JP2000338166A

JP2000338166A - 基板検査装置

Info

Publication number: JP2000338166A
Application number: JP11151269A
Authority: JP
Inventors: Hideo Nishikawa; 秀雄西川
Original assignee: Nidec Read Corp
Current assignee: Nidec Advance Technology Corp
Priority date: 1999-05-31
Filing date: 1999-05-31
Publication date: 2000-12-08

Abstract

(57)【要約】【課題】導電性部材を用いることで基板の回路パター
ンの導通、絶縁検査回数を減少させることができる基板
検査装置を提供する。【解決手段】一対の移動可能な接触子４２，１４２を基
板２の回路パターンの所定導通位置に接触させて導通，
絶縁を検査する基板検査装置であって、回路パターンの
互いに絶縁された複数の導通位置を含む所定位置を同時
に短絡する導電性部材１４３を備える。基板２の表裏
面に形成され、部分的に導通部を有する両面の回路パタ
ーンの所定の導通位置に接触子を接触させて導通，絶縁
を検査する基板検査装置であって、基板２の一方面に形
成された回路パターンの互いに絶縁された複数の導通位
置が含まれる所定の位置に移動可能に構成され複数の導
通位置を同時に短絡する導電性部材１４３と基板２の他
方面側にその面に形成された回路パターンの所定の導通
位置に設定可能に設けられた接続部とを備え、接続部と
前記導電性部材１４３とで両面に亘って電気的に接続さ
れる回路パターンの検査が行なわれる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント回路基板
（以下、単に基板と称する。）などに形成された配線パ
ターンの導通、絶縁等の良否を検査する基板の検査装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】基板検査装置を用いて基板の回路パター
ンの導通、絶縁検査等を行うことにより、回路パターン
の形成が正常に行われているか否かの検査が行われてい
る。

【０００３】この種の基板検査装置としては、例えば特
開平3-229167号公報に記載されたものがある。この公報
に記載された基板検査装置では、検査治具に取付けられ
たチェッカーピンやプローブピン等の接触子を基板に形
成された回路パターンの所定位置へ移動させて接触さ
せ、回路パターンの検査を行っているものであり、一般
に汎用検査装置と称されている。この装置の場合、基板
の回路パターンに応じた接触子の移動プログラムはＣＡ
Ｄデータ（ガーバーデータ）から作成するため、比較的
容易に作成できる。しかし、基板の回路パターンに合わ
せて、基板の検査を行うためには、数多くの測定個所で
導通、絶縁検査を行う必要があり検査に多くの時間を要
する。

【０００４】一方、個々の基板に専用の検査治具を製作
して検査を行うようにすれば接触子に連結する電極の切
り替えで検査が出来るので１枚当たりの検査時間を短縮
化することは可能である。従って、量産品のようにロッ
ト数の多い検査対象には好適である。このような装置を
専用検査装置と称する。しかし、治具の製作に長時間
（具体的には１週間程度の時間）を要するため、試作品
のような少量の基板検査では治具製作を含めたトータル
の検査時間短縮化は困難であり不向きである。また、リ
ピートオーダーに備えるためには治具の在庫管理が困難
となる。

【０００５】上記いずれの検査装置も一長一短があり、
検査対象たる基板に応じた装置を用いて検査を行うのが
一般的である。特に、汎用検査装置使用の場合、検査数
を減少させることが検査時間の短縮、検査コストの削減
となる。

【０００６】次に基板の検査手法について詳述する。図
８は検査対象の基板の一例を示す図である。同図におい
て、番号１〜１８は、基板検査装置に入力される検査ポ
イント番号（基板検査装置への結線番号）である。ま
た、一般に、検査ポイント番号がマークされた箇所を
「ネットピン」と称し、互いに導通する複数のネットピ
ンの集合を「検査ネット」と称し、単独のネットピンか
らなる場合には「シングルピン」と称する。例示する
と、ネットピン１，２，４によって結線されているのが
１つの検査ネットであり、他には図９に記載する如く、
ネットピン３，６、ネットピン５，９，１０、ネットピ
ン７，８、ネットピン１１，１２、ネットピン１３，１
４，１５，１６，１７によって結線されている検査ネッ
トが存在する。また、図８においては、シングルピンは
存在しない。従って、図８のプリント回路基板２では、
検査ネットの個数をＮ、シングルピンの個数をＳ、互い
に絶縁された配線パターンの個数をＭとすると、Ｎ＝
６，Ｓ＝０，Ｍ＝Ｎ＋Ｓ＝６になっている。以下、図８
の基板２に対する導通検査および絶縁検査について、順
番に説明する。

【０００７】図９は図８の基板２の検査ネットリスト及
び導通検査対象となるネットピンを示す図である。導通
検査では、同一検査ネット内におけるネットピン同士の
導通状態を検査する必要があるので、例えば、１−２−
４の検査ネットの場合にはネットピン１，２及びネット
ピン１，４の２箇所の導通を検査する必要がある。以降
同様に行って、図９に示すように、合計１２通りの導通
検査によって検査完了となる。検査の結果、１箇所でも
導通していなければ不良と判断し、検査を終了する。

【０００８】導通検査の結果、全ての箇所が合格と判断
されれば、次に絶縁検査の工程へ進む。

【０００９】絶縁検査は検査ネットを代表するヘッドピ
ンを設定し、ヘッドピンの間の絶縁状態によって絶縁検
査が行われる。すなわち、各検査ネットを代表するヘッ
ドピンを一対の接触子にて接触し、一方の接触子に電気
信号を印加したときの他方の接触子の電気信号レベルに
よって各接触子が接触したヘッドピンの間の絶縁状態が
判定される。

【００１０】尚、各検査ネット内で検査ポイント番号が
最小のネットピンを便宜上ヘッドピンとする。図８のプ
リント回路基板２には、図中に示すように、合計６個の
ヘッドピンＰ１〜Ｐ６が存在することになる。

【００１１】次に図１０は接触子を用いた従来の絶縁検
査の手順を説明する図である。同図において、各ヘッド
ピンに接触させる接触子を例えば「●」マークは正極と
し、「○」マークは負極とする。すなわち、ヘッドピンＰ
１に対しては、一対の接触子の一方をヘッドピンＰ１へ
移動し接触させて正極に接続するとともに、他方の接触
子を順次ヘッドピンＰ２〜Ｐ６に移動し接触させて負極
に接続させて検査を行う。

【００１２】即ち、Ｐ１：● Ｐ２：○ Ｐ１：● Ｐ３：○ Ｐ１：● Ｐ４：○ Ｐ１：● Ｐ５：○ Ｐ１：● Ｐ６：○ 同様にヘッドピンＰ２に対してはヘッドピンＰ２を正極
に接続するとともに、ヘッドピンＰ３〜Ｐ６を負極にす
る。即ち、Ｐ２：● Ｐ３：○ Ｐ２：● Ｐ４：○ Ｐ２：● Ｐ５：○ Ｐ２：● Ｐ６：○ 同様にヘッドピンＰ３に対してはヘッドピンＰ３を正極
に接続するとともに、ヘッドピンＰ４〜Ｐ６を負極にす
る。即ち、Ｐ３：● Ｐ４：○ Ｐ３：● Ｐ５：○ Ｐ３：● Ｐ６：○ 同様にヘッドピンＰ４に対してはヘッドピンＰ４を正極
に接続するとともに、ヘッドピンＰ５〜Ｐ６を負極にす
る。即ち、Ｐ４：● Ｐ５：○ Ｐ４：● Ｐ６：○ 最後にヘッドピンＰ５に対してはヘッドピンＰ５を正極
に接続するとともに、ヘッドピンＰ６を負極にする。即
ち、Ｐ5：● Ｐ６：○ の検査を行う。

【００１３】尚、上述した例では、接触子が移動する形
式を例示して説明したが、専用検査治具を用いた場合で
も、回路パターンに接触する接触子の電極を切り替える
ため、検査回数としてはいずれの検査装置を用いても同
数必要である。しかし、前述したように専用検査治具を
用いる場合には、接触子に連結されている電極の切り替
えのため検査時間は早くできる（１箇所当たり0.0005
秒）ので大きな問題とはならない。

【００１４】上述したように、特に接触子が移動する形
式の絶縁検査では、接触状態が１ピン対１ピンで行われ
ていたので、配線パターンの個数をＭとすると、検査回
数Ｃは、

【００１５】

【数１】Ｃ＝Ｍ（Ｍ−１）／２となる。

【００１６】すなわち、図８のプリント回路基板ではＭ
＝６であるため、Ｃ＝１５になる。なお、上記説明にお
いては理解を助けるために配線パターンの個数Ｍを「６」
に限定しているが、一般の基板では、Ｍ＝500〜2000で
あるので、Ｃ＝124750〜1999000となる。実際に接触子
を移動させるとなると、１箇所当たり０．１秒で接触さ
せて検査したとして絶縁検査に３．５時間〜５５．２時
間を要することになってしまう。一方専用検査治具を用
いた場合は、前述したように、１箇所当たりの0.0005秒
なので６２．４秒〜１０００秒となる。

【００１７】また、基板表面の回路パターンの一部と裏
面の回路パターンの一部をスルーホールを介して電気的
に結線されている場合の導通検査は困難であった。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、汎
用の検査治具を用いた場合には、検査治具自体のコスト
は安価であるが、接触子を移動させるため検査時間を要
し、結果として検査コストがかかってしまう。一方専用
検査治具を用いた基板検査においては、専用の検査治具
作成に時間、コストがかかり、多品種の基板を早急に製
作することはできない。

【００１９】本発明は、上記のような問題に鑑みてなさ
れたものであり、汎用の検査治具を用いながら、検査時
間、特に絶縁検査の検査時間を大幅に削減して検査コス
トを削減する基板検査装置を提供することを第１の目的
とする。

【００２０】第２の目的は、基板表面と裏面をスルーホ
ールを介して電気的に結線されている場合の導通検査を
容易にすることである。

【００２１】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
少なくとも一対の互いに独立して移動可能な接触子を備
え、前記一対の接触子を基板に形成された回路パターン
の所定の導通位置に接触させて当該回路パターンの導通
若しくは絶縁を確認することにより前記基板の検査を行
う基板検査装置であって、回路パターンの互いに絶縁さ
れた複数の導通位置が含まれる所定の位置に移動可能に
構成され、回路パターンの当該位置に設定されて前記複
数の導通位置を同時に短絡する弾性体からなる導電性部
材とを備えた基板検査装置である。この発明によれば、
導電性部材が接触することによりその接触する領域の回
路パターンは導通状態となる。１対の接触子は予め設定
されたプログラムに基づいて導通状態となった領域と、
その他の回路パターンとの絶縁検査を行う。

【００２２】請求項２記載の発明は、基板の表裏面に形
成され、部分的に導通部を有する両面の回路パターンの
所定の導通位置に接触子を接触させて当該回路パターン
の導通若しくは絶縁を確認することにより前記基板の検
査を行う基板検査装置であって、基板の一方面に形成さ
れた回路パターンの互いに絶縁された複数の導通位置が
含まれる所定の位置に移動可能に構成され、回路パター
ンの当該位置に設定されて前記複数の導通位置を同時に
短絡する弾性体からなる導電性部材と、基板の他方面側
にその面に形成された回路パターンの所定の導通位置に
設定可能に設けられた接続部とを備え接続部と前記導電
性部材とで両面に亘って電気的に接続される回路パター
ンの検査が行なわれる基板検査装置である。

【００２３】この発明によれば、導電性部材を一面の回
路パターンへ接触させ、他面の回路パターンを検査し
て、両面に亘って接続される回路の検査を行うものであ
る。

【００２４】請求項３によれば、前記接続部は、回路パ
ターンの複数の導通位置に同時に接触可能な複数本の接
触子からなり、接続部の検査すべき回路パターンに対応
する一対の接触子を設定し、両接触子間の導通若しくは
絶縁を確認することで当該回路パターンの検査が行なわ
れるものである。

【００２５】この構成よれば、複数の導通位置に同時に
接触可能な複数本の接触子から接続部の検査すべき回路
パターンに対応する一対の接触子を設定して、両接触子
間の導通若しくは絶縁検査が迅速に実行される。

【００２６】

【発明の実施の形態】図１は、この発明にかかる基板検
査装置の一実施形態を示す側断面図であり、図２は図１
の基板検査装置の平面図である。後述する各図との方向
関係を明確にするために、ＸＹＺ直角座標軸が示されて
いる。

【００２７】これらの図に示すように、この基板検査装
置では、装置手前側（−Ｙ側）に装置本体１に対して開
閉扉１１が開閉自在に取付けられており、この開閉扉１
１を開いて検査対象であるプリント基板などの基板２を
装置前側中央部に設けられた搬出入部３に搬入可能とな
っている。また、この搬出入部３の後側（＋Ｙ側）に
は、基板２の検査を行う検査部４が設けられており、こ
の検査部４に電気的に接続されたスキャナー７４によっ
て検査されて基板の良否判定が行われた後、検査済みの
基板２が再度搬出入部３に戻され、開閉扉１１を介して
オペレータによって搬出可能となっている。なお、この
実施形態では、基板２の搬出入はオペレータによるマニ
ュアル操作となっているが、搬出入部３の左右方向（Ｘ
方向）の一方側に外部装置からの基板を受取り、搬出入
部３に検査前の基板２を移載する基板搬入機構を設ける
一方、他方側に搬出入部３から検査済みの基板２を受取
り、外部装置に搬出する基板搬出機構を別途追加装備す
ることで基板の自動搬送が可能となる。

【００２８】この基板検査装置では、搬出入部３と検査
部４との間で基板２を搬送するために、搬送テーブル５
がＹ方向に移動自在に設けられるとともに、搬送テーブ
ル駆動機構６によってＹ方向に移動位置決めされるよう
に構成されている。すなわち、搬送テーブル駆動機構６
では、Ｙ方向に延びる２本のガイドレール６１，６１が
一定間隔だけＸ方向に離隔して配置され、これらのガイ
ドレール６１，６１に沿って搬送テーブル５がスライド
自在となっている。また、これらのガイドレール６１，
６１と平行にボールネジ６２が配置され、このボールネ
ジ６２の一方端側（−Ｙ側）が装置本体１に軸支される
とともに、他方端側（＋Ｙ側）が搬送テーブル駆動用の
モータ６３の回転軸６４と連結されている。さらに、こ
のボールネジ６２には、搬送テーブル５を固定したブラ
ケット６５が螺合されている。このため、後で説明する
制御部からの指令に従ってモータ６３が回転駆動する
と、その回転量に応じて搬送テーブル５がＹ方向に移動
して搬出入部３と検査部４との間を往復移動する。な
お、搬送テーブル５の詳細については、後で説明する。

【００２９】検査部４では、搬送テーブル５の移動経路
を挟んで上方側（＋Ｚ側）に基板２の上面側に形成され
た回路パターンを検査するための上部検査ユニット４Ｕ
が配置される一方、下方側（−Ｚ側）に基板２の下面側
に形成された回路パターンを検査するための下部検査ユ
ニット４Ｄが配置されている。これらの検査ユニット４
Ｕ，４Ｄは搬送テーブル５の移動経路を挟んで配置され
ている。

【００３０】この上部検査ユニット４Ｕでは、検査治具
として汎用検査治具１４１を適用したものを例示して説
明する。汎用検査治具１４１には基板の回路パターンに
対応して移動する一対の接触子１４２が保持されてい
る。これらの接触子１４２の先端部は搬送テーブル５側
を向いて専用検査治具１４１から突設しており、この汎
用検査治具４１に連結された検査治具駆動機構４３を制
御部によって駆動制御することで、検査対象たる基板２
に対して相対的に位置決めされた後に一対の接触子１４
２が移動して基板２上の回路パターンと接触する。

【００３１】一方下部検査ユニット４Ｄでは、検査治具
として検査対象たる基板に専用に作成された専用検査治
具４１を適用したものを例示して説明する。専用検査治
具４１には基板の回路パターンに対応して複数の接触子
４２が保持されている。これらの接触子４２の先端部は
搬送テーブル５側を向いて専用検査治具４１から突設し
ており、この専用検査治具４１に連結された検査治具駆
動機構４３を制御部によって駆動制御することで、検査
対象たる基板２に対して相対的に位置決めされた後に基
板２上の回路パターンと接触する。

【００３２】この検査治具駆動機構４３は、図３に示す
ように、装置本体１に対してＸ方向に専用検査治具４
１、汎用検査治具１４１を移動させるＸ治具駆動部４３
Ｘと、Ｘ治具駆動部４３Ｘに連結されて専用検査治具４
１をＹ方向に移動させるＹ治具駆動部４３Ｙと、Ｙ治具
駆動部４３Ｙに連結されて専用検査治具４１、汎用検査
治具１４１をＺ軸回り回転移動させるθ治具駆動部４３
θと、θ治具駆動部４３θに連結されて専用検査治具４
１、汎用検査治具１４１をＺ方向に移動させるＺ治具駆
動部４３Ｚとで構成されており、専用検査治具４１、汎
用検査治具１４１を搬送テーブル５に対して相対的に位
置決めしたり、専用検査治具４１、汎用検査治具１４１
を上下方向（Ｚ方向）に昇降させて接触子４２を基板２
に形成された回路パターンに対して接触させたり、離間
させたりすることができるように構成されている。

【００３３】次に、図２を参照しつつ搬送テーブル５の
構成について詳述する。この搬送テーブル５には、基板
２を載置するための基板載置部５１を有している。この
基板載置部５１では、載置された基板２が３つの係合ピ
ン５３と係合するとともに、これらの係合ピン５３と対
向する方向から付勢手段（図示省略）によって基板２を
係合ピン５３側に付勢して基板載置部５１上で基板２を
保持可能となっている。また、このように保持された基
板２（同図の２点鎖線）の下面に形成された回路パター
ンに下部検査ユニット４Ｄの接触子４２を接触させるた
めに、基板載置部５１には貫通開口（図示しない）が形
成されている。

【００３４】次に、図３に戻って、上記のように構成さ
れた基板検査装置の電気的構成について説明する。この
基板検査装置には、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ，モータド
ライバ等を備えて予めＲＯＭに記憶されているプログラ
ムに従って装置全体を制御する制御部７１とを備えてい
る。そして、制御部７１が搬送テーブル駆動機構６や検
査治具駆動機構４３を駆動制御して搬送テーブル５上の
基板２に形成された回路パターンに接触子４２，１４２
を接触させる。また、制御部７１はテスターコントロー
ラ７３と電気的に接続されており、上記のようにして回
路パターンへの接触子４２，１４２の接触が完了する
と、制御部７１からテスターコントローラ７３に検査開
始指令が与えられ、接触子４２と電気的に接続されたス
キャナー７４から検査信号が送られて検査が実行され
る。一方接触子１４２はテスターコントローラー７３か
ら検査信号が送られて検査が実行される。そして、その
検査結果がテスターコントローラ７３を介して制御部７
１に与えられる。さらに、制御部７１には、操作パネル
７５が電気的に接続されており、オペレータからの指令
やパラメータなどが制御部７１に与えられる。

【００３５】汎用検査治具１４１は検査治具駆動機構４
３に対して専用検査治具４１と同様に取り付けられるも
のである。即ち、検査対象の基板に応じて適宜専用検査
治具４１若しくは汎用検査治具１４１を選択して取り付
け可能となっている。図４は汎用の検査治具を装着した
構成に関する模式図であり、図４に基づいて詳述する。
図４においては、上部検査ユニット４Ｕに汎用検査治具
１４１を装着したものを例示する。汎用検査治具１４１
は左右に独立して一対の接触子１４２をＸＹＺ方向に移
動させる接触子駆動機構１４１Ａ，１４１Ｂを有する。
接触子駆動機構１４１Ａ，１４１Ｂは共に同一な構成で
あり、各々予めプログラムされている内容に応じて独立
して接触子１４２をＸＹＺ方向へ移動させるものであ
る。

【００３６】この接触子駆動機構１４１Ａ，１４１Ｂ
は、接触子１４２を保持し装置本体１に対してＺ方向に
接触子１４２を移動させるＺ方向駆動部１４１ＡＺ，１
４１ＢＺと、Ｚ方向駆動部１４１ＡＺ，１４１ＢＺに連
結されて接触子１４２をＸ方向に移動させるＸ方向駆動
部１４１ＡＸ，１４１ＢＸと、Ｘ方向駆動部１４１Ａ
Ｘ，１４１ＢＸに連結されて接触子１４２をＹ方向に移
動させるＹ方向駆動部１４１ＡＹ，１４１ＢＹとで構成
されており、接触子１４２を上下方向（Ｚ方向）に昇降
させて基板２に形成された回路パターンに対して接触さ
せたり、離間させたりすることができるように構成され
ている。

【００３７】更に図３、図４に示す如く、弾性を有する
導電性ゴムから構成される導電性部材１４３が汎用検査
治具１４１に対しＸＹＺ方向に移動自在に装着されてい
る。この導電性部材１４３を駆動する導電性部材駆動機
構１４４については、上述した接触子駆動機構１４１
Ａ，１４１Ｂと同様であり、Ｘ方向駆動部１４４Ｘ、Ｙ
方向駆動部１４４Ｙ、Ｚ方向駆動部１４４Ｚから構成さ
れており、導電性部材１４３をＸＹ方向及び上下方向
（Ｚ方向）に下降させて基板２に形成された回路パター
ンに対して接触させたり、上昇して離間させたりするこ
とができるように構成されている。

【００３８】更に図３に仮想線で示す如く、上部検査ユ
ニット４Ｕには背圧部材１４５が設けられている。本実
施形態では、下部ユニット４Ｄには専用検査治具４１が
装着されており、専用検査治具４１が上方へ移動して基
板２の下面の回路パターンに圧接される。従って、上方
に設けられた弾性を有する背圧部にて基板２の非回路部
分を支持し、基板２の上方への移動を阻止している。従
って、下方から専用検査治具の検査時の押圧があっても
所定位置に保持される。

【００３９】次に検査プログラムに応じた所定の基板検
査について詳述する。ここでは、説明の便宜上、従来技
術の欄で例示した基板検査方法を利用して説明すること
とする。

【００４０】図５は基板の回路パターンを示す図であ
り、図８に示したものと同一のパターンを有している。

【００４１】まず、図９に示す検査ネットリストに対し
て従来と同様に所定の導通検査を行う。導通検査で全て
合格であると判断されると次に絶縁検査を行う。図５に
おいて導電性部材駆動機構１４４を駆動して導電性部材
１４３をＸＹＺ方向に移動させて仮想線の位置に位置付
けてヘッドピンＰ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ６へ接触さ
せると、ヘッドピンＰ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ６を含
む検査ネットが導電性部材１４３を介して導通状態とな
る。従って、ヘッドピンＰ１に関する絶縁検査は図６に
示すようにＰ１とＰ２へ接触子１４２を１度接触させる
だけで従来におけるヘッドピンＰ１とＰ２、Ｐ１とＰ
３、Ｐ１とＰ４、Ｐ１とＰ５、Ｐ１とＰ６の検査（第１
０図参照）を行ったこととなる。そして、測定結果をテ
スターコントローラー７３、制御部７１へ送信し、結果
の良否を判定する。そしてヘッドピンＰ１とＰ２が絶縁
状態ではないと判断されると、基板２は不良品と判断さ
れ以降の基板検査は実行しない。ヘッドピンＰ１に関す
る絶縁検査で結果が良好であると、次に、ヘッドピンＰ
２に関する絶縁検査を開始する。なお、ヘッドピンＰ１
とＰ２が絶縁状態であるためヘッドピンＰ１，Ｐ３，Ｐ
４，Ｐ５，Ｐ６を含む検査ネットを導電性部材１４３に
より導通状態とする必要はなく、ヘッドピンＰ３，Ｐ
４，Ｐ５，Ｐ６含む検査ネットを導電性部材１４３によ
り導通状態とすることで事足りる。

【００４２】即ち導電性部材駆動機構１４４をＸＹＺ方
向に移動させて導電性部材１４３を所定位置（図示はし
ていない）に位置付けてヘッドピンＰ４，Ｐ５，Ｐ６へ
接触させると、ヘッドピンＰ４，Ｐ５，Ｐ６を含む検査
ネットが導電性部材１４３を介して導通状態となる（上
述した導電性部材１４３の形状ではヘッドピンＰ３，Ｐ
４，Ｐ５，Ｐ６全てを含む検査ネットとはならない）。
従って、ヘッドピンＰ２に関する絶縁検査は図６に示す
ようにＰ２とＰ３及びＰ２とＰ４へ接触子１４２を２度
接触させるだけで従来におけるヘッドピンＰ２とＰ３、
Ｐ２とＰ４、Ｐ２とＰ５、Ｐ２とＰ６の検査（第１０図
参照）を行ったこととなる。そして、測定結果をテスタ
ーコントローラー７３、制御部７１へ送信し、結果の良
否を判定する。そしてヘッドピンＰ２とＰ３が絶縁状態
ではないと判断されると、基板２は不良品と判断され以
降の基板検査は実行しない。ヘッドピンＰ２に関する絶
縁検査で結果が良好であると、次に、ヘッドピンＰ３に
関する絶縁検査を開始する。

【００４３】以降同様にして、ヘッドピンＰ３，Ｐ４に
関する絶縁検査を実行する。ヘッドピンＰ３，Ｐ４に関
する絶縁検査で結果が良好であると、最後に、ヘッドピ
ンＰ５に関する絶縁検査を開始する。ヘッドピンＰ５に
関しては、Ｐ５とＰ６の絶縁状態を検査するだけで事足
りるため、導電性部材１４３を用いる必要はない。

【００４４】以上詳述した如く、導電性部材１４３を用
いて部分的な領域で導電状態を作ることにより一対の接
触子１４２を移動させて検査を行う絶縁検査において、
検査回数を減少させることが可能となり、検査時間を大
幅に短縮させることが可能となる。即ち、例示したよう
にヘッドピンの数が６としても従来の手法では１５回の
検査が必要であったにも拘わらず、今般構成によれば検
査回数が６回となる。さらに言えば、ヘッドピンの数が
多くなればそれだけ、検査回数の減少率が向上するもの
であり、概ね１／４以下になる。

【００４５】裏面における導通検査、及び絶縁検査が終
了して、全て合格していると、次にスルーホールの導通
検査を行う。

【００４６】表面の回路パターンと裏面の回路パターン
をスルーホールにより電気的に結線されている場合にお
けるスルーホールの導通状態の検査について述べる。

【００４７】図７は図５で示す基板２の裏側の回路パタ
ーンを示す。同図においては裏側なのでヘッドピンの番
号にはダッシュ（’）を付与している。ヘッドピンＰ
２’からヘッドピンＰ６’を含有する回路パターンにお
いてはスルーホールＴ１，Ｔ２，Ｔ３が存在する。基板
２の表面側において導電性部材駆動機構１４４をＸＹＺ
方向に駆動させることにより導電性部材１４３を破線で
示す位置に位置付け、スルーホールＴ１，Ｔ２，Ｔ３が
全て覆われると共に破線領域内を全て導通状態となる。

【００４８】次にスルーホールＴ１，Ｔ２，Ｔ３の導通
状態を検査する必要がある。まずスルーホールＴ１に関
して言えば、表面のネットリスト１１−１２と裏面のネ
ットリスト１１’−１２’を連結している。同様に次に
スルーホールＴ２に関して言えば表面のネットリスト１
３−１４−１５−１６−１７−１８と裏面のネットリス
ト１３’−１４’−１５’−１６’−１７’−１８’を
連結している。スルーホールＴ３に関して言えば、表面
のネットリスト５−９−１０と表面のネットリスト５’
−９’−１０’を連結している。

【００４９】具体的な検査手法としては、基板２の裏面
は専用の検査治具４１により検査される。まずヘッドピ
ンＰ３’−Ｐ５’の導通状態を検査する。Ｐ３’−Ｔ３
−導電性部材１４３−Ｔ１−Ｐ５’が導通していれば、
スルーホールＴ１、Ｔ３は導通していることになる。次
に、ヘッドピンＰ３’−Ｐ６’の導通状態を検査する。
Ｐ３’−Ｔ３−導電性部材１４３−Ｔ２−Ｐ６’が導通
していれば、スルーホールＴ２，Ｔ３は導通しているこ
とになる。１箇所でも導通していなければ、スルーホー
ルＴ１，Ｔ２，Ｔ３は導通しておらず基板２は不良と判
断される。

【００５０】上記実施形態においては、上部検査ユニッ
ト４Ｕに汎用検査治具４１、下部検査ユニット４Ｄに専
用検査治具４１を適用することにより、双方ともに専用
検査治具４１を適用するよりも導入コスト面で１／２以
下になり、双方ともに汎用検査治具１４１を適用するよ
りも検査コスト（検査時間）が１／４以下になるという
効果がある。

【００５１】上記実施形態においては、スルーホール検
査の際、裏面は専用の検査治具４１により実施して、検
査時間短縮を図ったが、汎用検査治具１４１により実施
してもよい。

【００５２】上記実施形態においては、接触子をＸＹＺ
方向に移動させる形式を例示したが、接触子の移動をＸ
Ｙ方向として、基板をＺ方向に移動させる形式としても
よい。

【００５３】上記実施形態においては、導電性部材とし
て、導電性ゴムを例示したが、導電性の繊維等を用いて
も良い。

【００５４】上記実施形態においては、導電性部材１４
３の形状を図示した場合に上述した効果を奏したもので
あるが、回路パターンにより適宜変更、修正が可能であ
る。また上記実施形態においては、導電性部材１４３を
ＸＹＺ方向へ移動させる形式を例示したが、さらにθ方
向（回転方向）の移動を加えることにより更なる検査回
数減少という効果を奏する。

【００５５】また、上記実施形態においては、導電性部
材１４３を１個用いたものを例示したが、複数個種種の
大きさのものをしようすれば更なる検査回数減少という
効果を奏する。

【００５６】

【発明の効果】第１の発明によれば、導電性部材により
基板の回路パターンを部分的に導電状態として絶縁検査
対象数を減少させることが可能となり、接触子を移動さ
せる回数が削減出来て、検査時間の短縮化が可能とな
り、検査コストが削減できる。

【００５７】更に第２の発明によれば、基板の一面の回
路パターンを部分的に導電性部材により導電状態とし
て、他面において対応する回路パターンの導通状況を検
査することで基板上下の面の回路パターンを連結するス
ルーホールの導通検査が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明にかかる基板検査装置の一実施形態を
示す側断面図である。

【図２】図１の基板検査装置の平面図である。

【図３】図１の基板検査装置の概略構成を示す模式図で
ある。

【図４】図１の基板検査装置の上部検査ユニットを示す
図である。

【図５】基板の回路パターンを示す図である。

【図６】基板の絶縁検査の手順を示す図である。

【図７】図５の基板の裏面の回路パターンを示す図であ
る。

【図８】検査対象のプリント回路基板の一例を示す図で
ある。

【図９】図８の基板の検査ネットリスト及び導通検査の
対象となるネットピンを示す図である。

【図１０】従来の絶縁検査の手順を説明する図である。

【符号の説明】

２…基板４…検査部４Ｄ…下部検査ユニット４Ｕ…上部検査ユニット５…搬送テーブル６…搬送テーブル駆動機構４１…検査治具（専用検査治具）４２，１４２…接触子４３…検査治具駆動機構５１…基板載置部７１…制御部（制御手段）１４１…検査治具（汎用検査治具）１４３…導電性部材１４４…導電性部材駆動機構（導電性部材駆動手段）

【手続補正書】

【提出日】平成１２年６月６日（２０００．６．６）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】

【書類名】明細書

【発明の名称】基板検査装置

【特許請求の範囲】

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【０００２】

【００１５】

【数１】Ｃ＝Ｍ（Ｍ−１）／２となる。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、汎
用の検査治具を用いた場合には、検査治具自体のコスト
は安価であるが、接触子を移動させるため検査時間を要
し、結果として検査コストがかかってしまう。一方専用
検査治具を用いた基板検査においては、専用の検査治具
作成に時間、コストがかかり、多品種の基板を早急に検
査することはできない。

【００２１】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
少なくとも一対の互いに独立してＸＹＺ方向に移動可能
な接触子を備え、前記一対の接触子を基板に形成された
回路パターンの所定の導通位置に接触させて当該回路パ
ターンの導通若しくは絶縁を確認することにより前記基
板の検査を行う基板検査装置であって、前記回路パター
ンの互いに絶縁された複数の導電位置のうちの所定の複
数の導電位置を含む位置に移動かつ基板に接触させるべ
くＸＹＺ方向に移動自在に構成され、設定された所定の
複数の導電位置を同時に短絡する弾性体からなる導電性
部材を備えた基板検査装置である。

【００２２】この発明によれば、導電性部材がＸＹＺ方
向に移動し接触することによりその接触する領域の回路
パターンは導通状態となる。１対の接触子は予め設定さ
れたプログラムに基づいて導通状態となった領域と、そ
の他の回路パターンとの検査を行う。

【００２３】請求項２記載の発明は、基板の表裏面に形
成され、部分的に導通部を有する両面の回路パターンの
所定の導通位置に接触子を接触させて当該回路パターン
の導通若しくは絶縁を確認することにより前記基板の検
査を行う基板検査装置であって、基板の一方面に形成さ
れた前記回路パターンの互いに絶縁された複数の導電位
置のうちの所定の複数の導電位置を含む位置に移動かつ
基板に接触させるべくＸＹＺ方向に移動自在に構成さ
れ、設定された所定の複数の導電位置を同時に短絡する
弾性体からなる導電性部材と、基板の他方面側にその面
に形成された回路パターンの所定の導通位置に設定可能
に設けられた接続部とを備え接続部と前記導電性部材と
で両面に亘って電気的に接続される回路パターンの検査
が行なわれる基板検査装置である。

【００２４】この発明によれば、導電性部材を一面の回
路パターンへＸＹＺ方向に移動し接触させ、他面の回路
パターンを検査して、両面に亘って接続される回路の検
査を行うものである。

【００２５】請求項３によれば、さらに、前記基板の一
方面側で基板を保持する背圧部材を設け、前記接続部
は、回路パターンの複数の導通位置に同時に接触可能な
複数本の接触子からなり、接続部の検査すべき回路パタ
ーンに対応する一対の接触子を設定し、両接触子間の導
通若しくは絶縁を確認することで当該回路パターンの検
査が行なわれるものである。

【００２６】この構成よれば、複数の導通位置に同時に
接触可能な複数本の接触子から接続部の検査すべき回路
パターンに対応する一対の接触子を設定して、両接触子
間の導通若しくは絶縁検査が迅速に実行される。さら
に、背圧部材により基板の一方面側で基板が保持され
る。

【００２７】

【００２８】これらの図に示すように、この基板検査装
置では、装置手前側（−Ｙ側）に装置本体１に対して開
閉扉１１が開閉自在に取付けられており、この開閉扉１
１を開いて検査対象であるプリント基板などの基板２を
装置前側中央部に設けられた搬出入部３に搬入可能とな
っている。また、この搬出入部３の後側（＋Ｙ側）に
は、基板２の検査を行う検査部４が設けられており、こ
の検査部４に電気的に接続されたスキャナー７４によっ
て検査されて基板の良否判定が行われた後、検査済みの
基板２が再度搬出入部３に戻され、開閉扉１１を介して
オペレータによって搬出可能となっている。なお、この
実施形態では、基板２の搬出入はオペレータによるマニ
ュアル操作となっているが、搬出入部３の左右方向（Ｘ
方向）の一方側に外部装置からの基板を受取り、搬出入
部３に検査前の基板２を移載する基板搬入機構を設ける
一方、他方側に搬出入部３から検査済みの基板２を受取
り、外部装置に搬出する基板搬出機構を別途追加装備す
ることで基板の自動搬送が可能となる。

【００２９】この基板検査装置では、搬出入部３と検査
部４との間で基板２を搬送するために、搬送テーブル５
がＹ方向に移動自在に設けられるとともに、搬送テーブ
ル駆動機構６によってＹ方向への移動と位置決めとが可
能に構成されている。すなわち、搬送テーブル駆動機構
６では、Ｙ方向に延びる２本のガイドレール６１，６１
が一定間隔だけＸ方向に離隔して配置され、これらのガ
イドレール６１，６１に沿って搬送テーブル５がスライ
ド自在となっている。また、これらのガイドレール６
１，６１と平行にボールネジ６２が配置され、このボー
ルネジ６２の一方端側（−Ｙ側）が装置本体１に軸支さ
れるとともに、他方端側（＋Ｙ側）が搬送テーブル駆動
用のモータ６３の回転軸６４と連結されている。さら
に、このボールネジ６２には、搬送テーブル５を固定し
たブラケット６５が螺合されている。このため、後で説
明する制御部からの指令に従ってモータ６３が回転駆動
すると、その回転量に応じて搬送テーブル５がＹ方向に
移動して搬出入部３と検査部４との間を往復移動する。
なお、搬送テーブル５の詳細については、後で説明す
る。

【００３０】検査部４では、搬送テーブル５の移動経路
を挟んで上方側（＋Ｚ側）に基板２の上面側に形成され
た回路パターンを検査するための上部検査ユニット４Ｕ
が配置される一方、下方側（−Ｚ側）に基板２の下面側
に形成された回路パターンを検査するための下部検査ユ
ニット４Ｄが配置されている。これらの検査ユニット４
Ｕ，４Ｄは搬送テーブル５の移動経路を挟んで配置され
ている。

【００３１】この上部検査ユニット４Ｕでは、検査治具
として汎用検査治具１４１を適用したものを例示して説
明する。汎用検査治具１４１には基板の回路パターンに
対応して移動可能な一対の接触子１４２が保持されてい
る。これらの接触子１４２の先端部は搬送テーブル５側
を向いて汎用検査治具１４１から突設しており、この汎
用検査治具１４１に連結された検査治具駆動機構４３を
制御部７１によって駆動制御することで、検査対象たる
基板２に対して相対的に位置決めされた後に一対の接触
子１４２が移動して基板２上の回路パターンと接触す
る。

【００３２】一方下部検査ユニット４Ｄでは、検査治具
として検査対象たる基板に専用に作成された専用検査治
具４１を適用したものを例示して説明する。専用検査治
具４１には基板の回路パターンに対応して複数の接触子
４２が保持されている。これらの接触子４２の先端部は
搬送テーブル５側を向いて専用検査治具４１から突設し
ており、この専用検査治具４１に連結された検査治具駆
動機構４３を制御部によって駆動制御することで、検査
対象たる基板２に対して相対的に位置決めされた後に基
板２上の回路パターンと接触する。

【００３３】この検査治具駆動機構４３は、図３に示す
ように、装置本体１に対してＸ方向に専用検査治具４
１、汎用検査治具１４１を移動させるＸ治具駆動部４３
Ｘと、Ｘ治具駆動部４３Ｘに連結されて専用検査治具４
１、汎用検査治具１４１をＹ方向に移動させるＹ治具駆
動部４３Ｙと、Ｙ治具駆動部４３Ｙに連結されて専用検
査治具４１、汎用検査治具１４１をＺ軸回り回転移動さ
せるθ治具駆動部４３θと、θ治具駆動部４３θに連結
されて専用検査治具４１、汎用検査治具１４１をＺ方向
に移動させるＺ治具駆動部４３Ｚとで構成されており、
専用検査治具４１、汎用検査治具１４１を搬送テーブル
５に対して相対的に位置決めしたり、専用検査治具４
１、汎用検査治具１４１を上下方向（Ｚ方向）に昇降さ
せて接触子４２を基板２に形成された回路パターンに対
して接触させたり、離間させたりすることができるよう
に構成されている。

【００３４】次に、図２を参照しつつ搬送テーブル５の
構成について詳述する。この搬送テーブル５には、基板
２を載置するための基板載置部５１を有している。この
基板載置部５１では、載置された基板２が３つの係合ピ
ン５３と係合するとともに、これらの係合ピン５３と対
向する方向から付勢手段（図示省略）によって基板２を
係合ピン５３側に付勢して基板載置部５１上で基板２を
保持可能となっている。また、このように保持された基
板２（同図の２点鎖線）の下面に形成された回路パター
ンに下部検査ユニット４Ｄの接触子４２を接触させるた
めに、基板載置部５１には貫通開口（図示しない）が形
成されている。

【００３５】次に、図３に戻って、上記のように構成さ
れた基板検査装置の電気的構成について説明する。この
基板検査装置は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ，モータドラ
イバ等を備え、予めＲＯＭに記憶されているプログラム
に従って装置全体を制御する制御部７１とを備えてい
る。そして、制御部７１が搬送テーブル駆動機構６や検
査治具駆動機構４３を駆動制御して搬送テーブル５上の
基板２に形成された回路パターンに接触子４２，１４２
を接触させる。また、制御部７１はテスターコントロー
ラ７３と電気的に接続されており、上記のようにして回
路パターンへの接触子４２，１４２の接触が完了する
と、制御部７１からテスターコントローラ７３に検査開
始指令が与えられ、スキャナー７４から接触子４２へ検
査信号が送られる。接触子１４２はテスターコントロー
ラー７３から検査信号を受けて検査が実行される。そし
て、その検査結果がテスターコントローラ７３を介して
制御部７１に与えられる。さらに、制御部７１には、操
作パネル７５が電気的に接続されており、オペレータか
らの指令やパラメータなどが制御部７１に与えられる。

【００３６】汎用検査治具１４１は検査治具駆動機構４
３に対して専用検査治具４１と同様に取り付けられるも
のである。即ち、検査対象の基板に応じて適宜専用検査
治具４１若しくは汎用検査治具１４１を選択して取り付
け可能となっている。図４は汎用の検査治具を装着した
構成に関する模式図であり、図４に基づいて詳述する。
図４においては、上部検査ユニット４Ｕに汎用検査治具
１４１を装着したものを例示する。汎用検査治具１４１
は左右に独立して一対の接触子１４２をＸＹＺ方向に移
動させる接触子駆動機構１４１Ａ，１４１Ｂを有する。
接触子駆動機構１４１Ａ，１４１Ｂは共に同一な構成で
あり、各々予めプログラムされている内容に応じて独立
して接触子１４２をＸＹＺ方向へ移動させるものであ
る。

【００３７】この接触子駆動機構１４１Ａ，１４１Ｂ
は、接触子１４２を保持し装置本体１に対してＺ方向に
接触子１４２を移動させるＺ方向駆動部１４１ＡＺ，１
４１ＢＺと、Ｚ方向駆動部１４１ＡＺ，１４１ＢＺに連
結されて接触子１４２をＸ方向に移動させるＸ方向駆動
部１４１ＡＸ，１４１ＢＸと、Ｘ方向駆動部１４１Ａ
Ｘ，１４１ＢＸに連結されて接触子１４２をＹ方向に移
動させるＹ方向駆動部１４１ＡＹ，１４１ＢＹとで構成
されており、接触子１４２を上下方向（Ｚ方向）に昇降
させて基板２に形成された回路パターンに対して接触さ
せたり、離間させたりすることができるように構成され
ている。

【００３８】更に図３、図４に示す如く、弾性を有する
導電性ゴムから構成される導電性部材１４３が汎用検査
治具１４１に対しＸＹＺ方向に移動自在に装着されてい
る。この導電性部材１４３を駆動する導電性部材駆動機
構１４４については、上述した接触子駆動機構１４１
Ａ，１４１Ｂと同様であり、Ｘ方向駆動部１４４Ｘ、Ｙ
方向駆動部１４４Ｙ、Ｚ方向駆動部１４４Ｚから構成さ
れており、導電性部材１４３をＸＹ方向及び上下方向
（Ｚ方向）に下降させて基板２に形成された回路パター
ンに対して接触させたり、上昇して離間させたりするこ
とができるように構成されている。

【００３９】更に図３に仮想線で示す如く、上部検査ユ
ニット４Ｕには弾性を有する背圧部材１４５が設けられ
ている。本実施形態では、下部ユニット４Ｄには専用検
査治具４１が装着されており、専用検査治具４１が上方
へ移動して基板２の下面の回路パターンに圧接される。
従って、上方に設けられた背圧部材１４５にて基板２の
非回路部分を押え、基板２の上方への移動を阻止してい
る。従って、基板２は下方から専用検査治具４１の検査
時の押圧があっても所定位置に保持される。

【００４０】次に検査プログラムに応じた基板検査につ
いて詳述する。ここでは、説明の便宜上、従来技術の欄
で例示した基板検査方法を利用して説明することとす
る。

【００４１】図５は基板の回路パターンの一例を示す図
であり、図８に示したものと同一のパターンを有してい
る。

【００４２】まず、図９に示す検査ネットリストに対し
て従来と同様に所定の導通検査を行う。導通検査で全て
合格であると判断されると次に絶縁検査を行う。図５に
おいて導電性部材駆動機構１４４を駆動して導電性部材
１４３をＸＹＺ方向に移動させて仮想線の位置に位置付
けてヘッドピンＰ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ６へ接触さ
せると、ヘッドピンＰ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ６を含
む検査ネットが導電性部材１４３を介して導通状態とな
る。従って、ヘッドピンＰ１に関する絶縁検査は図６に
示すようにＰ１とＰ２へ接触子１４２を１度接触させる
だけで従来におけるヘッドピンＰ１とＰ２、Ｐ１とＰ
３、Ｐ１とＰ４、Ｐ１とＰ５、Ｐ１とＰ６の検査（第１
０図参照）を行ったこととなる。そして、測定結果をテ
スターコントローラー７３、制御部７１へ送信し、結果
の良否を判定する。そしてヘッドピンＰ１とＰ２が絶縁
状態ではないと判断されると、基板２は不良品と判断さ
れ以降の基板検査は実行しない。ヘッドピンＰ１に関す
る絶縁検査で結果が良好であると、次に、ヘッドピンＰ
２に関する絶縁検査を開始する。なお、ヘッドピンＰ１
とＰ２が絶縁状態であるためヘッドピンＰ１，Ｐ３，Ｐ
４，Ｐ５，Ｐ６を含む検査ネットを導電性部材１４３に
より導通状態とする必要はなく、ヘッドピンＰ３，Ｐ
４，Ｐ５，Ｐ６含む検査ネットを導電性部材１４３によ
り導通状態とすることで事足りる。

【００４３】即ち導電性部材駆動機構１４４をＸＹＺ方
向に移動させて導電性部材１４３を所定位置（図示はし
ていない）に位置付けてヘッドピンＰ４，Ｐ５，Ｐ６へ
接触させると、ヘッドピンＰ４，Ｐ５，Ｐ６を含む検査
ネットが導電性部材１４３を介して導通状態となる（上
述した導電性部材１４３の形状ではヘッドピンＰ３，Ｐ
４，Ｐ５，Ｐ６全てを含む検査ネットとはならない）。
従って、ヘッドピンＰ２に関する絶縁検査は図６に示す
ようにＰ２とＰ３及びＰ２とＰ４へ接触子１４２を２度
接触させるだけで従来におけるヘッドピンＰ２とＰ３、
Ｐ２とＰ４、Ｐ２とＰ５、Ｐ２とＰ６の検査（第１０図
参照）を行ったこととなる。そして、測定結果をテスタ
ーコントローラー７３、制御部７１へ送信し、結果の良
否を判定する。そしてヘッドピンＰ２とＰ３が絶縁状態
ではないと判断されると、基板２は不良品と判断され以
降の基板検査は実行しない。ヘッドピンＰ２に関する絶
縁検査で結果が良好であると、次に、ヘッドピンＰ３に
関する絶縁検査を開始する。

【００４４】以降同様にして、ヘッドピンＰ３，Ｐ４に
関する絶縁検査を実行する。ヘッドピンＰ３，Ｐ４に関
する絶縁検査で結果が良好であると、最後に、ヘッドピ
ンＰ５に関する絶縁検査を開始する。ヘッドピンＰ５に
関しては、Ｐ５とＰ６の絶縁状態を検査するだけで事足
りるため、導電性部材１４３を用いる必要はない。

【００４５】以上詳述した如く、導電性部材１４３を用
いて部分的な領域で導電状態を作ることにより一対の接
触子１４２を移動させて検査を行う絶縁検査において、
検査回数を減少させることが可能となり、検査時間を大
幅に短縮させることが可能となる。即ち、例示したよう
にヘッドピンの数が６としても従来の手法では１５回の
検査が必要であったにも拘わらず、今般構成によれば検
査回数が６回となる。さらに言えば、ヘッドピンの数が
多くなればそれだけ、検査回数の減少率が向上するもの
であり、概ね１／４以下になる。

【００４６】裏面における導通検査、及び絶縁検査が終
了して、全て合格していると、次にスルーホールの導通
検査を行う。

【００４７】表面の回路パターンと裏面の回路パターン
をスルーホールにより電気的に結線されている場合にお
けるスルーホールの導通状態の検査について述べる。

【００４８】図７は図５で示す基板２の裏側の回路パタ
ーンを示す。同図においては裏側なのでヘッドピンの番
号にはダッシュ（’）を付与している。ヘッドピンＰ
２’からヘッドピンＰ６’を含有する回路パターンにお
いてはスルーホールＴ１，Ｔ２，Ｔ３が存在する。基板
２の表面側において導電性部材駆動機構１４４をＸＹＺ
方向に駆動させることにより導電性部材１４３を破線で
示す位置に位置付け、スルーホールＴ１，Ｔ２，Ｔ３が
全て覆われると共に破線領域内を全て導通状態となる。

【００４９】次にスルーホールＴ１，Ｔ２，Ｔ３の導通
状態を検査する必要がある。まずスルーホールＴ１に関
して言えば、表面のネットリスト１１−１２と裏面のネ
ットリスト１１’−１２’を連結している。同様に次に
スルーホールＴ２に関して言えば表面のネットリスト１
３−１４−１５−１６−１７−１８と裏面のネットリス
ト１３’−１４’−１５’−１６’−１７’−１８ ’
を連結している。スルーホールＴ３に関して言えば、表
面のネットリスト５−９−１０と表面のネットリスト
５’−９’−１０’ を連結している。

【００５０】具体的な検査手法としては、基板２の裏面
は専用の検査治具４１により検査される。まずヘッドピ
ンＰ３’−Ｐ５’の導通状態を検査する。Ｐ３’−Ｔ３
−導電性部材１４３−Ｔ１−Ｐ５’が導通していれば、
スルーホールＴ１、Ｔ３は導通していることになる。次
に、ヘッドピンＰ３’−Ｐ６’ の導通状態を検査す
る。Ｐ３’−Ｔ３− 導電性部材１４３−Ｔ２−Ｐ６’
が導通していれば、スルーホールＴ２，Ｔ３は導通して
いることになる。１箇所でも導通していなければ、スル
ーホールＴ１，Ｔ２，Ｔ３は導通しておらず基板２は不
良と判断される。

【００５１】上記実施形態においては、上部検査ユニッ
ト４Ｕに汎用検査治具１４１、下部検査ユニット４Ｄに
専用検査治具４１を適用することにより、双方ともに専
用検査治具４１を適用するよりも導入コスト面で１／２
以下になり、双方ともに汎用検査治具１４１を適用する
よりも検査コスト（検査時間）が１／４以下になるとい
う効果がある。

【００５２】上記実施形態においては、スルーホール検
査の際、裏面は専用の検査治具４１により実施して、検
査時間短縮を図ったが、汎用検査治具１４１により実施
してもよい。

【００５３】上記実施形態においては、接触子をＸＹＺ
方向に移動させる形式を例示したが、接触子の移動をＸ
Ｙ方向として、基板をＺ方向に移動させる形式としても
よい。

【００５４】上記実施形態においては、導電性部材とし
て、導電性ゴムを例示したが、導電性の繊維等を用いて
も良い。

【００５５】上記実施形態においては、導電性部材１４
３の形状を図示した場合に上述した効果を奏したもので
あるが、回路パターンにより適宜変更、修正が可能であ
る。また上記実施形態においては、導電性部材１４３を
ＸＹＺ方向へ移動させる形式を例示したが、さらにθ方
向（回転方向）の移動を加えることにより更なる検査回
数減少という効果を奏する。

【００５６】また、上記実施形態においては、導電性部
材１４３を１個用いたものを例示したが、複数種々の大
きさのものを使用すれば更なる検査回数減少という効果
を奏する。

【００５７】

【発明の効果】請求項１によれば、導電性部材により基
板の回路パターンを部分的に導電状態として絶縁検査対
象数を減少させることが可能となり、接触子を移動させ
る回数が削減出来て、検査時間の短縮化が可能となり、
検査コストが削減できる。

【００５８】請求項２によれば、基板の一面の回路パタ
ーンを部分的に導電性部材により導電状態として、他面
において対応する回路パターンの導通状況を検査するこ
とで基板上下の面の回路パターンを連結するスルーホー
ルの導通検査が可能となる。

【００５９】請求項３によれば、基板の一方面側で基板
を保持する背圧部材が設けられているので、基板が確実
に保持されて、基板上下の面の回路パターンを連結する
スルーホールの導通検査を精度良く行うことが可能とな
る。