JP2000301145A - 純水製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】発電所、医薬品製造所、半導体製造工場などで
用いられる、高純度の水質が要求される純水の製造に適
した、特に、シリカ及びホウ素を極低濃度まで除去し
て、高い水質の純水を得ることができる純水製造装置を
提供する。 【解決手段】（Ａ）被処理水のpHを９.２以上に調整す
るpH調整機構、（Ｂ）pHが調整された被処理水が通水さ
れる逆浸透膜装置、（Ｃ）膜透過水が通水される強塩基
性アニオン交換樹脂塔及び（Ｄ）強塩基性アニオン交換
樹脂塔の流出水が通水されるカチオン交換樹脂塔を備え
てなることを特徴とする純水製造装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、純水製造装置に関
する。さらに詳しくは、本発明は、発電所、医薬品製造
所、半導体製造工場などで用いられる、高純度の水質が
要求される純水の製造に適した、特に、シリカ及びホウ
素を極低濃度まで除去することができる純水製造装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】逆浸透膜装置は、純水の製造に広く使用
されている。また、さらに純度の高い純水を得るため
に、逆浸透膜装置を複数段直列に配置し、前段の逆浸透
膜装置の透過水を後段の逆浸透膜装置に供給し、純度を
高める装置が用いられる場合が多い。最近になって、こ
の逆浸透膜装置の給水に酸又はアルカリを添加してpHを
調整し、特に、シリカやホウ素の濃度を低減した純水を
得る方法が開発されている。しかし、逆浸透膜装置の給
水に酸又はアルカリを添加することは、過剰なイオンが
逆浸透膜装置に入ることになり、これらの薬剤が逆浸透
膜装置で十分に除去されず、透過水に漏出してしまう場
合がある。そこで、このようなイオン類を確実に除去す
る目的で、逆浸透膜装置の後段にカチオン交換樹脂とア
ニオン交換樹脂を混合した混床式イオン交換樹脂塔を設
けることが一般的に行われている。イオン交換樹脂を混
床として通水する混床式純水製造装置の場合、例えば、
イオン交換樹脂塔の入口の水のpHがアルカリ性であって
も、塔内のイオン交換樹脂でイオン交換され、ほぼ中性
の水となって流出する。特に、水をアルカリ性にしてい
る薬剤が水酸化ナトリウムである場合には、カチオン交
換樹脂によってＮａ ⁺がＨ⁺に交換される。したがって、
このイオン交換が行われる界面より先ではpHが７付近に
なる。さて、ホウ素やシリカは、自己解離しづらい物質
であるが、アルカリ側、つまりＯＨ^-が供給されるとよ
く解離し、水中でイオン状の形態で存在することが知ら
れている。強塩基性アニオン交換樹脂は、その表面に無
数の−ＯＨ基を官能基として有し、中性塩であっても分
解してイオン交換することができる。このために、ホウ
素やシリカに対しても、樹脂表面の官能基付近において
は、ＯＨ^-が供給されるのと同じような挙動を示し、イ
オン吸着することができる。しかし、シリカやホウ素は
もともと解離しづらい物質であり、イオン交換が進んで
アニオン樹脂表面の−ＯＨ基が減少すると、解離不足と
なり、アニオン交換樹脂内部へ拡散することができず、
吸着能力が飽和となる。このために、シリカやホウ素な
どの物質は、ＮａＣｌのような物質と比べてイオン吸着
量が著しく低く、逆浸透膜を利用した純水製造装置によ
り、シリカやホウ素を極低濃度まで除去して高い水質の
純水を得ることは困難であった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、発電所、医
薬品製造所、半導体製造工場などで用いられる、高純度
の水質が要求される純水の製造に適した、特に、シリカ
及びホウ素を極低濃度まで除去して、高い水質の純水を
得ることができる純水製造装置を提供することを目的と
してなされたものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の課
題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、pHが９.２以上
に調整された原水を、逆浸透膜装置に通水し、膜透過水
を先ず強塩基性アニオン交換樹脂塔、次いでカチオン交
換樹脂塔に通水することにより、水中のシリカ及びホウ
素を極低濃度まで除去して、高い水質の純水を得ること
が可能となることを見いだし、この知見に基づいて本発
明を完成するに至った。すなわち、本発明は、（１）
（Ａ）被処理水のpHを９.２以上に調整するpH調整機
構、（Ｂ）pHが調整された被処理水が通水される逆浸透
膜装置、（Ｃ）膜透過水が通水される強塩基性アニオン
交換樹脂塔及び（Ｄ）強塩基性アニオン交換樹脂塔の流
出水が通水されるカチオン交換樹脂塔を備えてなること
を特徴とする純水製造装置、及び、（２）被処理水が、
シリカ又はホウ素を含有する水である第(１)項記載の純
水製造装置、を提供するものである。

【０００５】

【発明の実施の形態】本発明の純水製造装置は、(Ａ)被
処理水のpHを９.２以上に調整するpH調整機構、(Ｂ)pH
が調整された被処理水が通水される逆浸透膜装置、(Ｃ)
膜透過水が通水される強塩基性アニオン交換樹脂塔及び
(Ｄ)強塩基性アニオン交換樹脂塔の流出水が通水される
カチオン交換樹脂塔を備えてなるものである。本発明装
置は、被処理水が、シリカ又はホウ素を含有する水であ
る場合に、特に好適に用いることができる。本発明装置
は、必要に応じてその前段に公知の水処理装置を付設し
て用いることができる。図１は、本発明装置を用いる純
水製造工程の一態様の工程系統図である。被処理水は、
活性炭充填塔１に通水され、水中の有機物や残留塩素な
どが吸着除去される。活性炭充填塔の流出水は、真空ポ
ンプ２により気相側が減圧に保たれた膜脱気装置３に導
かれ、水中に溶解している二酸化炭素や酸素などが除去
される。膜脱気装置の代わりに、脱気塔などを設けるこ
ともできる。膜脱気装置の流出水は、前段の逆浸透膜装
置４に通水され、予備的な不純物の除去が行われたの
ち、本発明の純水製造装置に供給される。図１に示す態
様においては、本発明装置は、アルカリ貯槽５とポンプ
６からなるpH調整機構を有し、さらに逆浸透膜装置７、
強塩基性アニオン交換樹脂塔８及びカチオン交換樹脂塔
９を備えている。

【０００６】本発明装置における(Ａ)被処理水のpHを
９.２以上に調整するpH調整機構に特に制限はなく、例
えば、水酸化ナトリウムなどのアルカリ水溶液を添加す
る装置や塩基性樹脂イオン交換塔、あるいは、その両方
を設置することができる。アルカリ水溶液を添加する装
置としては、例えば、撹拌機つきのpH調整槽を設けた
り、通水ラインにアルカリ水溶液注入口を設け、その下
流側にスタティックミキサーを設置することなどができ
る。pHの調整をアルカリ添加により行う場合、pH調整機
構は、被処理水にアルカリを添加して、pHをホウ酸のｐ
Ｋa９.２（２５℃）以上、より好ましくはpH９.５以上
に調整し得るものである。図１に示す態様においては、
アルカリ貯槽５に貯留されたアルカリ水溶液が、ポンプ
６により、前段の逆浸透膜装置の透過水に添加され、pH
が９.２以上に調整される。本発明装置における(Ｂ)pH
が調整された被処理水が通水される逆浸透膜装置は、長
期的にpH１０以上、より好ましくはpH１１以上となって
も劣化を受けない耐アルカリ性逆浸透膜を備えたもので
あることが好ましい。この場合、供給されるアルカリ性
の被処理水のpHよりも、濃縮水の方がpHが高くなるの
で、濃縮水のpHを考慮して耐アルカリ性逆浸透膜を選択
することが好ましい。このような耐アルカリ性逆浸透膜
としては、例えば、pH１１まで長期耐久性のあるものと
して市販されている Ｆｉｌｍ Ｔｅｃ社の ＦＩＬＭＴ
ＥＣ Ｔｙｐｅ ＦＴ３０ などを挙げることができる。
また、pH１０まで長期耐久性のあるものとしては、日東
電工(株)のＥＳ２０、ＥＳ１０、ＮＴＲ７５９、東レ
(株)のＳＵ７００などのポリアミド系の膜などを挙げる
ことができる。

【０００７】本発明装置における(Ｃ)膜透過水が通水さ
れる強塩基性アニオン交換樹脂塔に充填する強塩基性ア
ニオン交換樹脂に特に制限はなく、例えば、トリメチル
アンモニウム基を有する強塩基性Ｉ型、ジメチルヒドロ
キシエチルアンモニウム基を有する強塩基性II型のいず
れをも用いることができ、また、ゲル型、マクロポーラ
ス型のいずれをも用いることができる。これらの中で、
架橋度が４％程度のゲル型の強塩基性アニオン交換樹脂
を好適に用いることができる。このような強塩基性アニ
オン交換樹脂としては、例えば、栗田工業(株)のＥＸ−
ＡＧ、三菱化学(株)のＳＡＦ１２Ａ、バイエル社のＯＣ
１２４１などを挙げることができる。本発明装置におい
ては、強塩基性アニオン交換樹脂は、十分に再生された
状態で使用することが好ましい。強塩基性アニオン交換
樹脂の再生が不十分であると、膜透過水のpHが高い場合
には、再生されずに強塩基性アニオン交換樹脂に残った
不純物が溶出して、水質を悪化させるおそれがある。し
たがって、強塩基性アニオン交換樹脂の再生レベルを十
分高くとるとともに、通水方向と薬注方向が対向する向
流再生方式をとることが好ましい。シリカやホウ素を吸
着した強塩基性アニオン交換樹脂を再生する場合には、
向流再生方式が特に有効であるが、さらに再生剤の温度
を３５℃以上とすることにより、効率のよい再生を行う
ことができ、再生剤の使用量を節減することができる。
３５℃以上で再生を行う際には、強塩基性アニオン交換
樹脂塔にあらかじめ３５℃以上の純水を通水して加熱し
ておくことができる。強塩基性アニオン交換樹脂の再生
剤に特に制限はないが、例えば、濃度が２重量％以上で
あり、温度が５０℃程度の水酸化ナトリウム水溶液を好
適に用いることができる。

【０００８】シリカは、水中において次式で示される平
衡を保っている。 ＳｉＯ₂ ＋ Ｈ₂Ｏ ⇔ ＨＳｉＯ₃ ^- ＋ Ｈ⁺ …［１］ 式［１］は、次式のように表すこともできる。 ＳｉＯ₂ ＋ ＯＨ^- ⇔ ＨＳｉＯ₃ ^- …［２］ この状態で、強塩基性アニオン交換樹脂に接触すると、
シリカは次式にしたがって樹脂に吸着される。ただし、
式中、Ｒは強塩基性アニオン交換樹脂の母体を表す。 Ｒ−ＯＨ ＋ ＨＳｉＯ₃ ^- → Ｒ−ＨＳｉＯ₃ ＋ ＯＨ^- …［３］ 式［１］及び［２］から分かるように、シリカは、pHが
低い水中では弱い解離であるが、pHが高い場合には、式
［２］の平衡は右方向に移り、高いpH領域においてはシ
リカの解離が進む。本発明装置においては、pHが９.２
以上に調整された被処理水が通水される逆浸透膜装置の
膜透過水を、強塩基性アニオン交換樹脂塔に通水するの
で、pHの高い膜透過水が強塩基性アニオン交換樹脂と接
触し、効率よくシリカを吸着して除去することができ
る。ホウ素の水中における平衡は、次式により表すこと
ができる。 Ｈ₃ＢＯ₃ ＋ ＯＨ^- ⇔ Ｂ(ＯＨ)₄ ^- …［４］ この状態で、強塩基性アニオン交換樹脂に接触すると、
次式にしたがって樹脂に吸着される。 Ｒ−ＯＨ ＋ Ｂ(ＯＨ)₄ ^- → Ｒ−Ｂ(ＯＨ)₄ ＋ ＯＨ^- …［５］ ホウ素も、pHが高い場合には、式［４］の平衡は右方向
に移り、高いpH領域においてはホウ素のアニオン化が進
む。本発明装置においては、pHが９.２以上に調整され
た被処理水が通水される逆浸透膜装置の膜透過水を、強
塩基性アニオン交換樹脂塔に通水するので、pHの高い膜
透過水が強塩基性アニオン交換樹脂と接触し、ホウ素も
効率よく吸着して除去することができる。

【０００９】強塩基性アニオン交換樹脂塔にpHが高い水
を供給すると、シリカやホウ素は効率よく吸着され、シ
リカやホウ素の濃度の極めて低い純水を得ることができ
るが、一方では採水量が低下するという問題も生ずる。
このために、強塩基性アニオン交換樹脂塔の後段に設置
するカチオン交換樹脂塔に充填するカチオン交換樹脂の
量を、強塩基性アニオン交換樹脂塔で吸着容量が飽和す
る前に、イオンが漏洩し始める貫流点を迎えるように設
計することが好ましい。本発明装置において、強塩基性
アニオン交換樹脂塔へは、逆浸透膜装置の膜透過水をそ
のまま通水することもできるが、pHが高すぎると採水量
が低下するので、膜透過水に酸を添加してpHを８.５〜
９.５に調整することにより、採水量を増大することが
できる。逆浸透膜透過水を混床式イオン交換樹脂塔に通
水する従来の純水製造装置においては、塔の入口の水の
pHがアルカリ性であっても、塔内のイオン交換樹脂によ
りイオン交換され、ほぼ中性の水となる。例えば、水酸
化ナトリウムの添加によりpH調整が行われた場合、カチ
オン交換樹脂によりナトリウムイオンが交換され、この
イオン交換されている界面より先ではpHが７付近になる
ので、アニオン交換樹脂によっても、シリカやホウ素を
効率的に吸着除去することができない。

【００１０】本発明装置における(Ｄ)強塩基性アニオン
交換樹脂塔の流出水が通水されるカチオン交換樹脂塔に
充填するカチオン交換樹脂に特に制限はなく、例えば、
スルホン酸基を有する強酸性カチオン交換樹脂、カルボ
ン酸基を有する弱酸性カチオン交換樹脂のいずれをも用
いることができ、また、ゲル型、マクロポーラス型のい
ずれをも用いることができる。これらの中で、強酸性カ
チオン交換樹脂を好適に用いることができる。このよう
な強酸性カチオン交換樹脂としては、例えば、栗田工業
(株)のＥＸ−ＣＧ、三菱化学(株)のＳＫＦ１１０、バイ
エル社のＯＣ１２１３などを挙げることができる。カチ
オン交換樹脂の再生剤に特に制限はなく、塩酸、硫酸な
どを挙げることができ、例えば、濃度が２重量％以上で
あり、温度が４０℃程度の塩酸を好適に用いることがで
きる。強塩基性アニオン交換樹脂塔の流出水をカチオン
交換樹脂塔に通水することにより、水中のカチオン成分
を吸着除去して、比抵抗の高い純水を得ることができ
る。一般的に、混床式純水装置と比較すると、多床塔式
の純水装置は水質の立ち上がり性が劣るが、これはイオ
ン交換樹脂層にわずかに残存する再生薬剤によるもので
あることが多いので、薬注後の押出、洗浄の工程の後
に、さらに静置する工程を設け、樹脂層中の薬剤を拡散
させて除去することにより解決することができる。この
あと再度洗浄を行ない、採水に入ることにより、混床式
純水装置と変わらない水質の立ち上がり性を得ることが
できる。また、従来の多床塔式の純水装置は、通常、先
ずカチオン交換樹脂塔に通水し、次いでアニオン交換樹
脂塔に通水されるために、アニオン交換樹脂からの溶出
があり、有機体炭素（ＴＯＣ）成分の上昇などの問題が
あった。しかし、本発明装置では、強塩基性アニオン交
換樹脂塔の流出水をカチオン交換樹脂塔に通水するため
に、アニオン交換樹脂の溶出物はカチオン交換樹脂塔で
吸着除去され、また、カチオン交換樹脂に吸着された溶
出物は、温度の高い再生剤を使用することにより脱着す
ることができる。本発明装置を用いることにより、被処
理水中に含まれるシリカ及びホウ素を極低濃度になるま
で除去して、水質の高い純水を得ることができる。

【００１１】

【実施例】以下に、実施例を挙げて本発明をさらに詳細
に説明するが、本発明はこれらの実施例によりなんら限
定されるものではない。 実施例１ 図１に示す工程により、原水として野木町水を用いて純
水を製造した。原水を６２リットル／ｈの速度で活性炭
充填塔１に供給して残留塩素を除去したのち、真空ポン
プ２により気相側が減圧に保たれた膜脱気装置３に通水
して脱炭酸を行った。脱炭酸を行った水を前段の逆浸透
膜［東レ(株)、ＳＵ７００］装置４に導き、その透過水
にアルカリ貯槽５よりポンプ６によって水酸化ナトリウ
ム水溶液を添加し、さらに後段の逆浸透膜［Ｆｉｌｍ
Ｔｅｃ社、ＦＩＬＭＴＥＣ Ｔｙｐｅ ＦＴ３０］装置７
に導いた。後段の逆浸透膜装置の透過水のpHが９.８に
なるように、水酸化ナトリウム水溶液の添加量を制御し
た。後段の逆浸透膜装置透過水は、流量５０リットル／
ｈ、電気伝導率３６μＳ／cm、pH９.８、シリカ濃度４
３μｇ／リットル、ホウ素濃度２.５μｇ／リットルで
あった。後段の逆浸透膜装置透過水を強塩基性アニオン
交換樹脂塔８、次いでカチオン交換樹脂塔９に通水し、
純水２.５ｍ³を採水した。強塩基性アニオン交換樹脂塔
は、内径４０mm×高さ１,０００mmであり、アニオン交
換樹脂［バイエル社、ＯＣ１２４１］１リットルとイナ
ート樹脂［バイエル社、ＥＮ−４２］２００mlを充填し
ている。また、カチオン交換樹脂塔は、内径４０mm×高
さ５００mmであり、カチオン交換樹脂［バイエル社、Ｏ
Ｃ１２１３］５００mlとイナート樹脂［バイエル社、Ｅ
Ｎ−４２］１００mlを充填している。通水は、上向流と
して行った。純水２.５ｍ³を採水したのち、純水の製造
を中断して強塩基性アニオン交換樹脂塔とカチオン交換
樹脂塔の再生を行った。強塩基性アニオン交換樹脂塔の
再生は、樹脂１リットル当たり水酸化ナトリウム５０ｇ
を、４重量％水溶液として、５０℃で流速ＳＶ５ｈ^-1で
下向流として通液することにより行い、次いで比抵抗１
８ＭΩ・cmの純水を樹脂の５容量倍ＳＶ５ｈ^-1で通水し
て押し出し、さらに比抵抗１８ＭΩ・cmの純水を樹脂の
１０容量倍ＳＶ２０ｈ^-1で通水して洗浄した。カチオン
交換樹脂塔の再生は、樹脂１リットル当たり塩化水素４
０ｇとなるように、５重量％塩酸として、４０℃で流速
ＳＶ５ｈ^-1で下向流として通液することにより行い、次
いで比抵抗１８ＭΩ・cmの純水を樹脂の５容量倍ＳＶ５
ｈ^-1で通水して押し出し、さらに比抵抗１８ＭΩ・cmの
純水を樹脂の１０容量倍ＳＶ２０ｈ^-1で通水して洗浄し
た。再生、押出及び洗浄を終了したのち純水の製造を再
開し、純水２.５ｍ³を採水した。以後、同様にして樹脂
の再生と純水の製造を繰り返した。純水合計１２.５ｍ³
を採水した５回目の純水製造の終了直前の純水の水質
は、シリカ０.１μｇ／リットル以下、ホウ素１ｎｇ／
ｇ、有機体炭素５μｇ／リットル、比抵抗１７.０ＭΩ・
cmであった。

【００１２】比較例１ 強塩基性アニオン交換樹脂塔とカチオン交換樹脂塔の代
わりに、後段の逆浸透膜装置の後段に混床式イオン交換
樹脂塔を備えた以外は、実施例１と同様にして、純水の
製造を行った。混床式イオン交換樹脂塔は、内径４０mm
×高さ１,５００mmであり、カチオン交換樹脂［バイエ
ル社、ＯＣ１２１３］５００mlと強塩基性アニオン交換
樹脂［バイエル社、ＯＣ１２４１］１リットルを充填し
ている。後段の逆浸透膜透過水を混床式イオン交換樹脂
塔に上向流で通水し、純水２.５ｍ³を採水したのち、純
水の製造を中断してイオン交換樹脂の再生を行った。水
逆洗によりカチオン交換樹脂と強塩基性アニオン交換樹
脂を分離し、カチオン交換樹脂は、樹脂１リットル当た
り塩化水素８０ｇとなるように、５重量％塩酸として、
４０℃で流速ＳＶ５ｈ^-1で通液することにより行い、次
いで比抵抗１８ＭΩ・cmの純水を樹脂の５容量倍ＳＶ５
ｈ^-1で通水して押し出し、さらに比抵抗１８ＭΩ・cmの
純水を樹脂の１０容量倍ＳＶ２０ｈ^-1で通水して洗浄し
た。強塩基性アニオン交換は、樹脂１リットル当たり水
酸化ナトリウム５０ｇを、４重量％水溶液として、５０
℃で流速ＳＶ５ｈ^-1で通液することにより行い、次いで
比抵抗１８ＭΩ・cmの純水を樹脂の５容量倍ＳＶ５ｈ^-1
で通水して押し出し、さらに比抵抗１８ＭΩ・cmの純水
を樹脂の１０容量倍ＳＶ２０ｈ^-1で通水して洗浄した。
洗浄を終了して水位を調節したのち、下方より空気を送
ってカチオン交換樹脂と強塩基性アニオン交換樹脂を混
合した。純水の製造を再開して２.５ｍ³採水したのち
に、イオン交換樹脂を再生する操作を実施例１と同様に
して繰り返した。純水合計１２.５ｍ³を採水した５回目
の純水製造の終了直前の純水の水質は、シリカ１.０μ
ｇ／リットル、ホウ素１０ｎｇ／ｇ、有機体炭素３μｇ
／リットル、比抵抗１８.０ＭΩ・cmであった。 比較例２ 強塩基性アニオン交換樹脂塔とカチオン交換樹脂塔の順
序を入れ替えて、後段の逆浸透膜装置のすぐ後段にカチ
オン交換樹脂塔を、次いでその後段に強塩基性アニオン
交換樹脂塔を設けた以外は、実施例１と同様にして、純
水の製造を行った。純水２.５ｍ³を採水したのちに、カ
チオン交換樹脂塔と強塩基性アニオン交換樹脂を再生す
る操作を実施例１と同様にして繰り返した。純水合計１
２.５ｍ³を採水した５回目の純水製造の終了直前の純水
の水質は、シリカ０.５μｇ／リットル、ホウ素８ｎｇ
／ｇ、有機体炭素１０μｇ／リットル、比抵抗１７.５
ＭΩ・cmであった。実施例１及び比較例１〜２の結果
を、第１表に示す。

【００１３】

【表１】

【００１４】第１表に見られるように、本発明装置を有
する工程により、原水のpHを９.８に調整したのち逆浸
透膜装置に通水し、膜透過水を強塩基性アニオン交換樹
脂塔、次いでカチオン交換樹脂塔に通水した実施例１に
おいては、得られる純水のシリカ濃度は０.１μｇ／リ
ットル以下、ホウ素濃度は１ｎｇ／リットルであり、シ
リカとホウ素が極めて低濃度まで除去されている。これ
に対して、混床式イオン交換樹脂塔を用いた比較例１に
おいては、実施例１と同種、同量のイオン交換樹脂を用
い、同じ頻度で再生しているにもかかわらず、得られた
純水中のシリカとホウ素の濃度は、実施例１で得られた
純水のシリカとホウ素の濃度の１０倍又はそれ以上であ
る。また、膜透過水を先ずカチオン交換樹脂塔に通水し
たのち、流出水を強塩基性アニオン交換樹脂塔に通水し
た比較例２においても、実施例１と同種、同量のイオン
交換樹脂を用い、同じ頻度で再生しているにもかかわら
ず、得られた純水中のシリカとホウ素の濃度は、実施例
１で得られた純水のシリカとホウ素の濃度の５〜８倍で
ある。この結果から、(Ａ)被処理水のpHを９.２以上に
調整するpH調整機構、(Ｂ)pHが調整された被処理水が通
水される逆浸透膜装置、(Ｃ)膜透過水が通水される強塩
基性アニオン交換樹脂塔及び(Ｄ)強塩基性アニオン交換
樹脂塔の流出水が通水されるカチオン交換樹脂塔を備え
てなる本発明の純水製造装置を用いることにより、シリ
カ及びホウ素の濃度の極めて低い水質の良好な純水が得
られることが分かる。

【００１５】

【発明の効果】本発明の純水製造装置を用いることによ
り、原水中に含まれるシリカ及びホウ素を極低濃度にな
るまで除去して、水質の高い純水を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明装置を用いる純水製造工程の一
態様の工程系統図である。

【符号の説明】

１ 活性炭充填塔 ２ 真空ポンプ ３ 膜脱気装置 ４ 逆浸透膜装置 ５ アルカリ貯槽 ６ ポンプ ７ 逆浸透膜装置 ８ 強塩基性アニオン交換樹脂塔 ９ カチオン交換樹脂塔

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】（Ａ）被処理水のpHを９.２以上に調整す
   るpH調整機構、（Ｂ）pHが調整された被処理水が通水さ
   れる逆浸透膜装置、（Ｃ）膜透過水が通水される強塩基
   性アニオン交換樹脂塔及び（Ｄ）強塩基性アニオン交換
   樹脂塔の流出水が通水されるカチオン交換樹脂塔を備え
   てなることを特徴とする純水製造装置。
2. 【請求項２】被処理水が、シリカ又はホウ素を含有する
   水である請求項１記載の純水製造装置。