JPH0874929A - 微振動制振床 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高精度の制振性を維持したまま台の大型化が
でき、台の大きさ変更も容易であるアクティブ化された
微振動制振床を提供することを目的とする。 【構成】 互いに離間して配置された架材６と、架材６
上に着脱自在に架設された床版７と、床２上面に配置さ
れて架材６を床２上方に支持すると共に、架材６を介し
て床版７の鉛直方向の振動を制御する複数の鉛直方向制
振機構５と、床版７に設けられて床版７の水平方向の振
動を制御する水平方向電磁式アクチュエータ４１ａ・４
１ｂと、床版７に設けられて床版７の水平および鉛直方
向の振動を検出する加速度センサー４０と、加速度セン
サー４０の出力に基づいて鉛直方向制振機構５および水
平方向電磁式アクチュエータ４１ａ・４１ｂを駆動・制
御する振動制御コンピュータ４とを具備しており、床版
７は、一平面上で互いに着脱自在に連結された複数の床
部材８を備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体施設、先端研究
施設等の超精密施設に設置される精密機器に対し、設置
基盤から伝わる振動を低減するために、パッシブ防振機
構にアクティブ振動制御の機能を組み込んだ微振動制振
床に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】高精密機器類は、その機能の高性能化に
伴って、ミクロン単位の微振動でもその性能に大きな影
響を受けることがあり、高精度の除振・制振が必要とさ
れる。特に、半導体施設、先端研究施設等の超精密施設
に設置される精密機器は、その使用時に微小な振動や変
位が生じていてもその作業に支障をきたし、あるいは製
品不良が生じたり、作業効率の低下を招くこともある。
このような振動等の影響を除去するため、これらの精密
機器類は、除振装置の上に設置されるのが一般的であ
る。このような精密除振装置として除振床に加わる振動
を空気ばね、コイルばね等の振動吸収手段によって吸収
減衰させるパッシブ除振装置がある。

【０００３】このパッシブ除振装置には必ず共振があ
り、共振点付近の周波数では悪化する。通常この共振周
波数を実用上問題のない周波数まで下げようと空気ばね
等の柔らかいばねを用いるがそれでも鉛直方向１Ｈｚ、
水平方向０．５Ｈｚ位が限界である。共振周波数ではオ
リフィスを設けたり、粘性ダンパーを用いたりして、減
衰しても共振倍率は１０〜２０ｄＢ（３〜１０倍）に抑
えるのが限界であった。また、この場合、本来の目的で
ある防振域（共振周波数よりも高い周波数）の防振効果
が低下してしまう。さらに、パッシブ防振装置の場合、
一定の比率でしか防振できないため、基礎部に大きな強
制入力が入ってきた場合、防振効果が不十分となること
がある。

【０００４】上述した精密機器類がより高精密になって
いくのに伴い、微振動対策に対しても一段と厳しい性能
が要求されており、パッシブ防振装置だけでは十分な防
振が行えないため、より高性能な制振床が要望されてい
る。

【０００５】従来、このような微振動を対象とした制振
床として、アクティブ系の３次元制御技術が提案されて
いる。すなわち、鉛直方向および互いに直交した２つの
水平方向の３方向に対して、空気ばねやリニアモータ等
で支持された制振床に取り付けられた振動センサーの信
号に応じてアクチュエータを駆動し、制振床に生じた振
動と逆位相の振動を与え、コンピュータ制御により積極
的に除振するアクティブ除振装置を使用したシステムで
ある。これによって精密機器等に伝わる比較的規則的な
振動だけでなく、パッシブ除振装置だけでは除去が困難
であった不規則な振動等に対しても制御を可能とし、振
動を約１０分の１に低減することが可能である。

【０００６】このような制振床は、今までにいくつかの
提案がされているが、その１辺が１．０〜２．０ｍ程度
の大きさで、しかもその台（床）部分は、鋼板等を使用
し版厚を厚くすることで大きな剛性を確保するようにし
たものが多い。技術の高度化に伴い機器がより高精密
に、かつ、より大きなものとなっていくのに従い、制振
床も大きくせざるをえなくなり、その結果、台部分の重
量および厚み（すなわち床の高さ）の増加に対する対応
が必要となっている。また、こういった生産施設の進歩
のテンポは非常に早く、生産ラインやレイアウトの変更
等に早急に対応できる様なシステムも望まれている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
制振床では、上述したように鋼板等の重い台を使用して
おり、台の大型化に伴ってその重量と厚みがさらに増大
し、制振床工事施工時やレイアウト変更時の移動や施工
を容易に行うことができないという不都合が生じてい
た。また、台を大型化することは、床の変形モードの影
響や重量増大等のため制御性能やアクチュエータ能力の
許容範囲を越えてしまい制御方法を変えるか、アクチュ
エータ能力を上げる等の処置をしないと高精度の制振性
を維持できないという問題があった。そして、台の大き
さを容易に変更できないため、生産ラインや載置される
機器等の変更に伴って、制振床の新規購入または大幅な
改造等を必要としていた。したがって、生産ライン変更
等への対応に非常に多くの時間とコストがかかるという
問題が生じていた。

【０００８】また、パッシブ防振機構として、空気ばね
を使用した場合、エアー源やレベル調整機構等が必要で
あり、システムが大がかりになりメンテナンスも大変と
なる欠点があった。本発明は、前述の課題に鑑みてなさ
れたもので、その移動を容易に行うことができ、かつ、
高精度の制振性を維持したまま台の大型化ができ、台の
大きさ変更も容易であり、さらに、空気ばねを使用しな
いシンプルな系で十分な防振効果が得られるアクティブ
化された微振動制振床を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するため、以下の構成を採用した。すなわち、請求項
１記載の微振動制振床では、互いに離間して配置された
架材と、前記架材上に着脱自在に架設された床版と、床
上面に配置されて前記架材を前記床上方に支持すると共
に、該架材を介して前記床版の鉛直方向の振動を制御す
る複数の鉛直方向制振機構と、前記床版に設けられて該
床版の水平方向の振動を制御する水平方向制振機構と、
前記床版に設けられて該床版の水平および鉛直方向の振
動を検出する振動センサーと、該振動センサーの出力に
基づいて前記鉛直方向制振機構および水平方向制振機構
を駆動・制御する振動制御装置とを具備してなり、前記
床版は、一平面上で互いに着脱自在に連結された複数の
床部材を備えてなることを特徴とするものである。

【００１０】請求項２記載の微振動制振床では、請求項
１記載の微振動制振床において、前記床部材は、上板部
と下板部との間にハニカム構造からなる支持板部を設け
た構成とされていることを特徴とするものである。請求
項３記載の微振動制振床では、請求項１または２記載の
微振動制振床において、前記鉛直方向制振機構は、積層
ゴムと、該積層ゴムと直列または並列の少なくとも一方
の構成で設けられ、鉛直方向の制振をなす１個以上の電
磁式アクチュエータとから構成されてなり、前記水平方
向制振機構は、水平面上において一方向の制振をなす第
一の慣性質量型電磁式アクチュエータ１個以上と、前記
一方向に直交する方向の制振をなす第二の慣性質量型電
磁式アクチュエータ１個以上とから構成されていること
を特徴とするものである。

【００１１】請求項４記載の微振動制振床では、請求項
１から３のいずれかに記載の微振動制振床において、前
記床版は、振動による該床版の変形を防止するストッパ
ー機構またはダンパー機構の少なくとも一方を備えてな
ることを特徴とするものである。

【００１２】

【作用】請求項１記載の微振動制振床では、床版に伝わ
る振動を振動センサーが検出し、その情報を信号として
振動制御装置に出力する。振動制御装置において、この
情報に基づき必要な制御量を算出し、鉛直方向制振機構
および水平方向制振機構を駆動・制御する。これによっ
て、鉛直方向制振機構は鉛直方向の振動に対し、また、
水平方向制振機構は水平方向の振動に対して除振を行
う。

【００１３】また、床版上に載置される機器の変更等に
伴って床版の大きさを変更する場合は、次のようにして
行う。床版は、架材に着脱自在に架設され、かつ、複数
の床部材を着脱自在に連結することによって構成されて
いるので、床版を架材から取り外し、各床部材に分解・
分離する。そして、所定の大きさとなるよう床部材を補
充または削除して、再び一平面上に互いに着脱自在に連
結し、架材に着脱自在に架設する。このようにして、載
置される機器に対応して床版の大きさ変更が行える。

【００１４】請求項２記載の微振動制振床では、請求項
１記載の微振動制振床において、床部材を、上板部と下
板部との間にハニカム構造からなる支持板部を設けた構
成としているので、床部材およびこれら床部材によって
構成される床版を、剛性を低下させることなく、大幅に
軽量化している。これによって、鉛直方向制振機構およ
び水平方向制振機構の床版の大きさに対する制振許容度
が増すため、床版をより大きく設定した場合でも、高精
度の制振性を維持できる。

【００１５】請求項３記載の微振動制振床では、請求項
１または２記載の微振動制振床において、鉛直方向制振
機構および水平方向制振機構の各電磁式アクチュエータ
を、制振制御装置によって駆動・制御し、床版の除振を
行う。すなわち、振動に対応した適切な電流を、制振制
御装置から各電磁式アクチュエータに可変通電すること
により鉛直方向および互いに直交する２つの水平方向、
すなわち３次元の微振動に対して高精度に制振すること
ができる。

【００１６】鉛直方向制振機構の電磁式アクチュエータ
は、架材と床の間に設けられ、反力により駆動する直接
駆動型を使用している。このため、アクチュエータが振
動伝達経路内にあり、アクチュエータの固有振動数は系
全体の固有振動数と等しくなるので、制御が安定し、大
きな効果が得られる。水平方向制振機構の電磁式アクチ
ュエータには、慣性力により駆動する慣性質量型を使用
しており、低い固有振動数を有すると共に、直接駆動型
に比べて系の自由度（床が動ける量）が大きく、また、
設置が容易で、設置後の変更にも対応しやすい。

【００１７】また、鉛直方向制振機構は、電磁式アクチ
ュエータを積層ゴムと直列または並列の少なくとも一方
の配列となる構成、つまり、積層ゴムと電磁式アクチュ
エータとを直列もしくは並列の配列、または両配列を組
み合わせた構成としたので、制振制御装置により制御し
ていない場合や、電気系統の故障時に対しても、積層ゴ
ムによりパッシブ型としての機能が残っており、一定の
制振機能を有している。

【００１８】請求項４記載の微振動制振床では、請求項
２記載の微振動制振床において、積層ゴムを、上下に軸
線を有する円筒形状としているので、積層ゴムの受圧面
積を同一にした場合に、単なる円柱形状の積層ゴムに比
べて、その受圧面の径を大きくできる。したがって、積
層ゴムの座屈安定性が向上する。

【００１９】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１〜図４を参照
しながら詳細に説明する。図１において符号１は微振動
制振床である。この微振動制振床１は、建物の床２上に
設置された制振床部３と振動制御装置である振動制御コ
ンピュータ４とから構成されている。上記の制振床部３
は、次のように構成されている。図１および図２に示す
ように、建物の床２には６つの鉛直方向制振機構５が所
定の間隔に離間されて配置・固定されている。これら鉛
直方向制振機構５上には、互いに離間して架設された２
つの架材６、６が架設・支持され、これら架材６、６上
には床版７が、図示しないボルトにより着脱可能に緊結
・固定されている。

【００２０】この床版７は、一平面上に互いに連結され
た４つの床部材８によって構成されている。図３に示す
ように、該床部材８は、ハニカム構造を有する支持板部
であるアルミハニカム材８ａの両面にそれぞれ上板部、
下板部としてアルミ板８ｂ、８ｃを貼設したアルミハニ
カム版となっており、建物の床２のモジュール単位に合
わせて１枚当たりの幅を設定している。図１に示すよう
に、床部材８の下部外周には、床部材８の鉛直方向の剛
性補強を兼ねたチャンネルからなるリブ９が取り付けら
れ、床部材８相互を図示しないボルトで着脱自在に緊結
・固定し、一体化している。このように床部材８を、数
枚連結させて、載置する機器の制振床として必要なサイ
ズとなるように設定している。

【００２１】架材６は、図２に示すように、床部材８下
部の長手方向両側にそれぞれ床部材８の幅方向に渡って
架設されている。これら架材６には、図３に示すよう
に、制振床部３の高さをできるだけ低くするためチャン
ネルを伏せた状態で中間にリブ補強された受けプレート
１０が入れられている。この受けプレート１０の下部に
は、上記の鉛直方向制振機構５が設置されており、受け
プレート１０と共に１つの架材６に対し、３箇所に取り
付けられている。

【００２２】また、図１に示すように、架材６の下部と
建物の床２との間には、ストッパー１５が設けられ、地
震時等における制振床部３の大きな変形を防止するため
にストッパー機構が備えられている。このストッパー１
５は、架材６下部に設置されたストッパー部材１５ａと
建物の床２上に設置されたストッパー部材１５ｂによっ
て構成されている。ストッパー部材１５ａは、架材６の
下方に突出し、上下に軸線を有する円柱形状の部材であ
り、その下端位置は建物の床２より高い所定の高さとし
ている。また、ストッパー部材１５ｂは、ストッパー部
材１５ａの位置に対応した建物の床２上に設置された円
筒形状の部材であり、その高さは架材６下部の高さより
低い所定の高さとしている。このストッパー１５は１つ
の架材６に対し、それぞれ２箇所設置されている。

【００２３】架材６下部に設置されている鉛直方向制振
機構５は、積層ゴム２０とこの積層ゴム２０上の鉛直方
向電磁式アクチュエータ２１とから構成されている。図
３に示すように、積層ゴム２０の下端部は建物の床２上
に固定され、その上端部は鉛直方向電磁式アクチュエー
タ２１の下部に固定されている。積層ゴム２０は、その
上端面における受圧面積を最小にし、所要のばね定数を
得る最小の高さとすると共に、上下に軸線を有する円筒
形状とされている。この積層ゴム２０は、ゴム２０ａと
鉄板２０ｂを交互に貼り合わせたものであるが、水平だ
けでなく、鉛直方向に対しても柔らかく支持する必要が
あるため、ゴム２０ａの厚みは通常のものの場合より厚
く形成したものを用いている。

【００２４】鉛直方向電磁式アクチュエータ２１は、積
層ゴム２０上に固定された基盤２２の中央上部に固定さ
れたコイル２３と、支持用ゴム２４の上部に固定・設置
されたヨーク２５と、マグネット２６から構成された直
接駆動型としている。ヨーク２５の上端部には、架材６
下部に設置された上記の受けプレート１０が設置されて
おり、架材６および床版７が支持されている。コイル２
３は、それぞれ図示しない配線により振動制御コンピュ
ータ４と接続されている。

【００２５】図２に示すように、床版７の中央下部に
は、振動を検出する振動センサーとして加速度センサー
４０が固定・設置されており、図示しない配線により振
動制御コンピュータ４に接続されている。この加速度セ
ンサー４０の側には、水平方向制振機構である第一、第
二の電磁式アクチュエータとして慣性質量型の水平方向
電磁式アクチュエータ４１ａ・４１ｂが互いに直交する
ように設置されている。水平方向電磁式アクチュエータ
４１ａ・４１ｂは、図４に示すように、それぞれ床部材
８の幅方向と、幅方向に直交する長手方向に軸線を有す
る円筒形状のコイル４２ａ・４２ｂを有し、このコイル
４２ａ・４２ｂの内外には、それぞれ軸線を同じくする
鉄心およびマグネット４３ａ・４３ｂが配置されてい
る。鉄心およびマグネット４３ａ・４３ｂは、所定の重
量を有するように形成され、床版７下部に吊り下げられ
た状態で設置されている。また、コイル４２ａ・４２ｂ
は、床版７下部に固定された支持部材４４ａ、４４ｂに
固定されている。そして、コイル４２ａ・４２ｂは、そ
れぞれ図示しない配線により振動制御コンピュータ４に
接続されている。

【００２６】上記構成の微振動制振床１によれば、制振
床部３に伝わる振動を床版７中央下部の加速度センサー
４０が検出し、その情報を振動制御コンピュータ４に出
力する。振動制御コンピュータ４では、この情報から必
要な制御量を算出し、鉛直方向電磁式アクチュエータ２
１および水平方向電磁式アクチュエータ４１ａ・４１ｂ
に、適切な電流を供給することによって制振床部３をア
クティブに制御する。すなわち、鉛直方向電磁式アクチ
ュエータ２１のコイル２６には、振動に対応した適切な
電流が可変通電され、振動を相殺させるよう床版７を鉛
直方向に振動させて除振する。一方、水平方向電磁式ア
クチュエータ４１ａ・４１ｂのコイル４２ａ・４２ｂに
も同様に振動に対応した適切な電流が可変通電される。
このとき、床版７下部に吊り下げられ、かつ、所定の重
量を有するコイル４２ａ・４２ｂは、水平方向に振動
し、これによって直交する２つの水平方向の振動を相殺
・除振する。このようにして、鉛直方向および直交する
２つ水平方向、すなわち３次元の振動がアクティブに制
御される。

【００２７】上記の微振動制振床では、各方向の電磁式
アクチュエータ全部を同相で駆動すれば並進運動のみを
制御することができ、複数のアクチュエータを個別に駆
動することにより回転運動も制御できる。また、鉛直方
向の電磁式アクチュエータは、慣性力による慣性質量型
とすると、電磁式アクチュエータの固有振動数を系全体
の固有振動数より低くすることは難しく、電磁式アクチ
ュエータの固有振動数よりも低い周波数は制御できない
ため、反力により駆動する直接駆動型を採用して架材６
と床２の間に取り付けている。この結果、電磁式アクチ
ュエータが振動伝達経路内にあるため電磁式アクチュエ
ータの固有振動数は系全体の固有振動数と等しくなるの
で、制御が安定し、大きな効果が得られる。

【００２８】水平方向の電磁式アクチュエータは、慣性
力による慣性質量型を採用しているので、鉛直方向と同
様の直接駆動型とした場合に比べ、系の自由度が大きく
なる。また、直接駆動型に比べて設置が容易で、設置後
の変更にも対応しやすい。

【００２９】上記の微振動制振床１において、載置され
る機器の変更等に伴って床版７の大きさを変更する場合
は、以下のようにして行う。床版７を、ボルトによって
着脱自在に架設されていた架材６から取り外し、この床
版７を、ボルトによって着脱自在に連結していた４つの
床部材８に分解・分離する。そして、所定の大きさとな
るよう床部材８を補充または削除して、再び一平面上に
ボルトによって着脱自在に連結し、同様にボルトによっ
て架材６に着脱自在に架設する。このとき、床部材８
は、軽量なアルミハニカム版とされているので容易に分
解・組立ができる。また、床版７をアルミハニカム版と
することによって、軽量かつ高い剛性を有することがで
き、床版７を大型化しても高精度の制振性を維持し、よ
り大きな機器を載置することができる。また、生産ライ
ン等の変更に対応して移動する場合でも、従来、最も重
量を有していた床版７が軽量化されているので容易に移
動が行える。

【００３０】鉛直方向制振機構５は、鉛直方向電磁式ア
クチュエータ２１を積層ゴム２０上に設置した構成とし
ているので、振動制御コンピュータ４により制御してい
ない場合や、電気系統の故障時に対しても、積層ゴム２
０によりパッシブ型としての機能が残っている。したが
って、鉛直方向電磁式アクチュエータ２１および水平方
向電磁式アクチュエータ４１ａ・４１ｂが動作していな
くても、一定の制振機能を有している。なお、鉛直方向
制振機構はすべて電磁式アクチュエータを用いる必要は
なく、そのうちの一部を鉛直ばねとなる積層ゴムをアク
チュエータの替わりに入れた鉛直支持機構をバランスよ
く混在させることもできる。このように積層ゴムと電磁
式アクチュエータとを直列や並列、または両者を組み合
わせた配列にすることによって、設置する機器の形状、
重量等に対応した構成とすることができる。

【００３１】積層ゴム２０は、所要のばね定数を得る最
小の高さとするため、受圧面積を最小としているが、上
下に軸線を有する円筒形状としているので、単なる円柱
形状に比べて高さに対する径が大きく、高い座屈安定性
を得ている。このように積層ゴム２０を、上下に軸線を
有する円筒形状とすることによって、積層ゴム２０の受
圧面積を同一にした場合に、単なる円柱形状や多角柱形
状の積層ゴムに比べて、その受圧面の径を大きくでき
る。したがって、積層ゴム２０の座屈安定性が向上し、
最小受圧面積に設定しても単なる円柱形状に比べて安定
性を大幅に増すことができる。その結果、所要のばね定
数を得ることができる最小受圧面積での積層ゴム２０の
高さを最小にすることができる。このようにして、積層
ゴムの高さを低くするとともに、制振床全体の高さを低
くすることができ、床版７上の機器の高さが、機器を直
接建物の床２上に載置した場合に比べ、大幅に高くなる
ことを避けることができる。なお、積層ゴム２０は、上
下に軸線を有する円筒形状としたが、上下に軸線を有す
る多角形筒状であっても同様の効果を得ることができ
る。

【００３２】なお、例として、床版７のサイズを３ｍ×
２．４ｍと大きく設定した場合でも、高精度な制振効果
を得ることができる。また、床版７のサイズが大きくな
った場合、必要に応じ架材を３本以上離間して配置する
こともできる。また、地震等による制振床部３の大きな
変形を防止するためのストッパー機構としてストッパー
１５を設けているが、同様に大きな変形を抑制するため
のダンパー機構として、ダンパーを設置しても構わな
い。また、両機構を組み合わせた構成とすることも構わ
ない。

【００３３】本実施例では、床版７の中央下部に加速度
センサーを設置したが、さらに、建物の床２にも同様に
振動を検出する振動センサーを備えることによって、床
２の振動を参照し、床版７の振動を制御するフィードフ
ォワード制御と、床版７の振動をフィードバック制御則
に基づき制御するフィードバック制御を組み合わせたア
クティブ制御方式にすることによって、さらに制振機能
を向上させることができる。

【００３４】

【発明の効果】本発明によれば、以下の効果を得ること
ができる。請求項１記載の微振動制振床によれば、振動
制御装置が、床版の振動を検出した振動センサーの出力
に基づいて鉛直方向制振機構および水平支持機構を駆動
・制御することで、床版の振動に対し、アクティブに３
次元の除振・制振を行うことができる。また、この床版
は、架材に着脱自在に固定されており、しかも、床版自
体が着脱自在に連結された床部材によって構成されてい
るので、載置される機器に対応して床版の大きさ変更が
容易に行え、また、容易に制振床の移設ができる。した
がって、機器や生産ラインの変更等に伴って、制振床の
新規購入や改造等が極力削減でき、コストと変更対応に
要する時間を大幅に低減することができる。

【００３５】請求項２記載の微振動制振床によれば、請
求項１記載の微振動制振床において、床部材は、上板部
と下板部との間にハニカム構造からなる支持板部を設け
た構成とされているので、床部材およびこれら床部材に
よって構成される床版は、剛性を低下させることなく、
その重量を大幅に軽量化できる。これによって、高精度
の制振性を維持した状態で床版の大型化が行え、より大
きな機器を載置することができる。また、床版の大きさ
を変更する場合の分解・組立時や制振床の移動時には、
床版が軽量なため容易に設置等が行える。

【００３６】請求項３記載の微振動制振床によれば、請
求項１または２記載の微振動制振床において、鉛直方向
制振機構および水平方向制振機構に電磁式アクチュエー
タを使用しているので、振動に対応した適切な電流を、
制振制御装置から各電磁式アクチュエータに可変通電す
ることにより高精度な制振を行うことができることはも
とより、特に、電磁式アクチュエータは鉛直方向、水平
２方向に対し各方向それぞれ１個以上からなるので、各
方向の電磁式アクチュエータ全部を同相で駆動すれば並
進運動のみを制御することができ、複数のアクチュエー
タを個別に駆動することにより回転運動も制御できる。
すなわち、パッシブ防振装置だけでは困難であった、多
様な振動に対応できる。

【００３７】しかも、鉛直方向制振機構の電磁式アクチ
ュエータには、床版と床の間に設けられ、反力により駆
動する直接駆動型を使用しており、アクチュエータが振
動伝達経路内にあるためアクチュエータの固有振動数は
系全体の固有振動数と等しくなるので、制御が安定し、
大きな効果が得られる。水平方向制振機構の電磁式アク
チュエータには、慣性質量型を使用しており、低い固有
振動数を有すると共に、直接駆動型に比べて系の自由度
が大きく、また、設置や設置後の変更が容易に行える。

【００３８】そのうえ、鉛直方向制振機構においては、
電磁式アクチュエータを積層ゴムと直列または並列の少
なくとも一方の配列となる構成としているので、制振制
御装置により制御していない場合や、電気系統の故障時
に対しても、積層ゴムによりパッシブ型としての機能が
残っており、一定の制振機能を有することができる。載
置された機器を使用していないときでも、一定の制振効
果があるので、このような場合でも高精密機器類への影
響を低減できる。このように空気ばねではなく、積層ゴ
ムをパッシブ防振装置として使用しているので、空気ば
ねに必要であったエアー源やレベル調整機構は不要であ
り、シンプルなシステムとすることができる。

【００３９】請求項４記載の微振動制振床によれば、請
求項１から３のいずれかに記載の微振動制振床におい
て、ストッパー機構またはダンパー機構の少なくとも一
方を備えているので、地震等による床版の大きな変形を
防止できると共に、大きな変形によるアクチュエータの
故障を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の微振動制振床の一実施例を示す側面図
である。

【図２】本発明の微振動制振床の一実施例を示す平面図
である。

【図３】本発明の微振動制振床の一実施例の鉛直方向制
振機構を説明するための要部断面図である。

【図４】本発明の微振動制振床の一実施例の水平方向制
振機構および振動センサーを説明するための制振床要部
の拡大平面図である。

【符号の説明】

１ 微振動制振床 ２ 建物の床 ３ 制振床部 ４ 振動制御コンピュータ ５ 鉛直方向制振機構 ６ 架材 ７ 床版 ８ 床部材 ８ａ アルミハニカム材 ８ｂ、８ｃ アルミ板 １５ ストッパー ２０ 積層ゴム ２１ 鉛直方向電磁式アクチュエータ ４０ 加速度センサー ４１ａ、４１ｂ 水平方向電磁式アクチュエータ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小川 雄一朗 東京都港区芝浦一丁目２番３号 清水建設 株式会社内 (72)発明者 鈴木 健司 東京都港区芝浦一丁目２番３号 清水建設 株式会社内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 互いに離間して配置された架材と、 前記架材上に着脱自在に架設された床版と、 床上面に配置されて前記架材を前記床上方に支持すると
   共に、該架材を介して前記床版の鉛直方向の振動を制御
   する複数の鉛直方向制振機構と、 前記床版に設けられて該床版の水平方向の振動を制御す
   る水平方向制振機構と、 前記床版に設けられて該床版の水平および鉛直方向の振
   動を検出する振動センサーと、 該振動センサーの出力に基づいて前記鉛直方向制振機構
   および水平方向制振機構を駆動・制御する振動制御装置
   とを具備してなり、 前記床版は、一平面上で互いに着脱自在に連結された複
   数の床部材を備えてなることを特徴とする微振動制振
   床。
2. 【請求項２】 請求項１記載の微振動制振床において、 前記床部材は、上板部と下板部との間にハニカム構造か
   らなる支持板部を設けた構成とされていることを特徴と
   する微振動制振床。
3. 【請求項３】 請求項１または２記載の微振動制振床に
   おいて、 前記鉛直方向制振機構は、積層ゴムと、該積層ゴムと直
   列または並列の少なくとも一方の配列で設けられ、鉛直
   方向の制振をなす１個以上の電磁式アクチュエータとか
   ら構成されており、 前記水平方向制振機構は、水平面上において一方向の制
   振をなす１個以上の第一の慣性質量型電磁式アクチュエ
   ータと、 前記一方向に直交する方向の制振をなす１個以上の第二
   の慣性質量型電磁式アクチュエータとから構成されてい
   ることを特徴とする微振動制振床。
4. 【請求項４】 請求項１から３のいずれかに記載の微振
   動制振床において、 前記床版は、振動による該床版の変形を防止するストッ
   パー機構またはダンパー機構の少なくとも一方を備えて
   なることを特徴とする微振動制振床。