JP2014143409A5 - 金属酸化物膜 - Google Patents

Claims (5)

1. 結晶部を有する金属酸化物膜であって、
   前記金属酸化物膜は、インジウムと、ガリウムと、亜鉛と、炭素とを有し、
   前記結晶部の大きさは、１０ｎｍ以下であり、
   前記金属酸化物膜は、ナノビーム電子線回折パターンにおいて、円周状に配置された複数のスポットが観察される領域を有することを特徴とする金属酸化物膜。
2. 結晶部を有する金属酸化物膜であって、
   前記金属酸化物膜は、インジウムと、ガリウムと、亜鉛と、炭素とを有し、
   前記結晶部の大きさは、１０ｎｍ以下であり、
   前記金属酸化物膜は、ナノビーム電子線回折パターンにおいて、円周状に配置された複数のスポットが観察される領域を有し、
   前記金属酸化物膜は、制限視野電子線回折を用いた電子線回折パターンにおいて、ハローパターンが観察される領域を有することを特徴とする金属酸化物膜。
3. 請求項１又は２において、
   前記ナノビーム電子線回折パターンの測定範囲は、１０ｎｍφ以下であることを特徴とする金属酸化物膜。
4. 請求項１乃至３のいずれか一において、
   前記結晶部の大きさは、５ｎｍ以下であることを特徴とする金属酸化物膜。
5. 請求項１乃至４のいずれか一において、
   前記金属酸化物膜に含まれる前記炭素の濃度は、３×１０ ^１８ ／ｃｍ ^３ 以下であることを特徴とする金属酸化物膜。