JP2874518B2 - 半導体装置及びその配線設計方法 - Google Patents

半導体装置及びその配線設計方法

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JP2874518B2
JP2874518B2 JP5122237A JP12223793A JP2874518B2 JP 2874518 B2 JP2874518 B2 JP 2874518B2 JP 5122237 A JP5122237 A JP 5122237A JP 12223793 A JP12223793 A JP 12223793A JP 2874518 B2 JP2874518 B2 JP 2874518B2
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  • Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置及びその配線
設計方法に係わり、特にスタンダードセル(セルベー
ス)方式に於いて、第1の方向(以下、X方向、と称
す)に延在する論理セル領域内の論理セルの第2の方向
(以下、Y方向、と称す)に並ぶ仮想端子(セル内の配
線の基点をCADによる配線設計で定義する仮の端子、
以下単に、端子、と称す)から論理セル領域と隣接して
第1の方向に延在する配線チャネル領域へ配線を引き出
す配線用セル及び配線設計方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のスタンダードセル(セルベース)
方式の論理回路装置及びその配線設計方法を図8乃至図
11を用いて説明する。
【0003】図8において、論理セル領域1aと論理セ
ル領域1bとの間に配線チャネル領域2が設けられ、論
理セル領域内に複数の論理セル3が形成され、配線チャ
ネル領域内に第1層アルミの配線14aがX方向に延在
して形成されている。
【0004】配線チャネル領域2に対向してX方向に配
列している論理セル3の端子5a〜5iは第2層アルミ
の配線14bによりそのまま配線チャネル領域2に引き
出されスルーホール4を通して所定の配線14aに接続
するように自動配線設計をすることができる。
【0005】一方、Y方向に配列する端子に関しては、
論理セル3aの右側の端子配列と論理セル3bの左側の
端子配列とはたがいにそのまま接続することができる端
子接続配列すなわち同種のエッジタイプであるから突き
合せ接続のバッティング方法で直接配線接続することが
できる隣接端子6である。同様に、論理セル3bの右側
の端子配列と論理セル3cの左側の端子配列とも同種の
エッジタイプであるからバッティング方法で直接配線接
続することができる隣接端子6である。
【0006】しかしながら、論理セル3aの左側の端は
配線端子7a,7b,7cの配列によるエッジタイプα
(9a)であり、論理セル3xの右側の端は端子が存在
しないエッジタイプβ(9b)であるから、論理セル3
aの左側の端は端子7a,7b,7cはチャネルルータ
などの自動配線設計では論理セル3dに遮られた未配線
隣接端子7となる。
【0007】この未配線隣接端子7の処理について、幾
つかの方法がとられている。
【0008】第1の方法は、自動配線設計で発生した未
配線端子を、CRTを視ながら対話形式で修正する、人
手による修正を行っている。
【0009】第2の方法は、図9に示すように、論理セ
ル3aの端子7a,7b,7cを遮ることのないよう
に、論理セル3xをY方向にずらして配置して配線14
aを端子7a,7b,7cに接続する方法である。この
場合、論理回路の面積が大きくなってしまう。
【0010】次に特開昭61−114550号公報に開
示されている第3の方法を、図10を参照して説明す
る。論理セル3yの右端には端子7d,7e,7fが存
在しているが、論理セル3aの左端の端子7a,7b,
7cとそれぞれバッティング方法で接続できない。すな
わち端子7dは端子7aと接続するものではなく端子7
cと接続すべきものであり、端子7eは端子7bと接続
するものではなく端子7aと接続すべきものであり、端
子7fは端子7cと接続するものではなく端子7bと接
続すべきものである。したがって論理セル3yの右端
は、エッジタイプαと異なるエッジタイプγ(9c)と
なっている。この場合、図10では、配線用セル16を
論理セル3aと論理セル3yとの間に配置している。
【0011】この従来技術の配線用セル16は、論理セ
ル領域内で論理セル3aと論理セル3yとの接続を行お
うとするものである。しかしながら、論理セル領域のY
方向の寸法すなわち論理セルのY方向の寸法が定まって
いるためにX方向に配線するトラックに数に限りがある
ので、例えば、配線トラック数と端子数が同数で配線が
複雑の場合、論理セル領域内での配線が不可能となる。
【0012】例えば、図10のように、端子7aと端子
7eとを配線し、端子7bと端子7fとを配線し、端子
7cと端子7dとを配線したい場合、いずれか1組(図
10では端子7aと端子7eとの組)が未配線となる。
【0013】図11にこの第3の方法の他の例を示す。
端子7aは論理セル領域を貫通する配線を介して論理セ
ル領域内で端子7fに接続し、端子7bは論理セル領域
内で端子7fに接続しているが、端子7cは端子7eと
接続すべきであるのに接続できない、すなわち自動配線
設計では未配線状態となる。なお図11において、フィ
ードセル17a,17bは、論理セル領域をY方向に貫
通する配線のみが存在するセルである。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】この従来の自動配置配
線システムにおける配線ツールを利用して端子間の配線
をする場合、自動配線方式であるチャネルルータ(ch
annel router)を使用すると、端子から配
線チャネル領域への配線の引き出しが一方向に限られて
いる為、セル間の隣接端子のうち隣接論理セルに遮られ
た端の論理セルにある縦一線に並んだ端子については、
配線チャネル領域への引き出しが不可能であるため、未
配線となってしまうという問題を生じる。他の自動配線
方式のルータ、例えばブロックルータ(block r
outer)を使用するとセル列の位置決めができない
ので配線が冗長となる。また、メーズルータ(maze
router)を使用するとセルの配置が固定である
等の制約があり、配線領域の指定が困難であるといった
問題がある。その為、高密度が達成しがたいなど面積効
率が悪くなるといった問題が生じる。
【0015】一方、この未配線の問題を避けるために、
自動配線設計で発生した未配線端子をCRTを視ながら
対話形式で修正する上記第1の方法は、人手による修正
を行うために全体の配線設計工数が増加し配線設計効率
が低下する。
【0016】上記第2の方法のように、予め隣接セルを
ずらして配置して未配線端子が生じないように配線領域
を確保すれば、全体の面積が大きくなってしまう。
【0017】また上記第3の方法のように、論理セル領
域内で隣接する論理セル間において、セル間配線がなさ
れず未配線となった端子を、論理セル領域内で配線を行
おうとする場合、論理セルのY方向の高さが定まってい
る為、X方向に配線する配線トラック数に限りがあるの
で、論理セル領域内での配線が出来なくなる場合が生じ
る。
【0018】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、論理セ
ル領域および配線チャネル領域が共に半導体基板の第1
の方向に延在し、かつ第1の方向と直角の第2の方向に
たがいに隣接して配置されており、同一の前記論理セル
領域内に第1の論理セルと第2の論理セルとを有し、前
記第1の論理セルの前記第2の論理セルに対向する端に
位置する該第1の論理セルの配線状態と前記第2の論理
セルの前記第1の論理セルに対向する端に位置する該第
2の論理セルの配線状態とは直接両者を接続できない半
導体装置において、前記第1の論理セルと前記第2の論
理セルとの間に、該第1および第2の論理セルのうちの
少なくとも一方の論理セルの前記端における全ての配線
トラックに位置する複数の配線部分をそれぞれ前記配線
チャネル領域側のみに配線を引き出す配線引き出し用セ
ルを設けた半導体装置にある。
【0019】本発明の他の特徴は、論理セル領域および
配線チャネル領域が共に半導体基板の第1の方向に延在
し、かつ第1の方向と直角の第2の方向にたがいに隣接
して配置されており、同一の前記論理セル領域内に第1
の論理セルと第2の論理セルとを有し、前記配線チャネ
ル領域に複数のチャネル配線が前記第1の方向に延在し
て形成され、前記第1の論理セルの前記第2の論理セル
に対向する端に位置する該第1の論理セルの配線状態と
前記第2の論理セルの前記第1の論理セルに対向する端
に位置する該第2の論理セルの配線状態とは直接両者を
接続できない半導体装置において、前記第1の論理セル
と前記第2の論理セルとの間に第1及び第2の配線引き
出し用セルを設け、前記第1の論理セルの前記第2の論
理セルに対向する端に位置する該第1の論理セルの複数
の配線部分をそれぞれ前記第1の配線引き出し用セルに
より前記配線チャネル領域に引き出して該当する前記チ
ャネル配線にそれぞれ接続し、前記第2の論理セルの前
記第1の論理セルに対向する端に位置する該第2の論理
セルの複数の配線部分をそれぞれ前記第2の配線引き出
し用セルにより前記配線チャネル領域に引き出して該当
する前記チャネル配線にそれぞれ接続し、これにより、
前記第1の論理セルの前記配線部分のそれぞれと前記第
2の論理セルの所定の前記配線部分とを前記チャネル配
線を通して配線接続した半導体装置にある。ここで、前
記論理セル領域の前記第2の方向に隣接して該論理セル
領域の両側にそれぞれ前記配線チャネル領域が設けられ
ており、前記第1および第2の複数の配線部分のうち一
群の配線部分をそれぞれ一方の側の配線チャネル領域に
引き出してそこの前記チャネル配線を通して前記配線接
続を行い、前記第1および第2の複数の配線部分のうち
残りの一群の配線部分をそれぞれ他方の側の配線チャネ
ル領域に引き出してそこの前記チャネル配線を通して前
記配線接続を行うことができる。
【0020】本発明の別の特徴は、半導体基板上に論理
セル領域と、該論理セル領域に隣接する配線チャネル領
域とを有する半導体装置の配線設計方法において、前記
論理セル領域内に論理セルの自動配置を行う段階と、前
記論理セル領域内で隣接する論理セルのそれぞれが持つ
仮想端子接続配列の比較を行う段階と、前記比較におい
て隣接する論理セルの仮想端子接続配列がたがいに異な
る場合、それぞれの論理セルのサイズ、仮想端子情報を
もとに、仮想端子もしくは仮想端子およびノード、並び
にこれらの仮想端子、ノードと論理セル内の仮想端子間
の配線情報を内部に発生させた、前記配線チャネル領域
側のみに配線を引き出す配線引き出し用セルを自動生成
する段階と、前記自動生成した配線引き出し用セルを前
記論理セル領域内に配置し、前記論理セルの未配線仮想
端子から前記配線チャネル領域への配線を可能にする段
階と、しかる後、自動配線方式により全体の配線設計を
行う段階とを具備し、上記各段階を順番に実行すること
により上記配線構造を得る半導体装置の配線設計方法に
ある。
【0021】
【実施例】次に図面を参照して本発明を説明する。
【0022】自動配線方式には、配線チャネル領域への
セル(論理セル、配線用セル)内部の端子からの配線の
引き出し機能を有するものと、その機能を有さないもの
とがある。その為、本発明の配線チャネル領域側に配線
を引き出す配線引き出し用セルの内部情報構造が、それ
ぞれ異なる。
【0023】図1および図2の第1の実施例は、配線引
き出し用セル内部の端子からの配線の引き出し機能を有
する配線方式である。そしてCADにおける仮想端子す
なわち本明細書における端子(各図において×印で示
す)はそのセル外部に配線を引き出すための基点である
から、図1および図2では配線引き出し用セルの内部に
端子を有する。
【0024】一方、図4および図5の第2の実施例は、
配線引き出し用セル10の内部からの配線の引き出し機
能を有さないものである。したがって配線引き出し用セ
ル10の内部にはセル内の基点であるノード(□印で示
す)が設定され、配線チャネル領域との隣接端部に、セ
ル外部である配線チャネル領域へ配線を引き出すための
端子が設定される。
【0025】まず図1および図2の平面図を参照して説
明する。また本実施例の手順を図3のフローチャートに
示す。
【0026】まず最初に自動配置方式により論理セルの
配置を行う。これを図1を用いて説明する。
【0027】ここで、それぞれの論理セルに対し、X方
向の両サイドエッジにエッジタイプと言った特性を与え
ておく。これは、隣接する論理セルの種類の判別に用い
られる。
【0028】論理セル領域1a,1bがX方向に延在
し、これらにY方向に挟まれてX方向に延在する配線チ
ャネル領域2が設けられて配置されている。論理セル領
域1aには論理セル3が横に配列されており、論理セル
領域1bの右側には論理セル3a,3b,3cがX方向
に配列され、論理セル領域1bの左側には論理セル3x
がX方向に配置されている。論理セル3aの右側の端子
配列と論理セル3bの左側の端子配列とはたがいにその
まま突き合せ接続のバッティング方法で直接配線接続す
ることができる隣接端子6を有する端子接続配列すなわ
ち同種のエッジタイプであり、同様に、論理セル3bの
右側の端子配列と論理セル3cの左側の端子配列ともバ
ッティング方法で直接配線接続することができる隣接端
子6を有する同種のエッジタイプである。したがって論
理セル7a,7b,7cは同種の論理セルであることが
できる。しかしながら、論理セル3aの左側の端は配線
端子7a,7b,7cの配列によるエッジタイプα(9
a)であり、論理セル3xの右側の端は端子が存在しな
いエッジタイプβ(9b)である。このように隣接する
論理セルの双方のエッジタイプの比較を行なう。
【0029】次に、端子間の配線接続を説明する。論理
セル領域1bにおける論理セル3a,3b,3cの配線
チャネル領域2に隣接する端辺上の端子5a,5b,5
cと、論理セル領域1aにおける論理セル3の配線チャ
ネル領域2に隣接する端辺上の端子5d,5e,5fと
はY方向に延在する第2層アルミ配線14bによりそれ
ぞれ配線チャネル領域2上に引き出され、配線チャネル
領域2におけるスルーホール(○印で示す)4およびx
方向に延在する第1層アルミ配線14aを介して接続す
る。また、論理セル領域1aにおける論理セル3の配線
チャネル領域2に隣接する端辺上の端子5g,5h,5
iは第2層アルミ配線14bによりそれぞれ配線チャネ
ル領域2上に引き出され配線チャネル2をX方向に延在
する第1層アルミの配線14aにスルーホール4を介し
て接続する。また、論理セル3a,3b,3cのエッジ
タイプがたがいに同じである隣接端子6はバッティング
方式で接続する。
【0030】X方向の配線チャネル領域2の指定を行
い、自動配線方式により配線を行うと、X方向の横一線
に並んだ端子5a〜5iについては、配線チャネル領域
2への引き出しを行い配線が行われるが、Y方向の縦一
線に並んだ端子7a〜7cは、上下(Y方向の上下)の
配線チャネル領域への引き出しが出来ず、また、エッジ
タイプの異なる隣接論理セル3xに遮られてX方向にも
配線が出せず、未配線端子7となってしまう。
【0031】従って、最初のセル配置を行うときに、本
発明の配線用セルを自動生成し、配置することにより、
全配線を同一方式で行うことが出来るようにする。これ
を図1、図2を用いて説明する。
【0032】論理セル配置が行われるとき、まず、隣接
する両論理セルのエッジタイプ9a,9bの比較を行
う。もし、異なっていたら配線引き出し用セルの生成、
配置となる。すなわち、論理セル3aの左側のエッジタ
イプ9aはα型であり、論理セル3xの右側のエッジタ
イプ9bは端子が存在しないβ型であるから、この場合
に配線引き出し用セル10の生成、配置となる。
【0033】配線引き出し用セル10の生成において、
そのセル寸法は論理セル3aと同じ高さ(Y方向の寸
法)、幅(X方向の寸法)は(論理セルのエッジにある
隣接端子数+1)×(X配線格子数)とする。図1の場
合、(論理セルのエッジにある隣接端子数+1)は3+
1=4となる。また(X配線格子数)はY方向に延在す
る配線トラック間の間隔寸法である。
【0034】また、配線引き出し用セル10の内部には
端子12a,12b,12cと、これら端子と論理セル
3aのエッジにある隣接端子7a,7b,7c間の配線
接続情報11a,11b,11cを発生させる。発生す
る端子12a,12b,12cは、X座標をX配線格子
毎にずらし、Y座標を隣接端子7a,7b,7cと同座
標に、隣接端子数だけ配置する。その発生した配線引き
出し用セルの例を図2に示す。
【0035】次に、前段階により生成した配線引き出し
用セル10を、比較した隣接するエッジタイプの異なる
両論理セル間、すなわち論理セル3aと論理セル3xと
の間に埋込み配置設計を行う。
【0036】最後に、自動配線方法を用いて配線設計を
行う。図1に示すように、この自動配線において、論理
セル3aの隣接端子7a,7b,7cの全ては、配線引
き出し用セル10内部の端子12a,12b,12cを
通して配線チャネル領域2に引き出されるから、未配線
の箇所は発生しない。
【0037】次に、図4および図5を参照して本発明の
第2の実施例を説明する。尚、図4、図5において図
1、図2と同一もしくは類似の符号を付けてあるから重
複する説明は省略する。
【0038】先に説明したように、第1の実施例では、
配線チャネル領域へのセル内部の端子からの配線の引き
出し機能を持つ配線方式を使用した場合の配線引き出し
用セルの生成方法を示したが、第2の実施例では、この
機能を持たない配線方式を使用した場合を示す。すなわ
ち第1の実施例では配線引き出し用セル内部に外部に
(配線チャネル領域に)引き出し機能を持つ配線の基点
である端子12a,12b,12c(×印)を発生させ
たが、第2の実施例では、配線引き出し用セル内部に外
部に(配線チャネル領域に)引き出し機能を持たないで
セル内部の配線の基点であるノード(□印)を発生さ
せ、配線引き出し用セルの外部と(配線チャネル領域
と)隣接するエッジに引き出し機能を有する端子(×
印)を発生させている。
【0039】このように第2の実施例の第1の実施例と
の相違は、配線引き出し用セルの内部構造にあるので、
ここでは配線引き出し用セルの生成方法を図5を用いて
説明し、図5の配線引き出し用セルを用いたレイアウト
を図4に示す。また、第2の実施例の手順は第1の実施
例と同様に図3のフローチャートに示す。
【0040】第1の実施例と同様に、それぞれの論理セ
ルに対して、エッジタイプ9a,9bの特性を与えてお
く。
【0041】配線引き出し用セルのセル寸法は、第1の
実施例と同様の方法で決定する。
【0042】また、配線引き出し用セルの配線チャネル
領域に隣接するエッジに端子12a〜12f、これら端
子と論理セルのエッジにある隣接端子7a〜7cとの間
の配線を介するためのノード13a,13b,13c、
及びそれらの配線接続情報11を発生させる。
【0043】ノード13a,13b,13cは、X座標
をX配線格子毎にずらし、Y座標を隣接端子7a〜7c
と同座標に、隣接端子数だけ配置する。また、端子12
a〜12fは、X座標をノード13a,13b,13c
と同座標にし、Y座標を配線用セルのY方向の上側と下
側のエッジに配置する。
【0044】次に、第1の実施例と同様に、生成した配
線引き出し用セルを埋込み配置し、自動配線方式により
全体の配線設計を行う。
【0045】次に本発明の第3の実施例を図6を参照し
て説明する。尚、図6において図1、図2と同一もしく
は類似の符号を付けてあるから重複する説明は省略す
る。また、この第2の実施例の手順は第1および第2の
実施例と同様に図3のフローチャートに示す。
【0046】第3の実施例は、隣接する論理セル3aと
論理セル3yとの間の配線、特に、配線トラック数と端
子数とが同数で、かつ配線が複雑である場合の配線設計
方法である。
【0047】論理セル領域1と、そのY方向の上下に配
線チャネル領域2a,2bが設けられている。論理セル
領域1には、右側にエッジタイプα(9a)の論理セル
3aが配置され、左側にエッジタイプγ(9c)の論理
セル3yが配置されている。両論理セルには3つずつ同
数の端子7a〜7c、7d〜7fを有し、X方向を延在
する配線トラック数も3本とする。
【0048】また、論理セル4aの端子7a〜7cと論
理セル4bの端子7d〜7fとの配線接続において、端
子7aと端子7eとを配線し、端子7bと端子7fとを
配線し、端子7cと端子7dとを配線する場合を説明す
る。
【0049】上記配線接続に対する対策を省略してその
まま自動配線方式を用いて自動配線を行うと、配線チャ
ネル領域の指定により制限されるために、上記配線は自
動配線されない。一方、図10に示した配線用セルを論
理セル領域内に設け、そこで配線接続をしようとする
と、先に説明したように、トラック数の制限により、1
組の配線が未配線のまま残ってしまう。したがって論理
セル領域内での配線は不可能である。
【0050】そこで、第1および第2の実施例と同様に
配線チャネル領域に配線引き出し用セル10a,10b
をそれぞれの論理セルに対して生成、配置を行なう。こ
れにより、配線チャネル領域への引き出しが可能とな
り、同一自動配線方式により全ての配線がなされる(図
6)。
【0051】また、配線引き出し用セルの生成におい
て、端子、ノードの位置決めは、図7に示すようにX座
標を2組ずつ同座標に配置し、上下の配線チャネル領域
に配線を引き出すことも出来る。このことは、前記第1
および第2の実施例についても同様である。
【0052】尚、各図の配線チャネル領域2(2a,2
b,2c)および配線引き出し用セル10(10a,1
0b)において、X方向の配線は第1層アルミ配線14
aを、Y方向の配線は第2層アルミ配線14bを例示し
て説明してある。
【0053】
【発明の効果】この配線チャネル領域に引き出すための
配線引き出し用セルを用いることにより、自動配置配線
システムにおいて、配線不可能だった、他の隣接セルに
遮られた隣接端子、及び隣接したがいに異なるエッジタ
イプの論理セル間の端子を、配線チャネル領域に引き出
し、自動配線を可能にする。
【0054】そのため、隣接セルをずらして配置する必
要がなくなるため、全体の面積が小さくなり、高密度と
なる。また、未配線端子が発生した場合の人手による配
線設計の修正が省かれる為、設計工数の削減が可能とな
る。また、隣接した論理セル間の複雑な自動配線を可能
にする。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例の配線引き出し用セルの
配置、配線の様子を示す図である。
【図2】本発明の第1の実施例の配線引き出し用セルの
内部構成を示す図である。
【図3】本発明の実施例の配線設計の手順を示すフロー
チャートである。
【図4】本発明の第2の実施例の配線引き出し用セルの
配置、配線の様子を示す図である。
【図5】本発明の第2の実施例の配線引き出し用セルの
内部構成を示す図である。
【図6】本発明の第3の実施例の配線引き出し用セルの
配置、配線の様子を示す図である。
【図7】本発明の実施例の配線引き出し用セルの内部構
成の別例を示す図である。
【図8】自動配置配線方式を用いた場合の従来技術を示
す図である。
【図9】自動配置配線方式を用いた場合の他の従来技術
を示す図である。
【図10】自動配置配線方式を用いた場合の別の従来技
術を示す図である。
【図11】図10の配線用セルの配置、配線の様子を示
す図である。
【符号の説明】
1(1a,1b) 論理セル領域 2(2a,2b,2c) 配線チャネル領域 3(3a,3b,3c,3x,3y) 論理セル 4 スルーホール 5(5a〜5i) 端子 6 バッテイング方法で配線接続できる隣接端子 7(7a,7b,7c) 未配線隣接端子 9a エッジタイプα 9b エッジタイプβ 9c エッジタイプγ 10(10a,10b) 配線チャネル領域に配線を
引き出す配線引き出し用セル 11(11a,11b,11c) 配線引き出し用セ
ル10内に発生させた配線情報 12(12a〜12f) 配線引き出し用セル10内
に発生させた端子 13(13a,13b,13c) 配線引き出し用セ
ル10内に発生させたノード 14a 第1層目のアルミで形成されX方向を延在す
る配線 14b 第2層目のアルミで形成されY方向を延在す
る配線

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 論理セル領域および配線チャネル領域が
    共に半導体基板の第1の方向に延在し、かつ前記第1の
    方向と直角の第2の方向にたがいに隣接して配置されて
    おり、同一の前記論理セル領域内に第1の論理セルと第
    2の論理セルとを有し、前記配線チャネル領域に複数の
    チャネル配線が前記第1の方向に延在して形成され、 前記第1の論理セルの前記第2の論理セルに対向する端
    に位置する該第1の論理セルの配線状態と前記第2の論
    理セルの前記第1の論理セルに対向する端に位置する該
    第2の論理セルの配線状態とは直接両者を接続できない
    半導体装置において、 前記第1の論理セルと前記第2の論理セルとの間に第1
    及び第2の配線引き出し用セルを設け、 前記第1の論理セルの前記第2の論理セルに対向する端
    に位置する該第1の論理セルの複数の配線部分をそれぞ
    れ前記第1の配線引き出し用セルにより前記配線チャネ
    ル領域に引き出して該当する前記チャネル配線にそれぞ
    れ接続し、これにより、 前記第2の論理セルの前記第1の論理セルに対向する端
    に位置する該第2の論理セルの複数の配線部分をそれぞ
    れ前記第2の配線引き出し用セルにより前記配線チャネ
    ル領域に引き出して該当する前記チャネル配線にそれぞ
    れ接続し、 前記第1の論理セルの前記配線部分それぞれと前記第
    2の論理セルの所定の前記配線部分とを前記チャネル配
    線を介して配線接続したことを特徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】 前記論理セル領域の前記第2の方向に隣
    接して該論理セル領域の両側にそれぞれ前記配線チャネ
    ル領域が設けられており、前記第1および第2の複数の
    配線部分のうち一群の配線部分をそれぞれ一方の側の配
    線チャネル領域に引き出してそこの前記チャネル配線を
    通して前記配線接続を行い、前記第1および第2の複数
    の配線部分のうち残りの一群の配線部分をそれぞれ他方
    の側の配線チャネル領域に引き出してそこの前記チャネ
    ル領域を通して前記配線接続を行ったことを特徴とする
    請求項1記載の半導体装置。
  3. 【請求項3】 半導体基板上に論理セル領域と、該論理
    セル領域に隣接する配線チャネル領域とを有する半導体
    装置の配線設計方法において、 前記論理セル領域内に論理セルの自動配置を行う段階
    と、 前記論理セル領域内で隣接する論理セルのそれぞれが持
    つ仮想端子接続配列の比較を行う段階と、 前記比較において隣接する論理セルの仮想端子接続配列
    がたがいに異なる場合、それぞれの論理セルのサイズ、
    仮想端子情報をもとに、仮想端子もしくは仮想端子およ
    びノード、並びにこれらの仮想端子、ノードと論理セル
    内の仮想端子間の配線情報を内部に発生させた、前記配
    線チャネル領域側のみに配線を引き出す配線引き出し用
    セルを自動生成する段階と、 前記自動生成した配線引き出し用セルを前記論理セル領
    域内に配置し、前記論理セルの未配線仮想端子から前記
    配線チャネル領域への配線を可能にする段階と、 しかる後、自動配線方式により全体の配線設計を行う段
    階と、 を具備し、上記各段階を順番に実行することにより前記
    請求項もしくは請求項記載の配線構造を得ることを
    特徴とする半導体装置の配線設計方法。
  4. 【請求項4】 第1の論理セル、第1の配線引き出し用
    セル、第2の配線引き出し用セルおよび第2の論理セル
    がこの順に配列して設けられた論理セル領域と、前記論
    理セル領域に隣接して設けられた配線チャネル領域と、
    前記第1の論理セルの端子を前記第1の配線引き出し用
    セル内に引き出す手段と、前記第1の配線引き出し用セ
    内に引き出された前記第1の論理セルの端子と前記配
    線チャネル領域の所定の配線チャネルとを接続する第1
    の配線と、前記第2の論理セルの端子を前記第2の配線
    引き出し用セル内に引き出す手段と、前記第2の配線引
    き出し用セル内に引き出された前記第2の論理セルの端
    子と前記所定の配線チャネルとを接続する第2の配線
    と、前記所定の配線チャネルにおいて前記第1の配線と
    前記第2の配線とを接続する第3の配線とを備えること
    を特徴とする半導体装置。
  5. 【請求項5】 論理セル内に互いに隣接する第1および
    第2の論理セルを配置するステップと、前記第1の論理
    セルと前記第2の論理セルとが直接接続できないことを
    検出するステップと、前記第1および第2の論理セル間
    に第1および第2の配線引き出し用セルを挿入して配置
    するステップと、前記第1の論理セルと前記第1の配線
    引き出し用セルとを接続するステップと、前記第2の論
    理セルと前記第2の配線引き出し用セルとを接続するス
    テップと、前記第1の配線引き出し用セルと前記論理セ
    ル領域に隣接して設けられた配線チャネルとを接続する
    ステップと、前記第2の配線引き出し用セルと前記配線
    チャネルとを接続するステップとからなり、前記第1の
    論理セルと前記第2の論理セルとを、前記第1の配線引
    き出し用セル、前記配線チャネル並びに前記第2の配線
    引き出し用セルを介して接続することを特徴とする半導
    体装置の配線設計方法。
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