JP2003202660A

JP2003202660A - ペリクルおよびペリクル付きマスクの製造方法

Info

Publication number: JP2003202660A
Application number: JP2002315667A
Authority: JP
Inventors: Minoru Fujita; 稔藤田; Hiroaki Nakagawa; 広秋中川
Original assignee: Mitsui Chemicals Inc
Current assignee: Mitsui Chemicals Inc
Priority date: 2001-10-31
Filing date: 2002-10-30
Publication date: 2003-07-18
Anticipated expiration: 2022-10-30
Also published as: JP3667728B2

Abstract

(57)【要約】【課題】検査回数を減ずることができ、かつ、ペリクル
をマスクに貼付した後に、それを剥離して再び使用する
ことができるペリクルおよびペリクル付きマスクの製造
方法を提供する。【解決手段】ペリクル枠１０の一方の端面１１にペリク
ル膜１２を張設し、他方の端面１３に粘着層１４を設
け、メインライナー２１の一部２３がサブライナー２２
から露出するように積層し、サブライナー２２は粘着層
１４に直接接着すると共に、メインライナー２１もサブ
ライナー２２から露出する一部２３において接着層１４
に直接貼着するようにする。ペリクル１をマスクに貼り
付ける際には、メインライナー２１を剥離して、ペリク
ル１をマスクに仮接着し、その状態で検査し、検査が合
格なら、サブライナー２２を剥離して本接着する。不合
格なら、ペリクル１をマスクから剥離して、再利用す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ペリクルおよびペ
リクルをマスクあるいはレチクル（以下、マスクおよび
レチクルを総称して単に「マスク」という。）等の基板
に貼付したペリクル付きマスクの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】フォトリソグラフィ工程では、ガラス板
表面にクロム等の蒸着膜で回路パターンを形成したフォ
トマスクやレチクルを使用し、レジストを塗布したシリ
コンウエハー上にその回路パターンを露光により転写す
る作業が行われる。この工程ではマスク上の回路パター
ンに塵埃等の異物が付着した状態で露光が行われると、
ウエハー上にも上記異物が転写されて不良製品のウエハ
ーとなってしまう。特に、露光をステッパーで行う場合
には、ウエハー上に形成される全てのチップが不良とな
る可能性が高くなり、マスクの回路パターンへの異物の
付着は大きな問題となる。そこで、露光用の光をよく通
過させるペリクルをマスクに装着し、マスクに塵埃が付
着するのを防止している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】通常、マスクの製造は
以下のように行われている。（１）マスクの洗浄が行われる工程（２）マスクの検査を行う工程、すなわち、設計通りの
回路ができているかどうかというほかに、異物の付着は
ないかを検査する工程、（３）ペリクルを貼り付ける工
程、（４）ペリクル付きマスクを検査する工程、（５）
出荷する工程、の５段階で行われる。通常、工程（２）
においては、マスクが設計通りに出来ているのかどう
か、異物が付着していないかどうかについて検査され
る。そして、検査に合格したものだけが工程（３）に進
む。その後工程（４）においては、ペリクルを貼り付け
た後に、マスクに欠陥が発生していないかどうか、異物
が混入していないかどうか、について検査され、合格し
たものが出荷の工程に回される。一方、不合格品につい
ては、マスクからペリクルを剥離して、マスクは工程
（１）に戻して再使用されるが、ペリクルは剥離時の力
によって破損する場合があり廃棄されている。

【０００４】しかしながら、検査にはコンピュータによ
るシステムが用いられるものの、最終的には人によって
判断せざるを得ず、しかも、出荷までに同様の検査を２
回も行うことは、工業的にコスト高となる。また、工程
（４）の検査で不合格となったペリクル付きマスクは、
ペリクルを剥離した後、マスクは洗浄工程（１）に戻さ
れるがペリクルは再利用できないため廃棄せざるを得な
いのが実状である。

【０００５】特開平７−１２０９３１号公報には、ペリ
クルをレチクルに固定する粘着層に加熱および／または
光照射により粘着力が減少する粘着剤を用い、ペリクル
をこの種の粘着層でレチクルに接着し、この粘着層を加
熱するか、これに光照射をすると粘着層の粘着力が低下
するのでペリクルをレチクルから容易に剥離することが
できる旨が開示されている。しかしながら、この技術で
は、ペリクルをレチクルから剥離するためには、マスク
付きペリクルの環境条件を変えるなどの操作を施すこと
が必要である。

【０００６】本発明の主な目的は、検査回数を減ずるこ
とができ、かつ、ペリクルをマスクに貼付した後に、そ
れを剥離して再び使用することができるペリクルおよび
ペリクル付きマスクの製造方法を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の態様によ
れば、中央に開口部を有するペリクル枠の一方の端面に
ペリクル膜が張設され、他方の端面に粘着層が設けら
れ、前記粘着層上に少なくとも２枚以上のライナーが貼
着され、前記少なくとも２枚以上のライナーは前記粘着
層からそれぞれ剥離可能であって、前記少なくとも２枚
以上のライナーを前記粘着層からそれぞれ剥離すること
によって各ライナーが前記粘着層に貼着されていた部分
の前記粘着層が露出することを特徴とするペリクルが提
供される。

【０００８】好ましくは、前記少なくとも２枚以上のラ
イナーは、前記粘着層から遠いライナーの一部がそのラ
イナーよりも前記粘着層に近いライナーから露出して積
層された構造を有し、前記粘着層に一番近いライナーは
前記粘着層に直接貼着すると共に、前記粘着層に一番近
いライナーよりも前記粘着層から遠いライナーも前記露
出する一部において前記粘着層にそれぞれ直接貼着して
いる。

【０００９】また、好ましくは、前記少なくとも２枚の
ライナーがメインライナーとサブライナーとからなり、
前記メインライナーの一部が前記サブライナーから露出
し、前記サブライナーは前記粘着層に直接貼着すると共
に、前記メインライナーも前記サブライナーから露出す
る前記一部において前記粘着層に直接貼着し、かつ前記
メインライナーおよび前記サブライナーは、前記粘着層
からそれぞれ剥離可能である。

【００１０】また、好ましくは、前記粘着層から遠いラ
イナーの前記露出する一部が、前記開口部をそれぞれ囲
繞する形状である。

【００１１】また、好ましくは、前記少なくとも２枚以
上のライナーは互いに大きさが異なる。

【００１２】また、好ましくは、前記積層された少なく
とも２枚以上のライナーは、前記粘着層に近づくに従っ
て各ライナーの大きさが順次小さくなっている。

【００１３】本発明の第２の態様によれば、中央に開口
部を有するペリクル枠の一方の端面にペリクル膜が張設
され、他方の端面に粘着層が設けられたペリクルを剥離
可能な状態でマスクに仮に接着し、前記仮接着した状態
で前記マスクの検査を行い、前記検査が合格であれば前
記ペリクルを前記粘着層によって前記マスクに本接着し
てペリクル付きマスクを製造し、前記検査が不合格であ
れば、前記ペリクルを前記マスクから剥離し、その後前
記ペリクルを再利用してペリクル付きマスクを製造する
ことを特徴とするペリクル付きマスクの製造方法が提供
される。

【００１４】本発明の第３の態様によれば、中央に開口
部を有するペリクル枠の一方の端面にペリクル膜が張設
され、他方の端面に粘着層が設けられ、前記粘着層上に
少なくとも２枚以上のライナーが貼着されたペリクルを
準備し、前記少なくとも２枚以上のライナーのうち少な
くとも一つのライナーを前記ペリクル枠から除去して前
記粘着層の一部を露出させ前記露出した粘着層を介して
前記ペリクルをマスクに仮接着し、残りのライナーのう
ち少なくとも一つのライナーを除去することにより前記
ペリクルを前記マスクに本接着することを特徴とするペ
リクル付きマスクの製造方法が提供される。

【００１５】好ましくは、前記少なくとも２枚以上のラ
イナーのうち一つのライナーを前記ペリクル枠から除去
して前記粘着層の一部を露出させ前記露出した粘着層を
介して前記ペリクルをマスクに仮接着し、残りのライナ
ーをすべて除去することにより前記ペリクルを前記マス
クに本接着する。

【００１６】また、好ましくは、前記仮接着した状態で
前記マスクの検査を行い、検査が合格であれば、前記ペ
リクルを前記マスクに本接着してペリクル付きマスクを
製造し、前記仮接着した状態で前記マスクの検査を行
い、検査が不合格であれば、前記ペリクルを前記マスク
から剥離し、その後、前記ペリクルを他のマスクに用い
て、ペリクル付きマスクを製造する。

【００１７】また、好ましくは、前記仮接着前に露出し
ている前記粘着層の一部が、前記開口部の周囲を囲繞す
る形状である。

【００１８】本発明の第４の態様によれば、中央に開口
部を有するペリクル枠の一方の端面にペリクル膜が張設
され、他方の端面に粘着層が設けられ、メインライナー
とサブライナーとが前記メインライナーの一部が前記サ
ブライナーから露出して積層され、前記サブライナーは
前記粘着層に直接貼着すると共に、前記メインライナー
も前記サブライナーから露出する前記一部において前記
粘着層に直接貼着し、かつ前記メインライナーおよび前
記サブライナーは、前記粘着層から別々に剥離可能であ
るペリクルを準備し、前記メインライナーを前記粘着層
から剥離し、前記サブライナーから露出する前記粘着層
によって前記ペリクルをマスクに仮接着し、その後、前
記仮接着した状態で前記サブライナーを前記粘着層から
剥離し、前記ペリクルを前記マスクに前記粘着層によっ
て本接着することを特徴とするペリクル付きマスクの製
造方法が提供される。

【００１９】好ましくは、前記仮接着した状態で前記マ
スクの検査を行い、検査が合格であれば、前記仮接着し
た状態で前記サブライナーを前記粘着層から剥離し、前
記ペリクルを前記マスクに前記粘着層によって接着して
ペリクル付きマスクを製造し、前記仮接着した状態で前
記マスクの検査を行い、検査が不合格であれば、前記ペ
リクルを前記マスクから剥離し、その後、前記ペリクル
を他のマスクに用いて、ペリクル付きマスクを製造す
る。

【００２０】また、好ましくは、前記メインライナーの
前記サブライナーから露出する前記一部が、前記開口部
の周囲を囲繞する形状である。

【００２１】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は、本発明の一実施の形態の
ペリクルを説明するための図であり、図１（Ａ）は、本
発明の一実施の形態のペリクルの概略部分縦断面図、図
１（Ｂ）は、本発明の一実施の形態のペリクルのライナ
ーの概略平面図、図１（Ｃ）は、本発明の一実施の形態
のペリクルのライナーの概略側面図である。図２は、本
発明の一実施の形態および従来のペリクルのマスクから
の剥離力を測定する方法を説明するための概略側面図で
ある。図３は、従来のペリクルを説明するための図であ
り、図３（Ａ）は従来のペリクルの概略部分縦断面図、
図３（Ｂ）は、従来のペリクルのライナーの概略平面
図、図３（Ｃ）は、従来のペリクルのライナーの概略側
面図である。図４は、本発明の他の実施の形態のペリク
ルライナーの概略斜視図である。

【００２２】図１に示すように、本発明のペリクル１
は、ペリクル枠１０の開口部１６を覆ってペリクル枠１
０の端面１１にペリクル膜１２が張設される。本発明に
用いられるペリクル枠１０は、ペリクル枠として通常用
いられているもので良い。ペリクル枠１０としては、ア
ルミニウム合金、ステンレス、ポリエチレン、アルマイ
ト処理した黒色アルミニウム等からなるペリクル枠が挙
げられる。また、これらのペリクル枠の表面全体を非晶
系フッ素ポリマー等でコーティングしたものを用いても
良い。これらの中でも好ましくは、アルミニウム合金、
アルマイト処理した黒色アルミニウム等からなるペリク
ル枠が挙げられる。

【００２３】本発明においてペリクル膜１２として用い
られる薄膜は、ペリクル膜として通常用いられているも
ので良い。例えば、ペリクル膜１２として用いられる薄
膜としては、ニトロセルロース、酢酸セルロース、非晶
性フッ素系重合体等が挙げられる。薄膜がペリクル枠１
０の一方の端面１１に張設されて、ペリクル膜１２が形
成される。ペリクル膜１２は、例えば膜接着材によりペ
リクル枠１０に固定することができる。

【００２４】本発明の一実施の形態のペリクル１におい
ては、端面１１とは反対側の端面１３に粘着層１４が設
けられ、粘着層１４には、サブライナー２２とメインラ
イナー２１とを積層したライナーを、メインライナー２
１がペリクル膜１２と反対側になるように積層する。す
なわち、ペリクル膜１２／ペリクル枠１０／粘着層１４
／サブライナー２２／メインライナー２１の順に設けら
れている。サブライナー２２はメインライナー２１より
も小さく、メインライナー２１の一部２３がサブライナ
ー２２から露出して積層されている。サブライナー２２
は直接粘着層１４に貼着されていると共に、メインライ
ナー２１もサブライナー２２から露出した部分２３で直
接粘着層１４に接着されている。このサブライナー２２
から露出した部分２３は、ペリクル枠の開口部１６を囲
繞する形状となっている。メインライナー２１の厚みは
通常、５０〜３００μｍ、好ましくは５０〜１５０μｍ
である。また、サブライナー２２の厚みは、通常１０〜
３００μｍであり、好ましくは１５〜１５０μｍであ
る。なお、メインライナー２１にはタブ２１２が設けら
れ、サブライナー２２には、タブ２２１を設けると共
に、切り込み２２２が設けられている。

【００２５】このようにサブライナー２２とメインライ
ナー２１とが積層されて接着層１４に貼着されたペリク
ル１をマスクに接着してペリクル付きマスクを製造する
には、まず、メインライナー２１を接着層１４から剥離
し、サブライナー２２から露出する粘着層１４によって
ペリクル１をマスクに仮接着する。仮接着した状態で検
査を行い、検査が合格であれば、仮接着した状態でサブ
ライナー２２を粘着層１４から剥離し、ペリクル１をマ
スクに粘着層１４によって本接着する。検査が不合格で
あれば、ペリクル１をマスクから剥離し、その後、ペリ
クル１を他のマスクに用いて、ペリクル付きマスクを製
造する。

【００２６】これにより、従来のように、ペリクルを貼
り付ける前とペリクルを貼り付けた後との２回にわたっ
てマスクの検査を行う必要がなくなって、ペリクルを貼
り付けた後の検査だけでよくなり、また、検査で不合格
となった場合でも、ペリクル１をマスクから剥離し、そ
の後、ペリクル１を他のマスクに再利用して、ペリクル
付きマスクを製造することができるようになった。

【００２７】また、図４に示すように、サブライナーが
サブライナー２２３およびサブライナー２２４のように
分割されていても良い。この場合は、まずメインライナ
ー２１を剥離した後は上記と同様な操作によりペリクル
付きマスクを製造することができる。すなわち、サブラ
イナー２２３を剥離し、露出する粘着層によってペリク
ルをマスクに仮接着し、仮接着した状態で検査を行い、
検査が合格であればサブライナー２２４を剥離して本接
着をすることによりペリクル付きマスクを製造する。

【００２８】粘着層１４は、ペリクル膜１２が張設され
た端面１１とは反対側のペリクル枠３の端面１３に設け
られている。粘着層１４はペリクル１をマスクに固着す
ることができる手段であればよく、例えば粘着材料を塗
布してペリクル枠１０に粘着層１４を形成してもよい
し、また、粘着材料をポリエステル製フィルム等に塗布
して粘着テープとしペリクル枠１０に備え付けて接着さ
せても良い。粘着材料は、粘着性のある合成樹脂（以下
「ベースポリマー」という）を含むものが好ましい。ベ
ースポリマーとして好ましくは、エチレン酢酸ビニル共
重合体、ブチルメタクリル樹脂、ポリスチレン、スチレ
ン−ブチレン共重合体、ポリイソブチレン等が挙げら
れ、特に好ましくはスチレン−ブチレン共重合体等が挙
げられる。

【００２９】粘着手段を制電性材料からなるものとする
場合は、制電性を有する粘着材料（以下「制電性接着材
料」という）を用いればよく、例えば上記ベースポリマ
ーを含む粘着材料に帯電防止剤を配合して制電性粘着材
料とすること等が好ましい。ベースポリマーに配合する
帯電防止剤としては、合成樹脂などの高分子化合物に混
合するのに適した練込型帯電防止剤が好適であり、具体
的には、カーボンブラック、グリセリン脂肪酸エステ
ル、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシ
エチレンアルキルフェニルエーテル、Ｎ，Ｎ−ビス（２
−ヒドロキシエチル）アルキルアミン、Ｎ−２−ヒドロ
キシエチル−Ｎ−２−ヒドロキシアルキルアミン、ポリ
オキシエチレンアルキルアミン、ポリオキシエチレンア
ルキルアミン脂肪酸エステル、アルキルジエタノールア
ミン、アルキルスルホン酸塩、アルキルベンゼンスルホ
ン酸塩、アルキルホスフェート等が好ましく例示され
る。

【００３０】また、一般的に親水性ポリマーは制電性を
有しており、制電性を有する親水性ポリマーも上記練込
型帯電防止剤に含まれる。さらに、親水性ポリマーの中
には帯電防止効果の持続性が特に優れたものがあり、例
えば、ポリエチレングリコール系ポリマー等が挙げら
れ、具体的に好ましくは、ポリエチレングリコール、ポ
リエチレングリコールメタクリレート共重合体、ポリ
（エチレンオキシド・プロピレンオキシド）共重合体、
ポリエチレングリコール系ポリエステルアミド、ポリ
（エピクロルヒドリン・エチレンオキシド）共重合体等
が挙げられる。

【００３１】練込型帯電防止剤は２種以上を混合して用
いてもよく、アルキルジエタノールアミンとグリセリン
脂肪酸エステルとの混合物、アルキルベンゼンスルホン
酸塩とポリエチレングリコール又は高級アルコールとの
混合物は練込型帯電防止剤として特に好ましく用いるこ
とができる。

【００３２】また、練込型帯電防止剤はベースポリマー
の種類等に応じて選択してもよい。練込型帯電防止剤
は、制電性粘着材料中の含有量が好ましくは０．０５〜
１０重量％、特に好ましくは０．１〜５重量％となるよ
うに配合することが好適である。

【００３３】

【実施例】（実施例１）厚さ１００μｍ・幅２．６ｍｍ
のＰＥＴ樹脂からなるメインライナー２１と厚さ２５μ
ｍ・幅１．０ｍｍのＰＥＴ樹脂からなるサブライナー２
２を貼り合わせ、１２２ｘ１４９ｍｍの２層構造ライナ
ーを作成した（図１（Ｂ）、（Ｃ）参照）。その後、直
交ロボット（松下電器ＦＲ−Ａ１０２Ｘ）を用いて、
２００℃に溶解したＳＥＢＳ系粘着剤（旭化学合成Ａ
１３１）を高さ５．８ｍｍ・幅２ｍｍのアルミ枠１０の
端面１３に塗布し、作成した２層構造ライナーのサブラ
イナー面と粘着材層が向かい合う様に２層構造ライナー
を粘着材１４の上に載せた。２層構造ライナーの上か
ら、温度１００〜１１０度の板で押しつけ、２５℃の冷
却板で強制冷却して、全体を６．３ｍｍの高さに成形し
た（図１（Ａ）参照）。

【００３４】作業としては、まず、メインライナー２１
のみをタブ２１２（図１（Ｂ）参照）を把持して剥離
し、サブライナー２２を粘着材１４の表面に残した状態
で粘着材露出部を制限しながら、４００ｇ・３０秒の力
でペリクル１をマスクに貼り付けた（仮貼した）。ペリ
クル粘着材露出部とマスクの密着幅は、０．３〜０．５
ｍｍであった。また、図２に示すように、ペリクル１の
治具穴１５に一末端４２を差し込んで取り付けられた剥
離治具４４の他の末端４３を５０ｍｍ／ｍｉｎの速度で
押し下げながら、その時のペリクル１とマスク３０の剥
離力をロードセル４１（オリエンテック製／ＢＴ−２Ｌ
−Ｂ）で測定した。その結果、剥離力は３０〜１００ｇ
程度であった。また、その時のペリクル１のマスク３０
からの剥離状態は５枚中５枚とも粘着剤の形状は崩れる
事なく、マスク３０を殆ど汚さないきれいな剥離ができ
た。またその剥離力は、剥離治具を用いなくても、人手
により、十分剥離できるものであった。

【００３５】（実施例２）実施例１と同様にしてペリク
ル１をマスク３０に貼り付けた。露出した粘着剤とマス
ク間は全周にわたり、空気等が混入しない状態（完全密
着）を確認した後、サブライナー２２のタブ２２１（図
１（Ｂ）参照）を把持して、ライナー剥離方向３０〜６
０度、マスク表面から１０〜２０度の傾斜を持たせ、ア
ルミ枠外周に沿って、サブライナー２２を引き抜いた。
その時、完全密着部の貼り付け状態に影響を及ぼす事な
く、粘着剤に引っかかる事なく、５枚中５枚とも全周に
わたりスムーズにサブライナー２２を引き抜くことがで
きた。その後、３０ｋｇ・３分の荷重を全周にかけて、
通常のペリクル貼り付け（本貼り）を実施した。その結
果、現行ペリクルと変わらない貼り付け状態（全周完全
密着）を確認した。

【００３６】〈比較例〉図３（Ｂ）、（Ｃ）に示すよう
に、厚さ１２５μｍ・幅２．６ｍｍの１層構造ライナー
２０を用いて、ライナーが異なる以外は全て実施例１の
通り、ＳＥＢＳ系粘着剤（旭化学合成Ａ１３１）をア
ルミ枠１０に塗布、ライナー２０を貼り付け成形した
（図３（Ａ）参照）。次に、ライナー２０のタブ２０１
（図３（Ｂ）参照）を把持して剥離し、仮貼り、剥離力
の測定を行った。この時のペリクル粘着材露出部とマス
クの密着幅は、０．８〜０．９ｍｍで、マスクからの剥
離力は２５０ｇ程度と大きく、２層構造ライナーを用い
た場合と比較し、２．５〜８．３倍の値を示した。マス
クからは、剥離治具なしではペリクル剥離は出来なかっ
た。また、剥離治具を用いたペリクル剥離を試みたが、
５枚中５枚とも剥離部分の粘着剤が伸びてその形状は崩
れ、ペリクルが再使用できる状態での剥離は出来なかっ
た。

【００３７】以上の様に、１層構造ライナーでは仮貼り
を行っても、マスクとペリクルの密着力が強く、きれい
にペリクルを剥離する事は困難であるが、サブライナー
とメインライナーの２層構造ライナーを用いる事によ
り、粘着材の露出面積を制限した仮貼り、及び軽いペリ
クル剥離が可能となり、剥離後、ペリクルを再使用出来
るようになった。

【００３８】本発明のペリクルを用いると、２段階で貼
り合わせることが出来、合格であった場合は、ペリクル
とマスクを密着させたまま２段目のライナーのみを剥が
すことができるので、異物混入の心配なく本貼りをする
ことが出来る。さらに、ペリクル付きマスクの異物等の
検査において不合格であった場合には両者を剥がしてマ
スクとペリクルを再利用することが可能である。また、
合格であった場合は、２段目のライナーをマスクと密着
させたまま１段目のペリクルのみを剥がすことができる
ので、異物混入の心配なく本貼りをすることが出来る。
さらに、本発明のペリクルにより、マスクのみの異物検
査は不要となり、ペリクル付きマスクの製造工程におい
て、異物検査を１回で済ませることが出来る。

【００３９】

【発明の効果】本発明によれば、検査回数を減ずること
ができ、かつ、ペリクルをマスクに貼付した後に、それ
を剥離して再び使用することができるペリクルおよびペ
リクル付きマスクの製造方法が提供される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態のペリクルを説明するた
めの図であり、図１（Ａ）は、本発明の一実施の形態の
ペリクルの概略部分縦断面図、図１（Ｂ）は、本発明の
一実施の形態のペリクルのライナーの概略平面図、図１
（Ｃ）は、本発明の一実施の形態のペリクルのライナー
の概略側面図である。

【図２】本発明の一実施の形態および従来のペリクルの
マスクからの剥離力を測定する方法を説明するための概
略側面図である。

【図３】従来のペリクルを説明するための図であり、図
３（Ａ）は従来のペリクルの概略部分縦断面図、図３
（Ｂ）は、従来のペリクルのライナーの概略平面図、図
３（Ｃ）は、従来のペリクルのライナーの概略側面図で
ある。

【図４】本発明の他の実施の形態のペリクルのライナー
の概略斜視図である。

【符号の説明】

１…ペリクル１０…ペリクル枠１１、１３…端面１２…ペリクル膜１４…粘着層１５…治具穴１６…開口部２０…ライナー２１…メインライナー２２、２２３、２２４…サブライナー２０１、２１１、２２１…タブ２２２…切り込み３０…石英（マスク）４１ロードセル４２、４３…末端４４…剥離治具

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】中央に開口部を有するペリクル枠の一方の
端面にペリクル膜が張設され、他方の端面に粘着層が設
けられ、前記粘着層上に少なくとも２枚以上のライナー
が貼着され、前記少なくとも２枚以上のライナーは前記
粘着層からそれぞれ剥離可能であって、前記少なくとも
２枚以上のライナーを前記粘着層からそれぞれ剥離する
ことによって各ライナーが前記粘着層に貼着されていた
部分の前記粘着層が露出することを特徴とするペリク
ル。
【請求項２】前記少なくとも２枚以上のライナーは、前
記粘着層から遠いライナーの一部がそのライナーよりも
前記粘着層に近いライナーから露出して積層された構造
を有し、前記粘着層に一番近いライナーは前記粘着層に
直接貼着すると共に、前記粘着層に一番近いライナーよ
りも前記粘着層から遠いライナーも前記露出する一部に
おいて前記粘着層にそれぞれ直接貼着していることを特
徴とする請求項１記載のペリクル。
【請求項３】中央に開口部を有するペリクル枠の一方の
端面にペリクル膜が張設され、他方の端面に粘着層が設
けられたペリクルを剥離可能な状態でマスクに仮に接着
し、前記仮接着した状態で前記マスクの検査を行い、前記検査が合格であれば前記ペリクルを前記粘着層によ
って前記マスクに本接着してペリクル付きマスクを製造
し、前記検査が不合格であれば、前記ペリクルを前記マ
スクから剥離し、その後前記ペリクルを再利用してペリ
クル付きマスクを製造することを特徴とするペリクル付
きマスクの製造方法。
【請求項４】中央に開口部を有するペリクル枠の一方の
端面にペリクル膜が張設され、他方の端面に粘着層が設
けられ、前記粘着層上に少なくとも２枚以上のライナー
が貼着されたペリクルを準備し、前記少なくとも２枚以上のライナーのうち少なくとも一
つのライナーを前記ペリクル枠から除去して前記粘着層
の一部を露出させ前記露出した粘着層を介して前記ペリ
クルをマスクに仮接着し、残りのライナーのうち少なくとも一つのライナーを除去
することにより前記ペリクルを前記マスクに本接着する
ことを特徴とするペリクル付きマスクの製造方法。
【請求項５】中央に開口部を有するペリクル枠の一方の
端面にペリクル膜が張設され、他方の端面に粘着層が設
けられ、メインライナーとサブライナーとが前記メイン
ライナーの一部が前記サブライナーから露出して積層さ
れ、前記サブライナーは前記粘着層に直接貼着すると共
に、前記メインライナーも前記サブライナーから露出す
る前記一部において前記粘着層に直接貼着し、かつ前記
メインライナーおよび前記サブライナーは、前記粘着層
から別々に剥離可能であるペリクルを準備し、前記メインライナーを前記粘着層から剥離し、前記サブ
ライナーから露出する前記粘着層によって前記ペリクル
をマスクに仮接着し、その後、前記仮接着した状態で前記サブライナーを前記
粘着層から剥離し、前記ペリクルを前記マスクに前記粘
着層によって本接着することを特徴とするペリクル付き
マスクの製造方法。