JP2003014807A - 静電容量測定方法、回路基板検査方法および回路基板検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 短時間で効率よくパターンの静電容量を測定
する。 【解決手段】 プローブを接触させて各パターンと電極
との間の対電極間静電容量を測定する方法であって、パ
ターンの断線を検査する処理（ステップ３０）を実行
し、断線が検出されなかった各パターン毎に、プローブ
を離間した状態で第１の対電極間静電容量を測定する処
理（ステップ３２）と、プローブをパターンに接触させ
て第２の対電極間静電容量を測定する処理（ステップ３
３）と、両対電極間静電容量の差分容量をパターンに対
応する対電極間静電容量として保存する処理（ステップ
３４）とを実行し、保存した対電極間静電容量同士が近
接するパターンの群を検出する処理（ステップ３６）
と、その群に属するパターン同士間の短絡を検査する処
理（ステップ３７）とを実行し、短絡が検出されたパタ
ーンの対電極間静電容量を除いて保存した対電極間静電
容量を正規な対電極間静電容量とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、測定対象の回路基
板における複数の導体パターンと基準電極との間の対電
極間静電容量を測定する静電容量測定方法、測定した対
電極間静電容量に基づいて回路基板を検査する回路基板
検査方法および回路基板検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の静電容量測定方法として、図４
に示す手順で静電容量を測定する静電容量測定方法が従
来から知られている。この静電容量測定方法は、例えば
図２に示す回路基板検査装置４１による回路基板検査処
理で実施されている。この場合、回路基板検査装置４１
は、絶縁フィルム２ａが貼付された電極２ｂを有する電
極部２、検査用プローブ３，４、移動機構５ａ，５ｂ、
制御部４６、ＲＡＭ７およびＲＯＭ８を備えて構成され
ている。一方、検査対象の回路基板Ｐは、図３に示すよ
うに、ガラスエポキシ系基材の表面に複数の導体パター
ンＣＰ1 ，ＣＰ2，・・・（以下、特に区別しないとき
には「導体パターンＣＰ」ともいう）が形成されて構成
されている。また、各導体パターンＣＰにおける各端点
には、同図に示すように、ランドが形成され、このラン
ドは、測定ポイントＴＰ1 ，ＴＰ2，・・・（以下、特
に区別しないときには「測定ポイントＴＰ」ともいう）
として機能する。

【０００３】次に、回路基板検査装置４１の動作につい
て図２〜図４を参照して説明する。まず、導体パターン
ＣＰの形成面を上向きにして回路基板Ｐを電極部２にお
ける電極２ｂの上に載置する。次に、制御部４６が、移
動機構５ａ，５ｂを制御してプローブ固定具３ａ，４ａ
に取り付けられた検査用プローブ３，４を回路基板Ｐの
導体パターンＣＰ1 における測定ポイントＴＰ1 ，ＴＰ
2 にそれぞれ接触させる（ステップ５０）。次いで、制
御部４６が、検査信号としての交流電圧を順次出力する
ことにより、測定ポイントＴＰ1 における導体パターン
ＣＰ1 と電極２ｂとの間の対電極間静電容量ＣTC1 、お
よび測定ポイントＴＰ2 における導体パターンＣＰ1 と
電極２ｂとの間の対電極間静電容量ＣTC2 をオートレン
ジ測定でそれぞれ仮測定する。この場合、対電極間静電
容量を正確に測定するためには、測定される対電極間静
電容量に適した測定レンジを選択する必要がある。つま
り、例えば測定レンジの上限値や下限値の近傍まで達す
る対電極間静電容量をその測定レンジで正確に測定する
のは困難となる。このため、仮測定した各対電極間静電
容量ＣTC1 ，ＣTC2 （以下、区別しないときには、「対
電極間静電容量ＣTC」ともいう）に適した測定レンジを
選択して設定する（ステップ５１）。より具体的には、
例えば、対電極間静電容量ＣTC1 をフルスケール２０ｐ
Ｆの測定レンジで仮測定して３ｐＦを得た際には、３ｐ
Ｆを正確に測定するのに最も適したフルスケール１０ｐ
Ｆの測定レンジを選択して設定する。

【０００４】次に、制御部４６は、移動機構５ａ，５ｂ
を制御して検査用プローブ３，４を上動させて各測定ポ
イントＴＰ1 ，ＴＰ2 から若干離間させ、この状態で検
査信号としての交流電圧を順次出力することにより、測
定ポイントＴＰ1 での浮遊容量ＣS1、および測定ポイン
トＴＰ2 での浮遊容量ＣS2を設定した測定レンジでそれ
ぞれ測定してＲＡＭ７に記憶させる（ステップ５２）。
このステップ５２による測定処理により、検査用プロー
ブ３，４やプローブ固定具３ａ，４ａに起因する浮遊容
量が測定される。次に、制御部４６は、移動機構５ａ，
５ｂを制御して検査用プローブ３，４を各測定ポイント
ＴＰ1 ，ＴＰ2 に再度接触させ、検査信号としての交流
電圧を順次出力することにより、測定ポイントＴＰ1 に
おける導体パターンＣＰ1 と電極２ｂとの間の対電極間
静電容量ＣPR1 、および測定ポイントＴＰ2 における導
体パターンＣＰ1 と電極２ｂとの間の対電極間静電容量
ＣPR2 （以下、区別しないときには「対電極間静電容量
ＣPR」ともいう）をそれぞれステップ５１において設定
した測定レンジで測定する（ステップ５３）。次いで、
制御部４６は、測定した各測定ポイントＴＰ1 ，ＴＰ2
における各対電極間静電容量ＣPR1 ，ＣPR2 から各測定
ポイントＴＰ1 ，ＴＰ2 における各浮遊容量ＣS1，ＣS2
（以下、区別しないときには、「浮遊容量ＣS 」ともい
う）を差し引き、この差分容量を浮遊容量の影響を排除
した各測定ポイントＴＰ1 ，ＴＰ2 における正規の対電
極間静電容量ＣTP1 ，ＣTP2 としてＲＡＭ７に記憶させ
る（ステップ５４）。制御部４６は、導体パターンＣＰ
1 における残りの測定ポイントＴＰ3 に対しても上記各
ステップ５０〜５４を実施し、対電極間静電容量ＣTP3
を算出してＲＡＭ７に記憶させる。

【０００５】制御部４６は、すべての測定ポイントＴＰ
における対電極間静電容量ＣTPを測定したか否かを判断
し（ステップ５５）、未測定の測定ポイントが存在する
ときには上記各ステップ５０〜５４を繰り返し実施し
て、他の導体パターンＣＰに規定された各測定ポイント
ＴＰにおける対電極間静電容量ＣTPを順次測定しＲＡＭ
７に記憶させる。次に、制御部４６は、ステップ５５に
おいてすべての測定ポイントＴＰの対電極間静電容量Ｃ
TPを測定したと判断したときには、ＲＡＭ７に記憶させ
た各対電極間静電容量ＣTPに基づき、各導体パターンＣ
Ｐ毎に、その導体パターンＣＰ内の各測定ポイントＴＰ
における対電極間静電容量ＣTP，ＣTP同士を比較し、対
電極間静電容量ＣTPが異なる導体パターンＣＰが存在す
るか否かを判別する（ステップ５６）。この場合、図３
に示す導体パターンＣＰ2 のように断線箇所が存在しな
いときには、各測定ポイントＴＰ4 〜ＴＰ6 における各
対電極間静電容量ＣTP4 〜ＣTP6 は互いに同一または近
似する容量値となる。一方、導体パターンＣＰ1 のよう
に断線箇所Ｂが存在するときには、測定ポイントＴＰ2
における対電極間静電容量ＣTP2 が、本来的には同一の
容量となるべき他の測定ポイントＴＰ1 ，ＴＰ3 におけ
る対電極間静電容量ＣTP1 ，ＣTP3 とは異なる値とな
る。このため、制御部４６は、ステップ５６において、
同一の導体パターンＣＰにおける各測定ポイントＴＰの
各対電極間静電容量ＣTPが互いに異なるときには、この
導体パターンＣＰに対して断線検査を実施して、断線箇
所を特定する（ステップ５７）。具体的には、移動機構
５ａ，５ｂを制御して一方の検査用プローブ３をその対
電極間静電容量ＣTPが他の対電極間静電容量ＣTPと異な
る測定ポイントＴＰに接触させると共に、他方の検査用
プローブ４を残りの測定ポイントＴＰに順次接触させつ
つ両検査用プローブ３，４間の抵抗値を測定することに
より、断線箇所を特定して断線箇所情報をＲＡＭ７に記
憶させる。

【０００６】次いで、ステップ５６において、対電極間
静電容量ＣTPが異なる導体パターンＣＰがなかったと
き、およびステップ５７の断線検査を終了したときに
は、制御部４６は、ＲＡＭ７に記憶させた各対電極間静
電容量ＣTPに基づき、対電極間静電容量ＣTPが互いに近
似する導体パターンＣＰの群の有無を検出する（ステッ
プ５８）。この際に、対電極間静電容量ＣTPが互いに近
似する導体パターンＣＰの群を検出したときには、その
導体パターンＣＰ，ＣＰ間に、図３に示すような短絡箇
所Ａが存在する可能性がある。このため、制御部４６
は、対電極間静電容量ＣTPが互いに近似する導体パター
ンＣＰ，ＣＰ間の短絡検査を実施する（ステップ５
９）。具体的には、移動機構５ａ，５ｂを制御して対電
極間静電容量ＣTPが互いに近似する一対の導体パターン
ＣＰ，ＣＰに検査用プローブ３，４をそれぞれ接触さ
せ、両導体パターンＣＰ，ＣＰ間の抵抗値を測定するこ
とにより、短絡箇所の有無を特定する。次いで、短絡箇
所が存在するときには、短絡箇所情報（短絡の有無の情
報）をＲＡＭ７に記憶させる。一方、ステップ５８にお
いて、対電極間静電容量ＣTPが互いに近似する導体パタ
ーンＣＰの群が検出されないときには、この静電容量測
定処理を終了する。

【０００７】この回路基板検査装置４１による静電容量
測定方法によれば、断線した導体パターンＣＰ、および
この断線した導体パターンＣＰの断線箇所を検出し、か
つ他の導体パターンＣＰに短絡している導体パターンＣ
Ｐを検出しつつ、正常な導体パターンＣＰについての対
電極間静電容量ＣTPの測定および記憶が可能となってい
る。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の静電
容量測定方法には、以下の問題点がある。すなわち、従
来の静電容量測定方法では、すべての測定ポイントＴＰ
において、適正な測定レンジを選択するために対電極間
静電容量ＣTCを測定した後に浮遊容量ＣS を測定し、そ
の上で、さらに対電極間静電容量ＣPRを測定して正規な
対電極間静電容量ＣTPを算出する必要がある。したがっ
て、各測定ポイントＴＰにおいて、少なくとも２回は検
査用プローブ３（または４）を測定ポイントＴＰに対し
て接離動（上下動）させる必要がある。この場合、検査
用プローブ３（または４）の上下動は、検査用プローブ
３に対する加速やブレーキの制御を行う関係上、ある程
度長いタクトタイムを必要とする。したがって、すべて
の導体パターンＣＰにおけるすべての測定ポイントＴＰ
についての対電極間静電容量ＣTPを測定するために膨大
な時間を要するという問題点がある。また、導体パター
ンＣＰに断線が存在していた場合には、その導体パター
ンＣＰ上の各測定ポイントＴＰに対する対電極間静電容
量ＣTPの測定が無駄となる。このため、測定効率が低下
しているという問題点もある。

【０００９】本発明は、かかる問題点に鑑みてなされた
ものであり、短時間で効率よく導体パターンの静電容量
を測定し得る静電容量測定方法を提供することを主目的
とする。また、短時間で効率よく回路基板を検査し得る
回路基板検査方法および回路基板検査装置を提供するこ
とを他の目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく請
求項１記載の静電容量測定方法は、測定対象の回路基板
における複数の導体パターンに接触型のプローブを順次
接触させて当該各導体パターンと基準電極との間の対電
極間静電容量を測定する静電容量測定方法であって、前
記各導体パターンの断線を検査する断線検査処理を実行
した後に、前記断線検査処理において断線が検出されな
かった前記各導体パターン毎に、当該導体パターンに対
して前記プローブを離間した状態で配置させて当該プロ
ーブと前記基準電極との間の第１の対電極間静電容量を
測定する第１の容量測定処理と、前記プローブを離間し
た状態から前記導体パターン上の１つの測定ポイントに
接触させて当該導体パターンと前記基準電極との間の第
２の対電極間静電容量を測定する第２の容量測定処理
と、前記測定した第２の対電極間静電容量と前記第１の
対電極間静電容量との差分容量を当該導体パターンに対
応する前記対電極間静電容量として保存する測定結果保
存処理とを実行し、前記保存した対電極間静電容量同士
が近接する前記導体パターンの群を検出する検出処理
と、当該検出された群に属する前記導体パターン同士間
の短絡を検査する短絡検査処理とを実行し、前記短絡検
査処理によって短絡が検出された前記導体パターンにつ
いての前記対電極間静電容量を除いて前記保存した対電
極間静電容量を正規な前記対電極間静電容量とすること
を特徴とする。

【００１１】請求項２記載の回路基板検査方法は、検査
対象の回路基板における各導体パターン毎に、当該導体
パターンに対して接触型のプローブを離間した状態で配
置させて当該プローブと前記基準電極との間の第１の対
電極間静電容量を測定する第１の容量測定処理と、前記
プローブを離間した状態から前記導体パターン上の１つ
の測定ポイントに接触させて当該導体パターンと前記基
準電極との間の第２の対電極間静電容量を測定する第２
の容量測定処理と、前記測定した第２の対電極間静電容
量と前記第１の対電極間静電容量との差分容量を当該導
体パターンに対応する前記対電極間静電容量として保存
する測定結果保存処理とを実行し、請求項１記載の静電
容量測定方法によって測定された前記各正規な対電極間
静電容量を基準データとして、前記検査対象の回路基板
についての前記保存した対電極間静電容量が、対応する
前記基準データに対して所定範囲内のときに当該導体パ
ターンに断線および短絡が生じていないと判別すること
を特徴とする。

【００１２】請求項３記載の回路基板検査装置は、接触
型のプローブと、測定対象の回路基板における複数の導
体パターンの各々に前記プローブを接触させた状態で当
該各導体パターンと基準電極との間の対電極間静電容量
を測定すると共に当該測定した対電極間静電容量に基づ
いて検査対象の回路基板を検査する制御部とを備えた回
路基板検査装置であって、前記制御部は、前記各導体パ
ターンの断線を検査する断線検査処理を実行した後に、
前記断線検査処理において断線が検出されなかった前記
各導体パターン毎に、当該導体パターンに対して前記プ
ローブを離間した状態で配置させて当該プローブと前記
基準電極との間の第１の対電極間静電容量を測定する第
１の容量測定処理と、前記プローブを離間した状態から
前記導体パターン上の１つの測定ポイントに接触させて
当該導体パターンと前記基準電極との間の第２の対電極
間静電容量を測定する第２の容量測定処理と、前記測定
した第２の対電極間静電容量と前記第１の対電極間静電
容量との差分容量を当該導体パターンに対応する前記対
電極間静電容量として保存する測定結果保存処理とを実
行し、かつ、前記保存した対電極間静電容量同士が近接
する前記導体パターンの群を検出する検出処理と、当該
検出された群に属する前記導体パターン同士間の短絡を
検査する短絡検査処理とを実行し、当該短絡検査処理に
よって短絡が検出された前記導体パターンについての前
記対電極間静電容量を除いて前記保存した対電極間静電
容量を正規な前記対電極間静電容量とすることを特徴と
する。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明に係る静電容量測定方法、回路基板検査方法および回
路基板検査装置の好適な発明の実施の形態について説明
する。なお、従来の回路基板検査装置４１と同一の構成
要素、および検査対象の回路基板Ｐについては、同一の
符号を付して重複した説明を省略する。

【００１４】最初に、本発明を適用した回路基板検査装
置１の構成について、図２を参照して説明する。

【００１５】同図に示すように、回路基板検査装置１
は、電極部２、検査用プローブ３，４、移動機構５ａ，
５ｂ、制御部６、ＲＡＭ７およびＲＯＭ８を備えて構成
されている。電極部２は、その表面に絶縁フィルム２ａ
が貼付された平板状の電極２ｂを有し検査対象の回路基
板Ｐを載置可能に構成されている。検査用プローブ３，
４は、接触型プローブであって、プローブ固定具３ａ，
４ａを介して移動機構５ａ，５ｂに取り付けられた状態
で電極部２の上方に配設されている。制御部６は、電極
部２および検査用プローブ３，４を用いての回路基板Ｐ
に対する検査処理や、移動機構５ａ，５ｂの駆動制御な
どを実行する。ＲＡＭ７は、導体パターンＣＰ毎の測定
ポイントＴＰの位置データ、測定した浮遊容量ＣS 、測
定した対電極間静電容量ＣTP、検出した断線箇所や短絡
箇所の情報、および制御部６の演算結果などを一時的に
記憶する。ＲＯＭ８は、制御部６の動作プログラムを記
憶する。

【００１６】次に、回路基板検査装置１の動作につい
て、図１を参照して説明する。なお、回路基板検査装置
４１と同一の動作については、その旨を記載して重複す
る説明は省略する。

【００１７】まず、導体パターンＣＰ1 ，ＣＰ2 の形成
面を上向きにして回路基板Ｐを電極部２の上に載置す
る。

【００１８】次に、制御部６が、図１に示す静電容量測
定処理を開始する。この処理では、制御部６は、移動機
構５ａ，５ｂを制御してプローブ固定具３ａ，４ａに取
り付けられた検査用プローブ３，４を回路基板Ｐの導体
パターンＣＰ1 の上方に移動させ、この導体パターンＣ
Ｐ1 に対する断線検査を実施する（ステップ３０：断線
検査処理）。具体的には、制御部６は、検査用プローブ
３を図３に示す測定ポイントＴＰ1 に接触させると共
に、検査用プローブ４を測定ポイントＴＰ2 および測定
ポイントＴＰ3 に順次接触させ、測定ポイントＴＰ1 ，
ＴＰ2 間、測定ポイントＴＰ1 ，ＴＰ3 間に検査信号と
しての交流電圧（または直流電圧）を出力することによ
り、各測定ポイントＴＰ，ＴＰ間の抵抗値を測定して導
体パターンＣＰ1 に対する断線を検査する。

【００１９】ステップ３０において、図３に示すような
断線箇所Ｂが導体パターンＣＰ1 に存在しないと判別し
たときには、制御部６は、移動機構５ａ，５ｂを制御し
て検査用プローブ３，４のいずれか一方（一例として検
査用プローブ４）を上動させると共に１つの測定ポイン
トＴＰ（一例として測定ポイントＴＰ1 ）にいずれか他
方の検査用プローブ（一例として検査用プローブ３）の
接触を維持する。次いで、検査用プローブ３を介して検
査信号としての交流電圧を出力することにより、導体パ
ターンＣＰ1 と電極２ｂとの間の仮の対電極間静電容量
ＣTC1 を仮測定する。続いて、制御部６は、測定した対
電極間静電容量ＣTC1 に基づいて、この導体パターンＣ
Ｐ1 の測定ポイントＴＰでの容量測定に適した測定レン
ジを選択して設定する（ステップ３１）。次に、制御部
６は、移動機構５ａを制御して検査用プローブ３を測定
ポイントＴＰ1 から若干離間（上動）させ、この状態で
検査信号としての交流電圧を出力することにより、測定
ポイントＴＰ1 での浮遊容量（本発明における第１の対
電極間静電容量に相当する）ＣS1を測定してＲＡＭ７に
記憶させる（ステップ３２：第１の容量測定処理）。こ
れにより、その位置での検査用プローブ３やプローブ固
定具３ａに起因する浮遊容量が測定される。

【００２０】次に、制御部４６は、移動機構５ａを制御
して検査用プローブ３を測定ポイントＴＰ1 に再度接触
させ、検査信号としての交流電圧を出力することによ
り、測定ポイントＴＰ1 での導体パターンＣＰ1 と電極
２ｂとの間の対電極間静電容量（本発明における第２の
対電極間静電容量に相当する）ＣPR1 をステップ３１で
設定した測定レンジを使用して測定する（ステップ３
３：第２の容量測定処理）。次いで、制御部４６は、対
電極間静電容量ＣPR1 から浮遊容量ＣS1を差し引き、こ
の差分（ＣPR1 −ＣS1）を浮遊容量の影響を排除した導
体パターンＣＰ1 についての正規な対電極間静電容量Ｃ
CP1 としてＲＡＭ７に記憶（保存）させる（ステップ３
４：測定結果保存処理）。この後、制御部４６は、すべ
ての導体パターンＣＰについての対電極間静電容量ＣCP
1 ，ＣCP2 ・・（以下、区別しないときには、「対電極
間静電容量ＣCP」ともいう）を測定したか否かを判別し
（ステップ３５）、他の導体パターンＣＰに対しても上
記各ステップ３０〜３４を実施して、各対電極間静電容
量ＣCPを順次測定してＲＡＭ７に記憶させる。この場
合、ステップ３０の断線検査において、断線箇所が導体
パターンＣＰに存在すると判別したときには、制御部６
は、断線箇所情報をＲＡＭ７に記憶し、この導体パター
ンＣＰに対するステップ３１〜３４の処理を行わずに、
ステップ３５に移行する。なお、ステップ３０の断線検
査において断線箇所が存在すると判別した導体パターン
ＣＰが１つでも存在するときには、その回路基板Ｐに対
するすべての測定処理を終了して他の回路基板Ｐに対し
てこの静電容量測定処理を実行してもよい。

【００２１】次に、制御部６は、ステップ３５において
すべての導体パターンＣＰの対電極間静電容量ＣCPを測
定したと判別したときには、ＲＡＭ７に記憶させた各対
電極間静電容量ＣCPに基づき、対電極間静電容量ＣCP同
士が互いに近似する導体パターンＣＰ，ＣＰ・・の群の
有無を検出する（ステップ３６：検出処理）。この処理
において、対電極間静電容量ＣCP同士が互いに近似する
導体パターンＣＰの群が検出されたときには、その導体
パターンＣＰ，ＣＰ間（または３以上の導体パターンＣ
Ｐ，ＣＰ，ＣＰ間）に、例えば、図３に示すような短絡
箇所Ａが存在する可能性がある。このため、制御部６
は、検出された群に属する導体パターンＣＰ，ＣＰ同士
の短絡を検査する（ステップ３７：短絡検査処理）。具
体的には、移動機構５ａ，５ｂを制御して検査用プロー
ブ３，４を対電極間静電容量ＣCPが互いに近似する導体
パターンＣＰ，ＣＰに接触させ、両導体パターン間の抵
抗値を測定することにより、短絡箇所の有無を判別する
と共に、短絡箇所が存在するときにはその箇所を特定
し、その短絡箇所情報をＲＡＭ７に記憶させる。一方、
ステップ３６において、対電極間静電容量ＣCPが互いに
近似する導体パターンＣＰの群が検出されないときに
は、この静電容量測定処理を終了する。以上の処理を実
行することにより、回路基板Ｐについての正常な導体パ
ターンＣＰについての対電極間静電容量ＣCPの測定が完
了すると共に、この回路基板に対する断線箇所や短絡箇
所の有無に関する回路基板検査が完了する。

【００２２】次に、同種の回路基板Ｐを検査する際に
は、まず、検査対象の回路基板Ｐを導体パターンＣＰ1
，ＣＰ2 の形成面を上向きにして電極部２の上に載置
する。次いで、制御部６が、図１に示す静電容量測定処
理のうちの対電極間静電容量ＣPRの測定処理（ステップ
３３）と、このステップ３３によって測定された対電極
間静電容量ＣPRおよび上記した静電容量測定処理によっ
て予め測定されている導体パターンＣＰ毎の浮遊容量Ｃ
S に基づく対電極間静電容量ＣCPの算出処理（ステップ
３４）とを各導体パターンＣＰ毎に繰り返し実行する。
この場合、対電極間静電容量ＣPRの測定処理（ステップ
３３）では、静電容量測定処理において使用した測定レ
ンジと同じ測定レンジで対電極間静電容量ＣPRを測定す
る。また、回路基板Ｐ上のすべての導体パターンＣＰの
各々に対して、上記した静電容量測定処理のステップ３
３で測定した測定ポイントＴＰと同じ測定ポイントＴＰ
についての対電極間静電容量ＣCPを測定してＲＡＭ７に
保存する。次に、制御部６は、既にＲＡＭ７に記憶され
ている対電極間静電容量ＣCPを基準データとして、検査
対象の回路基板Ｐについて保存した対電極間静電容量Ｃ
CPが、対応する基準データに対して所定範囲内（例え
ば、±１０％以内）のときに、その導体パターンＣＰに
断線および短絡が存在しないと判別する（判別処理）。
この判別処理をすべての導体パターンＣＰに対して行う
ことにより、検査対象の回路基板Ｐについての回路基板
検査処理が完了する。

【００２３】このように、この静電容量測定方法によれ
ば、１つの導体パターンＣＰに対して、対電極間静電容
量ＣCPを測定するために適した測定レンジを選択するた
めの対電極間静電容量ＣTCの測定、浮遊容量ＣS の測
定、対電極間静電容量ＣTPの再測定、および対電極間静
電容量ＣCPの算出処理をそれぞれ１回ずつ行うだけで対
電極間静電容量ＣCPを測定することができる。したがっ
て、各測定ポイントＴＰのすべてに対して、上記の各処
理をそれぞれ１回ずつ行う必要がある従来の静電容量測
定方法と比較して、極めて短時間ですべての対電極間静
電容量ＣCPを測定することができる。具体的には、比較
的短時間で終了する断線検査処理（ステップ３０）に要
する時間を無視し、１つの導体パターンＣＰに平均４つ
の測定ポイントＴＰが存在するとした場合、対電極間静
電容量ＣCPについての測定時間を１／４に短縮すること
ができる。また、各導体パターンＣＰに対して、対電極
間静電容量ＣCPの測定に先立って断線検査処理（ステッ
プ３０）を行うことにより、断線箇所が存在する導体パ
ターンＣＰについての対電極間静電容量ＣCPの無駄な測
定を回避することができる。このため、その分、測定効
率を向上させることができる。さらに、対電極間静電容
量ＣCPを短時間で測定できる結果、回路基板Ｐに対する
基板検査を短時間で行うことができ、これにより、回路
基板Ｐについての検査コストを低減することができる。

【００２４】なお、本発明は、上記した本発明の実施の
形態に示した構成に限定されない。例えば、本発明の実
施の形態では、本発明における静電容量測定方法を回路
基板検査装置の検査処理に適用した例について説明した
が、単に静電容量の測定を行う静電容量測定装置に適用
することもできる。また、本発明の実施の形態では、基
準電極として電極部２の電極２ｂを用いた静電容量測定
の例について説明したが、例えば、検査対象の回路基板
Ｐにおいて広い面積を有するグランドパターンや電源パ
ターンなどを基準電極として用いることもできる。さら
に、すべての導体パターンＣＰに対する断線検査処理
（ステップ３０）を対電極間静電容量ＣCPの測定（ステ
ップ３１〜３４）に先立って一括的に行うこともでき
る。また、本発明の実施の形態では、対電極間静電容量
ＣCPの測定精度を上げるべく測定に適した測定レンジを
選択設定する例について説明したが、これに限定されな
い。つまり、測定に適した測定レンジを選定設定するた
めの対電極間静電容量ＣTCの仮測定処理を省いて、上記
した測定ポイントＴＰ上での測定処理（ステップ３２：
第１の容量測定処理）によって測定した浮遊容量（本発
明における第１の対電極間静電容量）ＣS と、その導体
パターンＣＰおよび電極２ｂの間の対電極間静電容量測
定処理（ステップ３３：第２の容量測定処理）によって
測定された対電極間静電容量（本発明における第２の対
電極間静電容量）ＣPRとに基づいて対電極間静電容量Ｃ
CPを測定することができるのは勿論である。

【００２５】

【発明の効果】以上のように、請求項１記載の静電容量
測定方法によれば、各導体パターン上の測定ポイントで
の静電容量測定に先立って、導体パターンに対する断線
検査を行うことにより、１つの導体パターンに対して、
例えば、対電極間静電容量を測定するために適した測定
レンジを選択するための対電極間静電容量の測定処理、
第１の測定処理、第２の測定処理および測定結果保存処
理をそれぞれ１回ずつ行うだけで対電極間静電容量を測
定することができる。したがって、各測定ポイントのす
べてに対して、上記の各処理をそれぞれ１回ずつ行う必
要がある従来の静電容量測定方法と比較して、極めて短
時間ですべての対電極間静電容量を測定することができ
る。また、各導体パターンに対して、対電極間静電容量
の測定に先立って断線検査処理を行うことにより、断線
箇所が存在する導体パターンについての対電極間静電容
量の無駄な測定を回避することができるため、その分、
測定効率を向上させることができる。

【００２６】また、請求項２記載の回路基板検査方法お
よび請求項３記載の回路基板検査装置によれば、対電極
間静電容量を短時間で測定できる結果、回路基板に対す
る基板検査を短時間で行うことができ、これにより、回
路基板についての検査コストを十分に低減することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る回路基板検査装置１
による静電容量測定処理を示すフローチャートである。

【図２】回路基板検査装置１および従来の回路基板検査
装置４１の構成を示す構成図である。

【図３】検査対象の一例である回路基板Ｐの上面図であ
る。

【図４】従来の回路基板検査装置４１による静電容量測
定処理を示すフローチャートである。

【符号の説明】

１ 回路基板検査装置 ２ 電極部 ３，４ 検査用プローブ ５ａ，５ｂ 移動機構 ６ 制御部 ７ ＲＡＭ ＣＰ1 ，ＣＰ2 導体パターン Ｐ 回路基板 ＴＰ1 〜ＴＰ6 測定ポイント

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 測定対象の回路基板における複数の導体
   パターンに接触型のプローブを順次接触させて当該各導
   体パターンと基準電極との間の対電極間静電容量を測定
   する静電容量測定方法であって、 前記各導体パターンの断線を検査する断線検査処理を実
   行した後に、 前記断線検査処理において断線が検出されなかった前記
   各導体パターン毎に、当該導体パターンに対して前記プ
   ローブを離間した状態で配置させて当該プローブと前記
   基準電極との間の第１の対電極間静電容量を測定する第
   １の容量測定処理と、前記プローブを離間した状態から
   前記導体パターン上の１つの測定ポイントに接触させて
   当該導体パターンと前記基準電極との間の第２の対電極
   間静電容量を測定する第２の容量測定処理と、前記測定
   した第２の対電極間静電容量と前記第１の対電極間静電
   容量との差分容量を当該導体パターンに対応する前記対
   電極間静電容量として保存する測定結果保存処理とを実
   行し、 前記保存した対電極間静電容量同士が近接する前記導体
   パターンの群を検出する検出処理と、当該検出された群
   に属する前記導体パターン同士間の短絡を検査する短絡
   検査処理とを実行し、 前記短絡検査処理によって短絡が検出された前記導体パ
   ターンについての前記対電極間静電容量を除いて前記保
   存した対電極間静電容量を正規な前記対電極間静電容量
   とすることを特徴とする静電容量測定方法。
2. 【請求項２】 検査対象の回路基板における各導体パタ
   ーン毎に、当該導体パターンに対して接触型のプローブ
   を離間した状態で配置させて当該プローブと前記基準電
   極との間の第１の対電極間静電容量を測定する第１の容
   量測定処理と、前記プローブを離間した状態から前記導
   体パターン上の１つの測定ポイントに接触させて当該導
   体パターンと前記基準電極との間の第２の対電極間静電
   容量を測定する第２の容量測定処理と、前記測定した第
   ２の対電極間静電容量と前記第１の対電極間静電容量と
   の差分容量を当該導体パターンに対応する前記対電極間
   静電容量として保存する測定結果保存処理とを実行し、 請求項１記載の静電容量測定方法によって測定された前
   記各正規な対電極間静電容量を基準データとして、前記
   検査対象の回路基板についての前記保存した対電極間静
   電容量が、対応する前記基準データに対して所定範囲内
   のときに当該導体パターンに断線および短絡が生じてい
   ないと判別することを特徴とする回路基板検査方法。
3. 【請求項３】 接触型のプローブと、測定対象の回路基
   板における複数の導体パターンの各々に前記プローブを
   接触させた状態で当該各導体パターンと基準電極との間
   の対電極間静電容量を測定すると共に当該測定した対電
   極間静電容量に基づいて検査対象の回路基板を検査する
   制御部とを備えた回路基板検査装置であって、 前記制御部は、前記各導体パターンの断線を検査する断
   線検査処理を実行した後に、 前記断線検査処理において断線が検出されなかった前記
   各導体パターン毎に、当該導体パターンに対して前記プ
   ローブを離間した状態で配置させて当該プローブと前記
   基準電極との間の第１の対電極間静電容量を測定する第
   １の容量測定処理と、前記プローブを離間した状態から
   前記導体パターン上の１つの測定ポイントに接触させて
   当該導体パターンと前記基準電極との間の第２の対電極
   間静電容量を測定する第２の容量測定処理と、前記測定
   した第２の対電極間静電容量と前記第１の対電極間静電
   容量との差分容量を当該導体パターンに対応する前記対
   電極間静電容量として保存する測定結果保存処理とを実
   行し、 かつ、前記保存した対電極間静電容量同士が近接する前
   記導体パターンの群を検出する検出処理と、当該検出さ
   れた群に属する前記導体パターン同士間の短絡を検査す
   る短絡検査処理とを実行し、当該短絡検査処理によって
   短絡が検出された前記導体パターンについての前記対電
   極間静電容量を除いて前記保存した対電極間静電容量を
   正規な前記対電極間静電容量とすることを特徴とする回
   路基板検査装置。