JP2000199480A - 真空装置の安全機構 - Google Patents
真空装置の安全機構Info
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- JP2000199480A JP2000199480A JP10378425A JP37842598A JP2000199480A JP 2000199480 A JP2000199480 A JP 2000199480A JP 10378425 A JP10378425 A JP 10378425A JP 37842598 A JP37842598 A JP 37842598A JP 2000199480 A JP2000199480 A JP 2000199480A
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Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 モーター、真空ポンプ、伝達ベルト等の排気
装置の種々の異常又は故障に対処し動力を停止させるこ
とができ、またその際真空容器に真空ポンプ内のオイル
が流出するのを防ぐことができる新規な真空装置の安全
機構を提供する。 【解決手段】 真空ポンプ１の回転速度を回転検知部５
が検出し、検出値が電流制御回路６内に設定された設定
値以下のときに、電流制御回路６が電気供給を遮断する
ことによりモーター４を停止させ、または更には開閉口
２が真空容器７を開放させ、外気流入口８から外気又は
不活性ガスが流入することにより真空容器７内を常圧に
戻す。
装置の種々の異常又は故障に対処し動力を停止させるこ
とができ、またその際真空容器に真空ポンプ内のオイル
が流出するのを防ぐことができる新規な真空装置の安全
機構を提供する。 【解決手段】 真空ポンプ１の回転速度を回転検知部５
が検出し、検出値が電流制御回路６内に設定された設定
値以下のときに、電流制御回路６が電気供給を遮断する
ことによりモーター４を停止させ、または更には開閉口
２が真空容器７を開放させ、外気流入口８から外気又は
不活性ガスが流入することにより真空容器７内を常圧に
戻す。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空装置の安全機
構に関するものである。
構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】排気装置において、動力源であるモータ
ー自体が故障するか、伝達ベルトの破損やたるみにより
モーターが異常回転ないし伝達障害を起こしてモーター
に過負荷がかかった場合、モーターが過熱して火災を起
こす危険がある。この事態に対処すべく、モーターに温
度ヒューズを設置してモーターの急激な温度上昇を検知
し、モーターを停止させる機構が考案され、実用されて
いる。しかしながら、当該方法では、モーターの温度が
異常に上昇しない、例えば、真空ポンプのロックなどの
真空ポンプの異常または故障や伝達ベルトの劣化などに
よる過度な摩擦に起因する伝達ベルトの過熱により生じ
る火災には対処できない。
ー自体が故障するか、伝達ベルトの破損やたるみにより
モーターが異常回転ないし伝達障害を起こしてモーター
に過負荷がかかった場合、モーターが過熱して火災を起
こす危険がある。この事態に対処すべく、モーターに温
度ヒューズを設置してモーターの急激な温度上昇を検知
し、モーターを停止させる機構が考案され、実用されて
いる。しかしながら、当該方法では、モーターの温度が
異常に上昇しない、例えば、真空ポンプのロックなどの
真空ポンプの異常または故障や伝達ベルトの劣化などに
よる過度な摩擦に起因する伝達ベルトの過熱により生じ
る火災には対処できない。
【０００３】また、排気装置に異常または故障が発生し
て真空ポンプが作動しなくなったり、停電によりモータ
ーが停止した場合、真空ライン中真空容器内だけ減圧度
が下がらないため、真空容器内に真空ポンプのオイルが
逆流し、かつ真空容器および真空容器内の試料が汚染さ
れる危険性がある。このようなオイルの逆流に備えて、
通常、真空ポンプには逆流防止弁やコールドトラップが
連通されている。しかしながら、逆流防止弁を使用した
場合、減圧度が１０ トール以上の高真空の状態では
真空容器内が常圧状態に達する迄に要する時間が長いた
めにオイルが逆流防止弁を越えて漏出する危険性が高
い。また、コールドトラップを使用した場合、トラップ
能力を越えたオイルは依然真空容器内へ流出してしまう
ため安全機構として確実ではない。
て真空ポンプが作動しなくなったり、停電によりモータ
ーが停止した場合、真空ライン中真空容器内だけ減圧度
が下がらないため、真空容器内に真空ポンプのオイルが
逆流し、かつ真空容器および真空容器内の試料が汚染さ
れる危険性がある。このようなオイルの逆流に備えて、
通常、真空ポンプには逆流防止弁やコールドトラップが
連通されている。しかしながら、逆流防止弁を使用した
場合、減圧度が１０ トール以上の高真空の状態では
真空容器内が常圧状態に達する迄に要する時間が長いた
めにオイルが逆流防止弁を越えて漏出する危険性が高
い。また、コールドトラップを使用した場合、トラップ
能力を越えたオイルは依然真空容器内へ流出してしまう
ため安全機構として確実ではない。
【０００４】更に、逆流防止弁では構造上排気口が狭い
ために、排気能力が低く、減圧状態に達する迄に非常に
時間を要するので吸引効率上望ましくない。また、コー
ルドトラップは高価な装置であり、簡便に使用すること
ができず、逆流した場合オイルを除去し、真空ポンプ内
に流出した量のオイルを充填しなければならないなどの
問題点を有する。
ために、排気能力が低く、減圧状態に達する迄に非常に
時間を要するので吸引効率上望ましくない。また、コー
ルドトラップは高価な装置であり、簡便に使用すること
ができず、逆流した場合オイルを除去し、真空ポンプ内
に流出した量のオイルを充填しなければならないなどの
問題点を有する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】真空装置は種々の用途
で使用されるが、例えば、ある試料を減圧乾燥するため
に用いた場合、試料中の水分及び酸性又はアルカリ性物
質が真空ポンプ内に吸引され、真空ポンプを錆びつかせ
る。更に、減圧乾燥は酸性物質及びアルカリ性物質など
種々の試料に対して行われるものであり、真空ポンプ内
で塩物質が析出する危険性もある。この錆びつきや塩物
質の析出は外観では判断できないため、不意に真空ポン
プが異常または故障することがあり、特に終夜運転など
の監視する者が近くにいない時間に発生した場合には火
災にまで至る恐れがあり、このような事態を未然に防ぐ
手段を講じる必要があった。また、何らかの化学物質ま
たは長期乃至過酷な使用による伝達ベルトの異常により
発生する種々の事態にも対処することが要求される。
で使用されるが、例えば、ある試料を減圧乾燥するため
に用いた場合、試料中の水分及び酸性又はアルカリ性物
質が真空ポンプ内に吸引され、真空ポンプを錆びつかせ
る。更に、減圧乾燥は酸性物質及びアルカリ性物質など
種々の試料に対して行われるものであり、真空ポンプ内
で塩物質が析出する危険性もある。この錆びつきや塩物
質の析出は外観では判断できないため、不意に真空ポン
プが異常または故障することがあり、特に終夜運転など
の監視する者が近くにいない時間に発生した場合には火
災にまで至る恐れがあり、このような事態を未然に防ぐ
手段を講じる必要があった。また、何らかの化学物質ま
たは長期乃至過酷な使用による伝達ベルトの異常により
発生する種々の事態にも対処することが要求される。
【０００６】更に、停電時は勿論の事、真空ポンプの不
作動時、真空ポンプ内のオイルにより大切な試料が汚染
されてしまうため、種々の事態に対処できるオイルの逆
流を防止する安全機構を考案することが切望されてい
る。
作動時、真空ポンプ内のオイルにより大切な試料が汚染
されてしまうため、種々の事態に対処できるオイルの逆
流を防止する安全機構を考案することが切望されてい
る。
【０００７】本発明の目的は、モーター、真空ポンプ及
び伝達ベルトなどの排気装置の異常または故障による火
災を防止することができる真空装置の安全機構を提供す
ることである。
び伝達ベルトなどの排気装置の異常または故障による火
災を防止することができる真空装置の安全機構を提供す
ることである。
【０００８】更には、排気装置の異常または故障や停電
に際し、真空ポンプからのオイルの逆流を未然に防ぐこ
とのできる真空装置の安全機構を提供することである。
に際し、真空ポンプからのオイルの逆流を未然に防ぐこ
とのできる真空装置の安全機構を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の真空装置の安全
機構は、真空ポンプの回転速度を検出し、検出値が設定
以下のときにモーターを停止させるものである。
機構は、真空ポンプの回転速度を検出し、検出値が設定
以下のときにモーターを停止させるものである。
【００１０】望ましくは、本発明の真空装置の安全機構
は、真空ポンプの回転速度を検出し、検出値が設定以下
のときにモーターを停止させ、モーターの停止に連動し
真空容器を開放させるものである。
は、真空ポンプの回転速度を検出し、検出値が設定以下
のときにモーターを停止させ、モーターの停止に連動し
真空容器を開放させるものである。
【００１１】例えば、本発明は、真空ポンプのリングの
回転数を検知器により検知することにより真空ポンプの
回転速度を連続測定し、測定値が設定値以下に低下した
場合モーターを停止し、また更には真空容器を開放させ
ることを特徴とする真空装置の安全機構に関するもので
ある。
回転数を検知器により検知することにより真空ポンプの
回転速度を連続測定し、測定値が設定値以下に低下した
場合モーターを停止し、また更には真空容器を開放させ
ることを特徴とする真空装置の安全機構に関するもので
ある。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。
を参照して説明する。
【００１３】回転検知部５は真空ポンプ１の回転速度を
測定する装置である。回転検知部において使用される検
知器としては、例えば、金属を検知する近接センサー、
赤外線の遮断または反射を検知する赤外線センサー、可
視光の遮断または反射を検知する光センサーなどをあげ
ることが出来る。当該回転検出部５により検出された真
空ポンプ１の回転速度の情報は、電源制御回路６に出力
される。
測定する装置である。回転検知部において使用される検
知器としては、例えば、金属を検知する近接センサー、
赤外線の遮断または反射を検知する赤外線センサー、可
視光の遮断または反射を検知する光センサーなどをあげ
ることが出来る。当該回転検出部５により検出された真
空ポンプ１の回転速度の情報は、電源制御回路６に出力
される。
【００１４】電源制御回路６は、回転検知部５からの出
力信号を内蔵の設定値と対比し、回転検知部５からの出
力信号が設定値以下の場合、電気供給を遮断してモータ
ー４を停止させる。望ましくは、開閉口２への電気供給
も遮断し、真空容器７を開放する。安全性の向上のた
め、電源制御回路６は使用するセンサーに合わせて適宜
設定値を入力する事ができるものが望ましく、設定値は
真空ポンプ１の停止に至る危険性がある値を適宜選択す
ることができる。当該設定値と回転検知部５からの出力
信号の対比は、真空ポンプ１の運転が安定するだけの十
分な時間を経過した後作動するように設定する。更に、
排気装置の異常または故障ではなく停電によるモーター
４の停止の場合、電源制御回路６は再通電によりモータ
ー４を再作動させるべく働く。
力信号を内蔵の設定値と対比し、回転検知部５からの出
力信号が設定値以下の場合、電気供給を遮断してモータ
ー４を停止させる。望ましくは、開閉口２への電気供給
も遮断し、真空容器７を開放する。安全性の向上のた
め、電源制御回路６は使用するセンサーに合わせて適宜
設定値を入力する事ができるものが望ましく、設定値は
真空ポンプ１の停止に至る危険性がある値を適宜選択す
ることができる。当該設定値と回転検知部５からの出力
信号の対比は、真空ポンプ１の運転が安定するだけの十
分な時間を経過した後作動するように設定する。更に、
排気装置の異常または故障ではなく停電によるモーター
４の停止の場合、電源制御回路６は再通電によりモータ
ー４を再作動させるべく働く。
【００１５】開閉口２としては、例えば、電磁弁を使用
することができ、通電時、真空容器７を閉成し、遮断時
にはばねの働きにより真空容器７を開放するように作動
する。真空容器７の開放により外気が真空容器７内に流
入して真空容器７内を常圧に戻す事により、真空ポンプ
１からのオイルの逆流を防止する事が出来る。開閉口２
の内径は真空容器７及び真空ライン内の真空度に依存し
決定することができ、真空ポンプ１からのオイルの逆流
が起こらない範囲で適宜選択することができる。また、
外気流入口８に不活性ガスを充満させた容器を接続する
事により、開閉口２が開放作動した際に真空容器７内を
不活性ガスで満たし、試料が外気により劣化するのを防
止する事が出来る。尚、停電時において電磁弁は、再通
電により閉成作動し、再度真空ラインを真空状態に戻す
ことができる。
することができ、通電時、真空容器７を閉成し、遮断時
にはばねの働きにより真空容器７を開放するように作動
する。真空容器７の開放により外気が真空容器７内に流
入して真空容器７内を常圧に戻す事により、真空ポンプ
１からのオイルの逆流を防止する事が出来る。開閉口２
の内径は真空容器７及び真空ライン内の真空度に依存し
決定することができ、真空ポンプ１からのオイルの逆流
が起こらない範囲で適宜選択することができる。また、
外気流入口８に不活性ガスを充満させた容器を接続する
事により、開閉口２が開放作動した際に真空容器７内を
不活性ガスで満たし、試料が外気により劣化するのを防
止する事が出来る。尚、停電時において電磁弁は、再通
電により閉成作動し、再度真空ラインを真空状態に戻す
ことができる。
【００１６】真空ポンプ１は伝達ベルト３によってモー
ター４と連動して作動し、真空ポンプ１は真空容器７と
連通している。開閉口２は、例えば、真空ポンプ１と真
空容器７の間に分枝して設置してもよく、真空容器７の
先に設置してもよい。真空ポンプ１と真空容器７の間に
分枝して設置した開閉口２は逆流防止弁やコールドトラ
ップと代替することができ、開閉口２を適宜設置するこ
とにより、吸引効率の問題を解消することができる。特
に、開閉口２は真空ポンプ１と真空容器７の間に分枝し
て設置した方が、開口時外気が真空ポンプ１および真空
容器７に向かって流入するため、真空容器７から真空ポ
ンプ１への試料粒子の漂着を防止することができ、真空
ラインが試料によって汚染されないことからも好まし
い。
ター４と連動して作動し、真空ポンプ１は真空容器７と
連通している。開閉口２は、例えば、真空ポンプ１と真
空容器７の間に分枝して設置してもよく、真空容器７の
先に設置してもよい。真空ポンプ１と真空容器７の間に
分枝して設置した開閉口２は逆流防止弁やコールドトラ
ップと代替することができ、開閉口２を適宜設置するこ
とにより、吸引効率の問題を解消することができる。特
に、開閉口２は真空ポンプ１と真空容器７の間に分枝し
て設置した方が、開口時外気が真空ポンプ１および真空
容器７に向かって流入するため、真空容器７から真空ポ
ンプ１への試料粒子の漂着を防止することができ、真空
ラインが試料によって汚染されないことからも好まし
い。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
真空ポンプの回転速度により真空装置の異常又は故障を
察知するため、モーターの異常又は故障以外の真空ポン
プや伝達ベルトに起因する種々の異常又は故障に対処す
ることができ、火災発生を未然に防ぐことができる。ま
た、真空装置の異常又は故障時や停電時、開閉口が作動
するため、真空ラインの急激な減圧度の低下に伴う真空
ポンプからのオイルの逆流や逆流したオイルによる真空
容器及び真空容器内の試料の汚染を防止することができ
る。オイルの流出により真空ポンプ内のオイル量が減少
するが、その際生じる吸引効率の悪化の問題を解消する
ことができ、また真空ポンプ内へのオイルの補充の作業
を削減することができる。更に、電磁弁などの開閉口を
適宜設置することにより、逆流防止弁使用時の吸引効率
を改善することができる。
真空ポンプの回転速度により真空装置の異常又は故障を
察知するため、モーターの異常又は故障以外の真空ポン
プや伝達ベルトに起因する種々の異常又は故障に対処す
ることができ、火災発生を未然に防ぐことができる。ま
た、真空装置の異常又は故障時や停電時、開閉口が作動
するため、真空ラインの急激な減圧度の低下に伴う真空
ポンプからのオイルの逆流や逆流したオイルによる真空
容器及び真空容器内の試料の汚染を防止することができ
る。オイルの流出により真空ポンプ内のオイル量が減少
するが、その際生じる吸引効率の悪化の問題を解消する
ことができ、また真空ポンプ内へのオイルの補充の作業
を削減することができる。更に、電磁弁などの開閉口を
適宜設置することにより、逆流防止弁使用時の吸引効率
を改善することができる。
【図１】図１は本発明の一実施形態に係わるものであ
り、真空装置の安全機構の全体的構成図を示す。尚、排
気装置とは、真空ポンプ１、伝達ベルト３及びモーター
４を指し、真空ラインとは、真空ポンプ１から開閉口２
及び真空容器７までの管及び真空容器７内部全体を指
す。
り、真空装置の安全機構の全体的構成図を示す。尚、排
気装置とは、真空ポンプ１、伝達ベルト３及びモーター
４を指し、真空ラインとは、真空ポンプ１から開閉口２
及び真空容器７までの管及び真空容器７内部全体を指
す。
１ 真空ポンプ ２ 開閉口 ３ 伝達ベルト ４ モーター ５ 回転検知部 ６ 電源制御回路 ７ 真空容器 ８ 外気流入口
Claims (3)
- 【請求項１】 真空ポンプ及びモーターを具備する排気
装置と真空容器を有する真空装置において、真空ポンプ
の回転速度低下によりモーターを停止する手段を有する
ことを特徴とする真空装置の安全機構。 - 【請求項２】 真空ポンプの回転速度低下によるモータ
ーの停止に連動して真空容器を開放させる手段を有する
ことを特徴とする請求項１記載の真空装置の安全機構。 - 【請求項３】 真空容器を開放させる手段が電磁弁であ
ることを特徴とする請求項２記載の真空装置の安全機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10378425A JP2000199480A (ja) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | 真空装置の安全機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10378425A JP2000199480A (ja) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | 真空装置の安全機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000199480A true JP2000199480A (ja) | 2000-07-18 |
Family
ID=18509670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10378425A Pending JP2000199480A (ja) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | 真空装置の安全機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000199480A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006253517A (ja) * | 2005-03-14 | 2006-09-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 減圧乾燥装置 |
| JP2009534645A (ja) * | 2006-04-20 | 2009-09-24 | ミロトロン ケイエフティー． | 低波状中性子ガイド平面の製造方法 |
| JP2017129095A (ja) * | 2016-01-22 | 2017-07-27 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ用電源装置 |
-
1998
- 1998-12-25 JP JP10378425A patent/JP2000199480A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006253517A (ja) * | 2005-03-14 | 2006-09-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 減圧乾燥装置 |
| JP2009534645A (ja) * | 2006-04-20 | 2009-09-24 | ミロトロン ケイエフティー． | 低波状中性子ガイド平面の製造方法 |
| JP2017129095A (ja) * | 2016-01-22 | 2017-07-27 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ用電源装置 |
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