HUP0102016A2 - Eljárás szubsztrátumok rézzel való bevonására - Google Patents

Eljárás szubsztrátumok rézzel való bevonására Download PDF

Info

Publication number
HUP0102016A2
HUP0102016A2 HU0102016A HUP0102016A HUP0102016A2 HU P0102016 A2 HUP0102016 A2 HU P0102016A2 HU 0102016 A HU0102016 A HU 0102016A HU P0102016 A HUP0102016 A HU P0102016A HU P0102016 A2 HUP0102016 A2 HU P0102016A2
Authority
HU
Hungary
Prior art keywords
copper
carbonate
separate
electrolyte
ions
Prior art date
Application number
HU0102016A
Other languages
English (en)
Inventor
Eugen Breitkreuz
Jürgen Hupe
Walter Kronenberg
Ulrich Schmergel
Original Assignee
Blasberg Oberflächentechnik GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Blasberg Oberflächentechnik GmbH filed Critical Blasberg Oberflächentechnik GmbH
Publication of HUP0102016A2 publication Critical patent/HUP0102016A2/hu
Publication of HUP0102016A3 publication Critical patent/HUP0102016A3/hu

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D21/00Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating
    • C25D21/12Process control or regulation
    • C25D21/14Controlled addition of electrolyte components
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/24Reinforcing of the conductive pattern
    • H05K3/241Reinforcing of the conductive pattern characterised by the electroplating method; means therefor, e.g. baths or apparatus

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)
  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)
  • Electrolytic Production Of Metals (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
  • Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)

Abstract

A találmány tárgya: eljárás szubsztrátumok rézzel való bevonásáraoldhatatlan anódok alkalmazásával savas fürdőben, az elfogyott rézionok külön történő pótlásával, amelyre jellemző, hogy a réz ionoknagyobb hányadát közvetlenül viszik be rézkarbonát és/vagy bázisosréz-karbonát alakjában, diafragmák és segéd elektrolitok nélkül éskülön tankot üzemeltetve bypass üzemmódban a munka elektrolithozképest. Ebben a külön tankban különítik el a felszabadult szén-dioxidgázt. Ó

Description

71.444/PA
S.B.G. & K.
Nemzetközi Szabadalmi Iroda H-1062 Budapest, Andrássy út 113. Tblefott: 34-24-950, Fax: 34-24-323
Hl
KÖZZÉTÉTELI példány
Eljárás szubsztrátumok rézzel való bevonására
A találmány tárgya: eljárás szubsztrátumok rézzel való bevonására oldhatatlan anódok alkalmazásával savas fürdőben, az elfogyott réz ionok külön történő pótlásával.
Oldhatatlan anódok alkalmazása nyomtatott áramköröket hordozó lapok fémmel való bevonására, különösen függőleges átfolyásos üzemben, szükségessé teszi a réz ionok folyamatos, kívülről történő adagolását az üzemi oldathoz, a réz anódoknak az üzemi elektrolitban való feloldódása hatásának kiküszöbölésére. Az elektrolit szerves komponenseit - amelyek a felviendő réz réteg fizikai tulajdonságaiért és ezeknek a munkadarabon való eloszlatásáért felelősek - párhuzamosan ugyancsak pótolni kell.
A DE-A-44 05 741 szerint ez úgy oldható meg, hogy fémet oldunk fel egy külön „regeneráló cellában. E folyamatnak a szükséges mértékben való lefolytatásához redox rendszereket adagolnak. Problémák merülnek fel azonban egyrészt a szükséges mennyiségű réz ion oldatba vitelével, másrészt azzal kapcsolatban, hogy a redox rendszer a szerves adalékanyagok lényegében befolyásolhatatlan átalakulásához vezet, az anódon végbemenő bomlási folyamatokhoz hozzáadódva. Ez meglehetősen bonyolulttá teszi reprodukálható bevonat minőség hosszabb üzemi időkön át való elérését, mivel a szerves adalék rendszer, amely számos különböző szerves vegyületből áll, nagyon könnyen egyensúlyát veszítheti és kikerülhet az ellenőrzés alól. A redox folyamatok olyan melléktermékek képződését eredményezik, amelyek további változásokat eredményeznek a fürdő és a bevonat tulajdonságaiban. Az oxidatív lebomlás továbbá szükségessé teszi, hogy nagyobb menynyiségű szerves anyagot adjunk az üzemi elektrolithoz. Ez viszont jelentősen növeli a termelési költségeket, és szükség esetén az összetételt megfelelő tisztítási lépésekkel módosítani kell, pl. aktív szénen való szűréssel. Mindez gazdaságtalanná és improduktívvá teszi az eljárást.
A DE 195 39 865 leír egy eljárást, amely állítólag elkerülhetővé teszi ilyen további redox rendszerek alkalmazását. Egy külön regeneráló térségben oldható anód alkalmazásával lehetővé teszik a fém ion adagolást. Ugyanekkor beiktatnak egy segéd katódot, amelyet megfelelő eszközökkel mentesítenek a fémlerakódástól·. Ezen megoldás továbbfejlesztéseként az elektrolízis cella oldhatatlan anódjait egy segéd anolitban helyezik el, amelyet anionokra nézve átnemeresztő diafragmákkal választanak el az elektrolittól. Hátránynak kell tekinteni, hogy a rendszer elöregedése folytán szükségessé váló fém ion mennyiséget nehéz feloldani, vagy hogy igen nagy térfogatú regeneráló térre és igen nagy számú anódra van szükség. Továbbá: ezzel a módszerrel sem lehet elkerülni a folyamatban részt vevő szerves anyagok két okból is bekövetkező elbomlását.
Elvben kevéssé gazdaságosnak és környezeti szempontból aggályosnak tűnik az eljárás oldhatatlan anódokkal történő lefolytatása és a fém ionoknak egy bypass révén, a fém anódok oldódása segítségével történő pótlása.
Az EP 667 923 eljárást ír le pl. acél elektrolitikus bevonására rézzel, oldhatatlan anódok (pl. iridium-oxiddal bevont platina) alkalmazásával, réz-pirofoszfát elektrolitban. A réz ionok szükséges utánpótlását réz-hidroxid hozzáadásával végzik. Tekintettel kell lenni ennek során arra a körülményre, hogy a pirofoszfát elektrolitot lúgos pH tartományban kell alkalmazni, míg a nyomtatott áramkör hordozók fémmel való bevonásához kitüntetetten pl. kénsavas elektrolitokat alkalmaznak.
A találmány tárgya olyan, előnyösen kénsav alapú réz elektrolit kidolgozása, amely lehetővé teszi oldhatatlan anódok alkalmazását - különösen átfolyásos üzemmódban -, egyenáramú és/vagy váltóáramú bevonáshoz anélkül, hogy a szerves adalékok jelentős mértékben negatív hatásoknak lennének kitéve vagy ezek nagy mértékű bomlása lépne fel, ill. fokozódna a melléktermékek képződése. Továbbá: a fém ionok adagolását úgy kell végrehajtani, hogy elkerüljük a folyamatban szereplő szerves anyagokat befolyásoló egyéb változásokat. A teljes elektrolit rendszer működtetése - ideértve a szerves anyagok és a réz ion regenerálását - legyen költségkímélő, nyersanyag megtakarítással járó és környezetbarát, további kompromisszumok nélkül a műszaki minőség tekintetében. Diafragmák és segéd elektrolitok alkalmazására nem kerülhet sor.
A találmány szerint ezt a célt úgy érjük el, hogy a réz ionok nagyobb hányadát közvetlenül adagoljuk be, réz-karbonát és/vagy bázisos réz-karbonát alakjában diafragmák és segéd elektrolitok alkalmazása nélkül; külön tankot üzemeltetünk bypass üzemmódban a munka elektrolithoz képest és ebben a külön tankban különítjük el a felszabadult szén-dioxid gázt.
Előnyösen olyan réz fürdőket alkalmazunk, amelyekben a szerves komponensek polimerek. Ezeket úgy állítjuk elő, hogy bifunkcionális propán származékokat polimerizálunk egy vagy több, 3-10 szénatomos telítetlen alkoholokkal, amelyek egy vagy több kettős és/vagy hármas kötést tartalmaznak.
Ilyen fürdőket írnak le pl. az EP-A-0137 397-ben. Az itt szereplő kénsavas elektrolitok általában csak olyan komponenseket tartalmaznak, amelyek nem képeznek semmiféle bomlásterméket és semmi esetre sem befolyásolják hátrányosan a kivált csapadék minőségét vagy nem hatnak a rendszer egyensúlyára az elektrolitikus eljárás közben. Azt találták, hogy ezek az adalék anyagok különösen előnyösen alkalmazhatók átfolyásos üzemmódban.
A találmány szerint úgy oldjuk meg az elektrolízises bevonáshoz használt réz ionok pótlásának problémáját, hogy réz sókat adagolunk. Réz/II/szulfát vagy tiszta réz/II/hidroxid hozzáadásáról azonban szó sem lehet, mivel az első esetben nem kerülhető el a szulfát ionok túlzott mértékű dúsulása az elektrolitban, míg a második esetben a semlegesítési folyamatok negatívan befolyásolnák a hatékonyságot.
Azt találtuk, hogy réz/II/karbonát és/vagy bázisos réz/II/karbonát hozzáadása az elektrolit rendszerhez - adott esetben kismennyíségű más réz sóval, így réz/II/szulfáttal együtt - jó eredményeket ad a találmány szerinti feladat megoldása során.
Mivel a réz/II/karbonát oldódása során szén-dioxid keletkezik és így jelentős mértékű gázfejlődés és az oldat zavarossá válása következik be, lépéseket kell tenni annak érdekében, hogy kiküszöböljük a gázfejlődésnek az elektrolitikus réz leválasztásra gyakorolt erős hatását.
Ezért a réz sók oldását külön tankban végezzük, amelyet a munka elektrolitra vonatkoztatva bypass módban üzemeltetünk.
Ebből a célból a tartályt keverő és fűtő berendezéssel látjuk el annak érdekében, hogy az oldódási folyamatot olyan gyorssá - és ezzel együtt gazdaságossá - tegyük, amennyire csak lehetséges. Az EP 0 137 397 szerinti adalék nagyon magas hőellenállása azzal a hatással jár, hogy magasabb hőmérsékleten látszólag nem következik be az elektrokémiai aktivitás csökkenése az oldódási folyamat során.
Látszólag nincs szükség adalék további hozzáadására, amely csökkentené a folyamat gazdaságosságát, ahogyan ez a többkomponensű elektrolitok esetében többnyire bekövetkezik. Elektrolitnak a folyamatba való betáplálását előnyösen szűrő egységgel ellátott szivattyú rendszerrel hajtjuk végre. így teljesen elkerülhetők az elektrolitikus folyamatokkal való kölcsönhatások. A találmány egy másik kitüntetett megvalósítási módja szerint használt, rezet tartalmazó marató oldatokat reciklizálunk környezetbarát módon és alakítunk át pl. réz-karbonát képződése mellett, nátrium-karbonát hozzáadásával. Az ilyen réztartalmú marató oldatok rendszerint réz iont és ásványi savakat, pl. sósavat, kénsavat stb. és adott esetben oxidálószereket, valamint stabilizátort tartalmaznak. Az ilyen marató oldatokat felfoghatják és összegyűjthetik. Ezenkívül anód-maradékok vagy nyomtatott áramkör lap forgácsok adhatók az oldathoz, levegő befúvatás és oldódás közben. Az oldatokat pl. egy második tankba viszik át, aktív szűrők beiktatásával. Ezután az oldat pH-ját a réz/II/hidroxid kicsapódási pH-ja alatti értékre állítják be pl. vizes nátrium-hidroxid vagy más megfelelő lúgos oldat hozzáadásával. A semlegesítés megakadályozza, hogy szükségtelenül nagy mennyiségű szén-dioxid szabaduljon fel a sav és a karbonát reakciójából. A leszívató berendezés kapacitása és teljesítménye csökkenthető és így a gazdaságosságot tekintve egyértelműen hatékonyabb módon folytatható le az eljárás. Ha pl. nátrium-karbonátot adagolunk erőteljes keverés közben, réz/II/karbonát képződik és kicsapódik az oldatból. A felülúszó ekkor kitisztul. Megfelelő reakcióidő után a felülúszó tiszta fázist óvatosan leszűrjük. A réz/II/karbonáthoz vizet adunk, az elegyet keverjük és a teljes folyamatot megismételjük. A visszamaradó réz/II/karbonátot szárítjuk; ez a réz ionok találmány szerinti pótlására alkalmazható.
A kénsavas elektrolit üzemi paraméterei általában a következők:
előnyösen
Cu2+ 15 - 40 g/1 20 - 30 g/1
H2SO4 150 - 300 g/1 200 - 250 g/1
Cl' 30 - 100 mg/1 60 - 80 mg/1
adalék* 4-10 ml/1 4-10 ml/1
munkahőmérséklet 20 - 50°C 25 - 35°C
* Cuprostar LP-1 (az EP 0 137 397 szerinti egykomponensű adalékanyag)
A megadott paraméterek lényegében a vízszintes áramban lefolytatott eljárásra vonatkoznak. Valamennyi - a technika állásához tartozó - ilyen típusú bevonó üzemi berendezés alkalmazható .
A találmány szerinti eljárással előállított réz csapadékok finom kristályos, fényes külleműek, belső feszültségektől csaknem mentesek és magas mechanikai szilárdságúak. Felületük sima, tehát mentes kiemelkedésektől vagy pórusoktól. Az anyag nehézség nélkül kiállja a szakterületen szokásos minőségi próbákat /pl. a MIL SPEC 55 110 szerintit/. Az elektrolit a fém kiváló, homogén eloszlását biztosítja a felületen és nagyon jó a bevonó képesség /pl. az eloszlás nyomtatott áramkör lapok pórusaiban/.
A találmány szerinti eljárást a következő példával szemléltetjük.
Példa az elektrolit összetétele:
H2SO4: 192,5 g/1
Cu2+: 20,0 g/1
Cl-: 62mg/1 adalék /LP-1/ 6ml/1 hőmérséklet 35± 1°C a fürdő mechanikai kezelése anód kiterjesztett Pt fém áramsűrűség 2 A/dm2
150 perces galvanizálás után 8,9 g/1 réz rakódik le.
elemzés /kénsav/: 204 g/1
15,5 g/1 CuCO3.Cu (OH) 2-t (= 8,9 g/1 Cu2+) adunk hozzá A kénsav elemzés eredménye az adagolás után: 189,7 g/1
Második galvanizáló periódus: réz lerakódás: 9,1 g/1 kénsav elemzés: 202 g/1
15,8 g/1 CuC03. Cu (OH) 2 hozzáadása kénsav meghatározás: 189 g/1
Az elektrolitból kapott bevonat minősége minden esetben megfelelt a műszaki követelményeknek.
Az elektrolit további alkalmazása egyáltalán nem jelentett problémát, még 20 galvanizálási periódus után sem.

Claims (4)

  1. SZABADALMI IGÉNYPONTOK
    1. Eljárás szubsztrátumok rézzel való bevonására oldhatatlan anódok alkalmazásával savas réz fürdőkben, az elfogyott réz ionok külön pótlásával, azzal jellemezve, hogy a réz ionok nagyobb hányadát közvetlenül visszük be réz-karbonát és/vagy bázisos réz-karbonát hozzáadásával, diafragmák és segéd elektrolitok nélkül, külön tankban, amelyet bypass módban üzemeltetünk a munka elektrolithoz képest és a felszabadult gázalakú szén-dioxidot ebben a külön tankban különítjük el.
  2. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy szerves komponensként polimereket alkalmazunk a réz fürdőben, amelyeket bifunkcionális propán származékok és egy vagy több telítetlen, 3-10 szénatomos és egy vagy több kettős és/vagy hármas kötéssel rendelékező telítetlen alkohol polimerizálásával állítunk elő.
  3. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a réz-karbonátot réz-só oldatból, nátrium-karbonát alkalmazásával végzett kicsapással állítjuk elő.
  4. 4. A3, igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a réz-só oldatot a réz-hidroxid kicsapódási pH-ja alatti pH értékre állítjuk be a kicsapás előtt, vizes nátrium-hidroxid alkalmazásával .
    / A meghatalmazott:
    / ” x / \ / ^arrag’ö GaMpbé dn / szabadalmi ügyvivő / az S.B.G. & K. Nemzetközi / Szabadalmi Iroda tagja ( H-1062 Budapest, Andrássy út 113.
    Telefon: 34-24-950, Fax: 34-24-323 . Lo
HU0102016A 1998-05-16 1999-05-14 Method for copperplating substrates HUP0102016A3 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19822076 1998-05-16
PCT/EP1999/003321 WO1999060188A2 (de) 1998-05-16 1999-05-14 Verfahren zur galvanischen verkupferung von substraten

Publications (2)

Publication Number Publication Date
HUP0102016A2 true HUP0102016A2 (hu) 2001-09-28
HUP0102016A3 HUP0102016A3 (en) 2002-03-28

Family

ID=7868038

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
HU0102016A HUP0102016A3 (en) 1998-05-16 1999-05-14 Method for copperplating substrates

Country Status (22)

Country Link
US (1) US6576111B1 (hu)
EP (1) EP1080252B1 (hu)
JP (1) JP2002515549A (hu)
KR (1) KR100545664B1 (hu)
CN (1) CN1170965C (hu)
AT (1) ATE221930T1 (hu)
AU (1) AU4261799A (hu)
CA (1) CA2331750A1 (hu)
DE (1) DE59902276D1 (hu)
DK (1) DK1080252T3 (hu)
HU (1) HUP0102016A3 (hu)
IL (1) IL139418A0 (hu)
IS (1) IS5703A (hu)
NO (1) NO20005777L (hu)
PL (1) PL344529A1 (hu)
RO (1) RO119838B1 (hu)
RU (1) RU2222643C2 (hu)
SK (1) SK16912000A3 (hu)
TR (1) TR200003368T2 (hu)
WO (1) WO1999060188A2 (hu)
YU (1) YU70900A (hu)
ZA (1) ZA200006624B (hu)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3725083B2 (ja) * 2002-02-21 2005-12-07 アトーテヒ ドイッチュラント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング メッキ設備における金属イオン供給源の有効保存を可能とする方法
US7776741B2 (en) 2008-08-18 2010-08-17 Novellus Systems, Inc. Process for through silicon via filing
US9109295B2 (en) * 2009-10-12 2015-08-18 Novellus Systems, Inc. Electrolyte concentration control system for high rate electroplating
US10472730B2 (en) 2009-10-12 2019-11-12 Novellus Systems, Inc. Electrolyte concentration control system for high rate electroplating
WO2016208609A1 (ja) * 2015-06-26 2016-12-29 住友金属鉱山株式会社 導電性基板
US10692735B2 (en) 2017-07-28 2020-06-23 Lam Research Corporation Electro-oxidative metal removal in through mask interconnect fabrication

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU60230A1 (ru) * 1939-06-25 1940-11-30 М.И. Бердников Способ электролитического осаждени меди на железе и других металлах
SU116447A1 (ru) * 1958-06-11 1958-11-30 А.М. Ямпольский Способ нанесени медных покрытий электролизом нецианистых электролитов
DE3483078D1 (de) 1983-09-28 1990-10-04 Blasberg Oberflaechentech Saures galvanisches kupferbad und verfahren zu seiner herstellung.
JPS62112996A (ja) * 1985-11-11 1987-05-23 Mitsubishi Metal Corp 伝熱体
DE4001960A1 (de) 1990-01-24 1991-07-25 Roland Schnetteler Verfahren zum elektrochemischen beschichten von stahlbaendern mit zink-nickellegierungen
JPH04320088A (ja) * 1991-04-18 1992-11-10 Cmk Corp プリント配線板の製造方法
JPH08501827A (ja) * 1992-09-15 1996-02-27 エイティアール ワイアー アンド ケーブル カンパニー,インコーポレイテッド 銅の電解メッキ方法及び装置

Also Published As

Publication number Publication date
CA2331750A1 (en) 1999-11-25
EP1080252B1 (de) 2002-08-07
ATE221930T1 (de) 2002-08-15
YU70900A (sh) 2003-02-28
RO119838B1 (ro) 2005-04-29
KR100545664B1 (ko) 2006-01-24
AU4261799A (en) 1999-12-06
JP2002515549A (ja) 2002-05-28
IS5703A (is) 2000-11-02
DK1080252T3 (da) 2003-01-06
RU2222643C2 (ru) 2004-01-27
SK16912000A3 (sk) 2001-08-06
IL139418A0 (en) 2001-11-25
HUP0102016A3 (en) 2002-03-28
CN1301313A (zh) 2001-06-27
ZA200006624B (en) 2001-06-01
WO1999060188A2 (de) 1999-11-25
TR200003368T2 (tr) 2001-04-20
US6576111B1 (en) 2003-06-10
WO1999060188A3 (de) 2000-01-13
NO20005777D0 (no) 2000-11-15
PL344529A1 (en) 2001-11-05
CN1170965C (zh) 2004-10-13
KR20010043597A (ko) 2001-05-25
DE59902276D1 (de) 2002-09-12
NO20005777L (no) 2000-11-15
EP1080252A1 (de) 2001-03-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
MXPA01000932A (es) Bano alcalino de zinc-niquel.
JP2001505955A (ja) 銅層の電解析出方法
CN105189831A (zh) 用于在工件上电解沉积金属层的装置和方法
CN104911676B (zh) 具有滤过膜的碱性电镀浴
US3576724A (en) Electrodeposition of rutenium
JP2003129295A (ja) 電気銅めっき方法、電気銅めっき用含リン銅アノード及びこれらを用いてめっきされたパーティクル付着の少ない半導体ウエハ
CN111850670A (zh) 一种钢质电镀挂具用电解退镀液及退镀方法
HUP0102016A2 (hu) Eljárás szubsztrátumok rézzel való bevonására
JP2002544382A (ja) ニッケル水酸化物の製法
CN106835211A (zh) 一种新型阳极电镀液及使用该电镀液的酸性电镀铜工艺
JPS6270592A (ja) 電気アルミニウムめつき浴およびそのめつき浴によるめつき方法
JP2510422B2 (ja) プリント基板の銅メッキ方法
KR20060113344A (ko) 전기 도금 배스
JP2006316328A (ja) 2層フレキシブル銅張積層板の製造方法
US5227030A (en) Electrocatalytic cathodes and methods of preparation
JP7569788B2 (ja) 電解液とクロム層の製造方法
US4734175A (en) Process for regenerating an electroless copper plating bath
KR101364650B1 (ko) 전기분해를 이용한 니켈의 회수방법
JP5688145B2 (ja) ニッケルのpHを調整する方法及び装置
JPH0445598B2 (hu)
JP2003073889A (ja) 半導体ウエハの電気銅めっき方法、同装置及びこれらによってめっきされたパーティクル付着の少ない半導体ウエハ
JP4517177B2 (ja) 無電解ニッケルめっき液の処理方法
JP2000212787A (ja) 電解方法
JP2982658B2 (ja) 電気めっき液中の金属濃度の低下方法
KR20070031411A (ko) 크롬 도금 방법