JPH059333B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〈技術分野〉 この発明は、半導体製造に際して使用されるウ
エハスライスの取出装置に関するものであり、特
に、ウエハスライス・キヤリアボツクスのスリツ
トに収納されたウエハスライスを効率的に取出す
ためのウエハスライス取出装置に係わるものであ
る。

〈従来技術〉 一般に、半導体製造分野においては、ウエハス
ライス・キヤリアボツクス等の物体収納ボツクス
内に垂直方向に多段に形成された水平方向の収納
用スリツトごとに一定間隔でウエハスライス等の
ほぼ平板状の物体を一枚づつ挟み込んで多数枚が
水平姿勢で積層された垂直柱状の状態で、これら
を収納することが行われている。そして、該キヤ
リアボツクスからウエハスライスを順次取出し
て、これに所定の処理加工を施した後、再びキヤ
リアボツクス内に収納するものであつた。

そのようなウエハスライス取出装置としては、
一対のエンドレスベルトを含むベルト搬送機構を
用いたものが知られており、第１図にその従来例
が示されている。

図において、ウエハスライス・キヤリアボツク
ス１は前面開放された収納凹部２を有し、該収納
凹部３の壁面には、垂直方向に多段の水平方向の
ウエハスライス収納用スリツト３が形成されてい
て、該スリツト３内には、ウエハスライス４が一
定間隔で積層されるようにして収納されている。
このキヤリアボツクス１は昇降機構５の昇降ステ
ージ６上に載置されて、該ステージ６とともに昇
降する。一方、前記キヤリアボツクス１と対向し
て、一対のエンドレスベルト７を含む物体搬送機
構８が配置されており、その一端は上記昇降ステ
ージ６の切欠き６ａ内に挿入され、キヤリアボツ
クス１内の最下段のウエハスライス４の下方に位
置している。

上記構成において、ウエハスライス４の取出し
に際しては、キヤリアボツクス１を所定位置まで
降下させ、最下段のウエハスライス４を該ボツク
ス１に対向配置されたベルト７に当接させる。こ
の状態で、ベルト７を駆動して、ウエハスライス
４をキヤリアボツクス１のスリツト３から取出し
て、ベルト７の一端から他端まで搬送するもので
ある。

しかしながら、上記従来技術においては、最下
段のウエハスライスしか取出すことができず、し
かも順次下方のものからしか取出せないので、作
業順序が常に一定のものとなり、作業上著しい制
約を受けるという欠点があつた。また、キヤリア
ボツクスから全部のウエハを取出した後でない
と、処理済のウエハを再びこれに収納することが
できないので、処理後のウエハを収納するために
は、結局、別のキヤリアボツクスが少なくてもも
う一つ必要になるという不利点もあつた。

そして、このような不利点は、近年の傾向がそ
うであるように、大径のウエハスライスに対して
加工処理を施す場合には、ウエハスライスの径に
応じてキヤリアボツクスも大形化し、コスト高と
なるので、スペースフアクタや経済性の観点から
深刻に捕えられていた。

更には、キヤリアボツクス内のスリツトによる
ウエハスライスの摩擦係止に抗してこれを該スリ
ツトから引き抜くようにして取出すものであるの
で、ウエハスライスが該スリツトと擦過して損傷
を受け易いという欠点もあつた。

〈目的〉 この発明の目的は、上記従来技術に基づくウエ
ハスライス取出装置の構造上の制約による非効率
的な作業等の問題点に鑑み、キヤリアボツクスに
進入退出するウエハスライス取出用フオークを備
える構成とすることにより、前記欠点を除去し不
利点を解消して、効率的でかつウエハを傷つける
ことのない優れたウエハスライス取出装置を提供
せんとするものである。

〈構成〉 上記目的に沿うこの発明の構成は、キヤリアボ
ツクスに対向配置された一対のエンドレスベルト
間に、昇降及び前進後退可能なウエハスライス取
出用のフオークを配設し、該フオークを前進させ
て、キヤリアボツクス内の任意のウエハスライス
の下方に進入させ、これを微上昇させてスリツト
内でウエハスライスをフオーク上面に支持した
後、該フオークを後退させてキヤリアボツクス外
に退出させることにより、ウエハスライスを取出
し、次いで該フオークを降下させて、ベルト上に
ウエハスライスを載置し、ベルトによつてこれを
搬送するようにしたことを要旨とするものであ
る。

〈実施例〉 次に、この発明の実施例を第２図及び第３図に
基づいて説明すれば以下の通りである。

第２図において、昇降機構５の昇降テーブル６
上に載置されたキヤリアボツクス１に対向配置さ
れた一対のエンドレスベルト７のキヤリアボツク
ス１側の一端、即ち、搬送開始点に、ベルト間に
位置して、ウエハスライス取出用の中継担持手段
としてのフオーク１０が配設されている。該フオ
ーク１０は中空状に形成されていて、その内部は
可撓管１１を介して適宜の真空源に連通されてお
り、その上面には、吸着孔１２が穿設されてい
る。そして、該フオーク１０は、昇降可能で、か
つ、キヤリアボツクス１方向に対して前進後退可
能で、その先端部が該ボツクス１に対して進入退
出自在に支持されるものであつて、例えば、モー
ター１４のリードスクリユウ１４ａの回転により
上下動する昇降板１５にフオーク１０が取付けら
れるとともに、該モーター１４が、シリンダー１
６によつてガイド桿１７上を前進後退するスライ
ダー１８に取付けられているものである。尚、キ
ヤリアボツクス１の前後には、投光部２０ａと受
光部２０ｂとから成るウエハ検出センサー２０が
対向配置されている。他の構成要素は第１図にお
いて同一の符号が示す構成要素とそれぞれ同一で
ある。

次に、上記構成における動作を第３図の動作説
明図をも参照しつつ説明すると以下の通りであ
る。

未処理のウエハスライス４が収納されたキヤリ
アボツクス１を昇降機構５の昇降テーブル６上に
載置し（第３図Ａ）、該昇降機構５を駆動して、
キヤリアボツクス１を所定の位置まで降下させる
ことで、処理のために取出すべき任意のウエハス
ライス４を所定の取出し高さに位置させる（第３
図Ｂ）。このとき、上下方向に位置決めされたキ
ヤリアボツクス１内の所定個所に取出すべきウエ
ハスライス４が存在するか否かをウエハ検出セン
サー２０によつて検出し（第３図Ｃ）、もしウエ
ハスライス４が無い場合には、再度昇降機構５を
駆動する。ウエハスライス４の存在が確認された
ときは、モーター１４を駆動して昇降板１５を上
昇させ、ウエハスライス取出用のフオーク１０を
ベルト７のベルト面位置まで上昇させる（第３図
Ｄ）。これによつて、該フオーク１０は取出対象
のウエハスライス４の若干下方の高さに位置決め
られる。次いで、シリンダー１６を駆動してスラ
イダー１８を押し進めることにより、フオーク１
０を前進させてキヤリアボツクス１内に進入さ
せ、ウエハスライス４の直下に位置させて停止さ
せる（第３図Ｅ）。

ここで、フオーク１０を最上位置まで微上昇さ
せて、その上面にウエハスライス４を乗せてこれ
を担持するとともに、該ウエハスライス４をスリ
ツト３内で浮かせる（第３図Ｆ）。そして、該フ
オーク１０を適宜の真空源に連通させて真空を作
用させ、フオーク上のウエハスライス４を吸着保
持する（第３図Ｇ）。再びシリンダー１６を駆動
してフオーク１０を後退させて、キヤリアボツク
ス１外に退出させることにより、これをベルト搬
送機構８のベルト７のキヤリアボツクス１側の一
端、即ち、搬送始端に位置させる（第３図Ｈ）。
このとき、フオーク１０はベルト７のベルト面よ
りも若干上方の最上位置に位置するので、取出し
たウエハスライス４がベルト７と干渉することは
ない。この位置でフオーク１０に対する真空を解
除し（第３図Ｉ）、モーター１４により昇降板１
５を介して該フオーク１０をベルト７以下の原位
置まで降下させると、（第３図Ｊ）、その降下の途
中で、フオーク１０上のウエハスライス４がベル
ト７上に載置される。かくて、ウエハスライス４
が、キヤリアボツクス１内とエンドレスベルト７
の該ボツクス１側の一端との間で中継担持され
る。

そこで、ベルト７を駆動しウエハスライス４を
搬送し（第３図Ｋ）、これが右端の搬送終端に位
置したとき、ベルト７を停止する（第３図Ｌ）。

このようにして、キヤリアボツクス１から取り
出されたウエハスライス４は、これに適宜の処理
加工が施こされた後、再びキヤリアボツクス１内
に収納されるべく、ベルト７の右端に載置され
る。そして、ウエハスライス４のキヤリアボツク
ス１内への収納は、前記取出動作と逆の動作によ
つて達成される。

即ち、ベルト７を逆動させて、ウエハスライス
４を左端に移動させて（第３図Ｍ）、ベルト７を
停止させ（第３図Ｎ）、フオーク１０を最上位置
まで上昇させて（第３図Ｏ）、その上面にウエハ
スライス４を載置した後、該フオーク１０に真空
を作用させてウエハスライス４を吸着保持する
（第３図Ｐ）。そして、フオーク１０を前進させて
ウエハスライス４をキヤリアボツクス１内に進入
させる（第３図Ｑ）。このとき、ウエハスライス
４はキヤリアボツクス１の適宜のスリツト３内に
挿入される。ここで、フオーク１０への真空を解
除した（第３図Ｒ）後、フオーク１０をベルト面
位置まで微降下させて（第３図Ｓ）、ウエハスラ
イス４をスリツト３に収納し、これを支持させ
る。次いで、フオーク１０をベルト７の左端位置
まで後退させ（第３図Ｔ）、ここで降下させて
（第３図Ｕ）、原位置に復帰させるものである。

なお、上記実施例の説明においては、フオーク
１０の昇降手段としてモーター１４とリードスク
リユウ１４ａを、また、前進後退手段としてシリ
ンダー１６を用いたものを説明したが、これらに
限られるものではないことは勿論のことである。
なお、特許請求の範囲の欄に記載された各構成要
素に関しては、実施例中のそれに対応する構成要
素に付された符号と同一の符号が付されている
が、これらを実施例中の構成要素そのものに限定
する趣旨ではない。

〈効果〉 上記のようにこの発明によれば、昇降自在に支
持されたウエハスライス・キヤリアボツクス等の
物体収納ボツクス１と、これに対向配置され、物
体収納ボツクス１側の一端と他端との間で物体４
を搬送する物体搬送機構８とが備えられており、
物体収納ボツクス１近傍に配設された中継担持手
段としてのフオーク１０が物体収納ボツクス１内
に進入し、物体収納ボツクス１内に収納されてい
る物体４の一つを上面に担持して収納ボツクス１
から退出し、物体搬送機構８における一対のエン
ドレスベルト７の収納ボツクス１側の一端近傍に
て該ベルト７以下に降下し、該ベルト７の一端上
面に物体４を載置する構成としたことにより、フ
オーク１０を昇降および前進後退させることで、
物体収納ボツクス１内のウエハスライス等の物体
４中の任意箇所のものを一つだけ取出すことがで
きるので、物体収納ボツクス１からの物体４の取
出し順序が該ボツクス内での物体４の配列によつ
て拘束されることがなくなり、その結果、作業性
が著しく改善されて、作業が効率的になるという
優れた効果が奏される。又、物体４を物体収納ボ
ツクス１内の任意の箇所から取出し、処理後に
は、これを該ボツクス内の任意の箇所に収納でき
るので、唯一個の物体収納ボツクス１を採用すれ
ば足りるという利点もある。

その上、実施例の構成では、キヤリアボツクス
内でフオークを微上昇させて、ウエハスライスを
スリツト内で浮かせてから、進入退出させるの
で、取出し時あるいは収納時にウエハスライスが
スリツト壁と擦過することがなく、損傷されるこ
とがないという実益がある。

さらに、実施例の構成では、フオークに真空を
作用させてウエハスライスを真空吸着して保持す
るので、取出しおよび収納時に、ウエハスライス
が不用意にフオークから落下することがないとい
う実益もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例の斜視図、第２図及び第３図は
この発明の実施例を示すものであり、第２図は斜
視図、第３図は作動説明図である。 １……ウエハスライス・キヤリアボツクス、３
……ウエハスライス収納用スリツト、５……昇降
機構、６……昇降テーブル、７……ベルト、８…
…ベルト搬送機構、１０……ウエハスライス取出
用フオーク、１２……吸着孔。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ ほぼ平板状の物体４を垂直方向に所定間隔を
   おいて水平姿勢で多段に積層して垂直柱状に複数
   個収納する物体収納ボツクス１と、 物体収納ボツクス１を所定の位置まで昇降させ
   る昇降機構５と、 物体収納ボツクス１に対向配置され、物体４を
   物体収納ボツクス１側の一端と他端との間で搬送
   する物体搬送機構８と、 物体収納ボツクス１近傍に配設され、物体収納
   ボツクス１内に、少なくとも一部分が進入退出
   し、物体収納ボツクス１内に収納されている複数
   個の物体４のうちの一つを物体搬送機構８の一端
   と物体収納ボツクス１内との間で中継担持する中
   継担持手段１０とを備えて成る物体取出装置。 ２ 中継担持手段１０は、先端部が物体収納ボツ
   クス１内に進入し、物体収納ボツクス１内に収納
   されている物体の一つを上面に担持して収納ボツ
   クス１から退出し、物体搬送機構８における一対
   のエンドレスベルト７の収納ボツクス１側の一端
   近傍にて、該ベルト７以下に降下し、該ベルト７
   の一端上面に物体を載置するようなフオーク１０
   である特許請求の範囲第１項記載の物体取出装
   置。