JP2000510654A - 基板処理装置を通して基板を動かす装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 基板処理装置（１１）を通して基板（７）を動かす装置において、１つの底部搬送ベルト（２）と２つの側部搬送ベルト（４，６）が設けられており、これらの搬送ベルトが、基板（７）を垂直に受容するための切り込みを有していると、特に簡単かつフレキシブルな構造が生ずる。

Description

【発明の詳細な説明】 基板処理装置を通して基板を動かす装置 本発明は、基板処理装置を通して基板を動かす装置に関する。 この種の装置は、基板特にＣＤを、冷却装置及び乾燥装置を通して動かすため に、公知である。この場合基板は、円形軌道上を動かされるかご内に、あるいは 円形の装置内に相応して構成されているスリット内に、ある。しかしながらこの ようなメリーゴーラウンド型の搬送装置は大きな寸法を有していて、大型の駆動 装置を必要とし、したがってこのような公知の装置は高価である。更にこのよう なメリーゴーラウンド型の搬送装置に基板を通り付けること若しくは取り外すこ とは困難であり、高価な構造経費と結び付いている。 最初に述べた形式の装置のためには、スクリュー軸を使用することも公知であ り、このスクリュー軸は回転して、そのねじ山の溝内に位置している基板を前方 に動かす。しかしながらこのことは、スクリュー軸と基板との間に相対運動ひい ては摩擦が生じ、この摩擦は摩滅を生ぜしめ、かつ汚染をもたらすという欠点を 有している。 本発明はDE 43 41 634 A1から出発するものであるが、このDE 43 41 634 A1か ら、円板形の基板を 基板処理装置内で搬送するための装置が公知であり、この装置においては、３つ の歯付きベルトが設けられていて、これらの歯付きベルトによって基板が処理装 置を通して搬送される。この装置はその都度単に１つの基板形状及び基板大きさ に対して設計されていて、例えば基板大きさの変化のような与えられた条件の変 化に対応することができない。 US 4 947 784から、ウェーハを第１のウェーハ保持体（ウェーハカセット）か ら第２のウェーハ保持体（ウェーハボート）に移す装置が公知である。このよう ないわゆるウェーハハンドラーは、処理装置を通してウェーハを搬送するもので もなければ、それに適しているものでもない。 DE 195 30 858 C1からやはりハンドラーが公知であり、このハンドラーにおい ては、ウェーハは吸着板によって搬送される。DE 195 29 945 A1から公知のハン ドラーにおいては、扁平な基板のつかみ及び保持は内側グリッパによって行われ 、この場合グリッパは基板の内側に構成されている穴内に係合し、この内側の穴 の縁に支えられる。 本発明の根底をなす課題は、DE 43 41 634 A1から公知の装置を改良して、与 えられた種々の条件、例えば種々の基板大きさに装置を簡単に適合させ得るよう にすることである。 この設定された課題は本発明によれば請求項１の特 徴構成要件によって解決される。側部搬送ベルトの相互の間隔及び又は底部搬送 ベルトに対する間隔が可変であることによって、装置をその都度与えられる条件 、特に種々の基板大きさに適合させることが可能であるだけでなしに、基板の確 実な保持及び搬送にとって重要な間隔の後調整も簡単に行うことが可能である。 本発明の別の有利な実施例は、両方の側部搬送べルトの搬送平面と底部搬送ベ ルトの搬送平面との間の角度を変化させ得るようになっている。この形式で、搬 送ベルト内で搬送される基板の支持箇所の最適の調整を達成することができる。 更に、装置を簡単な手段で、円形であれ、長方形であれ、基板の種々の形状又は 寸法に適合させることも可能である。長方形の基板の場合には、側部搬送ベルト の搬送平面と底部搬送ベルトの搬送平面との間の角度は有利には９０°である。 したがって本発明の根底をなす課題は、円形軌道上で行われるメリーゴーラウ ンド状の基板の運動あるいは基板の駆動が回避され、構造的に簡単で、スペース をとらずかつ容易に取り扱うことのできる装置が可能であるような、基板処理装 置を通して基板を動かす装置を提供することである。 この設定された課題は本発明によれば、それぞれ基板を垂直に受容するための 切り込みを有している１つの底部搬送ベルトと２つの側部搬送ベルトとによって 解決される。３つの搬送ベルトを使用するという本発 明の特徴によって、基板の直線状の運動が生じ、装置が極めて簡単でスペースを とらず、摩滅を生じないという利点、及び更に、その都度与えられた条件、例え ば基板の大きさに、簡単に適合させることができるという利点も得られる。 本発明の特に有利な実施例によれば、基板を垂直に受容するための切り込みは 、歯付きベルトとして構成された搬送ベルトの歯の中間スペースである。このよ うな歯付きベルトは安価に製作可能である。 本発明による搬送装置を適合させるために、底部搬送ベルトに対する側部搬送 ベルトの間隔は可変である。要するに、底部搬送ベルトに対する側部搬送ベルト の間隔を調整することによって、簡単な形式で、装置を種々の基板大きさに適合 させることが可能である。 例えばＣＤあるいはＤＶＤのような円形の基板の場合には、両方の側部搬送ベ ルトの搬送平面が底部搬送ベルトの搬送平面に対して９０°よりも大きい角度を 有していると特に有利である。これによって、本発明による搬送装置への基板の 簡単な取り付け及び取り外しが可能であり、それにもかかわらず、搬送装置内で の基板の支承は確実に行われる。 搬送ベルトは有利にはそれぞれ転向車及び駆動車を経て導かれており、これら の転向車及び駆動車は、搬送ベルトあるいは搬送ベルトの少なくとも１つが、搬 送面とは逆の側、つまり駆動側を歯付きベルトとして 構成されている場合には、歯車であることもできる。したがって搬送ベルトの両 側を歯付きベルトとして構成することは極めて有利である。 本発明の極めて有利な実施例では、３つの搬送べルトのそれぞれが固有の搬送 ベルト装置内で案内されていて、固有の駆動装置によって駆動されている。この 形式で、個々の搬送ベルトユニットは独立したユニットであり、これによって種 々の基板に対して搬送べルトを配置し、適合させ、かつ配向することが可能であ る。 極めて有利な実施例では、３つの搬送ベルトの駆動装置は同期的に制御されて いる。これによって単にすべての３っの搬送ベルトに対して同じ駆動速度が生じ るだけでなしに、基板を受容するための切り込みの同期的な位置合わせも行われ る。同期的な制御の代わりに、３つの搬送装置の駆動若しくは３つの搬送ベルト の駆動を共通の伝動装置、有利には遊びのない伝動装置を介して行い、これによ って３つの駆動ベルト若しくは基板を受容するその切り込みの同期的な運動を保 証することも可能である。この場合伝動装置はすべての搬送ベルトに共通な駆動 装置によって駆動することができる。 搬送ベルト、あるいは基板と接触する搬送ベルトの部分は、有利には汚損を回 避するために特殊材料、特にテフロン、あるいは汚損物質を受容し難い材料、又 は容易にクリーニングすることができる材料から成っている。 本発明による搬送装置若しくは３つの搬送ベルトへの基板の取り付け及び又は 取り外しは、有利には吸着グリッパ及び又は例えばＣＤの内側穴の縁に係合する 内側グリッパによって行われる。このようなグリッパは簡単であり、処理過程後 の基板の後からの汚損を阻止する。 本発明による搬送装置は、なかんずくＣＤの製作の際に使用される基板乾燥機 あるいは基板冷却機に使用すると、特に有利である。 「基板」とは、すべての円板状の処理物体を指すもので、つまり、単にオーデ ィオＣＤ、ＲＯＭ−ＣＤ，いわゆる書き込み可能なＣＤ（ＣＤＲ）、デジタルビ デオディスク（ＤＶＤ）などを含めたＣＤだけでなしに、半導体構造要素の製作 のためのマスク、指示装置なども指すものである。 以下においては、図面を参照しながら実施例によっって本発明を説明する。 図１は、ＣＤを乾燥させる乾燥装置のための本発明による搬送装置を側面図で 示す。 図２は、図１に示した装置を平面図で示す。 図３は、図１の断面線III−IIIに沿った拡大断面図を示す。 図４は図１の断面線IV−IVに沿った拡大断面図を示 す。 図面が示すように、本発明による装置は底部搬送ベルト２を有する第１の搬送 ベルト装置１と、側部搬送ベルト４を有する第２の搬送ベルト装置３と、別の側 部搬送ベルト６を有する第３の搬送ベルト装置５とを有している。搬送ベルト２ ，４，６は基板７を受容するために切り込み若しくは歯付きベルトの歯の中間ス ペースを有しており、これらの切り込み若しくは中間スペースはすべての３つの 搬送ベルトに構成されている。特に図１及び４から分かるように、搬送ベルト２ ，４，６の駆動は共通の駆動装置８によって行われ、この駆動装置は駆動ベルト ９を介して伝動装置１０を駆動し、この伝動装置自体は３つの搬送ベルト２，４ ，６を同期的に動かす。 基体を乾燥させるための本発明による運動装置の図示の実施例においては、運 動装置の長さの大部分にわたって延びているケーシング１１が設けられており、 このケーシングによって、送風機によって加熱された空気あるいは外部から供給 される加熱された空気が、搬送ベルト２，４，６上を連続的にあるいは断続的に 搬送される基板７に、乾燥のために吹き付けられる。消費された乾燥空気は乾燥 ケーシングの出口開口１２，１３から導出される。 本発明は有利な実施例によって説明した。しかしながら技術者にとっては、本 発明の思想から逸脱するこ となしに、多数の変化構成が可能である。例えば搬送ユニット１，３，５が互い に無関係に構成されていると、これらの搬送ユニットは相互の位置を可変であり 、これによって種々の基板７のために同一の搬送装置を使用することができる。 図示の実施例では、基板７は円形であり、側部搬送ベルト４，６は底部搬送ベル ト２の搬送平面に対して９０°よりも大きい角度を有しており、したがって基板 ７は基板円板の下半部の３つの箇所で確実に保持されている。より大きい円形の 基板７のためには、単に側部搬送ベルト装置３，５が更に外方にずらされ、場合 によっては底部ベルト２に関する側部搬送ベルトユニットの角度が変化せしめら れ、これによってやはり基板の可能な最適の支持が保証される。正方形又は長方 形の基板の場合には、側部搬送ベルト装置が、側部搬送ベルト４，６が底部搬送 ベルト２の搬送平面に対して垂直に配向されているように、配置又は旋回せしめ られる。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項 【提出日】平成１１年３月１２日（１９９９．３．１２） 【補正内容】 請求の範囲 1. 基板処理装置（１１）を通して基板（７）を動かす装置であって、底部搬送 ベルト（２）と、２つの側部搬送ベルト（４，６）とを有し、これらの搬送ベル トは、基板（７）を垂直に受容するための切り込みをそれぞれ有している形式の ものにおいて、側部搬送ベルト（４，６）の相互の間隔及び又は底部搬送ベルト （２）に対する間隔が可変であり、少なくとも一方の側部搬送ベルト（４，６） の搬送平面と底部搬送ベルト（２）の搬送平面との間の角度が可変であることを 特徴とする、基板処理装置を通して基板を動かす装置。 2. 切り込みが歯付きベルトとして構成された搬送ベルト（２，４，６）の歯の 中間スペースであることを特徴とする、請求項１記載の装置。 3. 両方の側部搬送ベルト（４，６）の搬送平面が底部搬送ベルト（２）の搬送 平面に対して９０°よりも大きな角度を有していることを特徴とする、請求項１ 又は２記載の装置。 4. 搬送ベルトがそれぞれ転向車又は転向ローラ及び駆動車又は駆動ローラを経 て導かれていることを特徴とする、請求項１から３までのいずれか１項記載の装 置。 5. ３つの搬送ベルト（２，４，６）のそれぞれが、 固有の搬送ベルトユニット（１，３，５）内で案内されていて、固有の駆動装置 によって駆動されていることを特徴とする、請求項１から４までのいずれか１項 記載の装置。 6. ３つの搬送ベルトユニット（１，３，５）の駆動装置が互いに同期して制御 されていることを特徴とする、請求項５記載の装置。 7. ３つの搬送ベルトユニット（１，３，５）の駆動装置が共通の伝動装置（１ ０）を介して結合されていることを特徴とする、請求項５記載の装置。 8. 搬送ベルト（２，４，６）の、少なくとも基板（７）と接触する部分がテフ ロンから成っていることを特徴とする、請求項１から７までのいずれか１項記載 の装置。 9. 少なくとも１つの吸着グリッパが基板（７）の取り付け及び又は取り外しの ために設けられていることを特徴とする、請求項１から８までのいずれか１項記 載の装置。 10．少なくとも１つの、基板の内側穴の縁に係合するグリッパが基板（７）の取 り付け及び又は取り外しのために設けられていることを特徴とする、請求項１か ら９までのいずれか１項記載の装置。 11．基板処理装置が基板乾燥機又は基板冷却機（１１，１２，１３）であること を特徴とする、請求項１から１０までのいずれか１項記載の装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 1. 基板処理装置（１１）を通して基板（７）を動かす装置であって、底部搬送 ベルト（２）と、２つの側部搬送ベルト（４，６）とを有し、これらの搬送ベル トは、基板（７）を垂直に受容するための切り込みをそれぞれ有している形式の ものにおいて、側部搬送ベルト（４，６）の相互の間隔及び又は底部搬送ベルト （２）に対する間隔が可変であることを特徴とする、基板処理装置を通して基板 を動かす装置。 2. 少なくとも一方の側部搬送ベルト（４，６）の搬送平面と底部搬送ベルト（ ２）の搬送平面との間の角度が可変であることを特徴とする、請求項１記載の装 置。 3. 切り込みが歯付きベルトとして構成された搬送ベルト（２，４，６）の歯の 中間スペースであることを特徴とする、請求項１又は２記載の装置。 4. 両方の側部搬送ベルト（４，６）の搬送平面が底部搬送ベルト（２）の搬送 平面に対して９０°よりも大きな角度を有していることを特徴とする、請求項１ から３までのいずれか１項記載の装置。 5. 搬送ベルトがそれぞれ転向車又は転向ローラ及び駆動車又は駆動ローラを経 て導かれていることを特徴とする、請求項１から４までのいずれか１項記載 の装置。 6. ３つの搬送ベルト（２，４，６）のそれぞれが、固有の搬送ベルトユニット （１，３，５）内で案内されていて、固有の駆動装置によって駆動されているこ とを特徴とする、請求項１から５までのいずれか１項記載の装置。 7. ３つの搬送ベルトユニット（１，３，５）の駆動装置が互いに同期して制御 されていることを特徴とする、請求項６記載の装置。 8. ３つの搬送ベルトユニット（１，３，５）の駆動装置が共通の伝動装置（１ ０）を介して結合されていることを特徴とする、請求項６記載の装置。 9. 搬送ベルト（２，４，６）の、少なくとも基板（７）と接触する部分がテフ ロンから成っていることを特徴とする、請求項１から８までのいずれか１項記載 の装置。 10．少なくとも１つの吸着グリッパが基板（７）の取り付け及び又は取り外しの ために設けられていることを特徴とする、請求項１から９までのいずれか１項記 載の装置。 11．少なくとも１つの内側グリッパが基板（７）の取り付け及び又は取り外しの ために設けられていることを特徴とする、請求項１から１０までのいずれか１項 記載の装置。 12．基板処理装置が基板乾燥機又は基板冷却機（１１ ，１２，１３）であることを特徴とする、請求項１から１１までのいずれか１項 記載の装置。