JP2000292337A - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡Info
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- JP2000292337A JP2000292337A JP11095909A JP9590999A JP2000292337A JP 2000292337 A JP2000292337 A JP 2000292337A JP 11095909 A JP11095909 A JP 11095909A JP 9590999 A JP9590999 A JP 9590999A JP 2000292337 A JP2000292337 A JP 2000292337A
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- G01Q10/04—Fine scanning or positioning
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 広い領域の像を比較的短時間に得ることがで
きる走査トンネル顕微鏡等の走査型プローブ顕微鏡を実
現する。 【解決手段】 第１と第２の探針８，１０を用いて試料
１の所定領域を走査するようにしたので、同じ領域の走
査時間を、探針が１本の従来装置に比べて半分とするこ
とができる。また、従来と同じ走査時間では、２倍の走
査領域の像信号を取得することができる。
きる走査トンネル顕微鏡等の走査型プローブ顕微鏡を実
現する。 【解決手段】 第１と第２の探針８，１０を用いて試料
１の所定領域を走査するようにしたので、同じ領域の走
査時間を、探針が１本の従来装置に比べて半分とするこ
とができる。また、従来と同じ走査時間では、２倍の走
査領域の像信号を取得することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、像の取得時間を短
縮することができる走査型トンネル顕微鏡などの走査型
プローブ顕微鏡に関する。
縮することができる走査型トンネル顕微鏡などの走査型
プローブ顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査型プローブ顕微鏡には、走査型トン
ネル顕微鏡（ＳＴＭ）や原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）など
が含まれており、これらは探針を利用したプローブ顕微
鏡である。この顕微鏡では、探針を被観察試料の表面に
数ナノメータ以下の距離に近接させ、この状態で探針と
試料とを相対的に走査し、この走査に基づいて試料表面
の原子レベルの凹凸像を得るようにしている。
ネル顕微鏡（ＳＴＭ）や原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）など
が含まれており、これらは探針を利用したプローブ顕微
鏡である。この顕微鏡では、探針を被観察試料の表面に
数ナノメータ以下の距離に近接させ、この状態で探針と
試料とを相対的に走査し、この走査に基づいて試料表面
の原子レベルの凹凸像を得るようにしている。
【０００３】この走査型プローブ顕微鏡では、観察媒体
として使用する物理量によって種々の観察手段が得られ
るものである。例えば、探針と試料間に電圧を印加して
得られるトンネル電流を計測するものが走査トンネル顕
微鏡であり、探針と試料の間の働く原子間力を計測する
ものが原子間力顕微鏡である。
として使用する物理量によって種々の観察手段が得られ
るものである。例えば、探針と試料間に電圧を印加して
得られるトンネル電流を計測するものが走査トンネル顕
微鏡であり、探針と試料の間の働く原子間力を計測する
ものが原子間力顕微鏡である。
【０００４】その他の関連装置として試料表面の磁気力
を計測する磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）や、細い光学ガラス
にレーザー光などを導入してその先端から漏れるエバネ
セント光を利用して光学的に観察する近接場光学顕微鏡
（ＳＮＯＭ）なども走査型プロープ顕微鏡のファミリー
装置として注目を浴びている。
を計測する磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）や、細い光学ガラス
にレーザー光などを導入してその先端から漏れるエバネ
セント光を利用して光学的に観察する近接場光学顕微鏡
（ＳＮＯＭ）なども走査型プロープ顕微鏡のファミリー
装置として注目を浴びている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】例えば、走査トンネル
顕微鏡においては、探針と試料との間にバイアス電圧を
印加し、トンネル電流を測定している。そして、探針と
試料とを相対的に走査することでトンネル電流が変化す
るが、このトンネル電流が一定となるように探針のＺ方
向位置を変化させるようにしている。このＺ方向の位置
変化信号を像信号として用いている。
顕微鏡においては、探針と試料との間にバイアス電圧を
印加し、トンネル電流を測定している。そして、探針と
試料とを相対的に走査することでトンネル電流が変化す
るが、このトンネル電流が一定となるように探針のＺ方
向位置を変化させるようにしている。このＺ方向の位置
変化信号を像信号として用いている。
【０００６】このような走査トンネル顕微鏡では、Ｚ方
向のフィードバック制御の応答速度に限界があり、探針
と試料との相対的なＸ−Ｙ方向の速度を速めることがで
きない。このため、広い領域の試料像を得るためには長
い時間が必要となる。
向のフィードバック制御の応答速度に限界があり、探針
と試料との相対的なＸ−Ｙ方向の速度を速めることがで
きない。このため、広い領域の試料像を得るためには長
い時間が必要となる。
【０００７】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、広い領域の像を比較的短時間に得
ることができる走査トンネル顕微鏡等の走査型プローブ
顕微鏡を実現するにある。
もので、その目的は、広い領域の像を比較的短時間に得
ることができる走査トンネル顕微鏡等の走査型プローブ
顕微鏡を実現するにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】第１の発明に基づく走査
型プローブ顕微鏡は、試料と探針とを相対的に走査し、
試料表面の像を得るようにした走査型プローブ顕微鏡に
おいて、探針を複数設け、それぞれの探針に対してＺ方
向の駆動機構を設け、各Ｚ方向の駆動機構は共通のＸ−
Ｙ駆動機構に取り付けられていることを特徴としてい
る。
型プローブ顕微鏡は、試料と探針とを相対的に走査し、
試料表面の像を得るようにした走査型プローブ顕微鏡に
おいて、探針を複数設け、それぞれの探針に対してＺ方
向の駆動機構を設け、各Ｚ方向の駆動機構は共通のＸ−
Ｙ駆動機構に取り付けられていることを特徴としてい
る。
【０００９】第１の発明では、複数の探針を同時に走査
するように構成したので、走査時間を短縮でき、また、
走査範囲を広くすることができる。第２の発明に基づく
走査型プローブ顕微鏡は、第１の発明において、複数の
探針の相対的な位置を調整する機構を備えるように構成
したので、請求項１の発明と同様な効果が得られると共
に、走査範囲に応じて複数の探針の相対的な位置を正確
に調整することができる。
するように構成したので、走査時間を短縮でき、また、
走査範囲を広くすることができる。第２の発明に基づく
走査型プローブ顕微鏡は、第１の発明において、複数の
探針の相対的な位置を調整する機構を備えるように構成
したので、請求項１の発明と同様な効果が得られると共
に、走査範囲に応じて複数の探針の相対的な位置を正確
に調整することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図１は本発明に基づく走査
トンネル顕微鏡を示しており、１は試料である。試料１
に接近してスキャナ２が配置されているが、スキャナ２
はＸ駆動機構３、Ｘ駆動機構３に取り付けられたＹ駆動
機構４、Ｙ駆動機構４に固定された第１のＺ駆動機構５
と第２のＺ駆動機構６とより構成されている。第１のＺ
駆動機構５には補助Ｘ駆動機構７を介して第１の探針８
が取り付けられ、第２のＺ駆動機構６には補助Ｙ駆動機
構９を介して第２の探針１０が取り付けられている。
施の形態を詳細に説明する。図１は本発明に基づく走査
トンネル顕微鏡を示しており、１は試料である。試料１
に接近してスキャナ２が配置されているが、スキャナ２
はＸ駆動機構３、Ｘ駆動機構３に取り付けられたＹ駆動
機構４、Ｙ駆動機構４に固定された第１のＺ駆動機構５
と第２のＺ駆動機構６とより構成されている。第１のＺ
駆動機構５には補助Ｘ駆動機構７を介して第１の探針８
が取り付けられ、第２のＺ駆動機構６には補助Ｙ駆動機
構９を介して第２の探針１０が取り付けられている。
【００１１】Ｘ駆動機構３、Ｙ駆動機構４、第１と第２
のＺ駆動機構５，６、更には補助Ｘ駆動機構７、補助Ｙ
駆動機構９は、それぞれピエゾ素子を用いて精密なＸ，
Ｙ，Ｚ方向の駆動が可能なように構成されている。Ｘ駆
動機構３とＹ駆動機構４は、Ｘ−Ｙ走査制御回路１１か
らの信号により駆動される。
のＺ駆動機構５，６、更には補助Ｘ駆動機構７、補助Ｙ
駆動機構９は、それぞれピエゾ素子を用いて精密なＸ，
Ｙ，Ｚ方向の駆動が可能なように構成されている。Ｘ駆
動機構３とＹ駆動機構４は、Ｘ−Ｙ走査制御回路１１か
らの信号により駆動される。
【００１２】第１のＺ駆動機構５はＺ駆動制御回路１２
からの信号により駆動される。第２のＺ駆動機構６はＺ
駆動制御回路１３からの信号により駆動される。補助Ｘ
駆動機構７と補助Ｙ駆動機構９には、探針位置合わせ制
御回路１４からの信号により駆動される。試料１と第１
および第２の探針８，１０との間には、バイアス電源１
５からバイアス電圧が印加されている。
からの信号により駆動される。第２のＺ駆動機構６はＺ
駆動制御回路１３からの信号により駆動される。補助Ｘ
駆動機構７と補助Ｙ駆動機構９には、探針位置合わせ制
御回路１４からの信号により駆動される。試料１と第１
および第２の探針８，１０との間には、バイアス電源１
５からバイアス電圧が印加されている。
【００１３】第１の探針８に流れるトンネル電流は、増
幅器１６を介して第１のフィードバック回路１７に供給
される。第２の探針１０に流れるトンネル電流は、増幅
器１８を介して第１のフィードバック回路１９に供給さ
れる。なお、第１のフィードバック回路１７は第１のＺ
駆動制御回路１２に制御信号を送り、第２のフィードバ
ック回路１９は第２のＺ駆動制御回路１３に制御信号を
送る。
幅器１６を介して第１のフィードバック回路１７に供給
される。第２の探針１０に流れるトンネル電流は、増幅
器１８を介して第１のフィードバック回路１９に供給さ
れる。なお、第１のフィードバック回路１７は第１のＺ
駆動制御回路１２に制御信号を送り、第２のフィードバ
ック回路１９は第２のＺ駆動制御回路１３に制御信号を
送る。
【００１４】第１のフィードバック回路１９からの信号
と第２のフィードバック回路１９からの信号はコンピュ
ータ２０に供給される。コンピュータ２０はＸ−Ｙ走査
制御回路１１と、探針位置合わせ制御回路１４と、バイ
アス電源１５を制御している。更に、コンピュータ２０
はフィードバック回路１７，１９からの信号に基づいた
像信号を表示装置２１に供給する。このような構成の動
作を次に説明する。
と第２のフィードバック回路１９からの信号はコンピュ
ータ２０に供給される。コンピュータ２０はＸ−Ｙ走査
制御回路１１と、探針位置合わせ制御回路１４と、バイ
アス電源１５を制御している。更に、コンピュータ２０
はフィードバック回路１７，１９からの信号に基づいた
像信号を表示装置２１に供給する。このような構成の動
作を次に説明する。
【００１５】まず、コンピュータ２０からの制御により
バイアス電源１５から試料１にバイアス電圧が印加され
る。この状態で、図示していない粗動の駆動機構により
スキャナ２を試料に近付け、探針８，１０にトンネル電
流が流れるまでスキャナ２を試料に接近させる。
バイアス電源１５から試料１にバイアス電圧が印加され
る。この状態で、図示していない粗動の駆動機構により
スキャナ２を試料に近付け、探針８，１０にトンネル電
流が流れるまでスキャナ２を試料に接近させる。
【００１６】この後、Ｘ−Ｙ走査制御回路１１からの信
号によりＸ駆動機構３とＹ駆動機構４を駆動すると、第
１の探針８と第２の探針１０は試料１に対してＸ−Ｙ方
向に２次元的に走査される。図２はこの走査の様子を示
しており、試料１の特定領域Ａに対して、第１の探針８
は実線Ｓ１で示すように特定領域Ａの左半分を走査す
る。一方、第２の探針１０は点線Ｓ２で示すように特定
領域Ａの右半分を走査する。
号によりＸ駆動機構３とＹ駆動機構４を駆動すると、第
１の探針８と第２の探針１０は試料１に対してＸ−Ｙ方
向に２次元的に走査される。図２はこの走査の様子を示
しており、試料１の特定領域Ａに対して、第１の探針８
は実線Ｓ１で示すように特定領域Ａの左半分を走査す
る。一方、第２の探針１０は点線Ｓ２で示すように特定
領域Ａの右半分を走査する。
【００１７】この走査の過程で、第１の探針８に流れる
トンネル電流は検出され、増幅器１６を介して第１のフ
ィードバック回路１７に供給される。このトンネル電流
は、試料１表面の凹凸により変化するが、フィードバッ
ク回路１７は第１の探針８に流れるトンネル電流が一定
となるように第１のＺ駆動機構５を制御する。この結
果、第１の探針８のＺ方向位置は試料表面の凹凸の状態
によって変化することになる。この第１の探針８のＺ方
向位置に対応した信号は第１のフィードバック回路１７
からコンピュータ２０に供給される。
トンネル電流は検出され、増幅器１６を介して第１のフ
ィードバック回路１７に供給される。このトンネル電流
は、試料１表面の凹凸により変化するが、フィードバッ
ク回路１７は第１の探針８に流れるトンネル電流が一定
となるように第１のＺ駆動機構５を制御する。この結
果、第１の探針８のＺ方向位置は試料表面の凹凸の状態
によって変化することになる。この第１の探針８のＺ方
向位置に対応した信号は第１のフィードバック回路１７
からコンピュータ２０に供給される。
【００１８】一方、Ｘ−Ｙ方向の走査の過程で、第２の
探針１０に流れるトンネル電流は検出され、増幅器１８
を介して第２のフィードバック回路１９に供給される。
このトンネル電流は、試料１表面の凹凸により変化する
が、フィードバック回路１９は第２の探針１０に流れる
トンネル電流が一定となるように第２のＺ駆動機構６を
制御する。この結果、第２の探針１０のＺ方向位置は試
料表面の凹凸の状態によって変化することになる。この
第２の探針１０のＺ方向位置に対応した信号は第２のフ
ィードバック回路１９からコンピュータ２０に供給され
る。
探針１０に流れるトンネル電流は検出され、増幅器１８
を介して第２のフィードバック回路１９に供給される。
このトンネル電流は、試料１表面の凹凸により変化する
が、フィードバック回路１９は第２の探針１０に流れる
トンネル電流が一定となるように第２のＺ駆動機構６を
制御する。この結果、第２の探針１０のＺ方向位置は試
料表面の凹凸の状態によって変化することになる。この
第２の探針１０のＺ方向位置に対応した信号は第２のフ
ィードバック回路１９からコンピュータ２０に供給され
る。
【００１９】コンピュータ２０は、第１の探針８のＺ方
向位置変化信号と第２の探針１０のＺ方向位置変化信号
とを試料表面の凹凸に対応した像信号として表示装置２
１に供給する。この結果、表示装置２１には、試料１の
凹凸像が表示されることになる。
向位置変化信号と第２の探針１０のＺ方向位置変化信号
とを試料表面の凹凸に対応した像信号として表示装置２
１に供給する。この結果、表示装置２１には、試料１の
凹凸像が表示されることになる。
【００２０】このように、図１に示した装置では、第１
と第２の探針を用いて試料の所定領域を走査するように
したので、同じ領域の走査時間を、探針が１本の従来装
置に比べて半分とすることができる。また、従来と同じ
走査時間では、２倍の走査領域の像信号を取得すること
ができる。
と第２の探針を用いて試料の所定領域を走査するように
したので、同じ領域の走査時間を、探針が１本の従来装
置に比べて半分とすることができる。また、従来と同じ
走査時間では、２倍の走査領域の像信号を取得すること
ができる。
【００２１】なお、図１に示した装置において、第１の
探針８と第２の探針１０の相対的な位置の調整を行うこ
とは重要である。そのため、第１の探針８は補助Ｘ駆動
機構７に取り付けられており、第２の探針１０は補助Ｙ
駆動機構９に取り付けられている。
探針８と第２の探針１０の相対的な位置の調整を行うこ
とは重要である。そのため、第１の探針８は補助Ｘ駆動
機構７に取り付けられており、第２の探針１０は補助Ｙ
駆動機構９に取り付けられている。
【００２２】このような構成で補助Ｘ駆動機構７を用い
て第１の探針８をＸ方向に駆動し、補助Ｙ駆動機構９を
用いて第２の探針１０をＹ方向に駆動すれば、第１の探
針８と第２の探針１０とのＸ−Ｙ方向の間隔を任意に調
整することができる。なお、探針間の調整のため、例え
ば、一方の探針を固定とし、他方の探針をＸ−Ｙ駆動機
構により位置調整可能に構成しても良い。
て第１の探針８をＸ方向に駆動し、補助Ｙ駆動機構９を
用いて第２の探針１０をＹ方向に駆動すれば、第１の探
針８と第２の探針１０とのＸ−Ｙ方向の間隔を任意に調
整することができる。なお、探針間の調整のため、例え
ば、一方の探針を固定とし、他方の探針をＸ−Ｙ駆動機
構により位置調整可能に構成しても良い。
【００２３】図１の構成では、スキャナ２を積層タイプ
のものとしたが、円筒状のスキャナを用いることもでき
る。図３は本発明に用いる円筒型のスキャナ２５の一例
を示している。図において２６は円筒圧電体であり、円
筒圧電体２６には一対のＸ方向駆動用の電極２７．２８
が貼り付けられている。また、円筒圧電体２６には一対
のＹ方向駆動用の電極２９が貼り付けられている。Ｙ方
向駆動用の他方の電極は、電極２９の反対側に貼り付け
られており、図には示されていない。
のものとしたが、円筒状のスキャナを用いることもでき
る。図３は本発明に用いる円筒型のスキャナ２５の一例
を示している。図において２６は円筒圧電体であり、円
筒圧電体２６には一対のＸ方向駆動用の電極２７．２８
が貼り付けられている。また、円筒圧電体２６には一対
のＹ方向駆動用の電極２９が貼り付けられている。Ｙ方
向駆動用の他方の電極は、電極２９の反対側に貼り付け
られており、図には示されていない。
【００２４】円筒圧電体２６の下部には縦方向の切り欠
き３０が設けられている。この切り欠き３０の対称部分
にも切り欠きが設けられているが、それは図示されてい
ない。この切り欠きによって分離された半円筒圧電体の
一方３１には、第１のＺ方向駆動用電極３２が貼り付け
られており、半円筒圧電体の他方３３には第２のＺ方向
駆動用電極３４が貼り付けられている。
き３０が設けられている。この切り欠き３０の対称部分
にも切り欠きが設けられているが、それは図示されてい
ない。この切り欠きによって分離された半円筒圧電体の
一方３１には、第１のＺ方向駆動用電極３２が貼り付け
られており、半円筒圧電体の他方３３には第２のＺ方向
駆動用電極３４が貼り付けられている。
【００２５】半円筒圧電体の一方３１にはＸ駆動機構３
５、探針ホルダ３６を介して第１の探針３７が取り付け
られている。第１の探針３７はネジ３８によって固定さ
れているが、押さえ板３９により探針が少し内側に向く
ように位置合わせがされている。また、半円筒圧電体の
他方３３にはＹ駆動機構４０、探針ホルダ４１を介して
第２の探針４２が取り付けられている。第１の探針４２
はネジ４３によって固定されているが、押さえ板４４に
より探針が少し内側に向くように位置合わせがされてい
る。
５、探針ホルダ３６を介して第１の探針３７が取り付け
られている。第１の探針３７はネジ３８によって固定さ
れているが、押さえ板３９により探針が少し内側に向く
ように位置合わせがされている。また、半円筒圧電体の
他方３３にはＹ駆動機構４０、探針ホルダ４１を介して
第２の探針４２が取り付けられている。第１の探針４２
はネジ４３によって固定されているが、押さえ板４４に
より探針が少し内側に向くように位置合わせがされてい
る。
【００２６】このような図３に示したスキャナ２５で
は、Ｘ方向駆動用電極２７，２８に駆動用電圧を印加す
ることにより、円筒圧電体２６はＸ方向に傾斜し、第１
の探針３７と第２の探針４２はＸ方向に走査される。ま
た、Ｙ方向駆動用電極２９に駆動用電圧を印加すること
により、円筒圧電体２６はＹ方向に傾斜し、第１の探針
３７と第２の探針４２はＹ方向に走査される。
は、Ｘ方向駆動用電極２７，２８に駆動用電圧を印加す
ることにより、円筒圧電体２６はＸ方向に傾斜し、第１
の探針３７と第２の探針４２はＸ方向に走査される。ま
た、Ｙ方向駆動用電極２９に駆動用電圧を印加すること
により、円筒圧電体２６はＹ方向に傾斜し、第１の探針
３７と第２の探針４２はＹ方向に走査される。
【００２７】第１の探針３７に流れるトンネル電流は検
出され、このトンネル電流が一定となるように第１のＺ
方向駆動用の電極３２に電圧が印加される。この結果、
半円筒圧電体の一方３１は独立してＺ方向に駆動され
る。また、第２の探針４２に流れるトンネル電流は検出
され、このトンネル電流が一定となるように第２のＺ方
向駆動用の電極３４に電圧が印加される。この結果、半
円筒圧電体の他方３３は独立してＺ方向に駆動される。
出され、このトンネル電流が一定となるように第１のＺ
方向駆動用の電極３２に電圧が印加される。この結果、
半円筒圧電体の一方３１は独立してＺ方向に駆動され
る。また、第２の探針４２に流れるトンネル電流は検出
され、このトンネル電流が一定となるように第２のＺ方
向駆動用の電極３４に電圧が印加される。この結果、半
円筒圧電体の他方３３は独立してＺ方向に駆動される。
【００２８】以上本発明の実施の形態を詳述したが、本
発明はこの形態に限定されない。例えば、探針の数を２
本としたが、３本以上であっても良い。
発明はこの形態に限定されない。例えば、探針の数を２
本としたが、３本以上であっても良い。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、第１の発明では、
複数の探針を設け、この複数の探針を同時に走査するよ
うに構成したので、走査時間を短縮でき、また、走査範
囲を広くすることができる。
複数の探針を設け、この複数の探針を同時に走査するよ
うに構成したので、走査時間を短縮でき、また、走査範
囲を広くすることができる。
【００３０】第２の発明に基づく走査型プローブ顕微鏡
は、第１の発明において、複数の探針の相対的な位置を
調整する機構を備えるように構成したので、第１の発明
と同様な効果が得られると共に、走査範囲に応じて複数
の探針の相対的な位置を正確に調整することができる。
は、第１の発明において、複数の探針の相対的な位置を
調整する機構を備えるように構成したので、第１の発明
と同様な効果が得られると共に、走査範囲に応じて複数
の探針の相対的な位置を正確に調整することができる。
【図１】本発明に基づく走査トンネル顕微鏡の一例を示
す図である。
す図である。
【図２】２本の探針による走査の様子を示す図である。
【図３】本発明に用いることができる円筒状スキャナの
一例を示す図である。
一例を示す図である。
１ 試料 ２ スキャナ ３ Ｘ駆動機構 ４ Ｙ駆動機構 ５，６ Ｚ駆動機構 ７ 補助Ｘ駆動機構 ８，１０ 探針 ９ 補助Ｙ駆動機構 １１ Ｘ−Ｙ走査制御回路 １２，１３ Ｚ駆動制御回路 １４ 位置合わせ制御回路 １５ バイアス電源 １６，１８ 増幅器 １７，１９ フィードバック回路 ２０ コンピュータ ２１ 表示装置
Claims (2)
- 【請求項１】 試料と探針とを相対的に走査し、試料表
面の像を得るようにした走査型プローブ顕微鏡におい
て、探針を複数設け、それぞれの探針に対してＺ方向の
駆動機構を設け、各Ｚ方向の駆動機構は共通のＸ−Ｙ駆
動機構に取り付けられていることを特徴とする走査型プ
ローブ顕微鏡。 - 【請求項２】 複数の探針の相対的な位置を調整する機
構を備えた請求項１記載の走査型プローブ顕微鏡。
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| JP09590999A JP3784570B2 (ja) | 1999-04-02 | 1999-04-02 | 走査型プローブ顕微鏡 |
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| JP09590999A JP3784570B2 (ja) | 1999-04-02 | 1999-04-02 | 走査型プローブ顕微鏡 |
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| JP2000292337A true JP2000292337A (ja) | 2000-10-20 |
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP3784570B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011107157A (ja) * | 2001-08-27 | 2011-06-02 | Nanonics Imaging Ltd | 遠方領域の光学顕微鏡の透明インタフェイスを備えた複数プレートのチップまたはサンプルをスキャンする再現可能なスキャンプローブ顕微鏡 |
-
1999
- 1999-04-02 JP JP09590999A patent/JP3784570B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011107157A (ja) * | 2001-08-27 | 2011-06-02 | Nanonics Imaging Ltd | 遠方領域の光学顕微鏡の透明インタフェイスを備えた複数プレートのチップまたはサンプルをスキャンする再現可能なスキャンプローブ顕微鏡 |
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