DE60029807T2 - Optoelektronische module mit doppelter umhüllung - Google Patents

Optoelektronische module mit doppelter umhüllung Download PDF

Info

Publication number
DE60029807T2
DE60029807T2 DE60029807T DE60029807T DE60029807T2 DE 60029807 T2 DE60029807 T2 DE 60029807T2 DE 60029807 T DE60029807 T DE 60029807T DE 60029807 T DE60029807 T DE 60029807T DE 60029807 T2 DE60029807 T2 DE 60029807T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
enclosure
heat
optoelectronic
unit
optical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE60029807T
Other languages
English (en)
Other versions
DE60029807D1 (de
Inventor
Jean-Marc Palo Alto VERDIELL
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Intel Corp
Original Assignee
Intel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=23540069&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=DE60029807(T2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Intel Corp filed Critical Intel Corp
Application granted granted Critical
Publication of DE60029807D1 publication Critical patent/DE60029807D1/de
Publication of DE60029807T2 publication Critical patent/DE60029807T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10HINORGANIC LIGHT-EMITTING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING POTENTIAL BARRIERS
    • H10H20/00Individual inorganic light-emitting semiconductor devices having potential barriers, e.g. light-emitting diodes [LED]
    • H10H20/80Constructional details
    • H10H20/85Packages
    • H10H20/858Means for heat extraction or cooling
    • H10H20/8586Means for heat extraction or cooling comprising fluids, e.g. heat-pipes
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4256Details of housings
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4266Thermal aspects, temperature control or temperature monitoring
    • G02B6/4268Cooling
    • G02B6/4269Cooling with heat sinks or radiation fins
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4266Thermal aspects, temperature control or temperature monitoring
    • G02B6/4268Cooling
    • G02B6/4271Cooling with thermo electric cooling
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/02208Mountings; Housings characterised by the shape of the housings
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/024Arrangements for thermal management
    • H01S5/02407Active cooling, e.g. the laser temperature is controlled by a thermo-electric cooler or water cooling
    • H01S5/02415Active cooling, e.g. the laser temperature is controlled by a thermo-electric cooler or water cooling by using a thermo-electric cooler [TEC], e.g. Peltier element
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/0225Out-coupling of light
    • H01S5/02251Out-coupling of light using optical fibres
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/024Arrangements for thermal management
    • H01S5/02469Passive cooling, e.g. where heat is removed by the housing as a whole or by a heat pipe without any active cooling element like a TEC

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)

Description

  • GEBIET DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft Einheiten bzw. Gehäuse für optische und elektronische Komponenten. Im Besonderen betrifft die vorliegende Erfindung Einheiten mit zwei Einfassungen als Gehäuse für optische und elektronische Komponenten.
  • STAND DER TECHNIK
  • Im Zuge der zunehmenden Integration optischer Komponenten in elektronischen Komponenten, wurden Einheiten bzw. Gehäuse für optoelektronische Vorrichtungen entwickelt. Einzeln wurden Einheiten für optische Komponenten und Einheiten für elektronische Komponenten entwickelt, um unterschiedliche Probleme in Bezug auf die Unterbringung bzw. Gehäuse zu lösen. Zum Beispiel müssen optische Komponenten präzise ausgerichtet werden, und die Ausrichtung muss beibehalten werden, um eine ordnungsgemäße Funktionalität zu gewährleisten.
  • Eine optoelektronische Einheit muss für gewöhnlich eine Reihe von Voraussetzungen erfüllen. Eine Einschränkung bzw. Voraussetzung ist es, dass jegliche in der Einheit erzeugte Wärme entfernt werden muss, ohne dabei die Elektronik und die Optik in der Einheit zu beeinträchtigen, einschließlich deren entsprechenden Schnittstellenverbindungen mit der Einheit. Gemäß dem Stand der Technik beeinträchtigt der thermische Pfad für gewöhnlich den elektrischen Pfad. Zum Beispiel wird in einer standardmäßigen Schmetterlings- bzw. Flügeleinheit Wärme erzeugt, die nach unten zu der Unterseite der Einheit wandert, während sich die elektrischen Verbindungen auf mittlerer Höhe entlang der Seite der Einheit befinden. Dies ist für eine standardmäßige Anbringung in Bezug auf eine gedruckte Leiterplatte ungeeignet bzw. unpraktisch. Eine weitere Einschränkung in Bezug auf optoelektronische Einheiten ist es, dass die meisten WDM-Optoelektronikbausteine eine Temperaturregelung erfordern (z.B. Wellenlängenregelung der übertragenden Laser, Wärmeabstrahlung von Pumpen). Ohne die erforderliche Temperaturregelung können Probleme in Bezug auf die Regelung der Wellenlänge der übermittelnden Laser auftreten. Ferner kann ohne Temperaturregelung die zweckmäßige Wärmeabstrahlung, wie zum Beispiel von Pumplasern, Probleme verursachen. Eine dritte Einschränkung in Bezug auf optoelektronische Einheiten ist es, dass aktive optoelektronische Chips, wie etwa im Besonderen eine Laserdiode, eine luftdichte Einfassung mit geringer Gasabgabe voraussetzen. Das heißt, die gesamte Einheit in dieser Einfassung kann keinen Klebstoff aufweisen, und das Löten muss unter Verzicht auf Fluss vorgenommen werden. Dies ist aus Sicht der Fertigung außerordentlich schwierig.
  • Aufgrund der zahlreichen Einschränkungen in Bezug auf optoelektronische Einheiten, handelt es sich bei den aktuellen optoelektronischen Einheiten um große Einheiten, deren Fertigung teuer und schwierig ist. Benötigt wird eine verbessere optoelektronische Einheit.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Beschrieben wird eine optoelektronische Einheit mit zwei Einfassungen. Optoelektronische Einheiten mit zwei Einfassungen sind bekannt aus WO 9835410 oder JP62139375 . Die Einheit weist eine erste Einfassung mit mindestens einer optischen Komponente und einer Wärmeleitung auf, um Wärme von der optischen Komponente abzuleiten, und eine zweite Einfassung, die thermisch mit der ersten Einfassung gekoppelt ist und mindestens eine Wärmeabstrahlungsvorrichtung aufweist, um Wärme von der ersten Einfassung abzustrahlen.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Die Erfindung ist in den Abbildungen der beigefügten Zeichnungen beispielhaft und ohne einzuschränken veranschaulicht, wobei die gleichen Elemente mit übereinstimmenden Bezugsziffern bezeichnet sind. Es zeigen:
  • 1 eine Seitenschnittansicht eines Ausführungsbeispiels einer optoelektronischen Einheit gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • 2 eine Seitenschnittansicht einer optoelektronischen Einheit mit zwei Einfassungen nicht gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • 3 eine Seitenschnittansicht einer optoelektronischen Einheit mit zwei Einfassungen nicht gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • 4 eine Seitenschnittansicht einer optoelektronischen Einheit mit zwei Einfassungen nicht gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • GENAUE BESCHREIBUNG
  • Beschrieben wird eine optoelektronische Einheit mit zwei Einfassungen. In der folgenden Beschreibung sind zu Erläuterungszwecken zahlreiche besondere Einzelheiten ausgeführt, um ein umfassendes Verständnis der Erfindung zu vermitteln. Der Fachmann auf dem Gebiet erkennt jedoch, dass die Erfindung auch ohne diese besonderen Einzelheiten ausgeführt werden kann. In anderen Fällen sind Strukturen und Vorrichtungen in Blockdiagrammform dargestellt, um die Erfindung nicht unnötig zu verschleiern.
  • Verweise in der Beschreibung auf „ein Ausführungsbeispiel" bedeuten, dass ein bestimmtes Merkmal, eine Struktur oder eine Eigenschaft, die in Verbindung mit dem Ausführungsbeispiel beschrieben werden, in mindestens einem Ausführungsbeispiel der Erfindung enthalten sind. Der Ausdruck „in einem Ausführungsbeispiel" an verschiedenen Stellen der Beschreibung bezieht sich nicht unbedingt stets auf das gleiche Ausführungsbeispiel.
  • Überblick
  • Beschrieben wird eine Einheit als Gehäuse für optoelektronische und/oder optische Komponenten (z.B. eine Laserdiode, Linsen bzw. Objektive, Fasern bzw. Leiter, etc.) unter Verwendung von zwei Einfassungen. Eine erste Einfassung weist optische Komponenten mit der erforderlichen Ausrichtung, Hermitezität und geringen Ausgasungsumgebung auf, so dass eine optoelektronische Einheit mit hoher Zuverlässigkeit erzeugt wird. Die erste Einfassung weist ferner eine Wärmeleitung oder eine andere Wärmeabstrahlungsvorrichtung auf, um die durch die Komponente darin erzeugte Wärme abzustrahlen, und um die Wärme zu der anderen Einfassung zu leiten. Eine zweite Einfassung weist eine oder mehrere zusätzliche Wärmeabstrahlungsvorrichtungen (z.B. eine Peltier-Kühlvorrichtung) auf. Die zweite Einfassung ist thermisch und mechanisch gekoppelt mit der ersten Einfassung. In einem Ausführungsbeispiel befindet sich die zweite Einfassung oberhalb der ersten Einfassung oder umgekehrt.
  • Da die zweite Einfassung keine optischen Komponenten aufweist, können für die Montage bzw. Einheit ausgasende Materialien eingesetzt werden. Anders ausgedrückt ist oder kann der Einsatz von flussfreien, organisch-freien Montagematerialien auf eine Einfassung beschränkt sein, die nur die kritischen optischen Elemente aufweist (z.B. eine Laserdiode und Kopplungsoptik), währen die Kühlung (und häufig Elektronik) in der zweiten Einfassung unter Verwendung von Klebstoff oder normalem Lötmittel mit Fluss angebracht werden kann, was aus Sicht der Fertigung deutlich einfacher ist. Da die zweite Einfassung keine empfindlichen optischen Elemente aufweist, können sich die Anforderungen in Bezug auf die Hermitezität der zweiten Einfassung von den Anforderungen für die erste Einfassung unterscheiden.
  • Eine Abstrahleinrichtung oder eine andere Wärmeabstrahlungsvorrichtung ist mit der Einheit aus zwei Einfassungen gekoppelt. In einem Ausführungsbeispiel ist eine Abstrahleinrichtung mit der zweiten Einfassung gekoppelt, um durch die erste Einfassung erzeugte Wärme abzustrahlen, die zu der zweiten Einfassung übertragen worden ist.
  • In einem Ausführungsbeispiel kann die Einheit aus zwei Einfassungen zu geringen Kosten massengefertigt werden, während die präzise Ausrichtung der optischen Komponenten in der optischen Einfassung beibehalten werden kann, einschließlich deren Lichtwellenleitern und Abschnitten dieser.
  • Die Abbildung aus 1 zeigt eine Seitenschnittansicht eines Ausführungsbeispiels einer optoelektronischen Einheit. In Bezug auf 1 handelt es sich bei der Einheit 100 um eine optoelektronische Einheit mit zwei Einfassungen, die als Gehäuse für optische Komponenten dient, in Verbindung mit einer oder mehreren Wärmeabstrahlungsvorrichtungen, und zwar in einer unteren Einfassung, und mit mindestens einer Wärmeabstrahlungsvorrichtung in einer oberen Einfassung.
  • Die optoelektronische Einheit 100 ist auf einem Substrat 140 ausgebildet, das einen Boden für die optische Einfassung bereitstellt. In einem Ausführungsbeispiel handelt es sich bei dem Substrat 140 um ein Material mit sehr geringer Expansion (z.B. Aluminiumoxidkeramik), das eine gute mechanische Stabilität bereitstellt. Der Lichtwellenleiter 180 überträgt optische Signale zwischen Komponenten in der unteren Einfassung der Einheit 100 und externen Vorrichtungen (in 1 nicht abgebildet). In einem Ausführungsbeispiel verläuft der Lichtwellenleiter 180 durch eine Öffnung, die zwischen den Seitenwänden 170 und 175 ausgebildet ist. Alternativ kann eine Röhre oder ein Loch in einer einteiligen Wand bereitgestellt werden. Die Öffnung, durch welche der Lichtwellenleiter 180 verläuft, kann auf jede im Fach bekannte Art und Weise abgedichtet werden, um die gewünschte Hermitezität bereitzustellen. An Stelle eines Lichtwellenleiters können andere hermetische optische Schnittstellen eingesetzt werden, wie zum Beispiel ein Fenster oder eine Linse, die in der Wand abgedichtet ist, oder ein hermetisches optisches Verbindergehäuse. Die optische Einfassung weist ferner eine Seitenwand 142 auf.
  • In einem Ausführungsbeispiel ruht eine Wärmeausbreitungseinrichtung 155 auf dem Substrat 140 in der unteren Einfassung. Die Wärmeausbreitungseinrichtung 155 trägt die Komponente 157 (z.B. eine Laserdiode) und strahlt Wärme von der Komponente 157 über eine größere Oberfläche ab. Darüber hinaus kann die Wärmeausbreitungseinrichtung 155 eine Höhenanpassung bereitstellen, um die Komponente 157 in optische Ausrichtung zu bringen und um ferner elektrische Kontakte für die Komponente 157 bereitzustellen, wenn es sich bei der Komponente 157 um ein aktives optoelektronisches Element (z.B. eine Laserdiode) handelt. Die Wärmeleitung 150 ruht auf der Wärmeausbreitungseinrichtung 155 und ist thermisch und mechanisch mit dieser gekoppelt und leitet Wärme von der Wärmeausbreitungseinrichtung 155 zu dem Mittelstück 130 der Einheit, wobei dieses als eine Decke für die untere Einfassung und als Boden für die obere Einfassung fungiert.
  • In einem Ausführungsbeispiel ruht der Träger 160 ferne auf dem Substrat 140. Der Träger 160 stellt eine ordnungsgemäße Ausrichtung für die Komponente 160 (z.B. eine Linse) bereit, so dass optische Daten von der Vorrichtung 157 zu dem Lichtwellenleiter 180 übertragen werden. Während das Ausführungsbeispiel aus 1 zwei optische Komponenten (d.h. 157 und 165) aufweist, kann jede beliebige Anzahl von optischen Komponenten in der optischen Einfassung enthalten sein.
  • In einem Ausführungsbeispiel handelt es sich bei der Wärmeausbreitungseinrichtung 155 und/oder dem Träger 160 um Unterträger aus einem Material bzw. Werkstoff mit hoher thermischer Leitfähigkeit, wie zum Beispiel Kupfer-Wolfram, Aluminiumnitrid, Berylliumoxid oder Bornitrid. Die Wärmeausbreitungseinrichtung 155 und/oder der Träger 160 können zum Beispiel durch Löten oder Hartlöten an dem Substrat angebracht werden oder auch ein Teil des Substratmaterials selbst sein.
  • In einem Ausführungsbeispiel kann die Komponente 157 eine kantenemittierende, seitlich montierte oder Wellenleitervorrichtung handeln, wie zum Beispiel eine Laserdiode, einen Modulator, einen Detektor, angebracht an der Wärmeausbreitungseinrichtung 155 und/oder dem Träger 160. Mikrooptische Elemente, wie zum Beispiel Mikrolinsen bzw.
  • Mikroobjektive, Filter, Splitter, Isolatoren, können direkt auf dem Substrat 140 und/oder dem Träger 160 angebracht werden.
  • In einem Ausführungsbeispiel werden die Höhe der Wärmeausbreitungseinrichtung 155 und/oder des Trägers 160 und die Höhe der optischen Komponenten so ausgewählt, dass die optischen Komponenten 157 und 163 vertikal ausgerichtet sind (d.h. ihre optischen Achsen liegen in einer gemeinsamen Ebene, die parallel zu dem Boden der ersten Einfassung ist).
  • In einem Ausführungsbeispiel entspricht die Höhe der Wärmeausbreitungseinrichtung 155 und/oder des Trägers 160 einem kleinen Bruchteil (z.B. < 1/10) der Länge des Substrats 140, so dass die Einheit im Wesentlichen zweidimensional ist und unter Verwendung der Bestückungsautomation hergestellt werden kann. Unter Verwendung einer Bestückungsautomateinheit mit hoher Präzision kann das optische Verhältnis zwischen den optischen Komponenten in den lateralen und transversalen Dimensionen mit einer bis auf wenige Mikron genauen Präzision hergestellt werden. Die Höhenausrichtung zwischen den Komponenten wird durch die Höhe der Wärmeausbreitungseinrichtung 155 und/oder des träger 160 bestimmt. Unter Verwendung einer präzisen Regelung der Materialien oder einer Poliertechnik kann die Höhe der Wärmeausbreitungseinrichtung 155 und/oder des Trägers 160 bis auf eine Genauigkeit von innerhalb von zehn Mikron oder präziser geregelt werden.
  • In einem Ausführungsbeispiel wird die Verteilung elektrischer Signale an Stifte außerhalb der unteren Einfassung von den inneren Komponenten über eine Reihe von Durchkontaktierungen durch den Boden des Substrats 140 erreicht. In einem Ausführungsbeispiel umfassen die Durchkontaktierungen luftdicht gefüllte Durchkontaktierungen. In einem alternativen Ausführungsbeispiel werden elektrische Verbindungen bereitgestellt durch eine Reihe von Leitungen, die als eine Reihe von Mustern direkt auf die Oberseite und Unterseite des Substrats 140 gedruckt sind. Die oberen und unteren elektrisch leitfähigen Muster sind durch Durchkontaktierungen elektrisch verbunden. Indem die Wärme durch die Oberseite der Einheit abgestrahlt wird und mit elektrischen Verbindungen durch die Unterseite der Einheit, stören sich der elektrische Pfad und der thermische Pfad im Wesentlichen nicht gegenseitig. Die Einheit kann somit wie jede andere elektronische Komponente an einer gedruckten Leiterplatte (PCB) angebracht werden. Dies ermöglicht ferner deutlich kürzere elektrische Verbindungen zu der gedruckten Leiterplatte, was eine bessere Leistung bei hohen Geschwindigkeiten bereitstellt. Unter Verwendung von Durchkontaktierungen können Signale von der unteren Einfassung an Stifte an der Peripherie der Einheit, an eine Ball Grid Array oder eine ähnliche Struktur unterhalb der Einheit verteilt werden, und zwar ohne zusätzliche Verdrahtung oder hermetische Wanddurchführungen. Diese Konfiguration ist vorteilhaft für Hochgeschwindigkeitsverbindungen, da die Durchkontaktierungen kurz sind (z.B. kürzer als ungefähr 1 mm) und da die Drahtlängen reduziert sind, was wiederum die parasitäre Kapazität und Induktivität reduziert, die ansonsten die Betriebsgeschwindigkeit begrenzen bzw. einschränken würde. Wenn die Komponente 157 zum Beispiel eine Laserdiode umfasst, kann es sich bei ihrer Verbindung durch das Substrat 140 um eine sehr kurze Hochgeschwindigkeitsverbindung handeln (z.B. 1–2 mm).
  • Das Substrat 140, die Seitenwände 142, 170 und 175 und das Mittelteil 130 der Einheit werden auf im Fach bekannte Art und Weise montiert, um die entsprechend zweckmäßige Hermitezität für die optischen Komponenten bereitzustellen. In einem Ausführungsbeispiel weist die untere Einfassung eine hohe Hermitezität auf und ist frei von organischen Substanzen und flussfrei, um die Ausgasung zu regeln. In einem Ausführungsbeispiel ist die Verlustrate der unteren Einfassung kleiner oder gleich 10–8 atm/cc·s. In einem Ausführungsbeispiel umfassen die Seitenwände 142, 170 und 175 und das Mittelteil 130 ein Materialstück, das als Kappe über dem Substrat 140 fungiert. In einem Ausführungsbeispiel umfasst das Mittelteil 130 ein keramisches Substrat.
  • Danach wird die obere Einfassung montiert, wobei die zweckmäßige Hermitezität für die kühlenden und elektronischen Komponenten bereitgestellt wird. Die obere Einfassung kann mit Klebstoffen (z.B. Epoxidharzen), Fluss, etc. montiert werden. In einem Ausführungsbeispiel stellt die Hermitezität der oberen Einfassung eine niedrige Hermitezität dar, die ferner niedriger ist als die der unteren Einfassung. In einem Ausführungsbeispiel ist die Verlust- bzw. Austrittsrate für die obere Einfassung kleiner oder gleich 10–5 atm/cc·s. Alternativ kann die obere Einfassung zuerst montiert werden, und wobei die optische Einfassung danach montiert wird.
  • In einem Ausführungsbeispiel weist die obere Einfassung ein Mittelteil 130 der Einheit, die Wände 112 und 114 und die Decke 110 auf. Die obere Einfassung stellt die entsprechende Hermitezität für Komponenten darin bereit. In einem Ausführungsbeispiel weist die obere Einfassung eine Peltier-Kühlvorrichtung 125 und elektronische Komponenten 120 auf, wie zum Beispiel einen Thermistor, eine integrierte Schaltung, eine Temperaturregelungsschaltkreisanordnung, eine Signalverarbeitungsvorrichtung, einen Multiplexer, eine Laserdioden-Steuereinrichtung, einen Mikrocontroller, etc. Die Peltier-Kühlvorrichtung 125 ist für die Ausführung der Erfindung nicht erforderlich; wobei die Peltier-Kühlvorrichtung 125 jedoch eine bessere Temperaturregelung oder Wärmeabstrahlung bereitstellen kann als andere Ausführungsbeispiele ohne eine Peltier-Kühlvorrichtung. In alternativen Ausführungsbeispielen können andersartige elektronische Wärmeabstrahlungsvorrichtungen verwendet werden. In alternativen Ausführungsbeispielen kann die obere Einfassung ferner eine Peltier-Kühlvorrichtung 125 oder eine andere Wärmeabstrahlungsvorrichtung und keine elektronischen Komponenten 120 aufweisen.
  • An Stelle einer Wärmeabstrahlungsvorrichtung kann die obere Einfassung eine Wärmeregelungsvorrichtung aufweisen, wie zum Beispiel ein Heizelement zur Erzeugung von Wärme, oder ein Wärmestabilisierungselement, das die Stabilisierung der Wärme in der unteren Einfassung unterstützt.
  • Die Abstrahleinrichtung 105 ist auf im Fach bekannte Art und Weise an der Decke 110 angebracht. Die Abstrahleinrichtung 105 ist als eine Abstrahleinrichtung vom Typ mit Finne bzw. Rippe veranschaulicht, wobei aber auch jede andere Art von Abstrahleinrichtung verwendet werden kann.
  • Eine oder mehrere Öffnungen (in der Abbildung aus 1 nicht abgebildet) können zwischen den oberen und unteren Einfassungen bereitgestellt werden, um eine Verbindung zwischen Komponenten in jeder Einfassung bereitzustellen. In einem Ausführungsbeispiel ist die bzw. sind die Öffnung(en) zwischen den Einfassungen dicht verschlossen, so dass die hermetische Umgebung jeder Umgebungseinfassung erhalten bleibt.
  • Die Abbildung aus 2 zeigt eine Seitenansicht, die ein Ausführungsbeispiel einer optoelektronischen Einheit veranschaulicht, die nicht Teil der Erfindung ist. Bei der Einheit 200 handelt es sich um eine optoelektronische Einheit mit zwei Einfassungen. Die beiden Einfassungen werden unter Verwendung eines Substrats miteinander gekoppelt.
  • In Bezug auf die Abbildung aus 2 sind in einem Ausführungsbeispiel die optoelektronischen und/oder optischen Komponenten in der oberen Einfassung auf die gleiche Art und Weise wie in 1 enthalten. Zum Beispiel ruhen eine Wärmeausbreitungseinrichtung 250 und ein Träger 260 in der oberen Einfassung auf dem Mittelteil 240 der Einheit. Die Wärmeausbreitungseinrichtung 250 arbeitet so, dass sie die Wärme von der optischen Komponente 255 (z.B. einer Laserdiode) abstrahlt und ausbreitet. Der Träger 260 fungiert so, dass er die optische Komponente 265 (z.B. eine Linse) mit dem Lichtwellenleiter 280 und der optischen Komponente 250 optisch ausrichtet. Nicht alle optischen Komponenten erfordern den Träger 260 für eine ordnungsgemäße Ausrichtung. In alternativen Ausführungsbeispielen ist eine unterschiedliche Anzahl von optischen Komponenten in der optischen Einfassung enthalten.
  • Die obere Einfassung weist das Mittelteil 240 der Einheit, die Seitenwände 242, 270 und 275 und die Decke 230 auf. In einem Ausführungsbeispiel stellen die Seitenwände 270 und 275 eine Öffnung für den Lichtwellenleiter 280 bereit; wobei an Stelle von zwei partiellen Seitenwänden auch eine einzige Seitenwand eingesetzt werden kann. Die für den Lichtwellenleiter 280 bereitgestellte Öffnung ist dicht verschlossen, um die zweckmäßige Hermitezität für die obere Einfassung bereitzustellen.
  • Das Mittelteil 240 aus 2 fungiert sowohl als Substrat für die Übertragung elektrischer Signale zu Komponenten in der oberen Einfassung als auch als Mittelteil zwischen den beiden Einfassungen. Die Verteilung von elektrischen Signalen an Stifte außerhalb der oberen Einfassung von inneren Komponenten wird durch eine Anordnung von Durchkontaktierungen durch die Unterseite des Mittelteils 240 erreicht, wie dies vorstehend in Bezug auf die Abbildung aus 1 beschrieben worden ist. In einem Ausführungsbeispiel umfassen die Durchkontaktierungen hermetisch gefüllte Durchkontaktierungen. In einem alternativen Ausführungsbeispiel sind elektrische Verbindungen bereitgestellt durch eine Reihe von Leitungen, die direkt auf die Ober- und Unterseite des Mittelteils 240 als eine Reihe von Mustern gedruckt sind. Die oberen und unteren elektrisch leitfähigen Muster sind durch die Durchkontaktierungen elektrisch verbunden. Unter Verwendung der Durchkontaktierungen können Signale von der oberen Einfassung zu Stiften an der Peripherie der Einheit oder an elektronische Komponenten 220, die in der unteren Einfassung angeordnet sind, verteilt werden.
  • Die untere Einfassung weist das Substrat 210, die Seitenwände 212 und 214 und das Mittelteil 240 der Einheit auf. In einem Ausführungsbeispiel sind eine Peltier-Kühlvorrichtung 225 und die elektronischen Komponenten 220 in der unteren Einfassung angeordnet; wobei, wie dies bereits vorstehend im Text beschrieben worden ist, die Peltier-Kühlvorrichtung 225 nicht erforderlich ist. Die Peltier-Kühlvorrichtung 225 überträgt Wärme von dem Mittelteil 240 der Einheit, die durch die optischen Komponenten in der oberen Einfassung erzeugt worden ist. In einem Ausführungsbeispiel ist die Peltier-Kühlvorrichtung 225 an der Oberseite und der Unterseite der unteren Einfassung durch Klebstoff oder jeden anderen im Fach allgemein bekannten Befestigungsmechanismus (z.B. Lötmittel) angebracht.
  • In einem Ausführungsbeispiel erstreckt sich das Mittelteil 240 der Einheit über die Seitenwände 212 und 214 hinaus, um einen Träger für elektrische Verbindungen an der Peripherie der Vorrichtung bereitzustellen. Eine Abstrahleinrichtung oder eine Wärmeabstrahlungsvorrichtung kann an der unteren Einfassung oder dem Mittelteil 240 der Einheit angebracht werden, um eine zusätzliche Wärmeabstrahlungsfähigkeit bereitzustellen.
  • In einem alternativen Ausführungsbeispiel weist das Mittelteil 240 der Einheit die gleiche Breite auf wie die Unterseite bzw. der Boden 210.
  • Das Mittelteil 240, die Seitenwände 212 und 214 und der Boden 210 werden auf jede beliebige im Fach bekannte Art und Weise montiert, um die zweckmäßige Hermitezität für die Wärmeabstrahlungskomponenten bereitzustellen. In einem Ausführungsbeispiel weist die untere Einfassung eine niedrige Hermitezität auf. In einem Ausführungsbeispiel umfassen die Seitenwände 212 und 214 und der Boden 210 ein Materialstück, das das Mittelteil 240 abdeckt.
  • In einem Ausführungsbeispiel umfasst das Mittelteil 240 ein Keramiksubstrat. Das Mittelteil 240 der Einheit kann eine oder mehrere Öffnungen (in 2 nicht abgebildet) aufweisen, um eine oder mehrere Verbindungen zwischen Komponenten in den Einfassungen zu ermöglichen. Die Öffnung(en) ist bzw. sind dicht verschlossen, um die gewünschte Hermitezität für die untere Einfassung und die obere Einfassung bereitzustellen.
  • Die Abbildung aus 3 zeigt ein alternatives Ausführungsbeispiel einer Einheit mit zwei Einfassungen aus 2. In Bezug auf 3 befindet sich die Einfassung, welche die optischen Komponenten aufweist, vollständig in der Einheit und im Wesentlichen in der Einfassung, welche die eine oder die mehreren Wärmeabstrahlungsvorrichtungen aufweist. Das vorliegende Ausführungsbeispiel stellt eine Doppelwand zum Schutz der optischen Komponente in Bezug auf die Außenseite der Einheit bereit, was die Zuverlässigkeit erhöht und die präzise Temperaturregelung in der Einfassung ermöglicht.
  • Die Abbildung aus 4 veranschaulicht ein alternatives veranschaulichendes Ausführungsbeispiel der Einheit, die nicht Teil der Erfindung ist. In diesem Ausführungsbeispiel weist die untere Einfassung eine Höhe auf, die ausreichend kurz ist, so dass Verbindungen von dem oberen Abschnitt der unteren Einfassung zu der Platte, an welcher die Einheit angebracht wird, den Einsatz von Hochgeschwindigkeitsvorrichtungen in der Einheit ermöglichen. Zum Beispiel ist die Höhe (Dicke) der Einfassung auf wenige Millimeter beschränkt.
  • Hierin werden zwar Ausführungsbeispiele von optoelektronischen Einheiten beschrieben, mit einem oder mehreren optischen Elementen auf Plattformen, wobei es gemäß den Lehren der vorliegenden Erfindung auch möglich ist, die Elemente an dem Boden der Einheit zu platzieren, während andere optische Elemente der Einheit unterhalb der oberen Oberfläche des Bodens der Einheit angebracht sind.
  • In der vorstehenden Beschreibung wurde die Erfindung in Bezug auf besondere Ausführungsbeispiele der Erfindung beschrieben. Es ist jedoch offensichtlich, dass diesbezüglich verschiedene Modifikationen und Abänderungen möglich sind, ohne dabei vom weiteren Umfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Die Beschreibung und die Zeichnungen dienen somit der Veranschaulichung und haben keine einschränkende Funktion.

Claims (10)

  1. Optoelektronische Einheit (100), die folgendes umfasst: eine erste Einfassung mit mindestens einer optischen Komponente (157, 165); und eine zweite Einfassung, die thermisch mit der ersten Einfassung gekoppelt ist und mindestens eine Wärmeregelungsvorrichtung aufweist, um die Wärme in Bezug auf die erste Einfassung zu regeln, dadurch gekennzeichnet, dass eine der ersten und zweiten Einfassungen oberhalb der anderen der ersten und zweiten Einfassungen angeordnet ist, und wobei die erste Einfassung eine Wärmeleitung (150) umfasst, um Wärme von der mindestens eine optischen Komponente weg zu leiten.
  2. Optoelektronische Einheit nach Anspruch 1, wobei die Wärmeregelungsvorrichtung eine Wärmeabstrahlungsvorrichtung umfasst, um Wärme von der ersten Einfassung abzustrahlen.
  3. Optoelektronische Einheit nach Anspruch 1, wobei die Wärmeregelungsvorrichtung eine Heizvorrichtung umfasst, um der ersten Einfassung Wärme bereitzustellen.
  4. Optoelektronische Einheit nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die ersten und zweiten Einfassungen durch eine gemeinsame Struktur (130) angebracht sind, durch welche Wärme abgestrahlt wird, wobei die gemeinsame Struktur ein Substrat umfasst, das eine hermetische Wand zwischen den ersten und zweiten Einfassungen bildet.
  5. Optoelektronische Einheit nach Anspruch 2, wobei die Wärmeabstrahlungsvorrichtung eine Peltier-Kühlvorrichtung (125) umfasst.
  6. Optoelektronische Einheit nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die Hermitezität der ersten Einfassung der ersten Einfassung größer ist als die Hermitezität der zweiten Einfassung.
  7. Optoelektronische Einheit nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei diese ferner eine Durchkontaktierung zwischen der ersten Einfassung und der zweiten Einfassung umfasst, um eine elektrische Verbindung mit mindestens einem optischen Element zu ermöglichen.
  8. Optoelektronische Einheit nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die erste Einfassung ferner eine Wärmeausbreitungsvorrichtung (155) umfasst, die thermisch mit einer optischen Komponente (157, 165) und der Wärmeleitung (150) gekoppelt ist.
  9. Optoelektronische Einheit nach Anspruch 1, wobei die erste Einfassung einen elektrischen Anschluss aufweist, und wobei die zweite Einfassung mindestens eine Wärmeabstrahlungsvorrichtung aufweist, um Wärme von der ersten Einfassung abzustrahlen, wobei die Wärmeabstrahlungsvorrichtung Wärme von der ersten Einfassung abstrahlt, so dass ein Großteil der Wärme in eine Richtung einer Seite der optischen Komponente dem elektrischen Anschluss gegenüberliegend abgestrahlt wird.
  10. Optoelektronische Einheit nach Anspruch 9, wobei die ersten und zweiten Einfassungen über eine gemeinsame Struktur angebracht sind, durch welche Wärme abgestrahlt wird.
DE60029807T 1999-09-02 2000-09-01 Optoelektronische module mit doppelter umhüllung Expired - Lifetime DE60029807T2 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/389,864 US6252726B1 (en) 1999-09-02 1999-09-02 Dual-enclosure optoelectronic packages
US389864 1999-09-02
PCT/US2000/024023 WO2001016634A1 (en) 1999-09-02 2000-09-01 Dual-enclosure optoelectronic packages

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE60029807D1 DE60029807D1 (de) 2006-09-14
DE60029807T2 true DE60029807T2 (de) 2007-03-15

Family

ID=23540069

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE60029807T Expired - Lifetime DE60029807T2 (de) 1999-09-02 2000-09-01 Optoelektronische module mit doppelter umhüllung

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6252726B1 (de)
EP (1) EP1218786B1 (de)
JP (1) JP4965781B2 (de)
AU (1) AU6949000A (de)
CA (1) CA2383706C (de)
DE (1) DE60029807T2 (de)
IL (1) IL148447A0 (de)
WO (1) WO2001016634A1 (de)

Families Citing this family (69)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6207950B1 (en) * 1999-01-11 2001-03-27 Lightlogic, Inc. Optical electronic assembly having a flexure for maintaining alignment between optical elements
US6325552B1 (en) * 2000-02-14 2001-12-04 Cisco Technology, Inc. Solderless optical transceiver interconnect
JP4646166B2 (ja) * 2000-11-08 2011-03-09 古河電気工業株式会社 レーザダイオードモジュールからなる光源
US6762938B2 (en) * 2001-03-16 2004-07-13 Coretek, Inc. Apparatus and method for providing auxiliary cooling and thermal stability to an opto-electronic component
JP2002280659A (ja) * 2001-03-16 2002-09-27 Furukawa Electric Co Ltd:The レーザダイオードモジュールからなる光源
JP2002280660A (ja) * 2001-03-16 2002-09-27 Furukawa Electric Co Ltd:The レーザダイオードモジュールからなる光源
JP2002280654A (ja) * 2001-03-19 2002-09-27 Eco Twenty One:Kk 光通信用モジュール
DE60234823D1 (de) * 2001-04-04 2010-02-04 Coherent Deos Gütegeschalteter co2 laser für materialbearbeitung
US6697408B2 (en) * 2001-04-04 2004-02-24 Coherent, Inc. Q-switched cavity dumped CO2 laser for material processing
US20020167976A1 (en) * 2001-04-04 2002-11-14 Seguin Vernon A. Thermally efficient laser head
US6730993B1 (en) * 2001-07-26 2004-05-04 Ciena Corporation Laser diode and heatsink quick connect/disconnect assembly
US7453100B2 (en) * 2001-08-28 2008-11-18 The Furukawa Electric Co., Ltd. DFB laser assembly and laser module
US7070340B2 (en) * 2001-08-29 2006-07-04 Silicon Bandwidth Inc. High performance optoelectronic packaging assembly
US6663294B2 (en) * 2001-08-29 2003-12-16 Silicon Bandwidth, Inc. Optoelectronic packaging assembly
JP4945874B2 (ja) * 2001-09-28 2012-06-06 住友電気工業株式会社 発光モジュールおよび発光モジュール基板生産物
JP2003110182A (ja) * 2001-09-28 2003-04-11 Sumitomo Electric Ind Ltd 半導体レーザモジュール
EP1309048A1 (de) * 2001-11-06 2003-05-07 Agilent Technologies, Inc. (a Delaware corporation) Elektronische oder opto-elektronische Gehäuse
US6936495B1 (en) 2002-01-09 2005-08-30 Bridge Semiconductor Corporation Method of making an optoelectronic semiconductor package device
US6891276B1 (en) 2002-01-09 2005-05-10 Bridge Semiconductor Corporation Semiconductor package device
US7430081B2 (en) * 2002-02-28 2008-09-30 Emcore Corporation Sub-micron adjustable mount for supporting a component and method
US7126078B2 (en) 2002-02-28 2006-10-24 Emcore Corporation Sub-micron adjustable mount for supporting a component and method
GB2387025A (en) * 2002-03-26 2003-10-01 Enfis Ltd LED and laser diode array cooling
EP1512180A2 (de) * 2002-03-26 2005-03-09 Enfis Limited Gekühlte lichteinrichtung
AU2003244772A1 (en) * 2002-06-07 2003-12-22 Bookham Technology Plc Wavelength stabilized optical device
DE10229712B4 (de) * 2002-07-02 2009-06-25 Jenoptik Laserdiode Gmbh Halbleitermodul
DE60204561T2 (de) * 2002-07-22 2006-05-11 Agilent Technologies, Inc. (n.d.Ges.d.Staates Delaware), Palo Alto Überwachungsdatenübertragung in einem optischen Kommunikationssystem
US20040042742A1 (en) * 2002-08-27 2004-03-04 Scott Bradshaw Thermally equalized optical module
US20040047571A1 (en) * 2002-09-06 2004-03-11 Boord Warren Timothy Hermetically sealed ferrule
EP1398655A1 (de) * 2002-09-06 2004-03-17 Agfa-Gevaert AG Temperierung eines Optikmoduls
US6973106B1 (en) * 2002-10-11 2005-12-06 Corvis Corporation Optical package and optical systems apparatuses, and methods of use therein
TWM241691U (en) * 2003-02-24 2004-08-21 Young Optics Inc Holding apparatus for a rod
US7039079B2 (en) * 2003-03-14 2006-05-02 Coherent, Inc. Pulsed CO2 laser including an optical damage resistant electro-optical switching arrangement
JP4001169B2 (ja) * 2003-03-14 2007-10-31 住友電気工業株式会社 半導体装置
US7543961B2 (en) * 2003-03-31 2009-06-09 Lumination Llc LED light with active cooling
US7556406B2 (en) * 2003-03-31 2009-07-07 Lumination Llc Led light with active cooling
US7204615B2 (en) * 2003-03-31 2007-04-17 Lumination Llc LED light with active cooling
US7299859B2 (en) * 2003-04-28 2007-11-27 Lucent Technologies Inc. Temperature control of thermooptic devices
US20070001177A1 (en) * 2003-05-08 2007-01-04 Koninklijke Philips Electronics N.V. Integrated light-emitting diode system
JP2005159104A (ja) * 2003-11-27 2005-06-16 Sony Corp レーザ・システム
US7186038B2 (en) 2003-12-29 2007-03-06 Adc Telecommunications, Inc. Telecommunications connector protective device
US7095110B2 (en) * 2004-05-21 2006-08-22 Gelcore, Llc Light emitting diode apparatuses with heat pipes for thermal management
DE502005011314D1 (de) * 2004-12-30 2011-06-09 Osram Opto Semiconductors Gmbh Kühlvorrichtung zur kühlung eines halbleiterbauelementes, insbesondere eines optoelektronischen halbleiterbauelementes
US7457126B2 (en) * 2005-06-27 2008-11-25 Intel Corporation Optical transponder with active heat transfer
US8322889B2 (en) 2006-09-12 2012-12-04 GE Lighting Solutions, LLC Piezofan and heat sink system for enhanced heat transfer
BRPI0918292A2 (pt) * 2008-09-08 2015-12-22 Intergraph Technologies Co computador robusto capaz de operar em ambientes de alta temperatura
US8094388B1 (en) 2009-01-12 2012-01-10 Vortran Laser Technology, Inc. Removable and replaceable modular optic package with controlled microenvironment
TW201203477A (en) 2010-01-29 2012-01-16 Nitto Denko Corp Power module
TWI513810B (zh) 2010-01-29 2015-12-21 日東電工股份有限公司 攝像零件
US8592844B2 (en) * 2010-01-29 2013-11-26 Nitto Denko Corporation Light-emitting diode device
US8427828B2 (en) 2010-07-20 2013-04-23 Themis Computer Printed circuit board module enclosure and apparatus using same
CN101963339A (zh) * 2010-10-09 2011-02-02 王春 一种大功率led光源一体化散热装置
JP2012124245A (ja) * 2010-12-07 2012-06-28 Sae Magnetics(H K )Ltd 光伝送モジュール及びその温度調節方法
US8905632B2 (en) 2011-11-29 2014-12-09 Cisco Technology, Inc. Interposer configuration with thermally isolated regions for temperature-sensitive opto-electronic components
US9645333B2 (en) 2014-10-17 2017-05-09 Lumentum Operations Llc Optomechanical assembly
US9596761B2 (en) * 2015-01-06 2017-03-14 Fujitsu Limited Different thermal zones in an opto-electronic module
WO2017019025A1 (en) 2015-07-27 2017-02-02 Hewlett Packard Enterprise Development Lp Socket to support boards in a spaced relation
US10386590B2 (en) 2015-07-31 2019-08-20 Hewlett Packard Enterprise Development Lp Multi-chip module
JP5895091B1 (ja) * 2015-09-01 2016-03-30 株式会社フジクラ 光モジュール
CN105281197A (zh) * 2015-11-11 2016-01-27 中国电子科技集团公司第四十四研究所 一种抗冲击能力强的半导体光源封装结构
DE112018007021B4 (de) * 2018-02-06 2022-05-12 Mitsubishi Electric Corporation Schaft mit einem eingebauten thermoelektrischen Kühler
JP2019212837A (ja) * 2018-06-07 2019-12-12 ルネサスエレクトロニクス株式会社 電子装置およびその製造方法
US10901161B2 (en) 2018-09-14 2021-01-26 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Optical power transfer devices with an embedded active cooling chip
CN112444920A (zh) * 2019-08-27 2021-03-05 成都优博创通信技术股份有限公司 一种光模块组件及光通信设备
US11249264B2 (en) * 2020-07-02 2022-02-15 Google Llc Thermal optimizations for OSFP optical transceiver modules
US12313892B2 (en) * 2020-08-06 2025-05-27 Applied Optoelectronics, Inc. Techniques for thermal management within optical subassembly modules
US12470041B2 (en) * 2021-07-21 2025-11-11 Cisco Technology, Inc. Submount architecture for multimode nodes
US11789221B2 (en) * 2021-10-05 2023-10-17 Aeva, Inc. Techniques for device cooling in an optical sub-assembly
JP2024041271A (ja) * 2022-09-14 2024-03-27 住友電気工業株式会社 光モジュール
TWM649139U (zh) * 2023-07-14 2023-12-01 正文科技股份有限公司 通訊組件及其散熱屏蔽模組

Family Cites Families (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5548700B2 (de) 1973-01-30 1980-12-08
US4114177A (en) 1975-05-01 1978-09-12 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Optically coupled device with diffusely reflecting enclosure
JPS5262077A (en) * 1975-11-17 1977-05-23 Mitsubishi Chem Ind Optical pyrometer
US4119363A (en) 1976-03-18 1978-10-10 Bell Telephone Laboratories Incorporated Package for optical devices including optical fiber-to-metal hermetic seal
US4357072A (en) 1978-01-28 1982-11-02 Plessey Handel Und Investments Ag Sealing optical fibres into packages
CA1108899A (en) 1978-08-17 1981-09-15 Rca Limited Light detector housing for fiber optic applications
JPS6161493A (ja) * 1984-09-03 1986-03-29 松下電器産業株式会社 レ−ザダイオ−ドモジユ−ルの保持装置
JPH06105819B2 (ja) * 1985-12-13 1994-12-21 株式会社日立製作所 半導体レーザモジュール
JPS63302584A (ja) * 1987-06-02 1988-12-09 Fujitsu Ltd レ−ザダイオ−ドの温度制御装置
EP0308749A3 (de) 1987-09-25 1990-07-11 Siemens Aktiengesellschaft Elektrooptische Baugruppe
JP2506067Y2 (ja) * 1987-11-30 1996-08-07 日本電気株式会社 光送信盤の構造
WO1989008374A1 (fr) 1988-02-26 1989-09-08 Fujitsu Limited Support de montage de composants optiques et de composants de circuits electriques et procede de production
US5011256A (en) * 1988-10-28 1991-04-30 E. I. Du Pont De Nemours And Company Package for an opto-electronic component
US4926545A (en) 1989-05-17 1990-05-22 At&T Bell Laboratories Method of manufacturing optical assemblies
JP2775859B2 (ja) * 1989-06-23 1998-07-16 日本電気株式会社 フリップフロップ回路
JP2522805Y2 (ja) * 1989-07-24 1997-01-16 日本電気株式会社 光通信装置
US5163108A (en) 1990-07-11 1992-11-10 Gte Laboratories Incorporated Method and device for passive alignment of diode lasers and optical fibers
US5119448A (en) 1990-09-21 1992-06-02 Tacan Corporation Modular micro-optical systems and method of making such systems
JPH04179180A (ja) * 1990-11-08 1992-06-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 短波長レーザ光源
JPH05167143A (ja) * 1991-12-19 1993-07-02 Nippon Steel Corp 半導体レーザ装置
JPH05175608A (ja) * 1991-12-20 1993-07-13 Fujitsu Ltd 光半導体素子モジュール
JP2546146B2 (ja) * 1993-06-24 1996-10-23 日本電気株式会社 半導体レーザ装置
JP3323313B2 (ja) * 1993-12-28 2002-09-09 アンリツ株式会社 半導体レーザモジュール
JPH07230022A (ja) * 1994-02-17 1995-08-29 Fujitsu Ltd 光並列リンク及びその実装構造
JPH07287130A (ja) * 1994-04-19 1995-10-31 Oki Electric Ind Co Ltd 光ファイバモジュール
JP3047735B2 (ja) 1994-05-16 2000-06-05 住友電気工業株式会社 光受信モジュ−ルとその製造方法
US5641984A (en) 1994-08-19 1997-06-24 General Electric Company Hermetically sealed radiation imager
US5619609A (en) 1996-02-02 1997-04-08 E-Tek Dynamics, Inc. Fiberoptic support clip
JP2814987B2 (ja) * 1996-04-05 1998-10-27 日本電気株式会社 半導体レーザモジュール
US6027256A (en) * 1997-02-07 2000-02-22 Coherent, Inc. Composite laser diode enclosure and method for making the same
US5930430A (en) * 1997-04-02 1999-07-27 E-Tek Dynamics, Inc. Integrated laser diode and fiber grating assembly
US6167438A (en) * 1997-05-22 2000-12-26 Trustees Of Boston University Method and system for distributed caching, prefetching and replication

Also Published As

Publication number Publication date
JP4965781B2 (ja) 2012-07-04
EP1218786B1 (de) 2006-08-02
EP1218786A1 (de) 2002-07-03
IL148447A0 (en) 2002-09-12
WO2001016634A1 (en) 2001-03-08
CA2383706A1 (en) 2001-03-08
CA2383706C (en) 2007-03-27
EP1218786A4 (de) 2005-05-04
JP2003533009A (ja) 2003-11-05
DE60029807D1 (de) 2006-09-14
AU6949000A (en) 2001-03-26
US6252726B1 (en) 2001-06-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60029807T2 (de) Optoelektronische module mit doppelter umhüllung
DE69937726T2 (de) Optisches Modul
DE60022479T2 (de) Verfahren zum aufbau einer optoelektronischen anordnung
DE69907351T2 (de) Photodiodenmodul
DE60102214T2 (de) Unter Spannung anschliessbares und mit Glasfasersteckern versehenes opto-elektronisches Sende- und Empfangsmodul
DE69702562T2 (de) Halbleiterlasermodul
WO1999062150A2 (de) Gehäuseanordnung für lasermodul
DE60303140T2 (de) Optische verbindungsanordnung
DE102018120895A1 (de) TO-Gehäuse mit einem Erdanschluss
CN100559220C (zh) 光传输模组
DE10150401A1 (de) Ausrichten eines optischen Bauelementsystems mit einem optischen Linsensystem
DE112015004631B4 (de) Laserbauelement und Verfahren zu seiner Herstellung
EP2225809B1 (de) Kompaktgehäuse
DE68929527T2 (de) Optische Übertragungsvorrichtung
DE602004004429T2 (de) Integrierte optische Anordnung
DE602005003720T2 (de) Optisches Modul mit vereinfachtem elektrischem Verdrahtungsdesign
US7723137B2 (en) Optical device, method of manufacturing the same, optical module, optical transmission system
WO2026082866A1 (de) Integrierte laser-bauelementgruppe
EP1425618A1 (de) Sende- und/oder empfangsanordnung zur optischen signalübertragung
DE112021007646B4 (de) Optische Halbleitervorrichtung
DE102010031023B9 (de) Parallele optische Kommunikationsvorrichtungen mit schweißbaren Einsätzen, sowie zugehörige Verfahren zum Festmachen
DE10150986A1 (de) Sende- und/oder Empfangseinrichtung
DE10058949A1 (de) Hochgeschwindigkeits-Infrarot-Sende/Empfangs-Vorrichtung mit hohem Wirkungsgrad und niedrigen Kosten
DE10227544A1 (de) Vorrichtung zur optischen und/oder elektrischen Datenübertragung und/oder -verarbeitung
DE10314494B3 (de) Elektrooptisches Modul

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8328 Change in the person/name/address of the agent

Representative=s name: HEYER, V., DIPL.-PHYS. DR.RER.NAT., PAT.-ANW., 806