DK1319254T3 - Fremgangsmåde til fremstilling af en halvleder-metalkontakt gennem et dielektrisk lag - Google Patents

Fremgangsmåde til fremstilling af en halvleder-metalkontakt gennem et dielektrisk lag

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Families Citing this family (92)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8664030B2 (en) 1999-03-30 2014-03-04 Daniel Luch Collector grid and interconnect structures for photovoltaic arrays and modules
JP2003282478A (ja) * 2002-01-17 2003-10-03 Sony Corp 合金化方法及び配線形成方法、表示素子の形成方法、画像表示装置の製造方法
DE10239845C1 (de) * 2002-08-29 2003-12-24 Day4 Energy Inc Elektrode für fotovoltaische Zellen, fotovoltaische Zelle und fotovoltaischer Modul
US8664525B2 (en) * 2003-05-07 2014-03-04 Imec Germanium solar cell and method for the production thereof
US7960645B2 (en) * 2003-05-07 2011-06-14 Imec Germanium solar cell and method for the production thereof
US7964789B2 (en) * 2003-05-07 2011-06-21 Imec Germanium solar cell and method for the production thereof
US7592201B2 (en) * 2003-09-09 2009-09-22 Csg Solar Ag Adjustments of masks by re-flow
DE102004046554A1 (de) * 2004-09-24 2006-04-06 Saint-Gobain Glass Deutschland Gmbh Photovoltaische Silizium-Solarzelle und Solarmodul
DE102004061865A1 (de) * 2004-09-29 2006-03-30 Osram Opto Semiconductors Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Dünnfilmhalbleiterchips
US20060130891A1 (en) * 2004-10-29 2006-06-22 Carlson David E Back-contact photovoltaic cells
US8399331B2 (en) 2007-10-06 2013-03-19 Solexel Laser processing for high-efficiency thin crystalline silicon solar cell fabrication
US9508886B2 (en) 2007-10-06 2016-11-29 Solexel, Inc. Method for making a crystalline silicon solar cell substrate utilizing flat top laser beam
US20120225515A1 (en) * 2004-11-30 2012-09-06 Solexel, Inc. Laser doping techniques for high-efficiency crystalline semiconductor solar cells
US8637340B2 (en) 2004-11-30 2014-01-28 Solexel, Inc. Patterning of silicon oxide layers using pulsed laser ablation
FR2881879B1 (fr) * 2005-02-08 2007-03-09 Commissariat Energie Atomique Procede de realisation de contacts metal/semi-conducteur a travers un dielectrique.
US7982211B2 (en) 2005-06-30 2011-07-19 Koninklijke Philips Electronics N.V. Organic based device and method for manufacture thereof
US20070137692A1 (en) * 2005-12-16 2007-06-21 Bp Corporation North America Inc. Back-Contact Photovoltaic Cells
US20070295399A1 (en) * 2005-12-16 2007-12-27 Bp Corporation North America Inc. Back-Contact Photovoltaic Cells
US20070144577A1 (en) * 2005-12-23 2007-06-28 Rubin George L Solar cell with physically separated distributed electrical contacts
US7498508B2 (en) * 2006-02-24 2009-03-03 Day4 Energy, Inc. High voltage solar cell and solar cell module
NO20061668L (no) * 2006-04-12 2007-10-15 Renewable Energy Corp Solcelle og fremgangsmate for fremstilling av samme
US8884155B2 (en) 2006-04-13 2014-11-11 Daniel Luch Collector grid and interconnect structures for photovoltaic arrays and modules
US8822810B2 (en) 2006-04-13 2014-09-02 Daniel Luch Collector grid and interconnect structures for photovoltaic arrays and modules
US9006563B2 (en) 2006-04-13 2015-04-14 Solannex, Inc. Collector grid and interconnect structures for photovoltaic arrays and modules
US9236512B2 (en) 2006-04-13 2016-01-12 Daniel Luch Collector grid and interconnect structures for photovoltaic arrays and modules
US8729385B2 (en) 2006-04-13 2014-05-20 Daniel Luch Collector grid and interconnect structures for photovoltaic arrays and modules
US9865758B2 (en) 2006-04-13 2018-01-09 Daniel Luch Collector grid and interconnect structures for photovoltaic arrays and modules
DE102006040352B3 (de) * 2006-08-29 2007-10-18 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Aufbringen von elektrischen Kontakten auf halbleitende Substrate, halbleitendes Substrat und Verwendung des Verfahrens
DE102006046726A1 (de) * 2006-10-02 2008-04-03 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Solarzelle mit strukturierter Rückseitenpassivierungsschicht aus SIOx und SINx sowie Verfahren zur Herstellung
EP2654089A3 (en) 2007-02-16 2015-08-12 Nanogram Corporation Solar cell structures, photovoltaic modules and corresponding processes
US20080290368A1 (en) * 2007-05-21 2008-11-27 Day4 Energy, Inc. Photovoltaic cell with shallow emitter
US20090050202A1 (en) * 2007-08-24 2009-02-26 Industrial Technology Research Institute Solar cell and method for forming the same
US8309844B2 (en) * 2007-08-29 2012-11-13 Ferro Corporation Thick film pastes for fire through applications in solar cells
US9455362B2 (en) 2007-10-06 2016-09-27 Solexel, Inc. Laser irradiation aluminum doping for monocrystalline silicon substrates
US7517709B1 (en) 2007-11-16 2009-04-14 Applied Materials, Inc. Method of forming backside point contact structures for silicon solar cells
KR20100097219A (ko) * 2007-12-18 2010-09-02 데이4 에너지 인코포레이티드 Ｐｖ 스트링으로 에지 액세스를 수행하는 광전지 모듈, 연결 방법, 장치, 및 시스템
DE102008017312B4 (de) 2008-04-04 2012-11-22 Universität Stuttgart Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle
US8293568B2 (en) * 2008-07-28 2012-10-23 Day4 Energy Inc. Crystalline silicon PV cell with selective emitter produced with low temperature precision etch back and passivation process
DE102008044882A1 (de) 2008-08-29 2010-03-04 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur lokalen Kontaktierung und lokalen Dotierung einer Halbleiterschicht
DE102008044910A1 (de) 2008-08-30 2010-03-04 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Solarzelle und Solarzellenmodul mit einseitiger Verschaltung
TWI423462B (zh) * 2008-10-22 2014-01-11 Ind Tech Res Inst 矽晶太陽電池之背面電極製造方法
DE102009005168A1 (de) 2009-01-14 2010-07-22 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Solarzelle und Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle aus einem Siliziumsubstrat
DE102009010816B4 (de) 2009-02-27 2011-03-10 Solarworld Innovations Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Halbleiter-Bauelements
TWI382558B (zh) * 2009-03-12 2013-01-11 Gintech Energy Corp 太陽能電池面板的製作方法
CN102428565A (zh) * 2009-03-26 2012-04-25 Bp北美公司 用于在热扩散掺杂区域中带有激光烧结接触的太阳能电池的设备和方法
CN102396073B (zh) 2009-04-14 2015-09-09 三菱电机株式会社 光电动势装置及其制造方法
EP2422377A4 (en) * 2009-04-22 2013-12-04 Tetrasun Inc Localized metal contacts by localized laser assisted conversion of functional films in solar cells
DE102009020774B4 (de) 2009-05-05 2011-01-05 Universität Stuttgart Verfahren zum Kontaktieren eines Halbleitersubstrates
US20100294352A1 (en) * 2009-05-20 2010-11-25 Uma Srinivasan Metal patterning for electrically conductive structures based on alloy formation
US20100294349A1 (en) * 2009-05-20 2010-11-25 Uma Srinivasan Back contact solar cells with effective and efficient designs and corresponding patterning processes
WO2010147260A1 (en) * 2009-06-18 2010-12-23 Lg Electronics Inc. Solar cell and method of manufacturing the same
KR101139458B1 (ko) * 2009-06-18 2012-04-30 엘지전자 주식회사 태양전지 및 그 제조방법
DE102009029944A1 (de) 2009-06-19 2010-12-23 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Solarzelle und Verfahren zu deren Herstellung
DE102009042018A1 (de) 2009-09-21 2011-03-24 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Solarzelle
US8324015B2 (en) 2009-12-01 2012-12-04 Sunpower Corporation Solar cell contact formation using laser ablation
FR2953999B1 (fr) * 2009-12-14 2012-01-20 Total Sa Cellule photovoltaique heterojonction a contact arriere
DE102009059193B4 (de) * 2009-12-17 2024-02-15 Innolas Solutions Gmbh Verfahren zur Dotierung von Halbleitermaterialien
DE102010006315B4 (de) 2010-01-29 2012-08-30 Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Verfahren zur lokalen Hochdotierung und Kontaktierung einer Halbleiterstruktur, welche eine Solarzelle oder eine Vorstufe einer Solarzelle ist
FR2957479B1 (fr) * 2010-03-12 2012-04-27 Commissariat Energie Atomique Procede de traitement d'un contact metallique realise sur un substrat
DE102010020557A1 (de) 2010-05-14 2011-11-17 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Herstellung einer einseitig kontaktierbaren Solarzelle aus einem Silizium-Halbleitersubstrat
DE102010021144A1 (de) * 2010-05-21 2011-11-24 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Halbleiterbauelement und Verfahren zu dessen Herstellung
US8263899B2 (en) 2010-07-01 2012-09-11 Sunpower Corporation High throughput solar cell ablation system
DE102010026960A1 (de) 2010-07-12 2012-01-12 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Photovoltaische Solarzelle und Verfahren zur Herstellung einer photovoltaischen Solarzelle
DE102011108070B4 (de) * 2010-07-20 2019-05-29 Lg Electronics Inc. Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle
US8912083B2 (en) 2011-01-31 2014-12-16 Nanogram Corporation Silicon substrates with doped surface contacts formed from doped silicon inks and corresponding processes
DE102011010077A1 (de) 2011-02-01 2012-08-02 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Photovoltaische Solarzelle sowie Verfahren zu deren Herstellung
DE102011076740A1 (de) 2011-05-30 2012-12-06 Roth & Rau Ag Elektronenstrahlgestütztes Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Kontakten in Schichtstrukturen
DE102012102745A1 (de) 2011-07-29 2013-01-31 Schott Solar Ag Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle sowie Solarzelle
US20130192670A1 (en) 2011-08-11 2013-08-01 E I Du Pont De Nemours And Company Aluminum paste and use thereof in the production of passivated emitter and rear contact silicon solar cells
DE102011112043A1 (de) 2011-09-01 2013-03-07 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Herstellung einer photovoltaischen Solarzelle
US20130056060A1 (en) 2011-09-07 2013-03-07 E I Du Pont De Nemours And Company Process for the production of lfc-perc silicon solar cells
TW201327897A (zh) * 2011-10-28 2013-07-01 Applied Materials Inc 光伏單元的背點接觸製程
DE102011056039A1 (de) * 2011-12-05 2013-06-06 Centrotherm Photovoltaics Ag Solarzelle mit einer mehrstufigen Dotierung sowie Verfahren zu deren Herstellung
KR101654548B1 (ko) 2011-12-26 2016-09-06 솔렉셀, 인크. 태양 전지에서 향상된 광 포획을 위한 시스템 및 방법
EP2645427A1 (en) 2012-03-29 2013-10-02 Photovoltech N.V. Extended laser ablation in solar cell manufacture
DE102012007115A1 (de) 2012-04-04 2013-10-10 Universität Stuttgart Verfahren zum Herstellen einer Solarzelle
FR2989520B1 (fr) * 2012-04-11 2014-04-04 Commissariat Energie Atomique Procede de realisation d'une cellule photovoltaique a heterojonction
DE102012214254A1 (de) 2012-08-10 2014-05-22 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Laserbasiertes Verfahren und Bearbeitungstisch zur lokalen Kontaktierung eines Halbleiterbauelements
KR20140022515A (ko) * 2012-08-13 2014-02-25 엘지전자 주식회사 태양 전지
DE102012216580A1 (de) 2012-09-17 2014-05-28 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Erzeugen mindestens eines Dotierkanals in einer Halbleiterschicht und photovoltaische Solarzelle, umfassend mindestens einen Dotierkanal
DE102013219560A1 (de) 2013-09-27 2015-04-02 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Photovoltaische Solarzelle und Verfahren zum Herstellen einer metallischen Kontaktierung einer photovoltaischen Solarzelle
US9178104B2 (en) 2013-12-20 2015-11-03 Sunpower Corporation Single-step metal bond and contact formation for solar cells
DE102014215893A1 (de) 2014-08-11 2016-02-11 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Erzeugen von Dotierbereichen in einer Halbleiterschicht eines Halbleiterbauelementes
CN104393117B (zh) * 2014-11-21 2017-12-08 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 一种晶体硅太阳能电池金属电极的制备方法
US9659775B2 (en) 2015-02-25 2017-05-23 Fuji Electric Co., Ltd. Method for doping impurities, method for manufacturing semiconductor device
TWI563620B (en) * 2015-05-12 2016-12-21 Taiwan Green Point Entpr Co Electronic device and method for making the same
DE102015114240B4 (de) 2015-08-27 2026-02-05 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung und Verfahren zur Bearbeitung eines Halbleitersubstrats mittels Laserstrahlung
CN105333676A (zh) * 2015-12-08 2016-02-17 上海电机学院 一种基于单片机的太阳能热电制冷移动冰箱
DE102016009560B4 (de) * 2016-08-02 2022-09-29 Ce Cell Engineering Gmbh Verfahren zur Verbesserung des ohmschen Kontaktverhaltens zwischen einem Kontaktgitter und einer Emitterschicht einer Siliziumsolarzelle
DE102016118383A1 (de) 2016-09-28 2018-03-29 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und Vorrichtung zur Bearbeitung eines Halbleiterbauelementes mit zumindest einer Halbleiterschicht
CN110212039A (zh) * 2019-05-30 2019-09-06 江苏欧达丰新能源科技发展有限公司 激光烧结金属丝线制备光伏电池片细栅线电极的方法
DE102021212094A1 (de) 2021-10-27 2023-04-27 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Verfahren zum Herstellen einer elektrischen Kontaktierung; Elektrische Kontaktierung

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62293740A (ja) * 1986-06-13 1987-12-21 Fujitsu Ltd 半導体装置の製造方法
DE3815512C2 (de) * 1988-05-06 1994-07-28 Deutsche Aerospace Solarzelle und Verfahren zu ihrer Herstellung
US5011565A (en) * 1989-12-06 1991-04-30 Mobil Solar Energy Corporation Dotted contact solar cell and method of making same
JP2798769B2 (ja) * 1990-02-22 1998-09-17 三洋電機株式会社 薄膜トランジスタの製造方法
AUPP437598A0 (en) 1998-06-29 1998-07-23 Unisearch Limited A self aligning method for forming a selective emitter and metallization in a solar cell
AUPP646298A0 (en) * 1998-10-12 1998-11-05 Pacific Solar Pty Limited Melt through contact formation method

Also Published As

Publication number Publication date
WO2002025742A3 (de) 2002-09-19
JP2004509474A (ja) 2004-03-25
AU2001291812B2 (en) 2006-08-03
CY1106197T1 (el) 2011-06-08
US6982218B2 (en) 2006-01-03
ATE333147T1 (de) 2006-08-15
WO2002025742A2 (de) 2002-03-28
AU9181201A (en) 2002-04-02
DE10046170A1 (de) 2002-04-04
DE50110460D1 (de) 2006-08-24
EP1319254A2 (de) 2003-06-18
JP4005912B2 (ja) 2007-11-14
ES2267815T3 (es) 2007-03-16
PT1319254E (pt) 2006-11-30
EP1319254B1 (de) 2006-07-12
US20040097062A1 (en) 2004-05-20

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