JP2000343090A - 有機物含有水の処理方法 - Google Patents
有機物含有水の処理方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 有機物含有水を５価のバナジウムイオン触媒
の存在下に酸化剤で酸化処理する方法において、反応液
からバナジウムイオン触媒を効率的に分離回収する。 【解決手段】 酸化処理後に残留する酸化剤を除去した
後、第１鉄イオンを添加して鉄とバナジウムとの水酸化
共沈物を生成させ、これを固液分離する有機物含有水の
処理方法。
の存在下に酸化剤で酸化処理する方法において、反応液
からバナジウムイオン触媒を効率的に分離回収する。 【解決手段】 酸化処理後に残留する酸化剤を除去した
後、第１鉄イオンを添加して鉄とバナジウムとの水酸化
共沈物を生成させ、これを固液分離する有機物含有水の
処理方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工場等
から排出される有機物含有水中の有機物を酸化分解除去
する方法に係り、特に、有機物含有水を５価のバナジウ
ムイオン触媒の存在下に酸化剤で酸化処理する方法にお
いて、反応液からバナジウムイオン触媒を効率的に分離
回収する方法に関する。
から排出される有機物含有水中の有機物を酸化分解除去
する方法に係り、特に、有機物含有水を５価のバナジウ
ムイオン触媒の存在下に酸化剤で酸化処理する方法にお
いて、反応液からバナジウムイオン触媒を効率的に分離
回収する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工程においては、イソプロピ
ルアルコール、界面活性剤、ジメチルスルホキシド（Ｄ
ＭＳＯ）などを含む有機系洗浄剤が使用されていること
から、これらの有機物を含む洗浄排水が排出されるた
め、その排水処理が必要となる。
ルアルコール、界面活性剤、ジメチルスルホキシド（Ｄ
ＭＳＯ）などを含む有機系洗浄剤が使用されていること
から、これらの有機物を含む洗浄排水が排出されるた
め、その排水処理が必要となる。
【０００３】従来、有機物含有水に含まれる有機物の処
理方法としては、排水にアルカリを添加した後、オゾン
を溶解させて有機物を酸化分解する方法、紫外線を用い
て分解する方法、活性汚泥による生分解法が知られてい
る。
理方法としては、排水にアルカリを添加した後、オゾン
を溶解させて有機物を酸化分解する方法、紫外線を用い
て分解する方法、活性汚泥による生分解法が知られてい
る。
【０００４】このうち、オゾンによる方法では、排水中
の有機物濃度が高いと、有機物の分解速度が遅いため処
理時間が長くなり処理効率が悪いという欠点があった。
また、酸化分解のために必要なオゾン量が多く、オゾン
発生器等の装置が大型化する上、イニシャルコスト、ラ
ンニングコスト共に増大し経済的にも不利である。
の有機物濃度が高いと、有機物の分解速度が遅いため処
理時間が長くなり処理効率が悪いという欠点があった。
また、酸化分解のために必要なオゾン量が多く、オゾン
発生器等の装置が大型化する上、イニシャルコスト、ラ
ンニングコスト共に増大し経済的にも不利である。
【０００５】紫外線を用いる方法では、高圧紫外線ラン
プを使用するため装置が大型化し、電力消費増加による
コスト上昇を招く欠点がある上に、定期的に水銀ランプ
を交換廃棄する必要があるため、環境面からも好ましい
方法ではない。
プを使用するため装置が大型化し、電力消費増加による
コスト上昇を招く欠点がある上に、定期的に水銀ランプ
を交換廃棄する必要があるため、環境面からも好ましい
方法ではない。
【０００６】また、活性汚泥法では、原水の水質やｐＨ
変化などにより生分解が有効に行なわれなくなることが
あるため、運転管理が容易ではない。また、余剰汚泥が
発生するため定常的に廃棄物処理を必要とするという欠
点もある。更に、生物反応槽は設置面積も大きく、敷地
面での制約を受ける点においても不利である。
変化などにより生分解が有効に行なわれなくなることが
あるため、運転管理が容易ではない。また、余剰汚泥が
発生するため定常的に廃棄物処理を必要とするという欠
点もある。更に、生物反応槽は設置面積も大きく、敷地
面での制約を受ける点においても不利である。
【０００７】一方、金属触媒の存在下に有機物含有水に
酸化剤を添加して、排水中の有機物を酸化分解する方法
も提案されている（特開平９−１１６２号公報、特開平
１０−３０９５９０号公報）。この方法であれば、金属
触媒により酸化剤が活性化され、難分解性の有機物をも
効率的に酸化分解することができる。
酸化剤を添加して、排水中の有機物を酸化分解する方法
も提案されている（特開平９−１１６２号公報、特開平
１０−３０９５９０号公報）。この方法であれば、金属
触媒により酸化剤が活性化され、難分解性の有機物をも
効率的に酸化分解することができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】このような金属触媒を
用いる方法では、反応後、触媒を回収して有効再利用す
ることが、処理コストの低減、発生汚泥量の低減等の面
で重要となる。特に、金属触媒としてバナジウム触媒の
ような高価な触媒を用いる場合には、これを効率的に回
収して再利用することが強く望まれる。
用いる方法では、反応後、触媒を回収して有効再利用す
ることが、処理コストの低減、発生汚泥量の低減等の面
で重要となる。特に、金属触媒としてバナジウム触媒の
ような高価な触媒を用いる場合には、これを効率的に回
収して再利用することが強く望まれる。
【０００９】しかし、特開平９−１１６２号公報及び同
１０−３０９５９０号公報に記載される方法では、金属
触媒の回収についての十分な考慮がなされていない。特
開平９−１１６２号公報に記載の方法では、鉄触媒を用
いると共に、アルミニウム化合物を添加して、鉄を水酸
化アルミニウムと共に水酸化鉄として凝集分離している
が、バナジウム触媒では、このような方法では効率的な
分離回収を行うことはできない。
１０−３０９５９０号公報に記載される方法では、金属
触媒の回収についての十分な考慮がなされていない。特
開平９−１１６２号公報に記載の方法では、鉄触媒を用
いると共に、アルミニウム化合物を添加して、鉄を水酸
化アルミニウムと共に水酸化鉄として凝集分離している
が、バナジウム触媒では、このような方法では効率的な
分離回収を行うことはできない。
【００１０】本発明は、上記従来の問題点を解決し、有
機物含有水を５価のバナジウムイオン触媒の存在下に酸
化剤で酸化処理する方法において、反応液からバナジウ
ムイオン触媒を効率的に分離回収することができる有機
物含有水の処理方法を提供することを目的とする。
機物含有水を５価のバナジウムイオン触媒の存在下に酸
化剤で酸化処理する方法において、反応液からバナジウ
ムイオン触媒を効率的に分離回収することができる有機
物含有水の処理方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の有機物含有水の
処理方法は、有機物含有水を５価のバナジウムイオン触
媒の存在下に酸化剤で酸化処理する方法において、酸化
処理後に残留する酸化剤を除去した後、第１鉄イオンを
添加して鉄とバナジウムとの水酸化共沈物を生成させ、
これを固液分離することを特徴とする。
処理方法は、有機物含有水を５価のバナジウムイオン触
媒の存在下に酸化剤で酸化処理する方法において、酸化
処理後に残留する酸化剤を除去した後、第１鉄イオンを
添加して鉄とバナジウムとの水酸化共沈物を生成させ、
これを固液分離することを特徴とする。
【００１２】酸化処理後に残留する酸化剤を除去した
後、第１鉄イオンを添加すると、５価のバナジウムが４
価に還元されると共に、鉄と結合して鉄とバナジウムと
の水酸化共沈物が生成する。従って、これを固液分離す
ることにより、良好な処理水を得ると共に、バナジウム
を分離することができる。
後、第１鉄イオンを添加すると、５価のバナジウムが４
価に還元されると共に、鉄と結合して鉄とバナジウムと
の水酸化共沈物が生成する。従って、これを固液分離す
ることにより、良好な処理水を得ると共に、バナジウム
を分離することができる。
【００１３】この水酸化共沈物に、酸と酸化剤とを添加
してこれを再溶解させた後、アルカリを添加して、液中
の鉄イオンを第２鉄水酸化物として沈殿させてこれを分
離することにより、分離液分を５価のバナジウムイオン
触媒とし有効に再使用することができる。
してこれを再溶解させた後、アルカリを添加して、液中
の鉄イオンを第２鉄水酸化物として沈殿させてこれを分
離することにより、分離液分を５価のバナジウムイオン
触媒とし有効に再使用することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を詳細
に説明する。
に説明する。
【００１５】図１は本発明の有機物含有水の処理方法の
実施の形態を示す系統図である。図中、１は酸化反応
槽、２は触媒還元塔、３はＶ／Ｆｅ共沈槽、４は再溶解
槽、５はＦｅ凝沈槽である。
実施の形態を示す系統図である。図中、１は酸化反応
槽、２は触媒還元塔、３はＶ／Ｆｅ共沈槽、４は再溶解
槽、５はＦｅ凝沈槽である。
【００１６】原水（有機物含有水）はまず酸化反応槽１
に導入され、ｐＨ調整剤（ＨＣｌ、Ｈ２ＳＯ４等の酸又
はＮａＯＨ、Ｃａ（ＯＨ）２等のアルカリ）を添加して
ｐＨ調整すると共に、酸化剤及びバナジウムイオン触媒
を添加して含有される有機物を酸化分解する。
に導入され、ｐＨ調整剤（ＨＣｌ、Ｈ２ＳＯ４等の酸又
はＮａＯＨ、Ｃａ（ＯＨ）２等のアルカリ）を添加して
ｐＨ調整すると共に、酸化剤及びバナジウムイオン触媒
を添加して含有される有機物を酸化分解する。
【００１７】この酸化分解処理に当り、好適なｐＨ条件
は、原水の種類ないし主に酸化分解対象とする物質の種
類に応じて次のような範囲とするのが好ましい。
は、原水の種類ないし主に酸化分解対象とする物質の種
類に応じて次のような範囲とするのが好ましい。
【００１８】［半導体製造工程等から排出されるイソプ
ロピルアルコール、界面活性剤、ＤＭＳＯ等の難分解性
有機物を含む排水において、これらの難分解性有機物を
効率的に分解してその含有量を低減する場合］ｐＨ条件
は２〜１４、特に８〜１４の範囲とするのが好ましい。
即ち、本発明者らは、半導体製造工程から排出される難
分解性の有機物を含む排水に、酸化剤としてＨ２Ｏ２を
添加すると共にバナジウムイオン触媒を添加して酸化分
解試験を行ったところ、図２に示す如く、反応に好適な
ｐＨ条件があり、ｐＨ２〜１４、特にｐＨ８〜１４の範
囲であれば良好な分解効率が得られることを知見した。
ロピルアルコール、界面活性剤、ＤＭＳＯ等の難分解性
有機物を含む排水において、これらの難分解性有機物を
効率的に分解してその含有量を低減する場合］ｐＨ条件
は２〜１４、特に８〜１４の範囲とするのが好ましい。
即ち、本発明者らは、半導体製造工程から排出される難
分解性の有機物を含む排水に、酸化剤としてＨ２Ｏ２を
添加すると共にバナジウムイオン触媒を添加して酸化分
解試験を行ったところ、図２に示す如く、反応に好適な
ｐＨ条件があり、ｐＨ２〜１４、特にｐＨ８〜１４の範
囲であれば良好な分解効率が得られることを知見した。
【００１９】［ＤＭＳＯに代表されるアルキルスルホキ
シド等の有機硫黄化合物含有排水において、該有機硫黄
化合物を主な分解対象物質として処理を行う場合］ｐＨ
条件は５以下、特に１〜４の範囲とするのが好ましい。
即ち、本発明者らは、有機物含有排水であっても、特
に、ＤＭＳＯ、ジエチルスルホキシド等に代表されるア
ルキルスルホキシド、ジフェニルスルホキシド等のスル
ホキシド類、ジメチルスルホン（ＤＭＳＯ２）やジエチ
ルスルホンに代表されるアルキルスルホンやジフェニル
スルホン等のスルホン類、ジメチルサルファイド等のサ
ルファイド類、メチルメルカプタンやプロピルメルカプ
タン等のメルカプタン類、メタンスルホン酸等のスルホ
ン酸類、チオ酢酸等のチオン類などの有機硫黄化合物を
含有し、これを主な分解対象とする排水、具体的にはＤ
ＭＳＯ濃度１０００ｍｇ／Ｌの排水に、酸化剤としてＨ
２Ｏ２を１５ｇ／Ｌ添加すると共にバナジウムイオン触
媒５００ｍｇ／Ｌを添加して１０分間酸化分解試験を行
ったところ、図３に示す如く、反応に好適なｐＨ条件が
あり、ｐＨ５以下、特にｐＨ１〜４の範囲であれば良好
な分解効率が得られることを知見した。
シド等の有機硫黄化合物含有排水において、該有機硫黄
化合物を主な分解対象物質として処理を行う場合］ｐＨ
条件は５以下、特に１〜４の範囲とするのが好ましい。
即ち、本発明者らは、有機物含有排水であっても、特
に、ＤＭＳＯ、ジエチルスルホキシド等に代表されるア
ルキルスルホキシド、ジフェニルスルホキシド等のスル
ホキシド類、ジメチルスルホン（ＤＭＳＯ２）やジエチ
ルスルホンに代表されるアルキルスルホンやジフェニル
スルホン等のスルホン類、ジメチルサルファイド等のサ
ルファイド類、メチルメルカプタンやプロピルメルカプ
タン等のメルカプタン類、メタンスルホン酸等のスルホ
ン酸類、チオ酢酸等のチオン類などの有機硫黄化合物を
含有し、これを主な分解対象とする排水、具体的にはＤ
ＭＳＯ濃度１０００ｍｇ／Ｌの排水に、酸化剤としてＨ
２Ｏ２を１５ｇ／Ｌ添加すると共にバナジウムイオン触
媒５００ｍｇ／Ｌを添加して１０分間酸化分解試験を行
ったところ、図３に示す如く、反応に好適なｐＨ条件が
あり、ｐＨ５以下、特にｐＨ１〜４の範囲であれば良好
な分解効率が得られることを知見した。
【００２０】なお、本発明の方法では、酸化分解反応の
過程で反応系のｐＨが変化することから、反応中に連続
的又は間欠的にｐＨ調整を行うことは反応効率の向上の
面で好ましい。また、化学反応式から反応終了までのｐ
Ｈ変化を見込んでｐＨ調整剤（酸又はアルカリ）を添加
するようにしても良い。
過程で反応系のｐＨが変化することから、反応中に連続
的又は間欠的にｐＨ調整を行うことは反応効率の向上の
面で好ましい。また、化学反応式から反応終了までのｐ
Ｈ変化を見込んでｐＨ調整剤（酸又はアルカリ）を添加
するようにしても良い。
【００２１】また、酸化剤の添加量は、原水中の有機物
の分解に必要な量以上であれば良い。酸化剤の過剰添加
は特に反応を阻害するものではないが、過度に多いと酸
化剤コストが高騰する上に、後段の残留酸化剤の除去に
おける還元剤量も増大することから、通常の場合、理論
量の１〜２０重量倍程度とするのが好ましい。例えば、
酸化剤として過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）を用いた場合、下
記反応式から、ＴＯＣ１ｍｇ−Ｃ／Ｌに対するＨ２Ｏ２
の理論量は５ｍｇ／Ｌであるため、ＴＯＣ１ｍｇ−Ｃ／
Ｌに対してＨ２Ｏ２を５〜１００ｍｇ／Ｌ添加するのが
好ましい。
の分解に必要な量以上であれば良い。酸化剤の過剰添加
は特に反応を阻害するものではないが、過度に多いと酸
化剤コストが高騰する上に、後段の残留酸化剤の除去に
おける還元剤量も増大することから、通常の場合、理論
量の１〜２０重量倍程度とするのが好ましい。例えば、
酸化剤として過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）を用いた場合、下
記反応式から、ＴＯＣ１ｍｇ−Ｃ／Ｌに対するＨ２Ｏ２
の理論量は５ｍｇ／Ｌであるため、ＴＯＣ１ｍｇ−Ｃ／
Ｌに対してＨ２Ｏ２を５〜１００ｍｇ／Ｌ添加するのが
好ましい。
【００２２】＜Ｈ２Ｏ２の最低必要添加量（理論量）＞
分解すべき有機物の分子構成物質が炭素のみを仮定した
ときの必要Ｈ２Ｏ２量がＨ２Ｏ２の理論量である。仮に
ＴＯＣ成分がＣのみで構成されているとすると、以下の
通りである。 Ｃ ＋ ２Ｈ２Ｏ２ →ＣＯ２＋２Ｈ２Ｏ （ＴＯＣ：１２ｍｇ−Ｃ／Ｌ） （Ｈ２Ｏ２：６４ｍｇ−Ｈ２Ｏ２／Ｌ） 従って、ＴＯＣ１ｍｇ／Ｌに対するＨ２Ｏ２の理論量は
６４÷１２＝５ｍｇ／Ｌである。
分解すべき有機物の分子構成物質が炭素のみを仮定した
ときの必要Ｈ２Ｏ２量がＨ２Ｏ２の理論量である。仮に
ＴＯＣ成分がＣのみで構成されているとすると、以下の
通りである。 Ｃ ＋ ２Ｈ２Ｏ２ →ＣＯ２＋２Ｈ２Ｏ （ＴＯＣ：１２ｍｇ−Ｃ／Ｌ） （Ｈ２Ｏ２：６４ｍｇ−Ｈ２Ｏ２／Ｌ） 従って、ＴＯＣ１ｍｇ／Ｌに対するＨ２Ｏ２の理論量は
６４÷１２＝５ｍｇ／Ｌである。
【００２３】なお、酸化剤としては、Ｈ２Ｏ２の他、オ
ゾンや過酸化カルシウム、過硫酸アンモニウム、塩素、
次亜塩素酸、次亜塩素酸塩等を用いることができるが、
特に、比較的安価で容易に入手でき、液体で添加、混合
が容易なＨ２Ｏ２を用いるのが好ましい。
ゾンや過酸化カルシウム、過硫酸アンモニウム、塩素、
次亜塩素酸、次亜塩素酸塩等を用いることができるが、
特に、比較的安価で容易に入手でき、液体で添加、混合
が容易なＨ２Ｏ２を用いるのが好ましい。
【００２４】また、バナジウム源としては、金属バナジ
ウム、五酸化バナジウム、オキシ塩化バナジウム、三塩
化バナジウム、メタバナジン酸アンモニウム等が挙げら
れ、これ等を５価のバナジウムイオンに変換して用いる
ことができる。
ウム、五酸化バナジウム、オキシ塩化バナジウム、三塩
化バナジウム、メタバナジン酸アンモニウム等が挙げら
れ、これ等を５価のバナジウムイオンに変換して用いる
ことができる。
【００２５】酸化反応槽１の酸化反応処理液は次いで還
元剤が添加された後触媒還元塔２に導入され、残留する
酸化剤が還元分解されて除去される。ここで還元剤とし
ては、ＮａＨＳＯ３、Ｎａ２Ｓ２Ｏ３等を用いることが
できる。
元剤が添加された後触媒還元塔２に導入され、残留する
酸化剤が還元分解されて除去される。ここで還元剤とし
ては、ＮａＨＳＯ３、Ｎａ２Ｓ２Ｏ３等を用いることが
できる。
【００２６】触媒還元塔２で残留する酸化剤が除去され
た後は、次いでＶ／Ｆｅ共沈塔３に導入され、酸又はア
ルカリのｐＨ調整剤を添加してｐＨ調整すると共に、第
１鉄塩を添加してバナジウムと鉄の水酸化共沈物を析出
させる。ここで、第１鉄塩としては、ＦｅＳＯ４、Ｆｅ
Ｃｌ２、Ｆｅ（ＯＨ）２等を用いることができ、その添
加量は、バナジウムイオン触媒に対して理論量（即ち、
バナジウムに対して１モル当量）以上であれば良いが、
通常の場合、バナジウムイオン触媒に対してＦｅとして
６０〜１２０重量％添加される。
た後は、次いでＶ／Ｆｅ共沈塔３に導入され、酸又はア
ルカリのｐＨ調整剤を添加してｐＨ調整すると共に、第
１鉄塩を添加してバナジウムと鉄の水酸化共沈物を析出
させる。ここで、第１鉄塩としては、ＦｅＳＯ４、Ｆｅ
Ｃｌ２、Ｆｅ（ＯＨ）２等を用いることができ、その添
加量は、バナジウムイオン触媒に対して理論量（即ち、
バナジウムに対して１モル当量）以上であれば良いが、
通常の場合、バナジウムイオン触媒に対してＦｅとして
６０〜１２０重量％添加される。
【００２７】また、このＶ／Ｆｅ共沈槽はｐＨ調整剤に
よりｐＨ４〜１０程度に調整する。
よりｐＨ４〜１０程度に調整する。
【００２８】これにより、バナジウムイオン触媒のバナ
ジウムは４価に還元され、鉄との水酸化共沈物として沈
殿分離される。
ジウムは４価に還元され、鉄との水酸化共沈物として沈
殿分離される。
【００２９】このＶ／Ｆｅ共沈槽３の分離液は処理水と
して系外へ取り出され、沈殿物は再溶解槽４に送給され
る。
して系外へ取り出され、沈殿物は再溶解槽４に送給され
る。
【００３０】再溶解槽４では、空気又は酸素或いはオゾ
ンの散気下、酸が添加されてｐＨ２〜３に調整されると
共に、Ｈ２Ｏ２、塩素、次亜塩素酸等の酸化剤が添加さ
れてバナジウムと鉄の水酸化共沈物中のバナジウムを５
価に酸化させると共に、この共沈物を再溶解させる。
ンの散気下、酸が添加されてｐＨ２〜３に調整されると
共に、Ｈ２Ｏ２、塩素、次亜塩素酸等の酸化剤が添加さ
れてバナジウムと鉄の水酸化共沈物中のバナジウムを５
価に酸化させると共に、この共沈物を再溶解させる。
【００３１】再溶解槽４の処理液は次いでＦｅ凝沈槽５
に導入され、ＮａＯＨ、Ｃａ（ＯＨ）２等のアルカリが
添加され、ｐＨ４以上の条件下に鉄が沈殿分離される。
この鉄沈殿物（Ｆｅスラッジ）は系外へ排出され、分離
液はバナジウムイオン触媒溶液として酸化反応槽１に循
環使用される。
に導入され、ＮａＯＨ、Ｃａ（ＯＨ）２等のアルカリが
添加され、ｐＨ４以上の条件下に鉄が沈殿分離される。
この鉄沈殿物（Ｆｅスラッジ）は系外へ排出され、分離
液はバナジウムイオン触媒溶液として酸化反応槽１に循
環使用される。
【００３２】なお、図１に示す方法は、本発明の実施の
形態の一例であって、本発明はその要旨を超えない限り
何ら図示のものに限定されるものではない。例えば、有
機物含有水の酸化処理には、紫外線照射を行って酸化反
応を促進しても良い。また、酸化反応後に残留する酸化
剤の除去手段としては、還元剤添加による方法、触媒分
解法、紫外線照射法、加熱法、活性炭処理法等を採用す
ることができる。
形態の一例であって、本発明はその要旨を超えない限り
何ら図示のものに限定されるものではない。例えば、有
機物含有水の酸化処理には、紫外線照射を行って酸化反
応を促進しても良い。また、酸化反応後に残留する酸化
剤の除去手段としては、還元剤添加による方法、触媒分
解法、紫外線照射法、加熱法、活性炭処理法等を採用す
ることができる。
【００３３】
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明をより具体的に
説明する。
説明する。
【００３４】実施例１ ＴＯＣとしてメタノールを含む下記水質の有機物含有水
を図１に示す方法で処理した。用いたバナジウムイオン
触媒は五酸化バナジウム（Ｖ２Ｏ５）の水溶液である。
を図１に示す方法で処理した。用いたバナジウムイオン
触媒は五酸化バナジウム（Ｖ２Ｏ５）の水溶液である。
【００３５】［有機物含有水水質］ ＴＯＣ ：１０００ｍｇ／Ｌ ｐＨ ：５．３ この有機物含有水にＨ２Ｏ２７５００ｍｇ／Ｌと、バナ
ジウムイオン触媒を添加すると共にｐＨ調整剤を添加し
てｐＨ１０に調整し、酸化反応槽１で反応させた。この
酸化反応処理液に還元剤としてＮａＨＳＯ３を５００ｍ
ｇ／Ｌ添加した後、触媒還元塔２で触媒（活性炭触媒）
還元処理した。次いで、還元処理水をＶ／Ｆｅ共沈槽３
に導入し、第１鉄塩としてＦｅＣｌ２を１０ｍｇ／Ｌ添
加すると共にｐＨ調整剤としてＮａＯＨを添加してｐＨ
９に調整することによりバナジウムと鉄の水酸化共沈物
を析出させ、上澄水を処理水として取り出した。一方、
分離汚泥を再溶解槽４に導入し、酸（ＨＣｌ）を添加し
てｐＨ２に調整し、酸化剤としてＨ２Ｏ２を１００ｍｇ
／Ｌ添加すると共に空気酸化して共沈物を再溶解させ
た。
ジウムイオン触媒を添加すると共にｐＨ調整剤を添加し
てｐＨ１０に調整し、酸化反応槽１で反応させた。この
酸化反応処理液に還元剤としてＮａＨＳＯ３を５００ｍ
ｇ／Ｌ添加した後、触媒還元塔２で触媒（活性炭触媒）
還元処理した。次いで、還元処理水をＶ／Ｆｅ共沈槽３
に導入し、第１鉄塩としてＦｅＣｌ２を１０ｍｇ／Ｌ添
加すると共にｐＨ調整剤としてＮａＯＨを添加してｐＨ
９に調整することによりバナジウムと鉄の水酸化共沈物
を析出させ、上澄水を処理水として取り出した。一方、
分離汚泥を再溶解槽４に導入し、酸（ＨＣｌ）を添加し
てｐＨ２に調整し、酸化剤としてＨ２Ｏ２を１００ｍｇ
／Ｌ添加すると共に空気酸化して共沈物を再溶解させ
た。
【００３６】再溶解槽４の流出液は次いでＦｅ凝沈槽に
導入し、アルカリ（ＮａＯＨ）を添加してｐＨ４に調整
することにより、第２鉄水酸化物を沈殿させた。得られ
た沈殿はＦｅ凝沈槽５の下部より排出した。一方、分離
液はバナジウムイオン触媒溶液として酸化反応槽１に返
送した。
導入し、アルカリ（ＮａＯＨ）を添加してｐＨ４に調整
することにより、第２鉄水酸化物を沈殿させた。得られ
た沈殿はＦｅ凝沈槽５の下部より排出した。一方、分離
液はバナジウムイオン触媒溶液として酸化反応槽１に返
送した。
【００３７】この処理によれば、有機物含有水１ｍ３を
処理するに当り、Ｆｅ凝沈槽５の上澄水として、９．３
重量％のバナジウムイオンを含むバナジウムイオン触媒
溶液１０．５Ｌを得ることができ、これを循環再利用す
ることで、循環処理を行わない場合のバナジウムイオン
触媒使用量の９８重量％を削減することができた。
処理するに当り、Ｆｅ凝沈槽５の上澄水として、９．３
重量％のバナジウムイオンを含むバナジウムイオン触媒
溶液１０．５Ｌを得ることができ、これを循環再利用す
ることで、循環処理を行わない場合のバナジウムイオン
触媒使用量の９８重量％を削減することができた。
【００３８】なお、得られた処理水の水質は下記の通り
であり、処理水水質も良好であった。
であり、処理水水質も良好であった。
【００３９】［処理水水質］ ＴＯＣ ：１ｍｇ／Ｌ ｐＨ ：９．２ 実施例２ 下記水質のＤＭＳＯ含有水を図１に示す方法で処理し
た。このＤＭＳＯ含有水のＤＭＳＯ以外のＴＯＣはイソ
プロピルアルコール、界面活性剤等である。用いたバナ
ジウムイオン触媒は五酸化バナジウム（Ｖ２Ｏ５）の水
溶液である。
た。このＤＭＳＯ含有水のＤＭＳＯ以外のＴＯＣはイソ
プロピルアルコール、界面活性剤等である。用いたバナ
ジウムイオン触媒は五酸化バナジウム（Ｖ２Ｏ５）の水
溶液である。
【００４０】［ＤＭＳＯ含有水水質］ ＤＭＳＯ ：１０００ｍｇ／Ｌ ＴＯＣ ：３００ｍｇ／Ｌ ｐＨ ：５．８ このＤＭＳＯ含有水１ｍ３にＨ２Ｏ２１．４ｋｇと、バ
ナジウムイオン触媒を添加すると共にＨＣｌを添加して
ｐＨ３に調整し、酸化反応槽１で反応させた。この酸化
反応処理液に還元剤としてＮａＨＳＯ３を５００ｍｇ／
Ｌ添加した後、触媒還元塔２で触媒（活性炭触媒）還元
処理した。次いで、還元処理水をＶ／Ｆｅ共沈槽３に導
入し、第１鉄塩としてＦｅＣｌ２を１０００ｍｇ／Ｌ添
加すると共にｐＨ調整剤としてＮａＯＨを添加してｐＨ
９に調整することによりバナジウムと鉄の水酸化共沈物
を析出させ、上澄水を処理水として取り出した。一方、
分離汚泥を再溶解槽４に導入し、酸（ＨＣｌ）を添加し
てｐＨ２に調整し、酸化剤としてＨ２Ｏ２を１００００
ｍｇ／Ｌ添加すると共に空気酸化して共沈物を再溶解さ
せた。
ナジウムイオン触媒を添加すると共にＨＣｌを添加して
ｐＨ３に調整し、酸化反応槽１で反応させた。この酸化
反応処理液に還元剤としてＮａＨＳＯ３を５００ｍｇ／
Ｌ添加した後、触媒還元塔２で触媒（活性炭触媒）還元
処理した。次いで、還元処理水をＶ／Ｆｅ共沈槽３に導
入し、第１鉄塩としてＦｅＣｌ２を１０００ｍｇ／Ｌ添
加すると共にｐＨ調整剤としてＮａＯＨを添加してｐＨ
９に調整することによりバナジウムと鉄の水酸化共沈物
を析出させ、上澄水を処理水として取り出した。一方、
分離汚泥を再溶解槽４に導入し、酸（ＨＣｌ）を添加し
てｐＨ２に調整し、酸化剤としてＨ２Ｏ２を１００００
ｍｇ／Ｌ添加すると共に空気酸化して共沈物を再溶解さ
せた。
【００４１】再溶解槽４の流出液は次いでＦｅ凝沈槽に
導入し、アルカリ（ＮａＯＨ）を添加してｐＨ４に調整
することにより、第２鉄水酸化物を沈殿させた。得られ
た沈殿はＦｅ凝沈槽５の下部より排出した。一方、分離
液はバナジウムイオン触媒溶液として酸化反応槽１に返
送した。
導入し、アルカリ（ＮａＯＨ）を添加してｐＨ４に調整
することにより、第２鉄水酸化物を沈殿させた。得られ
た沈殿はＦｅ凝沈槽５の下部より排出した。一方、分離
液はバナジウムイオン触媒溶液として酸化反応槽１に返
送した。
【００４２】この処理によれば、ＤＭＳＯ含有水１ｍ３
を処理するに当り、Ｆｅ凝沈槽５の上澄水として、５重
量％のバナジウムイオンを含むバナジウムイオン触媒溶
液１０Ｌを得ることができ、これを循環再利用すること
で、循環処理を行わない場合のバナジウムイオン触媒使
用量の約９８重量％を削減することができた。
を処理するに当り、Ｆｅ凝沈槽５の上澄水として、５重
量％のバナジウムイオンを含むバナジウムイオン触媒溶
液１０Ｌを得ることができ、これを循環再利用すること
で、循環処理を行わない場合のバナジウムイオン触媒使
用量の約９８重量％を削減することができた。
【００４３】なお、得られた処理水１ｍ３の水質は下記
の通りであり、処理水水質も良好であった。
の通りであり、処理水水質も良好であった。
【００４４】［処理水水質］ ＤＭＳＯ ：＜１ｍｇ／Ｌ ＴＯＣ ：＜１０ｍｇ／Ｌ ｐＨ ：９
【００４５】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の有機物含有
水の処理方法によれば、有機物含有水を５価のバナジウ
ムイオン触媒の存在下に酸化剤で酸化処理する方法にお
いて、反応液からバナジウムイオン触媒を効率的に分離
回収して再利用することができる。
水の処理方法によれば、有機物含有水を５価のバナジウ
ムイオン触媒の存在下に酸化剤で酸化処理する方法にお
いて、反応液からバナジウムイオン触媒を効率的に分離
回収して再利用することができる。
【図１】本発明の有機物含有水の処理方法の実施の形態
を示す系統図である。
を示す系統図である。
【図２】半導体製造工程の洗浄排水を処理する場合の処
理ｐＨとＴＯＣ濃度との関係を示すグラフである。
理ｐＨとＴＯＣ濃度との関係を示すグラフである。
【図３】ＤＭＳＯ含有排水を処理する場合の処理ｐＨと
ＴＯＣ濃度との関係を示すグラフである。
ＴＯＣ濃度との関係を示すグラフである。
１ 酸化反応槽 ２ 触媒還元塔 ３ Ｖ／Ｆｅ共沈槽 ４ 再溶解槽 ５ Ｆｅ凝沈槽
フロントページの続き Ｆターム(参考） 4D050 AA13 AB02 AB07 AB14 AB18 AB53 BA04 BA07 BA10 BB01 BB09 BB20 BC05 BC06 BC10 BD02 BD06 BD08 CA13 CA16 4G069 AA10 BA36A BB04A BB04B BC54A BC54B CA05 CA07 GA13
Claims (2)
- 【請求項１】 有機物含有水を５価のバナジウムイオン
触媒の存在下に酸化剤で酸化処理する方法において、 酸化処理後に残留する酸化剤を除去した後、第１鉄イオ
ンを添加して鉄とバナジウムとの水酸化共沈物を生成さ
せ、これを固液分離することを特徴とする有機物含有水
の処理方法。 - 【請求項２】 請求項１の方法において、固液分離した
水酸化共沈物に酸と酸化剤とを添加して再溶解した後、
アルカリを添加して第２鉄水酸化物を生成させ、これを
固液分離し、分離液を５価のバナジウムイオン触媒とし
て再利用することを特徴とする有機物含有水の処理方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11311213A JP2000343090A (ja) | 1999-04-01 | 1999-11-01 | 有機物含有水の処理方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9516599 | 1999-04-01 | ||
| JP11-95165 | 1999-04-01 | ||
| JP11311213A JP2000343090A (ja) | 1999-04-01 | 1999-11-01 | 有機物含有水の処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000343090A true JP2000343090A (ja) | 2000-12-12 |
Family
ID=26436442
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11311213A Pending JP2000343090A (ja) | 1999-04-01 | 1999-11-01 | 有機物含有水の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000343090A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001070950A (ja) * | 1999-09-02 | 2001-03-21 | Kurita Water Ind Ltd | ジメチルスルホキシド含有排水の処理方法及び処理装置 |
| JP2015151613A (ja) * | 2014-02-19 | 2015-08-24 | 住友大阪セメント株式会社 | セメント製造に用いる廃棄物系燃焼灰の処理方法及び処理装置 |
-
1999
- 1999-11-01 JP JP11311213A patent/JP2000343090A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001070950A (ja) * | 1999-09-02 | 2001-03-21 | Kurita Water Ind Ltd | ジメチルスルホキシド含有排水の処理方法及び処理装置 |
| JP2015151613A (ja) * | 2014-02-19 | 2015-08-24 | 住友大阪セメント株式会社 | セメント製造に用いる廃棄物系燃焼灰の処理方法及び処理装置 |
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