JP2910329B2 - 高耐熱性ガスケットの製造方法 - Google Patents
高耐熱性ガスケットの製造方法Info
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- JP2910329B2 JP2910329B2 JP3169917A JP16991791A JP2910329B2 JP 2910329 B2 JP2910329 B2 JP 2910329B2 JP 3169917 A JP3169917 A JP 3169917A JP 16991791 A JP16991791 A JP 16991791A JP 2910329 B2 JP2910329 B2 JP 2910329B2
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Gasket Seals (AREA)
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は例えば、セラミックガス
タ−ビンの高温部（1000℃以上）のフランジ部の気密性
を保持するのに適した高耐熱性ガスケットの製造方法に
関する。
タ−ビンの高温部（1000℃以上）のフランジ部の気密性
を保持するのに適した高耐熱性ガスケットの製造方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】自動車用エンジンの将来型の一つとし
て、燃料消費率の低下、低公害性、燃料の多様化の利点
を期待して、主要先進国で自動車用ガスタ−ビンが開発
されている。この背景には、十数年前から注目されだし
た新材料であるセラミックスが耐熱性に優れ、従来の耐
熱鋼を上回る優れた特性を保持していることから、セラ
ミックスを使用したセラミックガスタ−ビンが開発され
ている。
て、燃料消費率の低下、低公害性、燃料の多様化の利点
を期待して、主要先進国で自動車用ガスタ−ビンが開発
されている。この背景には、十数年前から注目されだし
た新材料であるセラミックスが耐熱性に優れ、従来の耐
熱鋼を上回る優れた特性を保持していることから、セラ
ミックスを使用したセラミックガスタ−ビンが開発され
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】また、熱力学の原理か
ら、サイクル温度を高くすればサイクル熱効率は向上す
ることから、耐熱性の優れたセラミックスの利用により
1000℃以上の高温化を図って燃料消費率の向上を図ろう
としている。
ら、サイクル温度を高くすればサイクル熱効率は向上す
ることから、耐熱性の優れたセラミックスの利用により
1000℃以上の高温化を図って燃料消費率の向上を図ろう
としている。
【０００４】このような高温の雰囲気中において使用さ
れるセラミックガスタ−ビンのフランジ部の気密性を保
持するために、耐熱鋼をガスケットとして使用すること
が考えられる。
れるセラミックガスタ−ビンのフランジ部の気密性を保
持するために、耐熱鋼をガスケットとして使用すること
が考えられる。
【０００５】しかし、この耐熱鋼を冷却する必要がある
ことから装置が大型化するという問題のみならず、耐熱
鋼は弾性を持っていないため、1000℃以上の高温部で使
用されるガスケットとしては十分なシ−ル性を発揮する
ことができないという問題点があった。
ことから装置が大型化するという問題のみならず、耐熱
鋼は弾性を持っていないため、1000℃以上の高温部で使
用されるガスケットとしては十分なシ−ル性を発揮する
ことができないという問題点があった。
【０００６】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、その目的は例えばセラミックガスタ−ビンのような
1000℃以上の高温中にさらされる装置のフランジ部の気
密性を保持するのに十分な耐熱性及び弾性を有する高耐
熱性ガスケットの製造方法を提供することにある。
で、その目的は例えばセラミックガスタ−ビンのような
1000℃以上の高温中にさらされる装置のフランジ部の気
密性を保持するのに十分な耐熱性及び弾性を有する高耐
熱性ガスケットの製造方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項第１項に係わる発
明は化学気相析出法により基板上にセラミック製マイク
ロばねを形成する工程と、上記セラミック製マイクロば
ねをフュ−ジョンボンディングにより重ね合わせる工程
とを具備したことを特徴とする高耐熱性ガスケットの製
造方法である。
明は化学気相析出法により基板上にセラミック製マイク
ロばねを形成する工程と、上記セラミック製マイクロば
ねをフュ−ジョンボンディングにより重ね合わせる工程
とを具備したことを特徴とする高耐熱性ガスケットの製
造方法である。
【０００８】
【作用】請求項第１項において、化学気相析出法により
基板上にセラミック製マイクロばねを形成し、上記セラ
ミック製マイクロばねにSiC の粉末を塗して温度を上げ
てSiC を溶融させることによるフュ−ジョンボンディン
グにより上記セラミック製マイクロばねを重ね合わせて
フェルト状シ−トを形成している。
基板上にセラミック製マイクロばねを形成し、上記セラ
ミック製マイクロばねにSiC の粉末を塗して温度を上げ
てSiC を溶融させることによるフュ−ジョンボンディン
グにより上記セラミック製マイクロばねを重ね合わせて
フェルト状シ−トを形成している。
【０００９】
【実施例】以下図面を参照して本発明の一実施例に係わ
る高耐熱性ガスケットの製造方法に図１を参照しながら
説明する。図１（ａ）に示すように、石英製反応管（図
示しない）の中央部にFeのような不純物１１を塗布した
グラファイト基板１２を吊し、Si2 Cl6 ＋NH3 ＋H 2 ＋
Arの混合ガス中、1200℃で反応を行う。
る高耐熱性ガスケットの製造方法に図１を参照しながら
説明する。図１（ａ）に示すように、石英製反応管（図
示しない）の中央部にFeのような不純物１１を塗布した
グラファイト基板１２を吊し、Si2 Cl6 ＋NH3 ＋H 2 ＋
Arの混合ガス中、1200℃で反応を行う。
【００１０】この結果、化学気相析出（ＣＶＤ）法によ
り、基板１２上に図１（ｂ）に示すようなコイル状Si3
N 4 ファイバ−１３が成長する。そして、このように成
長したSi3 N 4 ファイバ−１３に図１（ｃ）に示すよう
にSiC の粉末１４を塗して温度を上げると、SiC が溶融
し、Si3 N 4 ファイバ−１３が互いに結合（フュ−ジョ
ンボンディング）され、図１（ｄ）に示すようにフェル
ト状シ−ト１５が形成される。
り、基板１２上に図１（ｂ）に示すようなコイル状Si3
N 4 ファイバ−１３が成長する。そして、このように成
長したSi3 N 4 ファイバ−１３に図１（ｃ）に示すよう
にSiC の粉末１４を塗して温度を上げると、SiC が溶融
し、Si3 N 4 ファイバ−１３が互いに結合（フュ−ジョ
ンボンディング）され、図１（ｄ）に示すようにフェル
ト状シ−ト１５が形成される。
【００１１】つまり、このフェルト状シ−ト１５内には
無数のセラミック製マイクロばね１６が重ね合わされて
構成されている。従って、このフェルト状シ−ト１５は
セラミックの高耐熱性及びマイクロばね１６の弾性を兼
ね備えている。
無数のセラミック製マイクロばね１６が重ね合わされて
構成されている。従って、このフェルト状シ−ト１５は
セラミックの高耐熱性及びマイクロばね１６の弾性を兼
ね備えている。
【００１２】このようにして形成されたフェルト状シ−
ト１５をセラミックガスタ−ビンのような1000℃以上の
高温中にさらされる装置のフランジ部の気密性を保持す
るためのガスケットとして使用すれば、該フェルト状シ
−トは十分な耐熱性及び弾性を有するので、気密性を十
分に保持することができる。
ト１５をセラミックガスタ−ビンのような1000℃以上の
高温中にさらされる装置のフランジ部の気密性を保持す
るためのガスケットとして使用すれば、該フェルト状シ
−トは十分な耐熱性及び弾性を有するので、気密性を十
分に保持することができる。
【００１３】なお、不純物１１はNiであっても良い。上
記実施例ではフェルト状シ−トをフランジ部のガスケッ
トに使用したが、加圧高温炉のガスケット等にも使用す
ることができる。
記実施例ではフェルト状シ−トをフランジ部のガスケッ
トに使用したが、加圧高温炉のガスケット等にも使用す
ることができる。
【００１４】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、高
温中にさらされる部位の気密性を保持するのに十分な耐
熱性及び弾性を有する高耐熱性ガスケットの製造方法を
提供することができる。
温中にさらされる部位の気密性を保持するのに十分な耐
熱性及び弾性を有する高耐熱性ガスケットの製造方法を
提供することができる。
【図１】本発明の一実施例に係わる高耐熱性ガスケット
の製造方法を示す図。
の製造方法を示す図。
１１…不純物、１２…グラファイト基板、１３…Si3 N
4 ファイバ−、１４…粉末、１５…フェルト状シ−ト。
4 ファイバ−、１４…粉末、１５…フェルト状シ−ト。
Claims (1)
- 【請求項１】 化学気相析出法により基板上にセラミッ
ク製マイクロばねを形成する工程と、上記セラミック製
マイクロばねをフュ−ジョンボンディングにより重ね合
わせる工程とを具備したことを特徴とする高耐熱性ガス
ケットの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3169917A JP2910329B2 (ja) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | 高耐熱性ガスケットの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3169917A JP2910329B2 (ja) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | 高耐熱性ガスケットの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0518467A JPH0518467A (ja) | 1993-01-26 |
| JP2910329B2 true JP2910329B2 (ja) | 1999-06-23 |
Family
ID=15895352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3169917A Expired - Fee Related JP2910329B2 (ja) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | 高耐熱性ガスケットの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2910329B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1575449A1 (en) | 2002-12-18 | 2005-09-21 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | System for removably joining a driven member to a driven member with workpiece |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0269175U (ja) * | 1988-11-14 | 1990-05-25 |
-
1991
- 1991-07-10 JP JP3169917A patent/JP2910329B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0518467A (ja) | 1993-01-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990309 |
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