JP2000301146A - 純水製造装置 - Google Patents

純水製造装置

Info

Publication number
JP2000301146A
JP2000301146A JP11112465A JP11246599A JP2000301146A JP 2000301146 A JP2000301146 A JP 2000301146A JP 11112465 A JP11112465 A JP 11112465A JP 11246599 A JP11246599 A JP 11246599A JP 2000301146 A JP2000301146 A JP 2000301146A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
water
exchange resin
reverse osmosis
osmosis membrane
pure water
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11112465A
Other languages
English (en)
Inventor
Makoto Nomura
誠 埜村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kurita Water Industries Ltd
Original Assignee
Kurita Water Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kurita Water Industries Ltd filed Critical Kurita Water Industries Ltd
Priority to JP11112465A priority Critical patent/JP2000301146A/ja
Publication of JP2000301146A publication Critical patent/JP2000301146A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】発電所用水、医薬品用水、液晶・半導体製造工
場用水など、高い純度の水質が要求される純水を必要と
する分野で、イオン交換樹脂の再生に使用した再生剤の
廃液を、逆浸透膜装置の給水のpH調整剤として再利用す
ることにより、酸、アルカリなどの薬剤の使用量を節減
することができる純水製造装置を提供する。 【解決手段】(A)pH調整機構、(B)逆浸透膜装置及
び(C)イオン交換樹脂塔を有する純水製造装置におい
て、(D)アニオン交換樹脂再生の際に生ずるアルカリ
廃液をpH調整機構に供給する機構を備えてなることを特
徴とする純水製造装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、純水製造装置に関
する。さらに詳しくは、本発明は、発電所用水、医薬品
用水、液晶・半導体製造工場用水など、高い純度の水質
が要求される純水を必要とする分野で、イオン交換樹脂
の再生に使用した再生剤の廃液を、逆浸透膜装置の給水
のpH調整剤として再利用することにより、酸、アルカリ
などの薬剤の使用量を節減することができる純水製造装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】逆浸透膜装置は、純水の製造に広く使用
されている。また、さらに純度の高い純水を得るため
に、逆浸透膜装置を複数段直列に配置し、前段の逆浸透
膜装置の透過水を後段の逆浸透膜装置に供給し、純度を
高める装置が用いられる場合が多い。最近になって、こ
の逆浸透膜装置の給水に酸又はアルカリを添加してpHを
調整し、特に、シリカやホウ素濃度を低減した水を得る
方法が発明されている。しかし、逆浸透膜装置の給水に
酸又はアルカリを添加することは、過剰なイオンが逆浸
透膜装置に入ることになり、これらの薬剤が逆浸透膜装
置で十分に除去されず、透過水に漏出してしまう場合が
ある。そこで、このようなイオン類を確実に除去する目
的で、逆浸透膜装置の後段にカチオン交換樹脂塔とアニ
オン交換樹脂塔を連続して、又は、混床式イオン交換樹
脂塔を設けることが一般的に行われている。イオン交換
樹脂は一定量の採水を経たのち、薬剤を通液して再生さ
れる。イオン交換樹脂の再生に使用される薬剤は、通常
は塩酸、硫酸などの酸や、水酸化ナトリウムなどのアル
カリが数重量%程度の水溶液として用いられ、かつ不純
物の少ない純度の高い薬剤が使用される。イオン交換樹
脂の再生に使用した薬剤の廃液は、中和処理されて廃棄
される場合が多い。逆浸透膜装置の後段に設置されるイ
オン交換樹脂塔は、ポリッシャー的に使用されるため
に、使用されるイオン交換樹脂は、特に十分に再生され
たものでなければならない。ところが、イオン交換樹脂
を十分に再生するには、多量の酸又はアルカリを必要と
し、このため濃度の高い、多量の酸又はアルカリ廃液が
排出される。このような酸やアルカリの廃液中には、複
数かつ多量のイオンが含まれていて再利用が難しいため
に、そのまま高濃度廃液として廃棄されるか、中和して
廃棄される場合が多い。これまでのイオン交換装置は、
中性の原水を処理することが多かったために、再生に使
用した酸廃液とアルカリ廃液を混合することにより中和
することができたが、前段に逆浸透膜装置のような異種
の処理装置を設置したり、pHの調整を行ったりすると、
給水のカチオン/アニオン量比が偏り、この結果廃液中
のイオンバランスも崩れることになる。このために、互
いの再生廃液のみでは中和ができなくなり、この中和の
ために余分な酸又はアルカリを消費することになる。ま
た、給水のpHを調整して通水する逆浸透膜装置を採用す
ると、このpH調整のためにさらに酸やアルカリなどの薬
剤が必要となり、薬剤の使用量も増えることになる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、発電所用
水、医薬品用水、液晶・半導体製造工場用水など、高い
純度の水質が要求される純水を必要とする分野で、イオ
ン交換樹脂の再生に使用した再生剤の廃液を、逆浸透膜
装置の給水のpH調整剤として再利用することにより、
酸、アルカリなどの薬剤の使用量を節減することができ
る純水製造装置を提供することを目的としてなされたも
のである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の課
題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、pH調整機構、逆
浸透膜装置及びイオン交換樹脂塔を有する純水製造装置
において、アニオン交換樹脂再生の際に生ずるアルカリ
廃液をpH調整機構に供給する機構を設け、該アルカリ廃
液を被処理水のpH調整に再利用することにより、製造さ
れる純水の水質の低下を招くことなく、アルカリ剤の使
用量を節減することが可能となることを見いだし、この
知見に基づいて本発明を完成するに至った。すなわち、
本発明は、(1)(A)pH調整機構、(B)逆浸透膜装
置及び(C)イオン交換樹脂塔を有する純水製造装置に
おいて、(D)アニオン交換樹脂再生の際に生ずるアル
カリ廃液をpH調整機構に供給する機構を備えてなること
を特徴とする純水製造装置、及び、(2)(A)被処理
水のpHを9.2以上に調整するpH調整機構、(B)pHが
調整された被処理水が通水される逆浸透膜装置及び
(C)逆浸透膜装置の透過水が通水されるイオン交換樹
脂塔を有する第(1)項記載の純水製造装置、を提供する
ものである。
【0005】
【発明の実施の形態】本発明の純水製造装置は、(A)pH
調整機構、(B)逆浸透膜装置及び(C)イオン交換樹脂塔
を有する純水製造装置において、(D)アニオン交換樹脂
再生の際に生ずるアルカリ廃液をpH調整機構に供給する
機構を備えてなるものである。本発明装置において、pH
調整機構に特に制限はないが、被処理水のpHを9.2以
上に調整し得るものであることが好ましい。また、本発
明装置において、イオン交換樹脂塔の位置に特に制限は
ないが、逆浸透膜装置の後段に設置して、逆浸透膜装置
の透過水をイオン交換樹脂塔に通水することが好まし
い。本発明装置は、被処理水が、シリカを含有する水で
ある場合に、特に好適に用いることができる。本発明装
置は、必要に応じてその前段又は中間に公知の水処理設
備を付設して用いることができる。図1は、本発明装置
を用いる純水製造工程の一態様の工程系統図である。被
処理水は、活性炭充填塔1に通水され、水中の有機物や
残留塩素などが吸着除去される。活性炭充填塔の流出水
は、軟化装置2に通水され、水中の硬度成分が除去され
る。軟化装置の流出水は、脱気装置3に導かれ、水中に
溶解している二酸化炭素や酸素などが除去される。脱気
された水は、前段の逆浸透膜装置4に通水され、予備的
な不純物の除去が行われたのち、本発明の純水製造装置
に供給される。図1に示す態様においては、本発明装置
は、アルカリ貯槽5と薬注ポンプ6からなるpH調整機構
を有し、逆浸透膜装置7及びアニオン交換樹脂塔9を備
え、さらに、逆浸透膜装置とアニオン交換樹脂塔の中間
に、カチオン交換樹脂塔8が設けられている。
【0006】本発明装置における(A)pH調整機構に特に
制限はなく、例えば、アルカリ水溶液を添加する装置な
どを挙げることができる。アルカリ水溶液を添加する装
置としては、例えば、撹拌機つきのpH調整槽を設けた
り、通水ラインにアルカリ水溶液注入口を設け、その下
流側にスタティックミキサーを設置することなどができ
る。pHの調整をアルカリ添加により行う場合、pH調整機
構は、被処理水にアルカリを添加して、pH9.2以上に
調整し得るものであることが好ましく、pH9.5以上に
調整し得るものであることがより好ましい。本発明装置
における(B)逆浸透膜装置は、アルカリ性の被処理水が
供給される場合は、長期的にpH10以上、より好ましく
はpH11以上となっても劣化を受けない耐アルカリ性逆
浸透膜を備えたものであることが好ましい。この場合、
供給されるアルカリ性の被処理水のpHよりも、濃縮水の
方がpHが高くなるので、濃縮水のpHを考慮して耐アルカ
リ性逆浸透膜を選択することが好ましい。このような耐
アルカリ性逆浸透膜としては、例えば、pH11まで長期
耐久性のあるものとして市販されている Film Te
c社の FILMTEC Type FT30 などを挙げ
ることができる。また、pH10まで長期耐久性のあるも
のとしては、日東電工(株)のES20、ES10、NT
R759、東レ(株)のSU700などのポリアミド系の
膜などを挙げることができる。
【0007】本発明装置における(C)イオン交換樹脂塔
に充填するアニオン交換樹脂に特に制限はなく、例え
ば、トリメチルアンモニウム基を有する強塩基性I型、
ジメチルヒドロキシエチルアンモニウム基を有する強塩
基性II型、ジメチルアミノ基を有する弱塩基型のいずれ
をも用いることができ、また、ゲル型、マクロポーラス
型のいずれをも用いることができる。これらの中で、架
橋度が4%程度のゲル型の強塩基性アニオン交換樹脂を
好適に用いることができる。このような強塩基性アニオ
ン交換樹脂としては、例えば、栗田工業(株)のEX−A
G、三菱化学(株)のSAF12A、バイエル社のOC1
241などを挙げることができる。本発明装置における
(C)イオン交換樹脂塔は、アニオン交換樹脂塔とするこ
とができ、あるいは、混床式イオン交換樹脂塔とするこ
ともできる。イオン交換樹脂塔への通水方向と薬注方向
に特に制限はなく、上向流式、下向流式のいずれともす
ることができ、また、向流再生方式とすることもでき
る。本発明装置における(D)アニオン交換樹脂再生の際
に生ずるアルカリ廃液をpH調整機構に供給する機構に特
に制限はなく、例えば、アルカリ廃液を貯留するアルカ
リ貯槽とアルカリ廃液を送液する薬注ポンプより構成す
ることができる。本発明装置の図1に示す態様において
は、アルカリ貯槽5に貯留されたアルカリ廃液が、薬注
ポンプ6により、前段の逆浸透膜装置の透過水に添加さ
れ、pHが9.2以上に調整される。アルカリ廃液の添加
量は、後段の逆浸透膜装置の透過水又は濃縮水のpHが所
定の値となるように、薬注ポンプにより制御することが
できる。
【0008】図2は、アニオン交換樹脂を水酸化ナトリ
ウムを用いて再生したときの再生効率を示すグラフであ
る。図2において、斜線の部分がアニオン交換樹脂の再
生に使用される量であり、その他の部分は使用されるこ
となく排出される水酸化ナトリウムの量に相当する。ア
ニオン交換樹脂の再生に使用される水酸化ナトリウム水
溶液の濃度は、通常2〜10重量%であり、アニオン交
換樹脂塔をポリッシャーとして使用する場合は、再生レ
ベルは通常100〜200gNaOH/1−Rである。
したがって、再生レベルを高くとっているポリッシャー
の再生において、再生の後半に排出される廃液は、ほと
んどは水酸化ナトリウム水溶液であるといえる。被処理
水のpHを高めて通水する逆浸透膜装置を採用すると、後
段のイオン交換装置におけるアニオン樹脂へのイオン負
荷はほとんどない。したがって、アニオン交換樹脂の再
生廃液は、純度の高い水酸化ナトリウム水溶液となる。
すなわち、この水酸化ナトリウム廃液を回収することに
より、逆浸透膜装置へ通水する被処理水のpH調整に十分
足りる量と純度とを備えた水酸化ナトリウム水溶液を確
保することができる。イオン交換装置は、連続再生方式
がとられることもあるが、イオン交換樹脂塔がポリッシ
ャーとして使用される場合には、多くはイオン交換樹脂
塔への通水を停止し、イオン交換樹脂全体を再生するバ
ッチ式の再生方式がとられる。したがって、アルカリ廃
液の回収もバッチ的な回収となるので、アルカリ廃液を
タンクに受け、このタンクをpH調整のためのアルカリ貯
槽とすることができる。図2に見られるように、再生の
際に生ずるアルカリ廃液の濃度は、再生レベルにともな
って変化するが、回収したアルカリ廃液をアルカリ貯槽
に貯留し、窒素曝気又は機械的に撹拌することにより、
均一な濃度のアルカリ水溶液とすることができる。回収
したアルカリ廃液は、通常は被処理水のpHを9.2以上
に調整するためには十分な濃度を有しているが、必要に
応じてさらにアルカリを添加して濃度を高めることもで
きる。
【0009】アルカリ貯槽は、窒素ガス雰囲気下に保つ
ことが好ましい。空気中には二酸化炭素が約0.03容
量%含まれ、二酸化炭素が水に溶けると炭酸を生ずる。
水中の炭酸は、下式で示されるような平衡を保つ。 H2CO3 + OH- ⇔ HCO3 - + H2O HCO3 - + OH- ⇔ CO3 2- + H2O したがって、pHの高いアルカリ廃液中では、上式の平衡
は右へ移り、多量の二酸化炭素を溶解することになる。
一方、炭酸水溶液は緩衝溶液としても作用するので、逆
浸透膜装置のように局部的に水中のイオンが濃縮される
ような場合には、挙動の変化を引き起こすおそれがあ
る。このために、逆浸透膜にはできる限り炭酸成分を導
入しないことが好ましい。アルカリ貯槽を窒素ガス雰囲
気下に保つことにより、アルカリ廃液中への二酸化炭素
の溶解を防止することができる。本発明装置を用いるこ
とにより、アニオン交換樹脂再生の際に生ずるアルカリ
廃液をpH調整剤として再利用し、薬剤の使用量を節減し
つつ高い水質を有する純水を製造することができ、さら
に処理すべき廃液の発生量を減少することができる。
【0010】
【実施例】以下に、実施例を挙げて本発明をさらに詳細
に説明するが、本発明はこれらの実施例によりなんら限
定されるものではない。 比較例1 図1に示す工程により、原水として野木町水を用いて純
水を製造した。なお、原水の電気伝導率は254μS/
cmである。原水を2m3/hの速度で活性炭充填塔1に
供給して残留塩素を除去したのち、H型強酸性カチオン
交換樹脂を充填した軟化装置2に通水し、硬度成分を除
去した。次いで、軟化水を膜脱気装置3に送り脱炭酸を
行った。脱炭酸を行った水を前段の逆浸透膜[東レ
(株)、SU700]装置4に導き、その透過水にアルカ
リ貯槽5より薬注ポンプ6により5重量%水酸化ナトリ
ウム水溶液を添加してpHを調整し、さらに後段の逆浸透
膜[Film Tec社、FILMTEC Type F
T30]装置7に導いた。後段の逆浸透膜装置の透過水
のpHが9.8になるように、水酸化ナトリウム水溶液の
添加量を制御した。前段の逆浸透膜装置の透過水量は
1.5m3/h、後段の逆浸透膜装置透過水は流量1m3
/hとした。後段の逆浸透膜装置透過水のシリカ濃度
は、51μg/リットルであった。後段の逆浸透膜装置
透過水を、カチオン交換樹脂塔8、次いでアニオン交換
樹脂塔9に通水し、純水100m3を採水した。カチオ
ン交換樹脂塔には、カチオン交換樹脂[栗田工業(株)、
EX−CG]20リットルを充填し、アニオン交換樹脂
塔には、アニオン交換樹脂[栗田工業(株)、EX−A
G]40リットルを充填している。通水は、下向流とし
て行った。100m3採水終了直前の純水のシリカ濃度
は、0.1μg/リットル以下であった。また、純水1
00m3採水に要した5重量%水酸化ナトリウム水溶液
は、5.7リットルであった。 実施例1 比較例1において、純水100m3を採水したのち、純
水の製造を中断してカチオン交換樹脂塔とアニオン交換
樹脂塔の再生を行った。カチオン交換樹脂塔の再生は、
樹脂1リットル当たり塩化水素100gとなるように、
5重量%塩酸を25℃で下向流として通液することによ
り行った。アニオン交換樹脂塔の再生は、樹脂1リット
ル当たり水酸化ナトリウム120gとなるように、4重
量%水酸化ナトリウム水溶液を、50℃で下向流として
通液することにより行った。アニオン交換樹脂塔への薬
注開始後、アルカリ廃液120リットルを廃棄し、その
後のアルカリ廃液10リットルを回収した。回収したア
ルカリ廃液は、アルカリ貯槽に貯留し、貯槽底部より窒
素ガスを導入して、貯槽内部を窒素ガス雰囲気とした。
回収したアルカリ廃液の水酸化ナトリウム濃度は、3.
8重量%であった。なお、廃棄したアルカリ廃液120
リットルは、薬液に満たされる前にアニオン交換樹脂塔
に入っていた純水の押し出し分と、再生レベル樹脂1リ
ットル当たり水酸化ナトリウム100gまでの分に相当
する。カチオン交換樹脂塔及びアニオン交換樹脂塔の再
生を完了したのち、純水の製造を再開した。pH調整にア
ニオン交換樹脂塔の再生の際に回収したアルカリ廃液を
用いた以外は、比較例1と同じ操作を行った。後段の逆
浸透膜装置透過水のシリカ濃度は、52μg/リットル
であった。純水100m3採水終了直前の純水のシリカ
濃度は、0.1μg/リットル以下であった。また、純
水100m3採水に使用したアルカリ廃液は、7.5リッ
トルであった。比較例1及び実施例1の結果を、第1表
に示す。
【0011】
【表1】
【0012】第1表に見られるように、pH調整に水酸化
ナトリウム水溶液を用いた比較例1と、本発明装置を用
いてpH調整に比較例1で回収したアルカリ廃液を再利用
した実施例1では、後段の逆浸透膜透過水のシリカ濃度
も、イオン交換樹脂塔に通水して得られた純水のシリカ
濃度も同じであり、得られる純水の水質に差はない。一
方、比較例1においては、純水100m3を採水する間
に、前段の逆浸透膜透過水のpH調整に高純度の水酸化ナ
トリウム300gを消費しているのに対して、本発明装
置を用いた実施例1では、前段の逆浸透膜透過水のpH調
整に新しく水酸化ナトリウムを消費する必要がなく、原
材料を節減するとともに、処理すべき廃液発生量を減少
することができる。
【0013】
【発明の効果】本発明装置を用いることにより、アニオ
ン交換樹脂再生の際に生ずるアルカリ廃液をpH調整剤と
して再利用し、薬剤の使用量を節減しつつ高い水質を有
する純水を製造することができ、さらに処理すべき廃液
の発生量を減少することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明装置を用いる純水製造工程の一
態様の工程系統図である。
【図2】図2は、アニオン交換樹脂を水酸化ナトリウム
を用いて再生したときの再生効率を示すグラフである。
【符号の説明】
1 活性炭充填塔 2 軟化装置 3 脱気装置 4 逆浸透膜装置 5 アルカリ貯槽 6 薬注ポンプ 7 逆浸透膜装置 8 カチオン交換樹脂塔 9 アニオン交換樹脂塔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C02F 1/66 540 C02F 1/66 540D 540C 9/00 502 9/00 502H 502J 502Z 502F 503 503B 504 504B 504E Fターム(参考) 4D006 GA03 KA01 KA02 KA03 KA52 KA55 KA56 KA57 KA69 KA71 KA72 KB11 KB12 KB17 KD17 KE15Q MC54 PB06 PB23 PC03 4D025 AA01 AA07 AB05 BA08 BA14 BB02 BB04 DA01 DA03 DA05

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】(A)pH調整機構、(B)逆浸透膜装置及
    び(C)イオン交換樹脂塔を有する純水製造装置におい
    て、(D)アニオン交換樹脂再生の際に生ずるアルカリ
    廃液をpH調整機構に供給する機構を備えてなることを特
    徴とする純水製造装置。
  2. 【請求項2】(A)被処理水のpHを9.2以上に調整す
    るpH調整機構、(B)pHが調整された被処理水が通水さ
    れる逆浸透膜装置及び(C)逆浸透膜装置の透過水が通
    水されるイオン交換樹脂塔を有する請求項1記載の純水
    製造装置。
JP11112465A 1999-04-20 1999-04-20 純水製造装置 Pending JP2000301146A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11112465A JP2000301146A (ja) 1999-04-20 1999-04-20 純水製造装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11112465A JP2000301146A (ja) 1999-04-20 1999-04-20 純水製造装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000301146A true JP2000301146A (ja) 2000-10-31

Family

ID=14587331

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11112465A Pending JP2000301146A (ja) 1999-04-20 1999-04-20 純水製造装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000301146A (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010082610A (ja) * 2008-10-03 2010-04-15 Miura Co Ltd 純水の製造方法、及び純水製造システム
JP2011098267A (ja) * 2009-11-04 2011-05-19 Japan Organo Co Ltd 純水製造システムおよび純水製造方法
JP2012183487A (ja) * 2011-03-04 2012-09-27 Miura Co Ltd 水処理方法及び水処理システム
JP2012183483A (ja) * 2011-03-04 2012-09-27 Miura Co Ltd 水処理方法及び水処理システム
CN107117678A (zh) * 2017-05-19 2017-09-01 西安建筑科技大学 一种曝气装置及地下水处理工艺
JP2020040001A (ja) * 2018-09-07 2020-03-19 株式会社東芝 水処理システム及び水処理方法
JP2022053969A (ja) * 2020-09-25 2022-04-06 オルガノ株式会社 純水製造装置及び純水製造方法

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010082610A (ja) * 2008-10-03 2010-04-15 Miura Co Ltd 純水の製造方法、及び純水製造システム
JP2011098267A (ja) * 2009-11-04 2011-05-19 Japan Organo Co Ltd 純水製造システムおよび純水製造方法
JP2012183487A (ja) * 2011-03-04 2012-09-27 Miura Co Ltd 水処理方法及び水処理システム
JP2012183483A (ja) * 2011-03-04 2012-09-27 Miura Co Ltd 水処理方法及び水処理システム
CN107117678A (zh) * 2017-05-19 2017-09-01 西安建筑科技大学 一种曝气装置及地下水处理工艺
JP2020040001A (ja) * 2018-09-07 2020-03-19 株式会社東芝 水処理システム及び水処理方法
JP7118823B2 (ja) 2018-09-07 2022-08-16 株式会社東芝 水処理システム及び水処理方法
JP2022053969A (ja) * 2020-09-25 2022-04-06 オルガノ株式会社 純水製造装置及び純水製造方法
JP7610380B2 (ja) 2020-09-25 2025-01-08 オルガノ株式会社 純水製造装置及び純水製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3871749B2 (ja) 排煙脱硫排水の処理方法
JP2000301146A (ja) 純水製造装置
JP3575260B2 (ja) 純水製造装置
JPS59112890A (ja) 逆浸透膜装置による脱塩方法
JP2002192152A (ja) 水処理方法および水処理装置
JP2000070933A (ja) 純水製造方法
JP3227760B2 (ja) フッ素含有水の処理方法
JP3200314B2 (ja) 有機物含有酸性排水処理装置
JPH11267645A (ja) 純水の製造方法
JP3484329B2 (ja) 脱イオン水製造装置
JP2004167423A (ja) 純水製造装置及び純水製造方法
JPH11226569A (ja) 水中の有機物除去装置及び超純水製造装置
JPH10244280A (ja) 水中の有機物除去装置
JP3534155B2 (ja) 純水製造装置
JP3885319B2 (ja) 純水製造装置
JP3944973B2 (ja) 逆浸透膜処理方法
JP3697800B2 (ja) 排水の処理方法
JP2000271569A (ja) 純水の製造方法
JP2000301145A (ja) 純水製造装置
JPH05220479A (ja) 超純水製造システム
JP2001104955A (ja) 純水の製造方法
JP3826546B2 (ja) ホウ素含有水の処理装置
JPH09294977A (ja) 純水製造装置
JP2001145879A (ja) 純水製造装置
JPH11197663A (ja) ホウ素含有水の処理方法及び処理装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060403

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080515

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080520

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080722

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090902

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20091225