JPH04223906A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、物流における搬送装置
に関し、特にダストフリーで大版の薄板試料の搬送を行
なう搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】トンネル炉型熱処理装置には、試料の挿
入、搬出を一方向で行うものと、熱処理部を介して両端
が開口しているものがあり、前者は試料の挿入、搬出を
一方向で行うために熱処理部を連続的に使用することが
できないのに対し、後者は試料挿入部と熱処理部と試料
搬出部から成り連続処理をすることができることから空
気中での熱処理では後者のものが一般的である。

【０００３】後者の熱処理装置における搬送装置はベル
トコンベアタイプが一般的で、半導体熱処理装置におけ
る常圧雰囲気中での熱処理にはＢＯＸ炉とトンネル炉が
有り、後者のトンネル炉での試料搬送にベルトコンベア
タイプが用いられている。

【０００４】ベルトコンベアタイプでの試料搬送は、連
続移動型と一定時間毎に移動させるタクト型とがある。 後者のタクト型熱処理装置の搬出装置について図７及び
図８を用いて以下に説明する。

【０００５】タクト型熱処理装置の熱処理部２０には炉
体に熱源２１としてたとえばヒータが内蔵され、試料挿
入部２２側が除熱部２３、中央が均熱部２４、試料搬出
部２５側が除冷部２６となるよう構成されている。

【０００６】試料搬送には３本の送りビーム２７と２本
の固定ビーム２８が設けられている。これらビーム数は
試料２９のサイズにより設定される。送りビーム２７は
尺取り虫の如き動作にて試料２９を水平に移動させる。 すなわち、送りビーム２７は、固定ビーム２８に対して
下方の位置より上昇して上部に試料２９を載置し、試料
２９が固定ビーム２８に接しないようにさらに上方に持
ち上げ水平送りを行う。次に送りビーム２７は、降下し
て試料２９を固定ビーム２８に載置し、固定ビーム２８
よりさらに下方に降下して水平戻りを行う。

【０００７】熱処理は均熱保持処理をすることから、送
りビーム２７の作動時間で前記条件を設定する。図９か
ら図１１は試料サイズと各ビームの関係を示し、そのう
ち図９は送りビーム２７と固定ビーム２８と試料２９の
相関が適切な場合を示している。すなわち、図９の仮想
線で示す送りビーム２７上の試料２９と実線で示す固定
ビーム２８上の試料２９がともに安定して載置されてい
る。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１０
に示すように試料が大版の場合や図１１に示すように小
版の場合はともに固定ビーム上での試料は不安定な状態
となる。しかも試料支持が所定試料の両端であるために
試料基板サイズが限定される。

【０００９】また、試料を水平に並べて処理するために
大版の試料の場合には処理能力が少ない。処理能力を多
くするには均熱部を長くして送り時間を速くするという
方法があるが、この場合、炉長が大変長くなる。特に、
試料サイズが大きくなるにつれ処理能力と炉長の関係が
問題となっている。

【００１０】しかも、試料が水平に載置されているため
、ダストが付着しやすいという問題点があった。本発明
は、このような問題点を解決するためになされたもので
、色々なサイズの試料が安定して搬送でき、処理能力が
大きくしかも、試料にダストが付着しにくい搬送装置を
提供することを目的としている。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は一対の並設され
た搬送ベルトと、この搬送ベルトを駆動するリターン機
構と、搬送ベルトに垂設し、並設する一対の搬送ベルト
間で試料の両端を保持する支持具とから構成している。 また、リターン機構の回転軸に、並設する一対の搬送ベ
ルト間の間隔を変更する径の異なる回転リングを取付け
られるよう構成している。

【００１２】

【作用】この発明においては、試料を一対の並設された
搬送ベルトに垂設した相互の支持具間に架設し試料を立
てた状態で保持する。支持具は、搬送ベルトに固定され
搬送ベルトにともなって水平方向に逆回転移動するので
、試料搬出後の支持具は左右に別れて挿入側へリターン
する。

【００１３】リターン機構の回転軸に取り付ける回転リ
ングを径の異なるものに変更することにより、並設する
搬送ベルト間に設けられた支持具間の間隔が変更でき、
処理可能な試料のサイズに融通性をもたせる。

【００１４】

【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて以下に説明
する。図１は本発明の搬送装置の要部の斜視図、図２は
、同平面図である。

【００１５】図において、１は搬送ベルト、２は搬送ベ
ルト１に垂設した支持具、３は支持具２に保持された試
料、４は搬送ベルト１を駆動するリターン機構、５はリ
ターン機構の回転軸、６は回転軸に取付けられた回転リ
ングを示している。

【００１６】搬送ベルト１は、無端環状のベルトであっ
て、一側に上下に平行な二本の搬送ベルト１Ａ，１Ｂと
、同じく他側に上下に平行な搬送ベルト１Ａ，１Ｂとか
らなる四本で一対のベルトから構成されている。

【００１７】ただし、搬送ベルト１は、必ずしも上下に
二本設ける必要はなく、１本であってもよい。支持具２
は、上下の搬送ベルト１間に垂設して固定し、搬送ベル
ト１の全周に亘って一定の間隔を設けて複数個取り付け
られている。

【００１８】支持具２には、上下方向に貫通溝７が二本
平行に形成され、この貫通溝７に試料３の両端が挿入で
きるようになっている。リターン機構４は、図示しない
駆動装置によって回転リング６が回転するようになって
おり、この回転リング６に掛渡された搬送ベルト１が内
側では挿入部側から搬出部側に移動し、外側では搬出部
側から挿入部側にリターンするよう回転している。

【００１９】図３は、熱処理装置の概略図であって、支
持具２によって試料３を立てた状態で多数処理できる構
造となっている。試料３は挿入部８で前記貫通溝７に挿
入セットされ、熱処理部１０へ搬送される。熱処理後の
試料３は搬出部９側に移動し、支持具３より取り出され
る。その後、両側の支持具３は搬送ベルト１の流れに準
じて左右に別れて熱処理装置の挿入部８側へリターンす
る。支持具２がリターンすることで試料３は連続して処
理できる。

【００２０】図４は、小径の回転リング６Ａを用いた他
の実施例の搬送装置の平面図であって、このように回転
軸５を同じにしてリング径を変更することにより支持具
２間の距離Ｌを調整し、色々なサイズの試料に対応する
ことができる。大口径の回転リング６を選択すれば距離
Ｌは小さく、小口径の回転リング６Ａを選択すれば距離
Ｌは大きくなる。

【００２１】前述の支持具２は貫通溝７に試料３を挿入
セットするものであった。図５および図６は支持具の他
の実施例を示し、これらの実施例は、溝７を貫通させず
試料３を上方よりスライド溝１１に挿入する構造となっ
ていた。

【００２２】

【発明の効果】本発明は、上記構成により、色々なサイ
ズの試料を安定して搬送することができる。しかも多く
の試料を一括に処理できるとともに処理状態の安定化を
図ることができる。さらに、試料を立てた状態で支持具
に保持できるので、ダストが付着しにくい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す要部斜視図である。

【図２】本発明の平面図である。

【図３】本発明の搬送装置を備えた熱処理装置の概略図
である。

【図４】本発明の他の実施例の平面図である。

【図５】支持具の他の実施例の斜視図である。

【図６】支持具の他の実施例の斜視図である。

【図７】従来の搬送装置を備えた熱処理装置の概略図で
ある。

【図８】従来の搬送装置の平面および側面の要部概略図
である。

【図９】従来の搬送具と試料の相関図である。

【図１０】従来の搬送具と試料の相関図である。

【図１１】従来の搬送具と試料の相関図である。

【符号の説明】

１　　　　　　搬送ベルト ２　　　　　　支持具 ３　　　　　　試料 ４　　　　　　リターン機構 ５　　　　　　回転軸 ６　　　　　　回転リング ６Ａ　　　　回転リング ７　　　　　　貫通溝

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　一対の並設された搬送ベルトと、この
   搬送ベルトを駆動するリターン機構と、搬送ベルトに垂
   設し並設する一対の搬送ベルト間で試料の両端を保持す
   る支持具とから構成されたことを特徴とする搬送装置。
2. 【請求項２】　　請求項１記載の搬送装置において、リ
   ターン機構の回転軸に、並設する一対の搬送ベルト間の
   間隔を変更する径の異なる回転リングを取付けられるよ
   う構成した搬送装置。