JP2000357661A

JP2000357661A - ウエハ支持具

Info

Publication number: JP2000357661A
Application number: JP11169449A
Authority: JP
Inventors: Saburo Yamashita; 三郎山下
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1999-06-16
Filing date: 1999-06-16
Publication date: 2000-12-26

Abstract

(57)【要約】【課題】大量のウエハを支持でき、かつ製造コストの
上昇を抑えることができるウエハ支持具を提供する。【解決手段】ボート１００は、支持板１０１と、支持
板１０１の上方で互いに間隔を隔てて位置決めされた複
数のウエハ１５２および１５３からなるウエハ列を複数
列支持する支柱１１０、１２１、１２２および１２３と
を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ウエハ支持具に
関し、特に、ウエハ上に薄膜を成長させる気相成長法で
用いるウエハ支持具に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体装置の製造工程では、ウエ
ハ上に薄膜を成長させるＣＶＤ（化学気相成長法）が用
いられている。

【０００３】ＣＶＤのうち、１気圧よりも低い低圧条件
で膜を成長させる減圧ＣＶＤは、膜質やステップカバレ
ッジが良好であり、大量のウエハに膜を形成することが
できる。減圧ＣＶＤでは、ウエハをウエハ支持具に載置
し、このウエハ支持具をＣＶＤ用の炉の中に入れる。こ
の炉内の圧力を調整し、炉内に原料となるガスを導入す
ることにより膜を形成する。

【０００４】図９は、従来の減圧ＣＶＤで用いられるウ
エハ支持具（ボート）の上面図であり、図１０は、図９
中の矢印Ｘで示す方向から見たボートの側面図である。
これらの図を参照して、ウエハ支持具としてのボート５
００は、底板５０１と、支柱５１１、５１２、５１３お
よび５１４と、天板５６０とを備える。なお、図９は、
天板５６０を取除いた状態でのボート５００の上面図で
ある。

【０００５】底板５０１上には、４本の支柱５１１、５
１２、５１３および５１４がそれぞれ間隔を隔てて一方
向に延びるように設けられている。支柱５１１、５１
２、５１３および５１４には、それぞれ、ウエハを受入
れるための切欠５１１ａ、５１２ａ、５１３ａおよび５
１４ａが形成されている。ウエハ５５１は、この切欠５
１１ａ、５１２ａ、５１３ａおよび５１４ａに嵌め合さ
れることによりボート５００に支持される。ウエハ５５
１は、ボート５００内で鉛直上方に互いに間隔を隔てて
１列に並ぶように支持される。

【０００６】支柱５１１、５１２、５１３および５１４
の一方端は底板５０１に固定され、他方端は、天板５６
０に固定される。

【０００７】このように複数枚のウエハ５５１が保持さ
れたボート５００を減圧ＣＶＤ用の炉に入れることによ
り、ウエハ５５１のそれぞれに薄膜を形成することがで
きる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上述のようなボート５
００の問題点について以下説明する。

【０００９】従来のボート５００では、ウエハ５５１は
図１０で示すように、１列に並ぶように位置決めされ
る。そのため、ボート５００で支持できるウエハの数を
増やすことが困難であり、ウエハの処理能力が低いとい
う問題があった。

【００１０】さらに、炉内でのウエハの処理能力を高め
るために複数のボート５００を用意する場合には、ボー
トの製造コストが増加するという問題があった。

【００１１】そこで、この発明は、上述のような問題点
を解決するためになされたものであり、大量のウエハを
支持でき、かつ製造コストの上昇を抑えることができる
ウエハ支持具を提供することを目的とするものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この発明に従ったウエハ
支持具は、ベース部材と、ベース部材の上方で互いに間
隔を隔てて位置決めされた複数のウエハからなるウエハ
列を複数列、支持する支持部材とを備える。

【００１３】このようなウエハ支持具は、複数列のウエ
ハ列を支持する。そのため、１列のウエハを支持する場
合に比べて、大量のウエハを支持することができる。

【００１４】また、１つの支持部材が複数列のウエハを
支持するため、１つの支持部材が１つのウエハ列を支持
する場合に比べて支持部材の数を減らすことができる。
そのため、ウエハ支持具の小型化、部品点数の削減によ
りウエハ支持具の製造コストの上昇を抑えることができ
る。

【００１５】好ましくは、複数列のウエハ列は、第１と
第２と第３のウエハ列を含む。支持部材は第１と第２と
第３と第４の支持部材を含む。第１と第２と第３の支持
部材が第１のウエハ列を支持する。第１と第３と第４の
支持部材が第２のウエハ列を支持する。第１と第２と第
４の支持部材が第３のウエハ列を支持する。

【００１６】また、好ましくは、複数列のウエハ列は第
１と第２のウエハ列を含む。支持部材は第１と第２と第
３と第４と第５の支持部材を含む。第１と第２と第３の
支持部材が第１のウエハ列を支持する。第１と第４と第
５の支持部材が第２のウエハ列を支持する。

【００１７】また、好ましくは、複数列のウエハ列は第
１と第２と第３と第４のウエハ列を含む。支持部材は第
１と第２と第３と第４の支持部材を含む。第１と第２の
支持部材が第１のウエハ列を支持する。第２と第３の支
持部材が第２のウエハ列を支持する。第３と第４の支持
部材が第３のウエハ列を支持する。第１と第４の支持部
材が第４のウエハ列を支持する。

【００１８】また、好ましくは、支持部材は、支柱と、
複数の支持棒とを含む。支柱はベース部材の鉛直上方に
延びる。複数の支持棒はウエハ列を構成する複数のウエ
ハの各々の端部に接触するように支柱から水平方向の延
び、鉛直上方に間隔をあけて配置される。

【００１９】また、好ましくは、支持部材は、支柱と、
複数の切欠部とを含む。支柱は、ベース部材の鉛直上方
に延びる。複数の切欠部はウエハ列を構成する複数のウ
エハの各々の端部に接触するように支柱の外周面に鉛直
上方に間隔をあけて形成される。

【００２０】また、好ましくは、支持部材は、支柱と、
複数の支持棒とを含む。支柱はベース部材の鉛直上方に
延びる。複数の支持棒は、ウエハ列を構成する複数のウ
エハの各々の端部に接触するように支柱から水平方向に
延び、水平方向に間隔をあけて配置される。

【００２１】また、好ましくは、支持部材は、支柱と複
数の切欠部とを含む。支柱はベース部材の鉛直上方に延
びる。複数の切欠部は、ウエハ列を構成する複数のウエ
ハの各々の端部に接触するように支柱の外周面に水平方
向に間隔をあけて形成される。

【００２２】また、好ましくは、１つの支持部材が２列
のウエハ列を支持する。さらに好ましくは、１つの支持
部材が３列のウエハ列を支持する。

【００２３】また、好ましくは、ウエハ支持具は、ベー
ス部材を回転させる回転手段をさらに備える。

【００２４】この場合、複数列のウエハ列をウエハ支持
具に搭載する際に、あるウエハ列を、ロボットを用いて
搭載し、その後、ベース部材を回転させ、別のウエハ列
をロボットを用いて搭載することができる。その結果、
ウエハ支持具に複数列のウエハ列を搭載する速度を向上
させることができる。

【００２５】また、ベース部材が回転することにより、
その上のウエハも回転するので、ＣＶＤによりウエハの
表面にガスを接触させて膜を形成する場合、ガスがウエ
ハの表面に均一に接触する。その結果、均一の厚さの膜
を形成することができる。

【００２６】また、好ましくは、ベース部材の回転中心
を取り囲むように複数列のウエハ列が位置決めされてい
る。この場合、スムーズにベース部材が回転する。

【００２７】また、好ましくは、複数列のウエハ列のそ
れぞれはベース部材の外周部に沿って設けられている。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて、図面を参照して説明する。

【００２９】（実施の形態１）図１は、この発明の実施
の形態１に従ったボートの上面図であり、図２は、図１
中の矢印ＩＩで示す方向から見たボートの側面図であ
る。図１を参照して、ウエハ支持具としてのボート１０
０は、ベース部材としての底板１０１と、支持部材とし
ての支柱１１０、１２１、１２２および１２３を備え
る。

【００３０】底板１０１は円盤形状であり、そのほぼ中
央部に支柱１１０が固定されている。支柱１１０の周囲
には、３本の支柱１２１、１２２および１２３が底板１
０１に固定されている。支柱１２１、１２２および１２
３の径は支柱１１０の径よりも小さい。支柱１２１、１
２２および１２３と支柱１１０との間のそれぞれの距離
はほぼ等しい。

【００３１】支柱１２１、１２２および１２３には、そ
れぞれ、ウエハを支持する支持棒１３１、１３２、１３
３、１３４、１３５および１３６が互いに水平方向に間
隔をあけて取付けられている。支持棒１３１、１３２、
１３３、１３４、１３５および１３６の一方端は支柱１
２１、１２３および１２４に取りつけられ、他方端はウ
エハに接触してウエハの重量を支持する。

【００３２】第１の支持部材としての支柱１１０と、第
２の支持部材としての支柱１２１と、第３の支持部材と
しての支柱１２２とがウエハ１５１により構成される第
１のウエハ列を支持する。支柱１１０と支柱１２２と第
４の支持部材としての支柱１２３とがウエハ１５２によ
り構成される第２のウエハ列を支持する。支柱１１０と
支柱１２１と支柱１２３とがウエハ１５３により構成さ
れる第３のウエハ列を支持する。

【００３３】また、図１では示していないが、底板１０
１の下には回転手段としてのモータが設けられており、
このモータが底板１０１を矢印１９０で示す方向に回転
させる。支柱１１０は支持板１０１の回転中心に位置す
る。第１から第３のウエハ列はそれぞれ底板１０１の外
周部に沿って、かつ回転中心を取囲むように位置決めさ
れている。

【００３４】ボート１００から離れた位置にはウエハを
搭載するためのロボット１８０および１８２が設けられ
ている。ロボット１８０および１８２はそれぞれアーム
１８１および１８３を有する。

【００３５】図２を参照して、ボート１００の底板１０
１には回転手段としてのモータ１７０が回転軸１７１を
介在させて取付けられている。モータ１７０が底板１０
１を回転させることにより、その上のウエハが回転（公
転）する。支柱１１０、１２１、１２２および１２３
は、それぞれほぼ平行に鉛直上方に延びている。支柱１
１０の外周面には、ウエハを支持するための切欠１１１
および１１２が互いに鉛直方向に間隔をあけて、かつ互
いに水平方向に間隔をあけて設けられている。切欠１１
１はウエハ１５２を支持し、切欠１１２はウエハ１５３
を支持する。また、図２には示していないが、ウエハ１
５１を支持する切欠が支柱１１０に設けられている。支
柱１１０は、ウエハ１５１、１５２および１５３からな
る３列のウエハ列を支持する。

【００３６】支柱１２１には、複数のウエハ１５３を互
いに間隔を隔てて支えるために複数の支持棒１３１がそ
れぞれウエハ１５１に対応した位置に設けられ、ウエハ
１５３を支持している。支柱１２２には複数のウエハ１
５２を互いに間隔を隔てて支えるために複数の支持棒１
３４がそれぞれウエハ１５２に対応した位置に設けら
れ、ウエハ１５２を支持している。支柱１２３には複数
のウエハ１５２および１５３を互いに間隔を隔てて支え
るために、それぞれ複数の支持棒１３５および１３６が
ウエハ１５２および１５３に対応した位置に設けられ、
ウエハ１５２および１５３を支持している。

【００３７】支柱１１０、１２１、１２２および１２３
の一方端は底板１０１に固定され、他方端は天板１６０
に固定されている。なお、この天板１６０は図１では示
していない。

【００３８】支持棒１３１、１３４、１３５および１３
６は、支柱１２１、１２２および１２３から水平に延び
ている。また、支持棒１３１、１３４、１３５および１
３６は、互いに鉛直方向および水平方向に間隔をあけて
設けられている。

【００３９】底板１０１、支柱１１０、１２１、１２２
および１２３、支持棒１３１、１３２、１３３、１３
４、１３５および１３６、天板１６０の材質としては、
耐熱性、耐腐食性が高く高純度で加工精度の高い材質、
たとえば、石英、シリコン、炭化ケイ素が挙げられる。
また、ウエハ１５１〜１５３の直径は特に限られるもの
ではない。

【００４０】このようなボート１００を用いれば、図１
および２で示すように、複数列のウエハ列を支持するこ
とができる。そのため、１つの列だけを支持する従来の
ボートに比べて、多くのウエハを支持することができ
る。これらのウエハを支持した状態で減圧ＣＶＤ装置に
よりウエハの表面に膜を形成すれば、大量のウエハに膜
を形成することができる。

【００４１】また、このボート１００では、１つの支柱
が３列のウエハ列を支持する。たとえば、支柱１１０
は、ウエハ１５１により構成される第１のウエハ列と、
ウエハ１５２により構成される第２のウエハ列と、ウエ
ハ１５３により構成される第３のウエハ列とを支持す
る。また、支柱１２１は第１と第３のウエハ列を支持
し、支柱１２２は第１と第２のウエハ列を支持し、支柱
１２３は第２と第３のウエハ列を支持する。このよう
に、１つの支柱が複数列をウエハ列を支持することによ
り、支柱の本数を減らすことができる。そのため、ボー
ト１００の小型化を図り、さらには、部品点数を減らす
ことができ、ボート１００の製造コストを低下させるこ
とができる。

【００４２】また、ボート１００にウエハ１５１、１５
２、１５３を搭載する際には、図１で示すようなロボッ
ト１８０および１８２を用いることにより、まず、ウエ
ハ１５２からなる第２のウエハ列とウエハ１５３からな
る第３のウエハ列とを搭載させることができる。その
後、モータ１７０により底板１０１を矢印１９０で示す
方向に回転させ、ロボット１８０を用いてウエハ１５１
により構成される第１のウエハ列を搭載することができ
る。このように、モータ１７０を設けることにより、ロ
ボットによるウエハの搭載を迅速に行なうことができウ
エハ処理時間の短縮を図ることができる。

【００４３】さらに、減圧ＣＶＤによりウエハ１５１〜
１５３のそれぞれの表面に膜を形成する際に、モータ１
７０が底板１０１を回転させることができる。これによ
り、ウエハ１５１〜１５３も回転する。膜を形成する際
には、その膜の原料となるガスが供給されており、それ
ぞれのウエハ１５１〜１５３が回転することにより、ウ
エハの表面に均一にガスが接触する。これにより、それ
ぞれのウエハ１５１〜１５３の表面に厚さの等しい膜を
製造することができ、膜の品質がさらに高くなる。

【００４４】（実施の形態２）図３は、この発明の実施
の形態２に従ったボートの上面図である。図４は、図３
中の矢印ＩＶで示す方向から見たボートの側面図であ
る。また、図５は、図３中の矢印Ｖで示す方向から見た
ボートの側面図である。

【００４５】図３を参照して、ボート２００は、ベース
部材としての底板２０１と、支持部材としての支柱２１
０、２２１、２２２、２２３および２２４を備える。底
板２０１は円盤形状であり、その下には、図３では示さ
ないが、回転手段としてのモータが取付けられている。
底板２０１のほぼ中心に支柱２１０が設けられている。
底板２０１の外周部に支柱２２１、２２２、２２３およ
び２２４が設けられている。支持棒２３１、２３２、２
３３および２３４の一方端が支柱２１０に取付けられ、
他方端がウエハに接触してウエハを支持している。第１
の支持部材としての支柱２１０と、第２の支持部材とし
ての支柱２１１と、第３の支持部材としての支柱２２２
とがウエハ２５１により構成される第１のウエハ列を支
持する。支柱２１０と、第４の支持部材としての支柱２
２３と、第５の支持部材としての支柱２２４とが、ウエ
ハ２５２により構成される第２のウエハ列を支持する。
支持棒２３１と２３２がウエハ２５１を支持し、支持棒
２３３と２３４がウエハ２５２を支持する。

【００４６】図４を参照して、ボート２００の底板２０
１には回転軸２７１を介在させて回転手段としてのモー
タ２７０が取付けられている。モータ２７０が底板２０
１を回転させることにより、ウエハ２５１および２５２
が回転（公転）する。底板２０１には支柱２１０、２２
１および２２４が固定されている。支柱２１０、２２１
および２２４は互いに平行に鉛直上方に延びるように位
置決めされている。

【００４７】支柱２２１は複数のウエハ２５１により構
成されるウエハ列を互いに間隔を隔てて支持する。支柱
２２４は、複数のウエハ２５２により構成されるウエハ
列を互いに間隔を隔てて支持する。支柱２１０には複数
本の支持棒２３１が支柱２１０から水平に延びるように
取付けられている。支持棒２３１のそれぞれは複数のウ
エハ２５１のそれぞれに対応した位置に取付けられる。
支柱２１０には複数本の支持棒２３４が支柱２１０から
水平に延びるように取付けられている。支持棒２３４の
それぞれはウエハ２５２のそれぞれに対応した位置に取
付けられている。

【００４８】支柱２１０、２２１および２２４の一方端
は底板２０１に固定され、他方端は天板２６０に固定さ
れる。なお、図３は、天板２６０を取除いた状態でのボ
ートの上面図である。

【００４９】図５を参照して、支柱２２１には切欠２２
１ａが複数個設けられている。切欠２２１ａにウエハ２
５１を嵌め込むことによって、ウエハ２５１が支柱２２
１により保持される。また、図３中の支柱２２２、２２
３および２２４のそれぞれにも切欠が設けられており、
これらの切欠のそれぞれにウエハのそれぞれを嵌め込む
ことにより、ウエハを支持する。支持棒２３１および２
３４と切欠２２１ａは、それぞれ互いに鉛直方向および
水平方向に間隔をあけて設けられている。

【００５０】底板２０１、支柱２１０、２２１、２２
２、２２３および２２４、天板２６０の材質としては、
石英、シリコン、炭化ケイ素を用いることができる。

【００５１】このようなボート２００を用いれば、２列
のウエハ列を支持することができるため、従来のボート
に比べて多くのウエハを支持することができる。そのた
め、このボート２００を用いることにより、大量のウエ
ハの表面に膜を形成することができ、ウエハの処理能力
を向上させることができる。

【００５２】さらに、第１の支持部材としての支柱２１
０は、ウエハ２５１により構成される第１のウエハ列
と、ウエハ２５２により構成される第２のウエハ列とを
支持するのに共用される。そのため、支柱の数を減らす
ことができ、ボートの小型化と部品点数の削減により製
造コストを低下させることができる。

【００５３】また、図１で示すようなロボット１８０お
よび１８２を用いることにより、ボート２００に２つの
ウエハ列を搭載することができる。

【００５４】さらに、ウエハ２５１および２５２の表面
に膜を形成している際にモータ２７０が底板２０１を回
転させることにより、高品質の膜を製造することができ
る。

【００５５】（実施の形態３）図６は、この発明の実施
の形態３に従ったボートの上面図である。図７は、図６
中の矢印ＶＩＩで示す方向から見たボート側面図であ
り、図８は図６の矢印ＶＩＩＩで示す方向から見たボー
トの側面図である。

【００５６】図６を参照して、ウエハ支持具としてのボ
ート３００は、ベース部材としての底板３０１と、支持
部材としての支柱３２１、３２２、３２３および３２４
とを備える。支柱３２１、３２２、３２３および３２４
は、それぞれ底板３０１に取付けられている。底板３０
１に支持部材としての支柱３１１、３１２、３１３およ
び３１４が取付けられている。支柱３２１、３２２、３
２３および３２４にはウエハ３５１、３５２、３５３お
よび３５４のそれぞれを支持する支持棒３３１〜３３８
が互いに水平方向および鉛直方向に間隔をあけて取付け
られている。支持棒３３１〜３３８の一方端は支柱３２
１、３２２、３２３および３２４に接続され、他方端は
ウエハ３５１、３５２、３５３および３５４のそれぞれ
の重量を支持する。

【００５７】第１の支持部材としての支柱３２１と、第
２の支持部材としての支柱３２２と、第５の支持部材と
しての支柱３１１とがウエハ３５１により構成される第
１のウエハ列を支持する。支柱３２２と、第３の支持部
材としての支柱３２３と、第６の支持部材としての支柱
３１２とがウエハ３５２により構成される第２のウエハ
列を支持する。支柱３２３と、第４の支持部材としての
支柱３２４と、第７の支持部材としての支柱３１３がウ
エハ３５３により構成される第３のウエハ列を支持す
る。支柱３２１と、支柱３２４と、第８の支持部材とし
ての支柱３１４がウエハ３５４により構成される第４の
ウエハ列を支持する。

【００５８】底板３０１の下には、図６では示さないが
回転手段としてのモータが取付けられており、底板３０
１を回転させる。底板３０１の回転中心は、底板３０１
のほぼ中心に位置し、この回転中心を取り囲むようにウ
エハ列が設けられる。また、ウエハ列は底板３０１の外
周部に沿って設けられる。

【００５９】図７を参照して、ボート３００の底板３０
１には、回転軸３７１を介在させて回転手段としてのモ
ータ３７０が取付けられている。モータ３７０が底板３
０１を回転させることにより、底板３０１上のウエハ３
５１、３５２、３５３および３５４が回転（公転）す
る。底板３０１には、支柱３１３、３１４、３２１、３
２３および３２４が互いに平行に鉛直上方に延びるよう
に形成されている。

【００６０】支柱３１３、３１４、３２１、３２３およ
び３２４の一方端は底板３０１に固定され、他方端は天
板３６０に固定される。なお、図６は、天板３６０を外
した状態でのボート３００の上面図である。

【００６１】支柱３２１には、複数のウエハ３５４のそ
れぞれを互いに間隔を隔てて支持するための支持棒３３
１が取付けられている。支持棒３３１は複数のウエハ３
５４のそれぞれに対応した位置に取付けられている。

【００６２】支柱３２４には複数のウエハ３５４のそれ
ぞれを互いに間隔を隔てて支持するための支持棒３３８
が取付けられている。支持棒３３８は複数のウエハ３５
４のそれぞれに対応した位置に取付けられている。支持
棒３３１、３３６、３３７および３３８は、支柱３２
１、３２３および３２４から水平に延びている。

【００６３】支柱３２３には、複数のウエハ３５３のそ
れぞれを互いに間隔を隔てて支持するための支持棒３３
６が取付けられている。支持棒３３６のそれぞれは複数
のウエハ３５３のそれぞれに対応した位置に取付けられ
ている。

【００６４】支柱３２４には、複数のウエハ３５３のそ
れぞれを支持する複数の支持棒３３７が取付けられてい
る。支持棒３３７のそれぞれは複数のウエハ３５３のそ
れぞれに対応した位置に取付けられている。また、ウエ
ハ３５４は支柱３１４により支持される。ウエハ３５３
は支柱３１３により支持される。底板３０１、支柱３１
１〜３１４、３２１〜３２４、天板３６０の材質は、実
施の形態２と同様である。

【００６５】図８を参照して、支柱３１３の外周には、
ウエハ３５３を受入れるための切欠３１３ａが互いに鉛
直方向に間隔をあけて設けられている。このような切欠
３１３ａは支柱３１３に複数個設けられている。また、
図６で示す他の支柱３１１、３１２および３１４にもこ
のような切欠が設けられており、切欠にウエハを嵌め合
せることによりウエハを支持することができる。

【００６６】このように構成されたボート３００に従え
ば、まず、第１から第４の複数列のウエハ列を支持する
ことができる。そのため、１つのウエハ列を支持するボ
ートに比べて多くのウエハを支持することができる。こ
れらのウエハを支持した状態で減圧ＣＶＤ用装置によ
り、多くのウエハの表面に膜を形成することができ、ウ
エハの処理能力を向上させることができる。

【００６７】また、支柱３２１、３２２、３２３および
３２４のそれぞれが２列のウエハ列を支持する。そのた
め、１つの支柱が１つのウエハ列を支持する場合に比べ
て支柱の数を減らすことができる。その結果、ボートの
小型化および部品点数の削減により製造コストの上昇を
抑えることができる。

【００６８】また、図１で示すようなロボット１８０お
よび１８２を用いれば、ボート３００へのウエハ３５１
〜３５４の搭載を迅速に行なうことができる。具体的に
は、まず、ロボット１８０および１８２を用いてウエハ
３５１により構成される第１のウエハ列とウエハ３５２
により構成される第２のウエハ列とを搭載する。次に、
モータ３７０により底板３０１を１８０度回転させる。
その後、ロボット１８０およびロボット１８２を用いて
ウエハ３５３で構成される第３のウエハ列とウエハ３５
４により構成される第４のウエハ列とを搭載する。

【００６９】さらに、減圧ＣＶＤによりウエハの表面に
膜を製造する場合にモータ３７０が底板３０１を回転さ
せればウエハ３５１〜３５４は公転する。これにより、
ウエハの周りの原料ガスとウエハが均一に接触するため
ウエハの表面に厚さの均一な膜を製造することができ
る。

【００７０】以上この発明の実施の形態について説明し
たが、ここで示した実施の形態はさまざまに変形するこ
とが可能である。まず、支柱の配置方法としては、ここ
で示したものだけでなくさまざまに変形することが可能
である。たとえば、１つの底板の上に５つ以上のウエハ
列を位置するように支柱を配置することも可能である。
また、モータより構成される回転手段を取除くことも可
能である。さらに、搭載されるウエハの径としては、６
インチ、８インチ、１２インチのものでなく他のものと
してもよい。また、アニール装置等のボートとして本発
明品を用いてもよい。

【００７１】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。

【００７２】

【発明の効果】請求項１から１０および１３に記載の発
明に従えば、多くのウエハを支持できかつ製造コストの
上昇を抑えることができるウエハ支持具を提供すること
ができる。

【００７３】請求項１１および１２に記載の発明に従え
ば、ウエハの搭載速度が速くかつウエハの表面に膜が均
質に形成されるウエハ支持具を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態１に従ったボートの上
面図である。

【図２】図１中の矢印ＩＩで示す方向から見たボート
の側面図である。

【図３】この発明の実施の形態２に従ったボートの上
面図である。

【図４】図３中の矢印ＩＶで示す方向から見たボート
の側面図である。

【図５】図３中の矢印Ｖで示す方向から見たボートの
側面図である。

【図６】この発明の実施の形態３に従ったボートの上
面図である。

【図７】図６中の矢印ＶＩＩで示す方向から見たボー
トの側面図である。

【図８】図６中の矢印ＶＩＩＩで示す方向から見たボ
ートの側面図である。

【図９】従来の減圧ＣＶＤで用いられるボートの上面
図である。

【図１０】図９中の矢印Ｘで示す方向から見たボート
の側面図である。

【符号の説明】

１００，２００，３００ボート、１０１，２０１，３
０１底板、１１０，１２１，１２２，１２３，２１
０，２２１，２２２，２２３，２２４，３２１，３２
２，３２３，３２４支柱、１１１，１２１，２２１
ａ，３１３ａ切欠、１３１，１３２，１３３，１３
４，１３５，１３６，２３１，２３２，２３３，２３
４，３３１，３３２，３３３，３３４，３３５，３３
６，３３７，３３８支持棒、１５１，１５２，１５３，
２５１，２５２，３５１，３５２，３５３，３５４ウ
エハ、１７０，２７０，３７０モータ。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ベース部材と、前記ベース部材の上方で互いに間隔を隔てて位置決めさ
れた複数のウエハからなるウエハ列を複数列、支持する
支持部材とを備えた、ウエハ支持具。
【請求項２】前記複数列のウエハ列は第１と第２と第
３のウエハ列を含み、前記支持部材は第１と第２と第３
と第４の支持部材を含み、前記第１と第２と第３の支持
部材が前記第１のウエハ列を支持し、前記第１と第３と
第４の支持部材が前記第２のウエハ列を支持し、前記第
１と第２と第４の支持部材が前記第３のウエハ列を支持
する、請求項１に記載のウエハ支持具。
【請求項３】前記複数列のウエハ列は第１と第２のウ
エハ列を含み、前記支持部材は第１と第２と第３と第４
と第５の支持部材を含み、前記第１と第２と第３の支持
部材が前記第１のウエハ列を支持し、前記第１と第４と
第５の支持部材が前記第２のウエハ列を支持する、請求
項１に記載のウエハ支持具。
【請求項４】前記複数列のウエハ列は第１と第２と第
３と第４のウエハ列を含み、前記支持部材は第１と第２
と第３と第４と第５と第６と第７と第８の支持部材を含
み、前記第１と第２と第５の支持部材が前記第１のウエ
ハ列を支持し、前記第２と第３と第６の支持部材が前記
第２のウエハ列を支持し、前記第３と第４と第７の支持
部材が前記第３のウエハ列を支持し、前記第１と第４と
第８の支持部材が前記第４のウエハ列を支持する、請求
項１に記載のウエハ支持具。
【請求項５】前記支持部材は、前記ベース部材の鉛直
上方に延びる支柱と、前記ウエハ列を構成する複数のウ
エハの各々の端部に接触するように前記支柱から水平方
向に延び、鉛直上方に間隔をあけて配置された複数の支
持棒とを含む、請求項１に記載のウエハ支持具。
【請求項６】前記支持部材は、前記ベース部材の鉛直
上方に延びる支柱と、前記ウエハ列を構成する複数のウ
エハの各々の端部に接触するように前記支柱の外周面に
鉛直上方に間隔をあけて形成された複数の切欠部とを含
む、請求項１に記載のウエハ支持具。
【請求項７】前記支持部材は、前記ベース部材の鉛直
上方に延びる支柱と、前記ウエハ列を構成する複数のウ
エハの各々の端部に接触するように前記支柱から水平方
向に延び、水平方向に間隔をあけて配置された複数の支
持棒とを含む、請求項１に記載のウエハ支持具。
【請求項８】前記支持部材は、前記ベース部材の鉛直
上方に延びる支柱と、前記ウエハ列を構成する複数のウ
エハの各々の端部に接触するように前記支柱の外周面に
水平方向に間隔をあけて形成された複数の切欠部とを含
む、請求項１に記載のウエハ支持具。
【請求項９】１つの前記支持部材が２列の前記ウエハ
列を支持する、請求項１に記載のウエハ支持具。
【請求項１０】１つの前記支持部材が３列の前記ウエ
ハ列を支持する、請求項１に記載のウエハ支持具。
【請求項１１】前記ベース部材を回転させる回転手段
をさらに備えた、請求項１から１０のいずれか１項に記
載のウエハ支持具。
【請求項１２】前記ベース部材の回転中心を取り囲む
ように前記複数列のウエハ列が位置決めされる、請求項
１１に記載のウエハ支持具。
【請求項１３】前記複数列のウエハ列のそれぞれは、
前記ベース部材の外周部に沿って設けられている、請求
項１から１２のいずれか１項に記載のウエハ支持具。