die Montageeinfachheit verringert, wenn das Modul verglichen mit dem DIP-Modul in Kommunikationsausrüstungen installiert wird.
  • Es werden im folgenden die Probleme des DIP-Moduls mit denen des Koaxial-Moduls verglichen:
  • Erstens ist der Koaxialmodul dem DIP-Modul bezüglich leichter Montage überlegen. Das heißt, in dem DIP-Modul kann die Faser mit sphärischem Ende leicht zerstört werden und es ist daher schwierig, die Faser zu handhaben. Bei dem Koaxialmodul kann jedoch die Faser leicht gehandhabt werden, da das distale Ende der Faser durch einen Metallzylinder od. dgl. geschützt werden kann. Da die LD bereits im mittleren Teil des Blechgehäuses aufgenommen ist, wenn die Faser befestigt wird, wird zusätzlich ein Pellet der LD nicht direkt zerstört. Obwohl das Blechgehäuse hermetisch abgedichtet ist, kann ein Schmelzbad verwendet werden, wenn die Faser durch Löten befestigt werden soll. Die für die Positionierung des Halbleiterlasers und der Faser erforderliche Genauigkeit ist bei dem Koaxialmodul im allgemeinen weniger streng als bei dem DIP-Modul. Dies wird im einzelnen später beschrieben, da eine detaillierte Untersuchung erforderlich ist.
  • Zweitens ist das Koaxialmodul dem DIP-Modul bezüglich der Bedingungen der Dichtigkeitseigenschaft überlegen. In einer Halbleitereinrichtung, die eine hohe Zuverlässigkeit haben muß, wird ein Pellet normalerweise in einem Metallblechgehäuse montiert und hermetisch abgedichtet, und dieses Verfahren ist eine bereits etablierte Technik. Zusätzlich kann sowohl die grobe Dichtungsüberprüfung als auch die feine Dichtungsprüfung durchgeführt werden, da die Faser noch nicht montiert ist, wenn das Pellet hermetisch abgedichtet ist.
  • Ein Kupplungsverfahren, das bei dem Koaxialmodul verwendet wird, wird im Folgenden beschrieben. Bei diesem Kupplungsverfahren sind eine oder mehrere Linsen zwischen den LD und dem distalen Ende der Faser angeordnet, ein am LD emittierter Lichtstrahl wird durch diese Linsen fokussiert und mit hoher Effizienz an die Faser gekoppelt. Das ausgezeichnete Kupplungsverfahren wird als "virtuelle Faser"-Kupplungsverfahren bezeichnet. Bei diesem Verfahren ist eine selbstfokussierende Stablinse am distalen Ende einer Faser angeklebt, d. h. es wird eine Faser verwendet, die eine wirksam vergrößerte Spotgröße des Modusfeldes hat. Die Charakteristiken dieses Verfahrens können, wie im Folgenden in wesentlichen Punkten zusammengefaßt werden.
  • (1) Durch Ankleben einer selbstfokussierenden Stablinse am distalen Ende der Faser wird die effektive Spotgröße der Faser vergrößert, so daß eine Toleranz bezüglich der Achsabweichung verglichen mit dem Fall, wo eine einzige Faser ohne Linse verwendet wird, erhöht wird.
  • (2) Wenn die Toleranz bezüglich einer Achsabweichung durch das Verfahren (1) vergrößert wird, wird die Toleranz bezuglich einer Winkelabweichung verringert und die Winkeljustierung wird schwierig.
  • (3) Wenn die Toleranz bezüglich der Achsabweichung durch das Verfahren (1) vergrößert ist, wird der Bereich der optimalen Positionen des distalen Endes der "virtuellen Faser" weiter vergrößert, wenn der Abstand zwischen dem LD und der ersten Linse (die dem LD am nächsten liegende Linse) variiert.
  • Es ist offensichtlich, daß das Kupplungsverfahren, bei dem die "virtuelle Faser" verwendet wird, dem Verfahren überlegen ist, bei dem eine Faser mit sphärischem Ende verwendet wird, da die Toleranz bezüglich der Achsabweichung vergrößert werden kann. Beispielsweise wird angenommen, daß 0,5 dB als Erhöhung des Kupplungsverlustes erlaubt sind. In diesem Fall ist die Toleranz der Achsabweichung sehr klein mit ungefähr 0,3 um, weil davon ausgegangen wird, daß eine optimale Kupplung erhalten wird, da eine Spotgröße eines nahen Feldmusters am lichtemittierenden Punkt des LD so klein wie ungefähr 1 um am sphärischen Ende der Faser ist. Im Gegensatz hierzu beträgt bei dem Verfahren mit "virtueller Faser" die Toleranz der Achsabweichung ungefähr 3 um, d. h. ist um ungefähr das Zehnfache gegenüber dem Verfahren mit einer Faser mit sphärischem Ende erhöht, da eine Spotgröße von ungefähr 5 um der Faser durch die Linse um ungefähr das zweifache vergrößert ist.
  • Durch Erhöhen der Toleranz bezüglich der Achsabweichung wird jedoch die Toleranz bezüglich der Winkelabweichung verringert. Da die Toleranz bezüglich der Winkelabweichung bei dem Faserkupplungsverfahren mit sphärischem Ende sehr groß ist, muß während der positionellen Justierung keine Winkeljustierung durchgeführt werden. Während der positionellen Justierung bei dem Kupplungsverfahren mit "virtueller Faser" muß jedoch eine Winkeljustierung der zwei Achsen zusätzlich zu der Dreiachsen-Justierung in einer dreidimensionalen Richtung, d. h. eine Fünfachsen-Justierung gleichzeitig durchgeführt werden, was zu einer großen Behinderung bei der Herstellung des Moduls führt.
  • Das Problem (3) ist eine Behinderung der Konstruktion des Moduls. Das heißt, da die Position des distalen Endes der Faser weitgehend variiert, muß für jede Modulkomponente eine große Justierbreite vorgesehen werden, die die Veränderungen aufnimmt. Daher kann die Größe des Moduls nicht kompakt ausgeführt werden. Dies ist ein Nachteil der "virtuellen Faser" verglichen mit dem DIP-Modul, der in Übereinstimmung mit dem Faserkupplungsverfahren mit sphärischem Ende kompakt ist.
  • Somit ist das Verfahren, bei dem die "virtuelle Faser" verwendet wird, von Vorteil, da die Toleranz bezüglich der axialen Abweichung erfüllt wird. Die Toleranz bezüglich der Winkelabweichung wird jedoch verringert oder die Justierbreite vergrößert. Daher wird eine Erhöhung der Toleranz bezüglich der axialen Abweichung nur innerhalb eines begrenzten Bereiches gewählt, um eine spezifische der vorstehend beschriebenen Bedingungen nicht zu stark herabzusetzen.
  • Obwohl für den LD-Modul viele Punkte erforderlich sind, werden diese Anforderungen wie vorstehend beschrieben weder durch den herkömmlichen DIP-Modul noch durch den herkömmlichen Modul zufriedengestellt. Dies ist in der folgenden Tabelle 1 dargestellt. TABELLE 1 Vergleich zwischen herkömmlichem DIP-Modul und Koaxialmodul herkömmliches DIP-Modul herkömmliches Koaxial-Modul Temperatursteuerung des LD möglich unmöglich S-Einfachheit gut schlecht Montage einer Ausschlußschaltung im Modul Kupplungseffizienz niedrig hoch Temperaturänderung bei Kupplungseffizienz infolge Verschlechterung im Laufe der Zeit klein Dichtigkeitseigenschaft unzureichend gut Handhabung der Bauteile bei der Justierung schwierig leicht Winkeljustierung unnötig notwendig Justrierbreite in Richtung der optischen Achse groß Reproduzierrbarkeit während Faserbefestigung
  • Es ist daher ein Ziel der vorliegenden Erfindung einen DIP-Modul zu schaffen, der alle Vorteile des herkömmlichen DIP-Moduls und des herkömmlichen Koaxialmoduls hat.
  • Ein Halbleiterlasermodul gemäß der vorliegenden Erfindung ist durch die Merkmale der Patentansprüche 1 und 4 gekennzeichnet.
  • Zusätzlich hat das Substrat eine Nut in einer Richtung rechtwinkelig zu einer Lichtstrahl-Ausgangsrichtung des Halbleiterlasers, der DIP-Träger ist in der Nut befestigt, das Substrat hat ein Durchgangsloch, dessen Mittelpunkt auf der Mittelachse eines Lichtstrahls des Halbleiterlasers liegt, und die erste Linse ist in dieses Durchgangsloch eingesetzt.
  • Weiterhin hat das Substrat erste und zweite Nuten in einer Richtung rechtwinkelig zu einer Lichtstrahl-Ausgangsrichtung des Halbleiterlasers, und eine dritte Nut in einer Richtung parallel zu der Lichtstrahl-Ausgangsrichtung, in der ersten Nut ist der Chip-Träger befestigt, und die erste Linse ist eine sphärische Linse, die in einer Schnittstelle von zweiter und dritter Nut befestigt ist.
  • Kurze Beschreibung der Figuren
  • Es zeigt
  • Fig. 1A und 1B jeweils einen herkömmlichen DIP-Modul in schematischer Darstellung teilweise im Schnitt;
  • Fig. 2A und 2B jeweils den Innenaufbau einer Ausführungsform eines LD gemäß der vorliegenden Erfindung in schematischer Darstellung teilweise im Schnitt; und
  • Fig. 3A und 3B jeweils den Innenaufbau einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in schematischer Darstellung teilweise im Schnitt.
  • Die vorliegende Erfindung wird im einzelnen anhand der begleitenden Figuren beschrieben.
  • Die Fig. 2A und 2B zeigen jeweils in schematischer Darstellung im Längsschnitt eine Ausführungsform eines Halbleiterlaser-Moduls gemäß der vorliegenden Erfindung.
  • Wie aus den Fig. 2A und 2B zu ersehen, ist ein Halbleiterlaser 1 auf einem Chipträger 3 über einen Kühlkörper 2 montiert, und ist dann zusammen mit einer Aufzeichnungsdiode 4, einem Chip-Thermistor 5, und einer Linse 6 auf einem Substrat 7 montiert. Das Substrat 7 ist mittels eines Weichlots auf einem Peltier-Element 8 montiert, das am Gehäuse 9 mittels eines Weichlots befestigt ist. Ein Seitenwandteil des Gehäuses 9 hat ein Fensterglas 10, das hermetisch abgedichtet ist, und ein zylindrisch vorstehender Teil 11 ist an dem Seitenwandteil um das Glas fester 10 vorgesehen, um nach außen vorzustehen. Auf der distalen Stirnfläche des vorstehenden Teils 11 ist mittels eines Halters 12 eine Linse 13 befestigt, deren Seitenfläche durch einen Halter geschützt ist. Eine Quarzfaser 14, deren Seitenfläche in der Nähe des distalen Endes durch einen Metallzylinder 15 geschützt ist, ist in einen Gleitring 16, der einen Innendurchmesser aufweist, welcher etwas größer als der Außendurchmesser des Metallzylinders 15 ist, eingesetzt und dort fixiert, und der Gleitring 16 und der Halter 12 sind miteinander an einer dazwischenliegenden Kontaktfläche befestigt. An der Stirnfläche der Quarzfaser ist unter Verwendung eines transparenten Klebstoffes eine Glasplatte 27 befestigt, wodurch optische Reflexion an der Stirnfläche der Faser verhindert wird, die den Betrieb der Laserdiode unstabil machen würde. Bei dieser Anordnung sind die distale Endfläche des vorstehenden Teils 11 und der Halter 12 und der Gleitring 16 miteinander auf einer Ebene rechtwinkelig zu einer Mittelachse (die als optische Achse bezeichnet wird) der Quarzfaser 14 jeweils miteinander in Berührung gebracht und der Gleitring 16 und der Metallzylinder 15 sind miteinander auf einer zylindrischen Fläche, die die gleiche Mittellinie wie die optische Achse hat, in Berührung gebracht.
  • Das Substrat 7 hat eine Nut 17 in einer Richtung rechtwinkelig zu einer Lichtstrahl-Ausgangsrichtung des Halbleiterlasers 1, und der Chipträger 2 ist in der Nut 17 befestigt. Das Substrat 7 hat ein Durchgangsloch 18, dessen Mittelpunkt auf die Mittelachse des Lichtstrahls des Halbleiterlasers 1 fällt, und die Linse 6 ist in dem Durchgangsloch 18 eingesetzt und befestigt.
  • Die Tatsache, daß dieser Halbleiterlasermodul alle in der Tabelle 1 gezeigten Anforderungen erfüllt, wird im Folgenden beschrieben.
  • Als erstes hat das in den Fig. 2A und 2B gezeigte DIP-Modul das Peltier-Element und hat die gleiche Form wie der herkömmliche DIP-Modul. Daher ist es offensichtlich, daß die Temperatur den LD gesteuert werden kann und die Bestückung leicht ist, wenn eine Kommunikationsausstattung mit dem Modul bestückt wird. Zusätzlich kann eine Zusatzschaltung eingebaut sein.
  • Zweitens kann für die Kopplungseffizienz die gleiche hohe Kopplungseffizienz wie bei dem Koaxialmodul erhalten werden. Bei dem herkömmlichen DIP-Modul muß die Toleranz durch Opfern der Kupplungseffizienz erhöht werden, wenn die Toleranz klein ist oder eine Befestigungseinrichtung der optischen Komponenten hat eine nur geringe Zuverlässigkeit. Bei dem DIP-Modul der vorliegenden Erfindung muß jedoch die Kupplungseffizienz nicht geopfert werden, da die Zuverlässigkeit keines der später beschriebenen Probleme hervorruft, was zu einer hohen Kupplungseffizienz führt.
  • Eine kleine Verschlechterung im Lauf der Zeit und Temperaturänderung bei der Kupplungseffizienz sind wichtige Punkte beim LD-Modul, und das DIP-Modul gemäß der vorliegenden Erfindung erfüllt diese Anforderungen. Wie vorstehend mit Bezugnahme auf den herkömmliche DIP-Modul beschrieben, kann die Verschlechterung im Laufe der Zeit und eine Temperaturänderung in Verbindung mit der Kupplungseffizienz auftreten, da das Modul mit diesem Aufbau durch eine mechanisch unstabile Einrichtung mit geringer Zuverlässigkeit befestigt ist. Dieses Problem kann jedoch wie folgt gelöst werden. Das heißt, die Toleranz bezüglich der Positionsabweichung zwischen den Linsen 6 und 13 ist sehr erhöht, da eine Spotgröße des Lichtstrahls zwischen den Linsen 6 und 13 sehr vergrößert ist. Wenn daher die positionelle Abweichung bis zu einem gewissen Ausmaß zwischen den Linsen 6 und 13 erzeugt ist, kann eine hierdurch erzeugte Änderung der Kupplungseffizienz vernachlässigt werden. Auf der anderen Seite sind strenge Toleranzen zwischen dem LD 1 und der Linse 6 und der Linse 13 und der Faser 14 erforderlich. Da jedoch zuverlässige Mittel für die Befestigung zwischen LD 1 und Linse 6 und zwischen Linse 13 und Faser 14 verwendet werden, wird eine positionelle Abweichung, die eine große Änderung der Kupplungseffizienz erzeugt, nicht erzeugt. Das heißt, bei dem Modul gemäß der vorliegenden Erfindung werden mechanisch sehr zuverlässige Mittel zum Zusammenbauen des Moduls an Abschnitten verwendet, wo die Toleranz mit Bezug auf die positionelle Abweichung klein ist. Auf der anderen Seite wird die Toleranz an Abschnitten sehr stark vergrößert, wo Mittel mit mechanisch geringer Zuverlässigkeit verwendet werden müssen, um das Modul zusammenzubauen. Als ein Ergebnis wird insgesamt ein LD-Modul mit kleinen Änderungen der Kupplungs-Effizienz und hoher Zuverlässigkeit gebildet.
  • Für eine Dichtigkeits-Eigenschaft kann gemäß dem DIP-Modul der vorliegenden Erfindung ein Dichtigkeitstest durchgeführt werden, bevor die Faser befestigt ist, wenn das Gehäuse durch eine Kappe vor dem Befestigen der Faser abgedichtet ist. Daher kann sowohl die grobe Dichtigkeitsüberprüfung als auch die feine Dichtigkeitsüberprüfung durchgeführt werden, wodurch eine gute Dichtigkeitseigenschaft sichergestellt wird. Dies kann mit dem herkömmlichen DIP-Modul nicht erzielt werden.
  • Zusätzlich werden bei dem DIP-Modul gemäß der vorliegenden Erfindung für Zerstörung anfällige Bauteile, wie beispielsweise die Faser mit sphärischem Ende, die bei dem herkömmlichen DIP-Modul ein Problem hervorrufen, nicht verwendet.
  • Schließlich werden die Probleme beschrieben, die auftreten, wenn eine Position der Faser justiert und befestigt ist. Wenn die Faser justiert und befestigt ist, sind die folgenden Punkte wichtig. Das heißt:
  • erstens ist eine Winkeljustierung nicht notwendig,
  • zweitens ist eine Justierbreite in der Richtung der optischen Achse klein, und drittens ist die Reproduzierbarkeit während der Fixierung gut, d. h. die Kupplungseffizienz wird durch die positionelle Abweichung, die während der Fixierung erzeugt wird, nicht verschlechtert. Das DIP-Modul gemäß der vorliegenden Erfindung kann diese Anforderungen durch die folgende Montagereihenfolge zufriedenstellen.
  • In der ersten Stufe wird der Halter 12 mit dem vorstehenden Teil 11 eines Modulhauptkörpers in Berührung gebracht, wobei der Zusammenbau des inneren des Gehäuses beendet ist, wie dies in der Fig. 2B dargestellt ist. Danach wird die Position der Linse 14 in einer Richtung rechtwinkelig zur optischen Achse justiert, so daß der durch die Linse 14 nach außen ausgegebene Strahl genau bezogen auf den Modul- Hauptkörper sich nach vorne ausbreitet, und dann wird der Halter zeitweilig gehalten, während diese Position aufrechterhalten wird.
  • Dann wird die Position des distalen Endes der Quarzfaser 14, deren Außenfläche durch den Metallzylinder 15 geschützt ist, in eine optimale Position einjustiert und dann werden der Metallzylinder 15 und der Gleitring 16 und der Halter 12 wie in der Fig. 2B gezeigt, jeweils verbunden. Als ein Ergebnis sind der Halter 12, der Gleitring 16 und die Quarzfaser 14 einstückig ausgebildet, um eine Faser zu bilden. Als ein Ergebnis der Befestigungsoperation wird jedoch die Position des distalen Endes der Quarzfaser 14, die einmal in der optimalen Position eingestellt worden ist, in einer Richtung rechtwinkelig zur optischen Achse verschoben, wodurch die Kupplungseffizienz bis zu einem gewissen Ausmaß verschlechtert wird.
  • Schließlich wird der Halter 12, der zeitweilig gehalten worden ist, freigegeben und nach der Position der Faser, die durch Integrieren des Halters 12 gebildet ist, werden der Gleitring 16 und die Quarzfaser 14 in einer Richtung rechtwinkelig zur optischen Achse justiert, um die Kupplungseffizienz wieder zu gewinnen, der Halter 12 ist an dem vorstehenden Teil 11 befestigt. Zu diesem Zeitpunkt kann die Verschlechterung der Kupplungseffizienz, die durch die positionelle Abweichung erzeugt wird, vernachlässigt werden, da die Toleranz zwischen den Linsen 6 und 13 wie vorstehend beschrieben sehr vergrößert ist.
  • Als ein Ergebnis der vorstehend beschriebenen Reihenfolge können alle Bauelemente aus dem Modul-Hauptkörper bis zur Faser einstückig ausgebildet werden und permanent ohne Verschlechterung der Kupplungseffizienz befestigt werden. In diesem Fall muß nicht wie bei dem vorstehend beschriebenen Koaxialmodul eine Winkeljustierung der Bauteile durchgeführt werden, und in der Richtung der optischen Achse ist eine große Justierbreite nicht notwendig. Der Grund, warum die Winkeljustierung nicht durchgeführt werden muß, ist der, daß eine Richtung des Lichtstrahls, der auf der Quarzfaser 14 auftrifft, optimiert ist, wenn die Position der Linse 13 in der ersten Stufe einjustiert ist. Der Grund, warum die große Justierbreite in Richtung der optischen Achse nicht notwendig ist, ist der, daß nur die Quarzfaser 14 unabhängig ohne Verschieben der Linse 13 verschoben wird, wenn die Position der Quarzfaser 14 in der Richtung der optischen Achse justiert wird. Dieser Vorgang ist bei dem vorstehend beschriebenen Koaxialmodul unmöglich, da die Linse 13 am distalen Ende der Faser liegt und befestigt ist, und dann die Justierung durchgeführt wird.
  • Wie vorstehend beschrieben, ist es offensichtlich, daß der Halbleitermodul gemäß der vorliegenden Erfindung alle erforderlichen Punkte gemäß Tabelle 1 erfüllt.
  • Dieser Modul hat auch die folgenden Charakteristiken.
  • Das heißt, bei einem Halbleiterlasermodul mit einer Linse, ist eine hohe Genauigkeit der relativen positionellen Beziehung zwischen dem LD und der Linse erforderlich, um die Kupplungseffizienz nicht zu verschlechtern. Obwohl die geforderte Genauigkeit von einer Konstante der verwendeten Linse abhängt, muß ein Fehler im allgemeinen innerhalb des Bereiches von mehreren Zehntel m in Richtung der optischen Achse und zwei Richtungen rechtwinkelig zur optischen Achse fallen. In der Fig. 2A hat das Substrat 7 die Nut 17 in einer Richtung rechtwinkelig zu der Lichtstrahl-Ausgangsrichtung des Halbleiterlasers 1, und in der Nut 17 ist der Chipträger 3 befestigt. Daher ist die Position des lichtemittierenden Punktes des Halbleiterlasers 1 durch die Größe der Bauteile mit Ausnahme für eine Richtung entlang der Nut bestimmt. Das Substrat 7 hat auch das Durchgangsloch 18, dessen Mittelpunkt mit der Mittelachse des Lichtstrahls des Halbleiters 1 übereinstimmt, und in das Durchgangsloch 18 ist die Linse 6 eingesetzt und dort befestigt. Daher ist die Position der Linse 6 bezüglich des Substrates durch die Größen der Bauteile mit Ausnahme für die optische Achse bestimmt. In diesem Fall kann die Richtung der optischen Achse fixiert werden, indem ein Positionieranschlag verwendet wird. Als ein Ergebnis wird die Position des Chipträgers 3, auf welchem der Halbleiterlaser 1 befestigt ist, durch Gleiten entlang der Nut 17 eingestellt, wodurch eine relative Positionierung zwischen dem Halbleiterlaser 1 und der Linse 6 erfolgt.
  • Die Fig. 3A und 3B zeigen eine andere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In den Fig. 3A und 3B hat ein Substrat 7' Nuten 17 und 19 in einer Richtung rechtwinkelig zu der Lichtstrahl-Ausgangsrichtung des Halbleiterlasers 1, und hat eine Nut 20 in einer Richtung parallel zur Lichtstrahl-Ausgangsrichtung. Der Chipträger 3 ist in der Nut 17 befestigt, und eine sphärische Linse 6' ist an einem Schnittpunkt zwischen den Nuten 19 und 20 befestigt. Die anderen Anordnungen sind ähnlich wie bei der in den Fig. 2A und 2B gezeigten Ausführungsform.
  • Aus der vorstehenden Beschreibung ist klar zu ersehen, daß dieser DIP-Modul alle Anforderungen, die in der Tabelle 1 gezeigt sind, erfüllt. Die Ausführungsform gemäß der Figuren 3A und 3B unterscheidet sich von der gemäß der Fig. 2A und 2B dadurch, daß die Linse 6' am rechtwinkeligen Schnittpunkt zwischen den zwei Nuten, die im Substrat ausgebildet sind, befestigt und fixiert ist. Zu diesem Zeitpunkt ist die Linse 6' automatisch mit Bezug auf das Substrat 7 positioniert, wenn die Breite jeder der zwei Nuten mit einem Wert übereinstimmt, der durch Multiplizieren eines Durchmessers der Linse 6' mit 2 erhalten wird.
  • Diese Ausführungsform hat verglichen mit der Ausführungsform wie sie in den Fig. 2A und 2B gezeigt ist, Vorteile bezüglich der leichten Herstellung und niedriger Kosten.
  • Genauer gesagt können die folgenden drei Vorteile erzielt werden.
  • 1. Da nur die Nuten geschnitten sind, wenn das Substrat 7' geformt wird, kann ein billiges Bauteil mit hoher Genauigkeit erhalten werden.
  • 2. Die sphärische Linse ist verglichen mit anderen Linsen billig und bezüglich der Herstellgenauigkeit von Vorteil.
  • 3. Da die Linse 6' automatisch mit Bezug auf das Substrat 7' positioniert wird, kann die Montage vereinfacht werden.
  • Wie vorstehend beschrieben, ist das Halbleiterlasermodul gemäß der vorliegenden Erfindung bezüglich der Kupplungseffizienz zwischen Halbleiterlaser und optischer Faser, der Stabilität gegenüber Verschlechterung im Lauf der Zeit und einer Temperaturänderung in der Kupplung, und bezüglich der Handhabbarkeit während der Montage, von Vorteil.

Claims (4)

1. Halbleiterlasermodul mit: einem Gehäuse (9) mit einem Fensterglas (10), das hermetisch in einem Seitenwandteil desselben abgedichtet ist; einem Substrat (7), das innerhalb des Gehäuses festgelegt ist; einem Halbleiterlaser (1), der auf dem Substrat über einen Chipträger (3) befestigt ist; und einer ersten Linse (6), die an dem Substrat in der Nähe des Lasers befestigt ist; einer zweiten Linse (13), die von einem Halter (12) außerhalb des Fensterglases gehalten ist, um von der ersten Linse Licht zu empfangen, wobei der Halter an einem Außenseitenteil der Seitenwand befestigt ist; und einer Lichtleitfaser (14), die an dem Halter befestigt ist, und so angeordnet ist, daß die Endfläche der Faser von der zweiten Linse Licht empfängt.
2. Modul nach Anspruch 1, wobei das Substrat in einer Richtung rechtwinkelig zu einer Lichtstrahl-Ausgangsrichtung des Halbleiterlasers eine Nut hat, der Chipträger in der Nut befestigt ist, das Substrat ein Durchgangsloch hat, dessen Mittelpunkt auf der Mittelachse eines Lichtstrahls des Halbleiterlasers liegt, und die erste Linse in dieses Durchgangsloch eingesetzt ist.
3. Modul nach Anspruch 1, wobei das Substrat in einer Richtung rechtwinkelig zu einer Lichtstrahl-Ausgangsrichtung des Halbleiterlasers erste und zweite Nuten hat, und eine dritte Nut in einer Richtung parallel zu der Lichtstrahl-Ausgangsrichtung hat, der Chipträger in der ersten Nut befestigt ist, und die erste Linse eine sphärische Linse ist, die in einer Schnittstelle von zweiter und dritter Nut befestigt ist.
4. Halbleiterlasermodul,
in dem ein Halbleiterlaser (1) und ein Peltier-Element (8) zum Steuern der Temperatur des Halbleiterlasers in einem kastenförmigen Metallgehäuse (9) montiert sind, und das eine Licht nach außen leitende Lichtleitfaser (14) hat, wobei ein Teil in der Nähe des distalen Endes durch einen Metallzylinder (15) geschützt ist, mit:
einem Fensterglas (10) im Metallgehäuse, das hermetisch in einem Seitenwandteil desselben abgedichtet ist; einem Substrat (7), das auf dem Peltier-Element, welches im Metallgehäuse befestigt ist, fixiert ist; wobei der Halbleiterlaser über einen Chipträger (3) auf dem Substrat befestigt ist; einer ersten Linse (6), die auf dem Substrat in der Nähe des Lasers befestigt ist, mit einer Licht-Kontroll-Diode (4) in der Nähe des Lasers und einem Thermistor (5), der auf dem Substrat befestigt ist; einer zweiten Linse (13), deren Außenfläche durch einen Halter (12) gehalten ist, der mit der Wand um das Fensterglas des Gehäuses so verbunden ist, daß die zweite Linse außerhalb des Fensterglases liegt und von der ersten Linse Licht empfängt; und einem Gleitring (16), dessen Innendurchmesser etwas größer als ein Außendurchmesser des Metallzylinders ist, wobei der Gleitring mit dem Halter verbunden ist, und der Metallzylinder mit dem Gleitring verbunden ist, wobei die Lichtleitfaser (14) so angeordnet ist, daß die Endfläche der Faser Licht von der zweiten Linse empfängt.
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