JP2000287300A - 超音波トランスデューサの特性試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 超音波トランスデューサの特性試験を行うに
当って、超音波トランスデューサと、この超音波トラン
スデューサから送信される超音波ビームのターゲット部
材との相対位置関係を２軸の角度調整手段により容易
に、しかも正確に調整できるようにする。 【解決手段】 超音波トランスデューサ１を設けた超音
波プローブ７を角度調整手段２０における位置決めアー
ム２６に装着し、ターゲット部材としてのハイドロフォ
ン１１に受信させる。ハイドロフォン１１は走査手段１
３により所定の走査面ＲＰで走査させるようになし、超
音波トランスデューサ１側は角度調整手段２０を構成す
るθステージ２８とチルトステージ３３とにより角度調
整されるが、θステージ２８の回転中心の延長線上に超
音波トランスデューサ１を配置し、かつチルトステージ
３３による傾動テーブル３５のスライド面３５ａの円弧
の中心位置に超音波トランスデューサ１の音軸中心を配
置する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被験者の体内組織
状態を検査するための超音波プローブ等に装着される超
音波トランスデューサの送信特性等を検査・測定するた
めの超音波トランスデューサの特性試験装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】超音波トランスデューサは、圧電素子等
の電気エネルギを機械的な振動エネルギに変換する、ま
たは逆に機械的なエネルギを電気信号に変換する素子と
しての超音波振動子を有し、この超音波振動子の送受信
面には音響整合層を設け、また反対側にはバッキング材
を装着することにより概略構成される。超音波トランス
デューサは、例えば医療分野等において広く使用されて
いる。この種医療用としての超音波トランスデューサは
走査手段等と共に超音波プローブとして組み込まれ、被
験者の体表皮、または体腔内に挿入して体腔内壁から、
体内に向けて超音波パルスを送信し、体内組織の断層部
分からの反射エコーをこの超音波トランスデューサで受
信させるようにして駆動される。そして、この受信信号
を超音波観測装置で画像化処理を行うことにより、体内
の組織状態に関する情報が超音波画像としてモニタに表
示される。この超音波画像に基づいて腫瘍その他の病変
部を検出する診断等を行うことができる。

【０００３】超音波トランスデューサは、少なくともバ
ッキング材，超音波振動子，音響整合層からなる多層体
で構成され、また音響整合層上には超音波ビームを所定
の位置にフォーカスさせる音響レンズを装着したものも
ある。このように構成される超音波トランスデューサの
特性を評価・検証するために、超音波の特性に関する試
験・測定が行われる。この特性試験は、例えば脱気水等
の均質な超音波伝達媒体を入れた試験槽の所定の位置に
反射板を配置しておき、超音波トランスデューサをこの
反射板に対向配設して、この超音波トランスデューサか
ら超音波ビームを送信して、この反射板で反射させて、
その反射エコーを超音波トランスデューサで受信させる
ことにより行われる。そして、この超音波トランスデュ
ーサの受信信号を信号処理回路で所定の処理を行うこと
によって、超音波トランスデューサの送受信特性に関す
るデータが得られる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前述した従
来技術の試験装置にあっては、超音波トランスデューサ
と反射板とは別々の支持部材に装着されていることか
ら、その間を正確にアラインメントするのは困難であ
り、複数の超音波トランスデューサの測定を行う際に
は、取り付け誤差等に起因して、すべて同じ条件で測定
することができないといった不都合がある。また、超音
波トランスデューサの支持部材及び反射板の支持部材は
固定的に保持されているので、測定ポイントは１箇所で
あり、超音波トランスデューサと反射板との相対位置を
変えて試験を行う、例えば音場の全体像を測定する等の
試験を行えるようにはなっておらず、超音波トランスデ
ューサの特性に関する検査・測定装置としては必ずしも
満足なものではない。

【０００５】本発明は以上の点に鑑みてなされたもので
あって、その目的とするところは、超音波トランスデュ
ーサの特性試験を行うに当って、超音波トランスデュー
サと、この超音波トランスデューサから送信される超音
波ビームのターゲット部材との相対位置関係を容易に、
しかも正確に調整できるようにすることにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明は、超音波トランスデューサの特性試験
を行うために、超音波伝達媒体を入れた試験槽内に超音
波を受信または反射するターゲット部材を設置し、前記
超音波トランスデューサから超音波ビームをこのターゲ
ット部材に向けて照射するものにおいて、前記超音波ト
ランスデューサと前記ターゲット部材とのいずれか一方
を支持する支持部材を２軸の角度調整手段に連結して設
け、この角度調整手段は、前記超音波トランスデューサ
またはターゲット部材のほぼ送受信または反射の中心位
置を通る直交２軸の軸回りに回動させるためのものであ
り、この直交２軸の一方の軸線方向に延在させて、その
軸回りに前記支持部材を回動させるθステージと、この
直交２軸の他方の軸回りに回動させるために、前記中心
位置を中心として、前記支持部材を円弧運動させるチル
トステージとで構成したことをその特徴とするものであ
る。

【０００７】具体的な構成としては、例えば、角度調整
手段に設けた支持部材には超音波トランスデューサを組
み込んだ超音波プローブを着脱可能に装着し、またター
ゲット部材は、超音波トランスデューサからの超音波信
号を受信するハイドロフォンで構成して、このハイドロ
フォンを概略鉛直平面上で走査させる走査手段に取り付
け、またこの走査手段にはハイドロフォンを超音波プロ
ーブに近接・離間させる間隔調整手段に装着するように
構成することができる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について詳細に説明する。まず、図１におい
て、１は超音波トランスデューサを示し、この超音波ト
ランスデューサ１は、超音波振動子２の表面側に音響整
合層３が、また音響整合層３には音響レンズ４が接合し
て設けられており、超音波振動子２の裏面側の面にはバ
ッキング材５が設けられている。超音波振動子２に所定
の電圧を印加すると、超音波ビームが送信される。超音
波ビームは、超音波トランスデューサ１から距離ＤＳま
では近距離音場ＮＳと呼ばれるものであり、この近距離
音場ＮＳではほぼ平面波からなり、その音圧分布は複雑
な縞状となる。そして、距離ＤＳを過ぎた遠距離音場Ｆ
Ｓになると、超音波ビームは球面波となって拡散が開始
する。この遠距離音場ＦＳでは、音軸ＳＡを中心とした
球面的な広がりを有する音場が形成されることになる。
そして、超音波トランスデューサ１に音響レンズ４を装
着することによって、図１に仮想線で示したように、遠
距離音場ＦＳは超音波トランスデューサ１から所定の距
離だけ離れた位置でビーム断面が最小となるようにフォ
ーカスされる。ここで、超音波ビームを絞るための音響
レンズ４はレンズとレンズ以外の媒質との音速の差に基
づいて、レンズの音速の方が速い場合には凹レンズが、
レンズの音速の方が遅い場合には凸レンズが用いられ
る。

【０００９】以上の構成を有する超音波トランスデュー
サ１は、例えば、図２に示したように、細径の中空軸５
の先端に音響特性の良好なキャップ６を装着し、このキ
ャップ６内に装着されて、リニア方向またはラジアル方
向に超音波走査を行う超音波プローブ７として構成され
る。そして、この中空軸５を細径で可撓性のあるチュー
ブ材で構成すれば、内視鏡に設けられている処置具挿通
チャンネル等をガイド手段として体腔内に導いて、体腔
内壁から超音波の送受信を行うことにより体内組織の断
層情報を取得する、所謂体腔内挿入型の超音波プローブ
７として構成される。また、超音波トランスデューサを
組み込んだ超音波プローブは様々な形態のものがあり、
しかも超音波トランスデューサの作動形態や、走査方式
等については様々なものがある。本発明においては、図
２に示した超音波プローブ７だけでなく、様々なタイプ
の超音波プローブに組み込まれた超音波トランスデュー
サや、超音波トランスデューサ単体での特性試験を行う
ことができる。

【００１０】以上のように、超音波プローブ７に組み込
まれた超音波トランスデューサ１から送信される超音波
ビームの特性、例えば音軸上の深達距離、有効ビーム
径、焦点距離と焦点位置でのビーム径及びその音圧、さ
らにはサイドローブの状態及びその程度等に関するデー
タを取得できるようにしている。このための特性試験装
置の具体的な構成を図３乃至図５に示す。

【００１１】而して、超音波トランスデューサ１の送受
信面１ａから出射された超音波ビームは空間的な広がり
をもって進行するが、その空間パターン形状、つまり音
場は、この送受信面１ａや、装着されている音響レンズ
４等により異なる。今、送受信面１ａが円形のものであ
り、その表面に超音波ビームを収束する音響レンズ４が
配置されていると、均質な超音波伝達媒体内で超音波ト
ランスデューサ１から出射された超音波ビームは、遠距
離音場ＦＳではその断面形状は概略円形となり、この円
形パターンを保ちながら音軸ＳＡ方向に進行し、音響レ
ンズ４の焦点位置までは連続的に収束し、それ以後は連
続的に拡開する形状となる。そこで、音軸ＳＡ上のある
位置で、この音軸ＳＡと直交する平面上における音圧分
布を検出すると、当該位置での音場断面の音圧分布、つ
まり音場パターンが得られる。また、音軸ＳＡに沿って
所定のピッチ間隔毎に順次音場パターンを取得すること
によって、超音波ビームの音場の全体像が得られる。従
って、音軸と直交する方向における音圧分布に関する情
報である音場パターンから、超音波ビームの特性、つま
り超音波の深達距離、有効ビーム径、焦点距離と焦点位
置でのビーム径及びその音圧に関するデータが得られ、
さらにはサイドローブの状態等の測定も可能になる。

【００１２】そこで、まず図３に試験装置の概略構成を
示す。同図において、１０は内部に脱気水等のように均
質で、超音波の減衰率の低い超音波伝達媒体を貯留した
試験槽であり、この試験槽１０内で超音波プローブ７に
設けた超音波トランスデューサ１を超音波伝達媒体に浸
漬させた状態で超音波ビームを送信するように構成して
いる。そして、この超音波ビームのターゲット部材とし
てのハイドロフォン１１を超音波伝達媒体内で、この超
音波プローブ７に対向配置して、このハイドロフォン１
１に超音波を受信させて、その受信音圧レベルを検出す
る。ここで、ハイドロフォン１１は針状部１１ａの先端
に受信部１２を設けたものであり、従って実質的に点で
超音波を受信することになる。このために、ハイドロフ
ォン１１で超音波ビームの所定位置での断面における音
場パターンを取得するために、このハイドロフォン１１
を平面的な広がりをもって走査させる走査手段に装着す
る。また、超音波ビームの音軸ＳＡに沿って複数の位置
でハイドロフォン１１の走査を行わせるために、音軸Ｓ
Ａ方向に変位させる間隔調整手段を設ける。

【００１３】而して、試験槽１０の上部位置には、走査
手段１３が設けられている。この走査手段１３は、間隔
調整手段としてのＺ軸ロボット１４に装着されており、
このＺ軸ロボット１４に上下方向に移動可能に連結して
設けたＹ軸走査部１３Ｙと、このＹ軸走査部１３Ｙに水
平方向に移動可能に装着したＸ軸走査部１３Ｘとから構
成される。ハイドロフォン１１は、その軸部１１ｂが支
持アーム１５の下端部に着脱可能に連結されており、こ
の支持アーム１５の上端部はＸ軸走査部１３Ｘに固定さ
れている。従って、ハイドロフォン１１は、Ｘ軸走査部
１３Ｘにより一方向（Ｘ軸方向）に走査され、またＹ軸
走査部１３ＹによりＸ軸と直交する方向（Ｙ軸方向）に
走査される。なお、Ｘ軸，Ｙ軸の各走査部１３Ｘ，１３
Ｙの駆動は、周知のボールねじ送り手段等により行え
る。

【００１４】ハイドロフォン１１の受信部１２は、前述
した走査手段１３により所定の走査面上を走査しながら
超音波プローブ７における超音波トランスデューサ１の
送受信面１ａから出射される超音波ビームを受信する。
ここで、図４に示したように、ハイドロフォン１１の走
査面をＲＰとし、また超音波トランスデューサ１の送受
信面１ａの送信面をＥＰとした時に、少なくとも走査面
ＲＰは送信面ＥＰと平行になっていなければならない。
つまり、送信面ＥＰの中心位置Ｏを含み、この中心位置
Ｏから送信面ＥＰと直交する方向の音軸ＳＡが存在する
から、走査面ＲＰはこの音軸ＳＡに対して正確に直交す
る面となっていなければならない。このためには、走査
面ＲＰまたは送信面ＥＰのいずれか一方の角度を調整す
る必要がある。本実施の形態においては、送信面ＥＰ側
に角度調整機構を設けて、この角度調整機構により音軸
ＳＡを上下方向及び水平方向に振らせるように調整する
ことによって、音軸ＳＡが走査面ＲＰと直交する方向に
向くようにアラインメントする。このために、送信面Ｅ
Ｐには、その送信中心位置Ｏを中心としたｘ，ｙ直交２
軸を設定して、これらｘ軸及びｙ軸回りに回動させるよ
うにして角度調整を行う。

【００１５】このために、超音波トランスデューサ１
は、超音波プローブ７に組み込まれた状態で２軸の角度
調整手段２０の支持部材２１に着脱可能に取り付けられ
る。ここで、角度調整手段２０は、試験槽１０の外部に
立設したポスト２２にスイング軸２３を中心として上下
方向に回動可能に連結した取付部材２４に装着されてい
る。従って、取付部材２４を水平状態となった図３の実
線位置に配置すると、支持部材２１に装着した超音波プ
ローブ７は試験槽１０の超音波伝達媒体の内部に浸漬し
て、超音波トランスデューサ１の特性試験を行える試験
位置となり、またスイング軸２３を中心として上方に回
動させて、仮想線の位置に変位させると、超音波プロー
ブ７を支持部材２１に着脱できる着脱位置となる。

【００１６】支持部材２１は基部２５と、この基部２５
に交換可能に連結される位置決めアーム２６とから構成
される。位置決めアーム２６にはその軸線方向に向けた
位置決め溝２６ａ（図５参照）が形成されており、超音
波プローブ７は、この位置決め溝２６ａ内に収容させ
て、位置決めアーム２６の先端に設けたストッパ部２６
ｂに当接する位置に配置される。これによって、超音波
プローブ７は、その外形基準で位置決めアーム２６に装
着される。また、超音波プローブ７をこの装着状態で固
定的に保持するために、位置決めアーム２６には少なく
とも２箇所にリング状の弾性部材からなる締め付けバン
ド２７が装着される。

【００１７】２軸の角度調整手段２０は超音波プローブ
７に設けた超音波トランスデューサ１のアラインメント
を行うためのものである。この角度調整手段２０として
は、取付部材２４に連結したθステージ２８を有し、こ
のθステージ２８は取付部材２４に連結した固定台２９
に回転テーブル３０を水平方向に回転可能に装着したも
のからなり、この回転テーブル３０は送りねじ３１によ
り所望の角度回転駆動させることができ、かつストッパ
ねじ３２により所望の角度位置に固定できるようになっ
ている。また、回転テーブル３０にはチルトステージ３
３を構成する固定台３４が取り付けられており、この固
定台３４には円弧状のガイド面３４ａが形成されてい
る。そして、固定台３４には、ガイド面３４ａに沿って
傾動する傾動テーブル３５が連結されており、この傾動
テーブル３５はガイド面３４ａに沿って摺動する円弧状
のスライド面３５ａを備えている。さらに、固定台３４
側には送りねじ３６が設けられており、この送りねじ３
６を回動させると、傾動テーブル３５は、そのスライド
面３５ａがガイド面３４ａに沿って摺動変位して、その
傾き角が調整される。この傾き調整を行った状態で傾動
テーブル３５を固定するためにストッパねじ３７が傾動
テーブル３５の側面に設けられている。

【００１８】ここで、支持部材２１における基部２５
は、傾動テーブル３５に固定して設けられている。そし
て、支持部材２１における位置決めアーム２６の所定の
位置に超音波プローブ７を装着して、取付部材２４を試
験位置とした時に、この超音波プローブ７に設けた超音
波トランスデューサ１における送受信面１ａの中心が回
転テーブル３０の回転中心の延長線上に位置し、この回
転中心の延長線が図４に示した送信面ＥＰ上に設定した
ｙ軸と一致している。また、傾動テーブル３５における
スライド面３５ａの円弧の中心を超音波トランスデュー
サ１の送受信面１ａの中心、つまり図４における送信面
ＥＰの送信中心位置Ｏと一致するように設定している。
これによって、θステージ２８による角度調整時の調整
軸は送信中心位置Ｏにおけるｙ軸と一致し、またチルト
ステージ３３による角度調整時の調整軸は送信中心位置
Ｏのｘ軸と一致するようになっている。

【００１９】従って、回転テーブル３０を回転させる
と、送信面ＥＰはｙ軸の軸回りに角度調整され、音軸Ｓ
Ａは左右方向に振れるように変位する。また、傾動テー
ブル３５を傾けると、送信面ＥＰがｘ軸の軸回りに角度
調整されることになる結果、音軸ＳＡは上下方向に振れ
るようになる。この結果、これらθステージ２８とチル
トステージ３３とを適宜操作することによって、音軸Ｓ
Ａをハイドロフォン１１の走査面ＲＰに対して正確に直
交する方向に向くようにアラインメントできる。しか
も、超音波トランスデューサ１の送受信面１ａの中心位
置はアラインメント時にもみだりに位置ずれすることな
く、固定的に保持される。

【００２０】このように構成することによって、超音波
プローブ７を２軸角度調整手段２０に設けた支持部材２
１の所定の位置に装着して、取付部材２４を試験位置に
配置した状態で、超音波プローブ７の超音波トランスデ
ューサ１から超音波を送信させる間に、この超音波トラ
ンスデューサ１に対して所定の距離だけ離間した位置に
配置したハイドロフォン１１を走査面ＲＰとして設定し
た範囲で走査させることによって、当該の位置での超音
波ビームの断面における音圧分布からなる音場の全体像
を取得出来る。

【００２１】測定を行うに当っては、まず超音波プロー
ブ７を位置決めアーム２６に装着した時に、超音波トラ
ンスデューサ１の音軸ＳＡがハイドロフォン１１の走査
面ＲＰに対して正確に直交させるように角度調整を行う
必要がある。このためには、Ｚ軸ロボット１４を作動さ
せて、ハイドロフォン１１を超音波プローブ７に対して
所定の距離となる位置に配置する。この状態で、超音波
トランスデューサ１から超音波ビームを出射させて、ハ
イドロフォン１１で受信させると共に走査手段１３を構
成するＹ軸走査部１３Ｙ及びＸ軸走査部１３Ｘを作動さ
せて、このハイドロフォン１１を所定の平面に沿って走
査させる。この結果、当該の平面（第１の走査面）にお
ける超音波の音圧分布が得られる。次いで、Ｚ軸ロボッ
ト１４を作動させて、ハイドロフォン１１の超音波トラ
ンスデューサ１に対する距離を変化させて、同様にこの
ハイドロフォン１１を走査させながら超音波トランスデ
ューサ１からの超音波を受信することによって、第２の
走査面における超音波の音圧分布が得られる。

【００２２】以上のようにして得た第１の走査面と第２
の走査面との音圧分布から、それぞれの音圧ピークの位
置を検出する。この音圧ピークの位置はそれぞれの断面
における音軸ＳＡ上の位置であると推定できるので、こ
れら第２の走査面と第２の走査面との音圧ピークの位置
のずれがあると、走査面が音軸ＳＡに対して正確に直交
する状態となっていないことが判明する。しかも、これ
ら第１，第２の走査面での音圧ピークの位置と、その間
の距離とによって、音軸ＳＡのｘ軸方向及びｙ軸方向の
傾き角度が求められる。従って、この演算の結果から、
θステージ２８の送りねじ３１及びチルトステージ３３
の送りねじ３６を適宜調整することによって、超音波ト
ランスデューサ１とハイドロフォン１１とのアラインメ
ントを行うことができる。そして、アラインメントが行
われると、それぞれストッパねじ３２，３７を締め付け
ることによって、回転テーブル３０及び傾動テーブル３
５が固定される。

【００２３】而して、超音波トランスデューサ１に対し
てハイドロフォン１１を所定距離だけ離した位置に配置
する。この超音波トランスデューサ１とハイドロフォン
１１との位置関係は、少なくとも遠距離音場ＦＳの位置
とする。この状態で超音波トランスデューサ１から超音
波パルスを送信すると共にハイドロフォン１１を走査さ
せることによって、当該位置での音場断面とこの音場断
面における音圧分布とからなる音場パターンに関する情
報を取得する。この音場パターンに基づいて、超音波ト
ランスデューサ１の特性、つまり焦点距離、焦点位置で
のビーム径と音圧ピーク等を測定することができる。そ
の結果、これらが適正な範囲内のものとなっているか否
かを評価することによって、超音波トランスデューサ１
の品質を確認することができる。

【００２４】特に、Ｚ軸ロボット１４を駆動して、ハイ
ドロフォン１１を超音波トランスデューサ１に近接した
位置から所定ピッチ間隔毎に遠ざけながら、それぞれの
位置での音場パターンを順次取得し、これらの音場パタ
ーンを三次元化処理を行うようにすれば、超音波トラン
スデューサ１の音場の全体像を把握できる。この音場の
全体像からは、超音波ビームのあらゆる特性、つまり超
音波の深達距離、有効ビーム径、焦点距離と焦点位置で
のビーム径及びその音圧に関するデータ、さらにはサイ
ドローブの状態等を正確に測定できる。従って、超音波
トランスデューサ１の特性を確認し、かつ評価するため
に極めて有用なデータが得られる。

【００２５】なお、前述した実施の形態においては、超
音波トランスデューサを医療用の超音波プローブに組み
込んだ状態で特性試験を行うようにしたが、これ以外の
超音波プローブに組み込んだ超音波トランスデューサ
や、また超音波トランスデューサ単体での特性試験等も
行えるのは言うまでもない。また、ターゲット部材とし
てハイドロフォンを用いるようにしたが、これ以外にも
受信音圧信号を電気信号その他の信号に変換する素子等
を用いることができる。また、超音波を反射させる鏡面
仕上げされた反射部材をターゲット部材とすることもで
き、この場合には、超音波トランスデューサから送信さ
せた超音波が反射部材で反射し、この反射エコーを超音
波トランスデューサで受信させることになる。さらにま
た、超音波プローブが支持される支持部材をチルトステ
ージに設け、取付部材側にはθステージを設けたが、こ
れら両ステージを逆に設けるようにすることもできる。
さらに、これらθステージ及びチルトステージは超音波
トランスデューサ側，ターゲット部材側のいずれに設け
ても良く、また一方側にθステージ、他方側にチルトス
テージを設けるようにすることも可能である。さらにま
た、超音波トランスデューサとターゲット部材とのアラ
インメントを行うに当っての位置ずれ検出は、必ずしも
前述したものに限らず、例えば超音波ビームの断面が円
形である場合等にあっては、ある位置での音場パターン
の形状等からずれの方向及びずれ量を検出することも可
能である。

【００２６】

【発明の効果】本発明は以上のように構成したので、超
音波トランスデューサの特性試験を行うに当って、超音
波トランスデューサと、この超音波トランスデューサか
ら送信される超音波ビームのターゲット部材との相対位
置関係を容易に、しかも正確に調整できる等の効果を奏
する。

【図面の簡単な説明】

【図１】超音波トランスデューサと、この超音波トラン
スデューサから出射される超音波ビームを示す説明図で
ある。

【図２】超音波トランスデューサが装着される超音波プ
ローブの一例を示す要部外観図である。

【図３】本発明の実施の一形態を示す超音波トランスデ
ューサの特性試験装置の概略構成図である。

【図４】超音波トランスデューサとターゲット部材との
間のアラインメントに関する原理説明図である。

【図５】超音波トランスデューサの角度調整手段の構成
説明図である。

【符号の説明】

１ 超音波トランスデューサ １ａ 送受
信面 ７ 超音波プローブ １０ 試験
槽 １１ ハイドロフォン １２ 受信
部 １３ 走査手段 １４ Ｚ軸
ロボット １５ 支持アーム ２０ 角度
調整手段 ２１ 支持部材 ２４ 取付
部材 ２６ 位置決めアーム ２８ θス
テージ ２９ 固定台 ３０ 回転
テーブル ３１ 送りねじ ３３ チル
トステージ ３４ 固定台 ３５ 傾動
テーブル ３６ 送りねじ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 超音波トランスデューサの特性試験を行
   うために、超音波伝達媒体を入れた試験槽内に超音波を
   受信または反射するターゲット部材を設置し、前記超音
   波トランスデューサから超音波ビームをこのターゲット
   部材に向けて照射するものにおいて、前記超音波トラン
   スデューサと前記ターゲット部材との少なくともいずれ
   か一方を支持する支持部材を角度調整手段に連結して設
   け、この角度調整手段は、前記超音波トランスデューサ
   またはターゲット部材のほぼ送受信または反射の中心位
   置を通る直交２軸の軸回りに回動させるためのものであ
   り、この直交２軸の一方の軸線方向に延在させて、その
   軸回りに前記支持部材を回動させるθステージと、この
   直交２軸の他方の軸回りに回動させるために、前記中心
   位置を中心として、前記支持部材を円弧運動させるチル
   トステージとで構成したことを特徴とする超音波トラン
   スデューサの特性試験装置。
2. 【請求項２】 前記角度調整手段に設けた前記支持部材
   には前記超音波トランスデューサを組み込んだ超音波プ
   ローブを着脱可能に装着し、また前記ターゲット部材
   は、前記超音波トランスデューサからの超音波信号を受
   信するハイドロフォンで構成して、このハイドロフォン
   を概略鉛直平面上で走査させる走査手段に取り付け、ま
   たこの走査手段には前記ハイドロフォンを前記超音波プ
   ローブに近接・離間させる間隔調整手段に装着する構成
   としたことを特徴とする請求項１記載の超音波トランス
   デューサの特性試験装置。