JP2000307154A - アレイ型ledチップおよびその製造方法 - Google Patents
アレイ型ledチップおよびその製造方法Info
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- JP2000307154A JP2000307154A JP11647999A JP11647999A JP2000307154A JP 2000307154 A JP2000307154 A JP 2000307154A JP 11647999 A JP11647999 A JP 11647999A JP 11647999 A JP11647999 A JP 11647999A JP 2000307154 A JP2000307154 A JP 2000307154A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来のこの種のアレイLEDチップでは、L
EDチップ同士を接続する部分で600DPIよりも狭
いピッチに発光部を近付けることができず、結果として
LEDプリンタに高品質の印字を実現できないものとし
ていた。 【解決手段】 本発明により、アレイ型LEDチップ1
は、短辺である幅側の端部2aが傾斜されて平行四辺形
状に形成され、且つ、少なくとも発光部3が位置する幅
側の端部2aがエッチング手段による切断が行われてい
るアレイ型LEDチップ1としたことで、より精度が高
く、且つ、発光部3に対して機械的応力も加えることの
ない手段により、幅側の端部を形成し、複数のアレイ型
LEDチップを突接させて書込装置を形成するときに
は、一方の半導体基板上の発光部と他方の半導体基板上
の発光部とを格段に接近させることを可能として課題を
解決するものである。
EDチップ同士を接続する部分で600DPIよりも狭
いピッチに発光部を近付けることができず、結果として
LEDプリンタに高品質の印字を実現できないものとし
ていた。 【解決手段】 本発明により、アレイ型LEDチップ1
は、短辺である幅側の端部2aが傾斜されて平行四辺形
状に形成され、且つ、少なくとも発光部3が位置する幅
側の端部2aがエッチング手段による切断が行われてい
るアレイ型LEDチップ1としたことで、より精度が高
く、且つ、発光部3に対して機械的応力も加えることの
ない手段により、幅側の端部を形成し、複数のアレイ型
LEDチップを突接させて書込装置を形成するときに
は、一方の半導体基板上の発光部と他方の半導体基板上
の発光部とを格段に接近させることを可能として課題を
解決するものである。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は発光ダイオードとも
称されているLED素子に関するものであり、詳細に
は、LEDプリンタの感光ドラムに印字形状を書き込む
ときに用いるために、所定ピッチとして発光部が直線状
に整列されてアレイ型とされたLEDチップの構成に係
るものである。
称されているLED素子に関するものであり、詳細に
は、LEDプリンタの感光ドラムに印字形状を書き込む
ときに用いるために、所定ピッチとして発光部が直線状
に整列されてアレイ型とされたLEDチップの構成に係
るものである。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種のアレイ型LEDチップ9
0の構成の例を示すものが図4であり、長方形とした半
導体基板91上には、例えば略40μmピッチとして発
光部92の例えば256個が直線状に形成され1つのア
レイ型LEDチップ90とされている。
0の構成の例を示すものが図4であり、長方形とした半
導体基板91上には、例えば略40μmピッチとして発
光部92の例えば256個が直線状に形成され1つのア
レイ型LEDチップ90とされている。
【0003】このアレイ型LEDチップ90を書込装置
80として使用する際には、図5に示すように前記アレ
イ型LEDチップ90を短辺である幅側の端部で例えば
A4用紙など所望の印字幅が得られる数を突接して直線
状に並べて素子基板81上にマウントを行うものであ
る。
80として使用する際には、図5に示すように前記アレ
イ型LEDチップ90を短辺である幅側の端部で例えば
A4用紙など所望の印字幅が得られる数を突接して直線
状に並べて素子基板81上にマウントを行うものであ
る。
【0004】上記した従来のアレイ型LEDチップ90
においては、幅側の端部はダイサーなど機械的手段で切
断が行われるものであるので、切断時の応力により図4
中にハッチングで示す応力部Dを生じ、発光部92に影
響を与え劣化などを生じる恐れがあるので、前記発光部
92の外端から10μm程度の距離を設けることが必要
とされている。
においては、幅側の端部はダイサーなど機械的手段で切
断が行われるものであるので、切断時の応力により図4
中にハッチングで示す応力部Dを生じ、発光部92に影
響を与え劣化などを生じる恐れがあるので、前記発光部
92の外端から10μm程度の距離を設けることが必要
とされている。
【0005】従って、2つのアレイ型LEDチップ90
が突接される部分では一方の半導体基板91上に存在す
る発光部92と、他方の半導体基板91上に存在する発
光部92との間には略20μmの間隔が必要となり、よ
って、1つの半導体基板91上に配置される発光部92
も、これを基準とせざるを得ないものとなる。
が突接される部分では一方の半導体基板91上に存在す
る発光部92と、他方の半導体基板91上に存在する発
光部92との間には略20μmの間隔が必要となり、よ
って、1つの半導体基板91上に配置される発光部92
も、これを基準とせざるを得ないものとなる。
【0006】この略20μmの間隔は、例えば、発光部
92が20μmの正方形である場合には、上記にも記し
たように発光部92間のピッチP1は略40μmとな
り、このピッチP1が略40μmと言う数値は、プリン
タにおける印字の品質の600DPI(1インチに60
0ドット)に相当するものとなる。尚、実際には、前記
発光部92の寸法は、上記した突接部において隣り合う
発光部92に取り得る寸法を基準として定められるもの
である。
92が20μmの正方形である場合には、上記にも記し
たように発光部92間のピッチP1は略40μmとな
り、このピッチP1が略40μmと言う数値は、プリン
タにおける印字の品質の600DPI(1インチに60
0ドット)に相当するものとなる。尚、実際には、前記
発光部92の寸法は、上記した突接部において隣り合う
発光部92に取り得る寸法を基準として定められるもの
である。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年に
おいては、この種のプリンターに対する印字品質の向上
の要求が著しく、上記600DPI以上の解像度、例え
ば1200DPIなどが要求されるものと成っている。
ここで、1つの半導体基板91上における発光部92間
のピッチはマスキングなど写真的手段で設定が行われる
ので高解像度化に対応できるが、2つの半導体基板91
が突接されるれる部分のピッチは上記の理由により現在
以上に近接させることが不可能であり、結果としてこの
種の方式のプリンタにおいては市場の要望に応えること
ができないと言う問題点を生じ、この点の解決が課題と
されるものとなっている。
おいては、この種のプリンターに対する印字品質の向上
の要求が著しく、上記600DPI以上の解像度、例え
ば1200DPIなどが要求されるものと成っている。
ここで、1つの半導体基板91上における発光部92間
のピッチはマスキングなど写真的手段で設定が行われる
ので高解像度化に対応できるが、2つの半導体基板91
が突接されるれる部分のピッチは上記の理由により現在
以上に近接させることが不可能であり、結果としてこの
種の方式のプリンタにおいては市場の要望に応えること
ができないと言う問題点を生じ、この点の解決が課題と
されるものとなっている。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は前記した従来の
課題を解決するための具体的な手段として、所定ピッチ
として所定数の発光部が直線状に整列されて長方形に形
成されて成るアレイ型LEDチップの製造方法におい
て、前記アレイ型LEDチップは短辺である幅側の端部
が傾斜されて平行四辺形状に形成され、且つ、少なくと
も前記発光部が位置する幅側の端部がエッチング手段に
よる切断が行われていることを特徴とするアレイ型LE
Dチップの製造方法を提供することで高解像度化を可能
とし課題を解決するものである。
課題を解決するための具体的な手段として、所定ピッチ
として所定数の発光部が直線状に整列されて長方形に形
成されて成るアレイ型LEDチップの製造方法におい
て、前記アレイ型LEDチップは短辺である幅側の端部
が傾斜されて平行四辺形状に形成され、且つ、少なくと
も前記発光部が位置する幅側の端部がエッチング手段に
よる切断が行われていることを特徴とするアレイ型LE
Dチップの製造方法を提供することで高解像度化を可能
とし課題を解決するものである。
【0009】
【発明の実施の形態】つぎに、本発明を図に示す実施形
態に基づいて詳細に説明する。図1に符号1で示すもの
は本発明に係るアレイ型LEDチップであり、このアレ
イ型LEDチップ1は、略長方形の半導体基板2上に所
定ピッチPとして例えば256個など複数の発光部3が
直線状に設けられているものである点は、従来例のもの
と同様である。
態に基づいて詳細に説明する。図1に符号1で示すもの
は本発明に係るアレイ型LEDチップであり、このアレ
イ型LEDチップ1は、略長方形の半導体基板2上に所
定ピッチPとして例えば256個など複数の発光部3が
直線状に設けられているものである点は、従来例のもの
と同様である。
【0010】ここで、本発明では前記半導体基板2の形
状を従来例のものが長方形であったのに対し、短辺であ
る幅側の端部2aの両側を同じ傾きだけ傾斜させ、平行
四辺形とするものである。このときの傾斜させる度合い
は自由であるが、後に説明する突接部分における微調整
などの面からは発光部3間に設定する所定ピッチPと長
さ方向で同程度の差を生じるものとしておくことが好ま
しい。
状を従来例のものが長方形であったのに対し、短辺であ
る幅側の端部2aの両側を同じ傾きだけ傾斜させ、平行
四辺形とするものである。このときの傾斜させる度合い
は自由であるが、後に説明する突接部分における微調整
などの面からは発光部3間に設定する所定ピッチPと長
さ方向で同程度の差を生じるものとしておくことが好ま
しい。
【0011】加えて、本発明では、上記の幅側の端部2
aを切断しエッチング切込み2bを形成する際にドライ
エッチングなどエッチング手段により切断を行うものと
して、機械的応力が発光部3に加わることをなくし、発
光部3に一層に接近する位置での切込みの形成を可能と
し、これにより半導体基板2同士を突接させたときの一
方の半導体基板2上の発光部3と他方の半導体基板2上
の発光部3とを、例えば10μmなど従来例のもの以上
に接近させることを可能としている。
aを切断しエッチング切込み2bを形成する際にドライ
エッチングなどエッチング手段により切断を行うものと
して、機械的応力が発光部3に加わることをなくし、発
光部3に一層に接近する位置での切込みの形成を可能と
し、これにより半導体基板2同士を突接させたときの一
方の半導体基板2上の発光部3と他方の半導体基板2上
の発光部3とを、例えば10μmなど従来例のもの以上
に接近させることを可能としている。
【0012】従って、本発明によれば、従来例の構成に
比較して格段に一方の半導体基板2上の発光部3と他方
の半導体基板2上の発光部3とのピッチを近接させるこ
とも可能となり、これに併せて1つの半導体基板2上の
発光部3のピッチPも接近させることができるものとな
り、例えば1200DPI以上の印字に対応する書込装
置の実現も可能とするものである。
比較して格段に一方の半導体基板2上の発光部3と他方
の半導体基板2上の発光部3とのピッチを近接させるこ
とも可能となり、これに併せて1つの半導体基板2上の
発光部3のピッチPも接近させることができるものとな
り、例えば1200DPI以上の印字に対応する書込装
置の実現も可能とするものである。
【0013】図2は前記端部2aにおける切断の状態を
示すものであり、一般的に上記したエッチング手段によ
れば溝幅wに対して可能な溝深さdは5倍程度であると
されている。従って、溝幅wを例えば10μmとして設
定するときには、エッチング切込み2bの最大に得られ
る溝深さdは50μm程度となり、上記エッチング手段
(エッチング切込み2b)のみでは半導体基板2の切断
は不可能である。
示すものであり、一般的に上記したエッチング手段によ
れば溝幅wに対して可能な溝深さdは5倍程度であると
されている。従って、溝幅wを例えば10μmとして設
定するときには、エッチング切込み2bの最大に得られ
る溝深さdは50μm程度となり、上記エッチング手段
(エッチング切込み2b)のみでは半導体基板2の切断
は不可能である。
【0014】そこで、本発明では、半導体基板2の裏側
から前記発光部3に機械的応力が加わらない溝深さd1
まで予めにダイサーなど機械的手段により予備切込み2
cを設けておくものであり、このときに前記予備切込み
2cの溝幅w1を充分に広いものとしておけば、予備切
込み2c側においては傾きを設ける必要はないものとな
り、工程が簡素化される。
から前記発光部3に機械的応力が加わらない溝深さd1
まで予めにダイサーなど機械的手段により予備切込み2
cを設けておくものであり、このときに前記予備切込み
2cの溝幅w1を充分に広いものとしておけば、予備切
込み2c側においては傾きを設ける必要はないものとな
り、工程が簡素化される。
【0015】以上の構成としたことで、複数のアレイ型
LEDチップ1を幅側の端部2aで突接させるときに
は、写真的手段などよリ高い精度で形成されているエッ
チング切込み2bでアレイ型LEDチップ1同士が当接
するものとなり、精度的に向上する。また、一方の半導
体基板2上の発光部3と他方の半導体基板2上の発光部
3とを近付けられるものと成るので、発光部3間のピッ
チもこれに併せて接近させることが可能となり、例えば
1200DPIとした高精度、高細度の書込装置の実現
を可能とする。
LEDチップ1を幅側の端部2aで突接させるときに
は、写真的手段などよリ高い精度で形成されているエッ
チング切込み2bでアレイ型LEDチップ1同士が当接
するものとなり、精度的に向上する。また、一方の半導
体基板2上の発光部3と他方の半導体基板2上の発光部
3とを近付けられるものと成るので、発光部3間のピッ
チもこれに併せて接近させることが可能となり、例えば
1200DPIとした高精度、高細度の書込装置の実現
を可能とする。
【0016】図3は上記のように形成されたアレイ型L
EDチップ1の複数を素子基板11上にマウントして書
込装置10を形成するときの状態を示すものであり、こ
のときに、前記したように一方の半導体基板2と他方の
半導体基板2とは、例えば写真的な手段で形成され非常
に精度の高いエッチング切込み2bで突接するものと成
るので、マウントを行うときの位置決めも極めて容易と
なり、生産性も向上する。
EDチップ1の複数を素子基板11上にマウントして書
込装置10を形成するときの状態を示すものであり、こ
のときに、前記したように一方の半導体基板2と他方の
半導体基板2とは、例えば写真的な手段で形成され非常
に精度の高いエッチング切込み2bで突接するものと成
るので、マウントを行うときの位置決めも極めて容易と
なり、生産性も向上する。
【0017】このときに、もしも、一方の半導体基板2
上の発光部3と他方の半導体基板2上の発光部3とが所
定のピッチから外れるようであれば、何れか一方の半導
体基板2を図中に矢印Yで示す方向に移動させれば、端
部2aが傾斜して設けられたことで、当該の両発光部3
間のピッチの調整が行えるものとなる。
上の発光部3と他方の半導体基板2上の発光部3とが所
定のピッチから外れるようであれば、何れか一方の半導
体基板2を図中に矢印Yで示す方向に移動させれば、端
部2aが傾斜して設けられたことで、当該の両発光部3
間のピッチの調整が行えるものとなる。
【0018】尚、このときに、前記半導体基板2の幅方
向の端部2aが、上記のように高精度で加工することが
可能なエッチング手段で加工されていることで、上記の
微調整を行うときにも、前記矢印Y方向への移動の量は
軽微なものであり、従って、発光部3の直線性が失われ
る度合いも軽微であって、実質的に印字品質に影響を与
えることはない。
向の端部2aが、上記のように高精度で加工することが
可能なエッチング手段で加工されていることで、上記の
微調整を行うときにも、前記矢印Y方向への移動の量は
軽微なものであり、従って、発光部3の直線性が失われ
る度合いも軽微であって、実質的に印字品質に影響を与
えることはない。
【0019】
【発明の効果】以上に説明したように本発明により、ア
レイ型LEDチップは、短辺である幅側の端部が傾斜さ
れて平行四辺形状に形成され、且つ、少なくとも前記発
光部が位置する幅側の端部がエッチング手段による切断
が行われているアレイ型LEDチップの製造方法とした
ことで、写真的手段であり精度が高く、且つ、発光部に
対して機械的応力も加えることのないエッチング手段に
より、幅側の端部を形成し、複数のアレイ型LEDチッ
プを上記端部で突接させて書込装置を形成するときに
は、従来以上に一方の半導体基板上の発光部と他方の半
導体基板上の発光部とを接近させることを可能とし、も
って、例えば1200DPIなど市場が要求する高精度
印刷が行えるプリンタの実現を可能とする極めて優れた
効果を奏するものである。
レイ型LEDチップは、短辺である幅側の端部が傾斜さ
れて平行四辺形状に形成され、且つ、少なくとも前記発
光部が位置する幅側の端部がエッチング手段による切断
が行われているアレイ型LEDチップの製造方法とした
ことで、写真的手段であり精度が高く、且つ、発光部に
対して機械的応力も加えることのないエッチング手段に
より、幅側の端部を形成し、複数のアレイ型LEDチッ
プを上記端部で突接させて書込装置を形成するときに
は、従来以上に一方の半導体基板上の発光部と他方の半
導体基板上の発光部とを接近させることを可能とし、も
って、例えば1200DPIなど市場が要求する高精度
印刷が行えるプリンタの実現を可能とする極めて優れた
効果を奏するものである。
【0020】また、半導体基板を平行四辺形状としたこ
とで、上記した突接部分における発光部のピッチの微調
整も可能として、一層の印字品質の向上にも優れた効果
も奏するものである。更には、1200DPI以上に対
応する書込装置の実現も可能とし、更なる市場の要求に
も応えられるものとする優れた効果も奏するものであ
る。
とで、上記した突接部分における発光部のピッチの微調
整も可能として、一層の印字品質の向上にも優れた効果
も奏するものである。更には、1200DPI以上に対
応する書込装置の実現も可能とし、更なる市場の要求に
も応えられるものとする優れた効果も奏するものであ
る。
【図1】 本発明に係るアレイ型LEDチップの実施形
態を示す平面図である。
態を示す平面図である。
【図2】 図1のA−A線に沿う断面図である。
【図3】 本発明に係るアレイ型LEDチップを採用し
た書込装置の例を示す説明図である。
た書込装置の例を示す説明図である。
【図4】 従来例を示す平面図である。
【図5】 従来例のアレイ型LEDチップを採用した書
込装置の例を示す説明図である。
込装置の例を示す説明図である。
1……アレイ型LEDチップ 2……半導体基板 2a……幅側の端部 2b……エッチング切込み 2c……予備切込み 3……発光部 10……書込装置 11……素子基板
Claims (3)
- 【請求項1】 半導体基板上に所定ピッチとして所定数
の発光部が直線状に整列されて長方形に形成されて成る
アレイ型LEDチップの製造方法において、前記アレイ
型LEDチップは短辺である幅側の端部が傾斜されて平
行四辺形状に形成され、且つ、少なくとも前記発光部が
位置する幅側の端部がエッチング手段による切断が行わ
れていることを特徴とするアレイ型LEDチップの製造
方法。 - 【請求項2】 前記幅側の端部の切断に当たっては、予
めに前記半導体基板の背面側から機械的手段により適宜
幅で適宜深さとした予備切込みが行われていることを特
徴とする請求項1記載のアレイ型LEDチップの製造方
法。 - 【請求項3】 上記請求項1または請求項2に記載の製
造方法により形成されたことを特徴とするアレイ型LE
Dチップ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11647999A JP2000307154A (ja) | 1999-04-23 | 1999-04-23 | アレイ型ledチップおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11647999A JP2000307154A (ja) | 1999-04-23 | 1999-04-23 | アレイ型ledチップおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000307154A true JP2000307154A (ja) | 2000-11-02 |
Family
ID=14688137
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11647999A Pending JP2000307154A (ja) | 1999-04-23 | 1999-04-23 | アレイ型ledチップおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000307154A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI457516B (zh) * | 2012-02-21 | 2014-10-21 | Lextar Electronics Corp | 燈條組合 |
| TWI489057B (zh) * | 2012-07-25 | 2015-06-21 | 榮創能源科技股份有限公司 | 發光二極體燈條組 |
-
1999
- 1999-04-23 JP JP11647999A patent/JP2000307154A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI457516B (zh) * | 2012-02-21 | 2014-10-21 | Lextar Electronics Corp | 燈條組合 |
| TWI489057B (zh) * | 2012-07-25 | 2015-06-21 | 榮創能源科技股份有限公司 | 發光二極體燈條組 |
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