JP2012129556A5 - 露光装置、デバイス製造方法、及び露光方法。 - Google Patents

Claims (18)

1. 基板の複数のショット領域のそれぞれを、前記基板の表面の一部を覆う液浸領域の液体を介して順次露光する露光装置であって、
   前記基板を基板ホルダに保持する基板ステージと、
   光学素子を有する投影光学系と、
   前記投影光学系の光学素子が配置される穴部と、前記基板の表面が対向するように設けられた液体供給口と、前記基板の表面が対向するように設けられた液体回収口とを有する流路形成部材と、
   前記投影光学系からの露光光を透過可能な透過部材と、前記透過部材を介して前記投影光学系からの露光光を受光する受光素子とを有するセンサと、を備え、
   前記センサの前記透過部材は、前記基板ステージに設けられ、
   前記センサには、前記投影光学系からの露光光が、前記投影光学系と前記透過部材との間の液体を介して入射する露光装置。
2. 前記液体回収口から、前記基板上の液体を気体とともに回収する請求項１記載の露光装置。
3. 前記液体供給口は、前記投影光学系の投影領域を囲むように環状に配置されている請求項１又は２記載の露光装置。
4. 前記液体回収口は、前記液体供給口を囲むように配置されている請求項３記載の露光装置。
5. 前記光学素子と前記流路形成部材との間にはギャップが形成される請求項１〜４のいずれか一項記載の露光装置。
6. 前記光学素子と前記流路形成部材との間に前記ギャップを形成する面は撥液性である請求項５記載の露光装置。
7. 前記光学素子と前記流路形成部材の少なくとも一方が、前記撥液性の面を有する請求項６記載の露光装置。
8. 前記光学素子は、前記ギャップの上方で鏡筒に支持されている請求項５〜７のいずれか一項記載の露光装置。
9. 前記光学素子は、前記流路形成部材の上方で鏡筒に支持されている請求項１〜７のいずれか一項記載の露光装置。
10. 前記液体供給口から供給された液体で前記基板の表面の一部に液浸領域が形成され、前記投影光学系からの露光光が前記液浸領域の液体を介して前記基板上に照射される請求項１〜９のいずれか一項記載の露光装置。
11. 前記流路形成部材は、前記液体回収口に接続された回収流路を有し、
    前記液体回収口から回収された液体は、前記回収流路において、鉛直上向きに流れた後、水平方向に流れる請求項１〜１０のいずれか一項記載の露光装置。
12. 前記流路形成部材は、前記投影光学系の光軸と平行な方向に移動可能である請求項１〜１１のいずれか一項記載の露光装置。
13. 前記センサは、前記投影光学系からの露光光の照度、あるいは照度分布を検出する請求項１〜１２のいずれか一項記載の露光装置。
14. 請求項１〜１３のいずれか一項に記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
15. 基板ステージに保持された基板の複数のショット領域のそれぞれを、前記基板の表面の一部を覆う液浸領域の液体を介して、投影光学系の光学素子からの露光光で順次露光する露光方法であって、
    前記投影光学系の光学素子が配置される穴部を有する流路形成部材に前記基板の表面が対向するように設けられ液体供給口から液体を供給するとともに、前記基板の表面が対向するように前記流路形成部材に設けられた液体回収口から液体を回収して、前記投影光学系の像面側に液浸領域を形成することと、
    前記投影光学系からの露光光を前記液浸領域の液体を介してセンサの受光素子で受光することと、を含み、
    前記センサは、前記投影光学系からの露光光を透過可能な透過部材と、前記透過部材を介して前記投影光学系からの露光光を受光する受光素子とを有し、
    前記透過部材は、前記基板ステージに設けられ、
    前記受光素子は、前記投影光学系からの露光光を、前記投影光学系と前記透過部材との間の液体、及び前記透過部材を介して受光する露光方法。
16. 前記液体供給口は、前記投影光学系の投影領域を囲むように環状に配置されている請求項１５記載の露光方法。
17. 前記液体回収口は、前記液体供給口を囲むように配置されている請求項１６記載の露光装置。
18. 前記センサを使って、前記投影光学系からの露光光の照度、あるいは照度分布を検出する請求項１５〜１７のいずれか一項記載の露光方法。