JP2995262B2

JP2995262B2 - 回転カップ式薬液処理装置

Info

Publication number: JP2995262B2
Application number: JP6617894A
Authority: JP
Inventors: 龍三高月
Original assignee: Tazmo Co Ltd
Current assignee: Tazmo Co Ltd
Priority date: 1994-04-04
Filing date: 1994-04-04
Publication date: 1999-12-27
Anticipated expiration: 2014-12-27
Also published as: JPH07275778A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体の素子およびマ
スク、並びに液晶パネル等の製造工程において、ウエ
ハ、マスクあるいは液晶パネル等の表面に薄膜を形成さ
せたり、あるいは同表面を現像したりエッチングする遠
心力を利用した回転カップ式薬液処理装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工程においては、ウエハ等の
基盤の上に、感光液等の塗布剤が均一に塗布された塗膜
が形成される。このような塗膜に所定の処理が施されて
半導体製品が製造される。塗膜の厚みは通常数ミクロン
と極めて薄く、また均一な厚みが要求されることから、
上記要求を満足させることが可能な図７に示すような薬
液処理装置１０が利用される。

【０００３】この図に示すように、薬液処理装置１０
は、回転カップ２０と、この回転カップ２０の上面を被
覆するフード３０と、回転カップ２０を軸心回りに回転
可能に支持しかつ外周部を被覆するケーシング４０とを
備えた構成を有している。上記回転カップ２０の上面に
基盤Ｂを吸着配置し、その上に塗布剤を滴下した後、フ
ード３０で覆って回転カップ２０を高速回転させること
によって、遠心力で回転中心から径方向に塗布剤を拡散
させて基盤Ｂ上に均一な塗膜を形成させるようになって
いる。

【０００４】回転カップ２０の外周縁部には、フード３
０と回転カップ２０との間に形成される基盤載置空間Ｓ
と外部とを連通する複数の排出孔２０１が穿設され、余
分な塗布剤がこれらの排出孔２０１を介してケーシング
４０に設けられた回収通路４０１内に放出されるように
なっている。

【０００５】そして、上記回転カップ２０の高速回転に
よって基盤Ｂ上に空気の渦流が形成されると、塗膜の表
面に波紋が形成され、塗膜の厚みの均一性が損なわれる
ことから、基盤載置空間Ｓの上部はフード３０によって
密閉状態にされている。この密閉状態を確実なものにす
るために、フード３０の周縁部分の上部に設けられた環
状突起２０２に蟻溝状のリング溝２０３が形成され、こ
のリング溝２０３にゴムなどの柔軟性を有するシール材
で形成されたＯリング２０４が嵌め込まれている。

【０００６】そしてこのＯリング２０４の上部は上記リ
ング溝２０３から若干外部に突出されているため、フー
ド３０を回転カップ２０に装着するとフードの下面部が
Ｏリング２０４の上記若干突出された部分に当接し、基
盤載置空間Ｓの上部は閉止状態になる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の基盤
載置空間Ｓの閉止構造においては、上記Ｏリング２０４
の上面部（当接面）が面一状態でリング溝２０３内に嵌
装されている場合には、フード３０の下面がＯリング２
０４の当接面に隙間なく当接し、Ｏリング２０４のシー
ル作用によって基盤載置空間Ｓの上部の閉止性は有効に
確保されるが、リング溝２０３はＯリング２０４の抜け
防止のため上部の開口幅を狭くしてあることから、Ｏリ
ング２０４はリング溝２０３に向かって押圧しながら嵌
め込まれるため、リング溝２０３に嵌め込まれたＯリン
グ２０４の周方向の密度分布が不均一になる場合が多
く、その結果、Ｏリング２０４の当接面に凹凸が形成さ
れた状態になっている。

【０００８】従って、フード３０を回転カップ２０に被
せてもフード３０の下面部とＯリング２０４との間に上
記凹凸に起因する隙間が形成され、基盤載置空間Ｓの上
部は良好な閉止状態にならず、隙間から漏れ入った空気
の流れで基盤載置空間Ｓ内に渦流が生じ、基盤Ｂの表面
に均一な塗膜が形成されなくなる。

【０００９】かかる不都合を解消するために、リング溝
２０３の開口を大きくして蟻溝とは異なる形状にするこ
とが考えられるが、このようにすると、フード３０を開
放するときに裏面にＯリング２０４が付着してリング溝
２０３から外れてしまうという新たな問題点が発生す
る。

【００１０】さらに、フード３０が偏心状態で回転カッ
プ２０に装着されると、回転カップ２０を高速回転させ
たときにフード３０の周面部が下段周面２０２の外方側
に形成された段壁に振動状態で激突擦過し、この激突擦
過によって微細な粉塵が発生して負圧状態の基盤載置空
間Ｓ内に吸引されるため、基盤Ｂが汚染され、塗布製品
の歩留が低下するという問題点も有している。

【００１１】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたものであり、確実に回転カップの基盤載置空間内
の上部を密閉状態で閉止するとともに、一旦装着された
Ｏリングは外れることがなく、かつ、回転カップを高速
回転させても発塵することのない回転カップ式薬液処理
装置を提供することを目的としている。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
回転カップ式薬液処理装置は、回転カップと、この回転
カップを上方から環状の弾性シール部材を介して被覆す
るフードとを有する回転カップ式薬液処理装置におい
て、上記回転カップには周縁部上面に環状突起が設けら
れ、上記環状突起にはその内周側面に上記弾性シール部
材が嵌入可能な環状溝が形成されるとともに、上記環状
溝の上端には上記弾性シール部材が抜け出るのを規制す
る規制片部が形成されていることを特徴とするものであ
る。

【００１３】本発明の請求項２記載の回転カップ式薬液
処理装置は、請求項１記載の回転カップ式薬液処理装置
において、上記フードには被覆時に上記弾性シール部材
の上記環状溝から一部露出した面に当接する傾斜面が環
状に形成されていることを特徴とするものである。

【００１４】本発明の請求項３記載の回転カップ式薬液
処理装置は、請求項１記載の回転カップ式薬液処理装置
において、上記フードには被覆時に上記弾性シール部材
の上記環状溝から一部露出した面に当接する垂直壁と水
平壁とからなる段差面が環状に形成されていることを特
徴とするものである。

【００１５】本発明の請求項４記載の回転カップ式薬液
処理装置は、請求項１乃至３のいずれかに記載の回転カ
ップ式薬液処理装置において、上記環状溝は、その下部
の一部が上記環状突起の周縁部を浅く穿設して形成され
ていることを特徴とするものである。

【００１６】本発明の請求項５記載の回転カップ式薬液
処理装置は、請求項１または２記載の回転カップ式薬液
処理装置において、上記傾斜面は平面であることを特徴
とするものである。

【００１７】本発明の請求項６記載の回転カップ式薬液
処理装置は、請求項１または２記載の回転カップ式薬液
処理装置において、上記傾斜面は、少なくとも上記弾性
シール部材の曲率以下の曲率を有する凹曲面であること
を特徴とするものである。

【００１８】本発明の請求項７記載の回転カップ式薬液
処理装置は、請求項１乃至６のいずれかに記載の回転カ
ップ式薬液処理装置において、上記回転カップは、上記
環状突起と同心で、かつ、この環状突起の内周側に環状
の防塵突起が形成され、上記フードは、被覆時に上記突
起に嵌合する環状の防塵溝が設けられていることを特徴
とするものである。

【００１９】本発明の請求項８記載の回転カップ式薬液
処理装置は、請求項１乃至７のいずれかに記載の回転カ
ップ式薬液処理装置において、上記環状突起は、上記環
状溝と外周側面とを貫通する１個または複数個の孔が設
けられていることを特徴とするものである。

【００２０】

【作用】上記請求項１記載の回転カップ式薬液処理装置
によれば、環状突起にはその内周側面に上記弾性シール
部材が嵌入可能な環状溝が形成されるとともに、上記環
状溝の上端には上記弾性シール部材が抜け出るのを規制
する規制片部が形成されているため、上記嵌入溝に形成
されたオーバーハング状の規制片部による抜け止め作用
によって一旦嵌め込まれた弾性シール部材は嵌入溝から
外れるのを有効に抑止された状態になり、フードを上昇
させたときにフードの裏面に弾性部材が粘着してフード
に同伴し、シール部材が環状溝から外れることはない。

【００２１】また、上記規制片部の存在によって、環状
溝を従来のように蟻溝にする必要がないため、環状溝へ
のシール部材の装着時に、シール部材を無理に押圧し変
形させることに起因する密度分布の不均一によってシー
ル部材の露出面が面一にならず、そのためシール性が損
なわれるというような問題点は確実に回避することがで
きる。

【００２２】上記請求項２記載の回転カップ式薬液処理
装置によれば、フードには被覆時に上記弾性シール部材
の上記環状溝から一部露出した面に当接する傾斜面が環
状に形成されているため、シール部材を押圧しているフ
ードの傾斜面はシール部材から斜め上方に向かう反発力
を受けるため、この反発力の水平分力によって回転中心
方向に押圧され、フードは常に回転カップの回転中心に
押し戻され、偏心することによって起こるフードの一部
と回転カップの一部との擦過接触が有効に回避され、上
記擦過接触による微細な粉塵の発生が阻止される。

【００２３】上記請求項３記載の回転カップ式薬液処理
装置によれば、フードには被覆時に上記弾性シール部材
の上記環状溝から一部露出した面に当接する垂直壁と水
平壁とからなる段差面が環状に形成されているため、上
記段差面の垂直壁と水平壁とがシール部材の露出した面
を挟んだ状態の安定したシールが行われる。そして特に
垂直面はシール部材から回転中心に向かう反発力を受け
るため、この反発力によってフードは常に回転カップの
回転中心に押し戻され、偏心することによって起こるフ
ードの一部と回転カップの一部との擦過接触が有効に回
避され、上記擦過接触による微細な粉塵の発生が阻止さ
れる。

【００２４】上記請求項４記載の回転カップ式薬液処理
装置によれば、環状溝は、その下部の一部が上記環状突
起の周縁部を浅く穿設して形成されているため、環状溝
に嵌入された弾性シール部材は、上記環状突起の周縁部
に浅く穿設された部分に入り込み、弾性シール部材の環
状溝への嵌入状態が安定する。

【００２５】上記請求項５記載の回転カップ式薬液処理
装置によれば、フードに形成された傾斜面は平面である
ため、最小の工作努力で傾斜面を形成させることが可能
になる。

【００２６】上記請求項６記載の回転カップ式薬液処理
装置によれば、フードに形成された傾斜面は、少なくと
も上記弾性シール部材の曲率以下の曲率を有する凹曲面
であるため、傾斜面と弾性シール部材との接触面積が増
大し、フード装着による回転カップの密閉効果がより向
上する。

【００２７】上記請求項７記載の回転カップ式薬液処理
装置によれば、回転カップは、環状突起と同心でその内
周側に環状の防塵突起が形成され、フードは被覆時に上
記回転カップ側の防塵突起に嵌合する環状の防塵溝が設
けられているため、この両防塵突起の防塵溝への嵌入に
よって粉塵が発生しても回転カップ内への侵入が有効に
防止される。

【００２８】上記請求項８記載の回転カップ式薬液処理
装置によれば、環状突起に貫通した１個または複数個の
孔が設けられているため、一旦環状溝に装着されたシー
ル部材を取り外すときは、外周側からこの孔に金具を差
し込んで押圧することにより、容易にシール部材を嵌入
溝から取り出すことが可能になる。

【００２９】

【実施例】図１は、本発明に係る回転カップ式薬液処理
装置の一例を示す一部切欠き斜視図であり、図２はその
Ａ−Ａ線断面図である。これらの図に示すように、薬液
処理装置１は、円盤状の回転カップ２、この回転カップ
２の上面を覆うフード３、上記回転カップ２が嵌装され
るケーシング４、フード３の着脱を行うフード着脱機構
５、回転カップ２を回転させるカップ回転機構６、およ
び回転カップ２を昇降させる昇降機構７とから構成され
ている。

【００３０】上記回転カップ２は、中径軸部２１と、環
状皿部２２とから構成されている。上記環状皿部２２の
上面は、上記中径軸部２１の上面と面一、あるいはわず
かに低い面一状になるように寸法設定されており、この
面一の面に塗膜形成を施す基盤Ｂが中径軸部２１の中心
軸に一致して載置されるようになっている。上記環状皿
部２２の外周縁部には上方に突出した環状堰部２２ａが
設けられており、環状堰部２２ａでフード３を受けるよ
うになっている。フード３が装着された状態でこの環状
堰部２２ａによって囲まれた部分に基盤載置空間Ｓが形
成される。

【００３１】上記環状堰部２２ａの下部の周面には基盤
載置空間Ｓから外方に向かって斜め下方に傾斜した小径
の排出孔２０１が所定間隔で複数個穿設されており、こ
の排出孔２０１を介して基盤載置空間Ｓ内の余分な塗布
剤を外部に排出するようになっている。

【００３２】上記中径軸部２１の下部には同心の回転軸
２３が共回り可能に結合されている。中径軸部２１およ
び回転軸２３の軸心部分にはそれらを貫通した吸気通路
２３ａが形成されており、図略の真空ポンプを作動する
ことによって回転軸２３の下端部に接続されたチューブ
２３ｂを介して基盤Ｂを中径軸部２１に吸引するように
なっている。

【００３３】回転カップ２は、中径軸部２１の小径部が
筒状の大径軸部２４の筒孔に嵌め込まれた状態で大径軸
部２４に固定されている。この大径軸部２４の上部には
フランジ部が形成され、このフランジ部は上記回転カッ
プ２の環状皿部２２が固定されている。

【００３４】大径軸部２４の下部は、支持架台Ｐに穿設
された装着孔Ｐ１に嵌め込まれ、外周面にフランジ２５
ａを有する支持筒体２５に、ベアリング２６を介して嵌
装されている。従って、回転カップ２は、支持架台Ｐに
対して回転軸２３の軸心回りに回転可能になっている。

【００３５】上記フード３は、フード本体３１、このフ
ード本体３１の中心部が上方に突出した円柱状の把持部
３２、およびフード本体３１の外周縁部が上方に膨出し
た膨出縁部３３から構成されている。この膨出縁部３３
は上記環状堰部２２ａに対応して設けられているもの
で、膨出縁部３３の底面部が環状堰部２２ａの上面部に
当接することによって回転カップ２を閉止するようにな
っている。上記把持部３２の頂部には後述するフード着
脱機構５による着脱動作を可能にすべくその下の胴部３
２ａよりも径の大きい鍔部３２ｂが形成されている。

【００３６】上記ケーシング４は環状体を有し、大径軸
部２４が嵌め込まれた状態でフランジ２５ａに支持固定
され、その上部は回転カップ２を囲繞している。

【００３７】ケーシング４の内部には環状の回収通路４
０１が形成されており、この回収通路４０１の上部に環
状の排出用帯孔４１が設けられ、この排出用帯孔４１の
開口は上記環状堰部２２ａに穿設された排出孔２０１に
対向して設けられている。従って、回転カップ２の基盤
載置空間Ｓから排出された不要物はこの排出用帯孔４１
を介して回収通路４０１内に導入される。回収通路４０
１の周方向一部には下方に向かって垂直孔４２が設けら
れ、回収通路４０１に溜った不要物はこの垂直孔４２か
ら外部に排出されるようになっている。

【００３８】また、薬液処理装置１には、フード３を回
転カップ２に対して着脱するために、フード着脱機構５
が設けられている。このフード着脱機構５は、ケーシン
グ４に囲繞され、フード３を閉止する蓋体５１、水平腕
が蓋体５１に固定されたＬ字アーム５２、およびこのＬ
字アーム５２を上下動させるシリンダ５３から構成され
ている。このシリンダ５３は縦置きとされ、その頂部に
出没可能に突設されたシリンダロッド５４の上端部がＬ
字アーム５２の垂直腕に固定されている。

【００３９】上記蓋体５１の中央部には上記把持部３２
の胴部３２ａの外径より大径でかつ鍔部３２ｂよりも小
径の嵌入孔５１ａが設けられ、また蓋体５１の中央部に
は鍔部３２ｂを内部に収容する伏せ椀部５１ａが設けら
れている。シリンダ５３により蓋体５１を上方に引き上
げると、上記嵌入孔５１ａの縁部が鍔部３２ｂに係合し
て、フード３も上方に引き上げられる。

【００４０】また、上記回転カップ２を回転軸２３の軸
心回りに回転させるために、支持架台Ｐの下部にはカッ
プ回転機構６が設けられている。このカップ回転機構６
は、駆動モータ６１、この駆動モータ６１の駆動軸に共
回りするように設けられた駆動プーリ６２、大径軸部２
４およびボールスプライン６３ａと共回りするように設
けられた従動プーリ６３および駆動プーリ６２と従動プ
ーリ６３との間に張設されたベルト６４から構成されて
いる。

【００４１】上記回転軸２３の外周面にはスプラインが
形成されており、このスプラインに噛合するボールスプ
ライン６３ａが大径軸部２４の筒孔の下部に嵌入固定さ
れている。上記従動プーリ６３は大径軸部２４およびボ
ールスプライン６３ａと共回りするように固定されてい
る。従って、上記駆動モータ６１の回転力は駆動プーリ
６２、ベルト６４および従動プーリ６３を介して大径軸
部２４およびボールスプライン６３ａに伝達され、ま
た、上記ボールスプライン６３ａを介して回転軸２３に
伝達され、中径軸部２１および環状皿部２２からなる回
転カップ２が回転するようになっている。

【００４２】また、回転軸２３の下部には昇降機構７が
設けられている。この昇降機構７は、回転軸２３の下端
部近傍に縦置き状態で設けられた第二シリンダ７１、こ
の第二シリンダ７１のシリンダロッド７２の上端部に結
合された昇降ブロック７３およびこの昇降ブロック７３
の上下動をガイドするための上下方向に延びたガイドレ
ール７４から構成されている。

【００４３】上記昇降ブロック７３は、ベアリング７３
ａを介して回転軸２３の下部に結合されており、第二シ
リンダ７１を作動させてシリンダロッド７２を上下動さ
せることにより回転軸２３を上下動させるようになって
いる。回転軸２３が第二シリンダ７１の作動によって上
昇させられると、その頂部に設けられた回転カップ２の
中径軸部２１と大径軸部２４との結合状態が解除され、
中径軸部２１のみが環状皿部２２に対して上方に移動
し、基盤Ｂの載置や取り上げ動作が容易に行い得るよう
になる。

【００４４】本発明の回転カップ式薬液処理装置は以上
のように構成されているので、基盤Ｂの表面に塗膜を形
成させるには、まず、図２の二点鎖線で示すように、シ
リンダ５３を作動させてシリンダロッド５４、Ｌ字アー
ム５２および連結部５１ｂを介して蓋体５１を上昇させ
る。そうすると、伏せ椀部５１ａが把持部３２の鍔部３
２ｂを摘んだ状態でフード３を上方に持ち上げ、回転カ
ップ２の基盤載置空間Ｓが外部に露出した状態になる。

【００４５】この状態でさらに第二シリンダ７１を作動
させて昇降ブロック７３を上昇させれば、この上昇によ
って回転軸２３を介して中径軸部２１は上昇し、その上
面部が基盤載置空間Ｓから外部に突出した状態になる。
この状態で中径軸部２１の上面に図略のロボットアーム
等あるいはマニュアル操作で基盤Ｂを正確に載置し、さ
らに基盤Ｂの表面に所定量の塗布剤を滴下する。そし
て、あるいは載置直後に吸気通路２３ａを介して真空吸
着を行う。その後第二シリンダ７１を上記と逆に作動さ
せて中径軸部２１を下降させ、再度環状皿部２２と面一
状態にする。

【００４６】そして、シリンダ５３を上記と逆に作動さ
せてフード３を下降させ、基盤載置空間Ｓを閉止する。
なお、基盤Ｂの吸引はフード３の閉止後すなわち回転カ
ップ２の回転開始までに行うようにしてもよい。

【００４７】この状態でカップ回転機構６の駆動モータ
６１を駆動させれば、その回転駆動は駆動プーリ６２、
ベルト６４、従動プーリ６３を介して大径軸部２４およ
びボールスプライン６３ａに伝達され、また、上記およ
びボールスプライン６３ａを介して回転軸２３に伝達さ
れ、回転カップ２は所定の速度で回転する。この回転カ
ップ２の回転による遠心力で基盤Ｂ上に滴下された塗布
剤は径方向に薄く拡散し、基盤Ｂの表面に塗膜が形成さ
れる。基盤Ｂ上から振り切られた余分な塗布剤は、回転
カップ２の環状堰部２２ａに穿設された排出孔２０１か
ら排出され、ケーシング４の排出用帯孔４１を介して回
収通路４０１内に導入され、垂直孔４２から外部に導出
される。

【００４８】そして、所定時間経過後、駆動モータ６１
の回転駆動を停止し、シリンダ５３を駆動させてシリン
ダロッド５４を上方に移動させることによってフード３
は持ち上げられ、回転カップ２上の塗膜が形成された直
後の基盤Ｂが露出した状態になる。この状態で、第二シ
リンダ７１の作動によってシリンダロッド７２が上昇
し、このシリンダロッド７２に結合された回転軸２３を
介して回転カップ２の中径軸部２１は上昇し、その上に
載置された基盤Ｂは基盤載置空間Ｓから外部に押し出さ
れる。そして、基盤Ｂは同様にロボットアーム等によっ
て回転カップ２から取り出され、つぎの工程に移送され
ることになる。以上の操作を繰り返すことによって基盤
Ｂの表面に塗布剤の均一な塗膜が形成されることにな
る。

【００４９】図３は、図２の部分拡大図であり、回転カ
ップ２とフード３との間のシール構造の一例を示してい
る。この図に示すように、回転カップ２の外周部に形成
された環状堰部２２ａの上面部には、環状であって断面
矩形状の内側突起２７と外側突起２８とからなる二条の
突起が径方向に所定間隔を置いて設けられている。

【００５０】そして、上記外側突起２８の内周面の上部
には内側に突出した環状の抜け止め片２８ａが設けられ
ている。この抜け止め片２８ａは先細りに形成されその
下面部には斜めの上部傾斜壁２８ｂが形成されている。

【００５１】そして、内側突起２７と外側突起２８との
間であって上記抜け止め片２８ａに対向するように上部
傾斜壁２８ｂに平行ないしは略平行な下部傾斜壁２８ｃ
が形成され、上部傾斜壁２８ｂと下部傾斜壁２８ｃとの
間にゴムなどの柔軟性を有する環状のＯリング９の少な
くとも半分が入る断面形状を有した環状の嵌入溝２９が
形成されている。この嵌入溝２９にＯリング９が嵌入さ
れ、シール構造が形成されている。

【００５２】なお、本実施例においては、嵌入溝２９は
水平、垂直面がそれぞれ平面状に形成されているが、平
面状に限定されるものではなく、Ｏリング９の断面形状
に沿って曲面にしてもよい。但し、嵌入溝２９は貫入さ
れたＯリング９の密度分布が一様になるように、少なく
ともＯリング９の嵌入する部分の断面に等しいか、それ
より多少大きめの断面積を有する寸法形状に設定するこ
とが好ましい。

【００５３】一方、フード本体３１の周縁上部に膨設さ
れた上記膨出縁部３３の下面部には上記内側突起２７に
対応した内側環状溝３３ａと、上記外側突起２８に対応
した外側環状溝３３ｂとが断面矩形状に凹設され、これ
ら内側環状溝３３ａと外側環状溝３３ｂとの間に、環状
の嵌入突起（環状突起）３３ｃが、内側突起２７と外側
突起２８との間隙部に嵌入されるようになっている。

【００５４】そして、上記嵌入突起３３ｃの上記嵌入溝
２９に対向した部分には、図４に示すように、Ｏリング
９に接するテーパ面３３ｄが形成され、このテーパ面３
３ｄの上部には水平面３３ｅが延設されている。この水
平面３３ｅがＯリング９の略頂部付近に当接することに
よって、基盤Ｂとの間隔を一定に保つようになってい
る。

【００５５】従って、Ｏリング９が嵌入溝２９に装着さ
れた状態で、フード３によって回転カップ２の基盤載置
空間Ｓを閉止すれば、嵌入溝２９の上部傾斜壁２８ｂお
よび下部傾斜壁２８ｃに挾持された状態のＯリング９の
嵌入溝２９から外部に露出している部分が嵌入突起３３
ｃのテーパ面３３ｄおよび水平面３３ｅに押圧当接され
た状態になり、基盤載置空間Ｓの上部はＯリング９によ
ってシールされた状態になる。

【００５６】本発明の回転カップ式薬液処理装置は以上
のように、外側突起２８に設けられた嵌入溝２９に斜め
の互いに対向した互いに平行な上部傾斜壁２８ｂと下部
傾斜壁２８ｃとが設けられ、これら上部傾斜壁２８ｂと
下部傾斜壁２８ｃとの間にＯリング９が嵌め込まれると
ともに、膨出縁部３３の嵌入突起３３ｃにはＯリング９
の露出部分に当接するテーパ面３３ｄと水平面３３ｅと
が形成されてなるものであるため、まず、Ｏリング９の
嵌入溝２９への装着操作は極めて容易であり、従来の溝
が蟻溝であったために押し込まなければならなかったと
いうＯリング９の装着操作の困難性が解消される。

【００５７】また、嵌入溝２９の上部には抜け止め片２
８ａが嵌入溝２９に対してオーバーハング状態で設けら
れているため、一旦Ｏリング９が嵌入溝２９に嵌め込ま
れると、フード３の開放時にテーパ面３３ｄに付着した
Ｏリング９がフード３の上昇に同伴して嵌入溝２９から
外れるというようなことはない。

【００５８】さらに、たとえフード３が回転カップ２の
回転中心に対して偏心状態で装着されたとしても、図４
に示すように、Ｏリング９を押圧しているフード３のテ
ーパ面３３ｄはＯリング９から左斜め上方に向かう反発
力Ｆを受けるため、この反発力Ｆの水平分力Ｔｘが発生
し、フード３は回転中心方向に押圧されるため、フード
３は常に回転カップ２の回転中心に押し戻される。

【００５９】従って、従来のような回転カップ２の回転
による遠心力によってフード３が回転中心から外方に向
かう力を受けて回転カップ２の一部と接触し、その結果
擦過摩耗で粉塵が発生するような不都合が有効に抑止さ
れる。

【００６０】なお、本実施例においては、外側突起２８
の一部に、図４に点線で示すような、外側突起２８を幅
方向に貫通した抜き孔２９ａが１個または適宜個数設け
られている。そして、この抜き孔２９ａに外側から金具
を差し込んで押圧することにより、Ｏリング９を嵌入溝
２９から容易に取り出すことが可能になる。

【００６１】また、本実施例においては、上記のように
外側突起２８のさらに内側に内側突起２７が設けられ、
この内側突起２７に嵌入する内側環状溝３３ａが膨出縁
部３３に設けられ外部に対して二重の防塵構造になって
いるため、より有効に基盤載置空間Ｓ内への粉塵の侵入
を阻止することができる。

【００６２】なお、本実施例においては、回転カップ２
の環状堰部２２ａに内側突起２７および外側突起２８が
設けられ、フード３の膨出縁部３３に内側突起２７およ
び外側突起２８間に嵌入する嵌入突起３３ｃが設けられ
ているが、本発明の回転カップは環状堰部２２ａに内側
突起２７および外側突起２８が設けられるとともに、フ
ード３に嵌入突起３３ｃが設けられることに限定される
ものではなく、フード３に突起を設けるとともに回転カ
ップ２に嵌入突起を設けるようにしてもよい。

【００６３】また、本実施例においては、フード３に膨
出縁部３３を形成し、この膨出縁部３３の裏面に内側突
起２７および外側突起２８を嵌入するための内側環状溝
３３ａおよび外側環状溝３３ｂを凹設しているが、本発
明は膨出縁部３３の裏面に内側環状溝３３ａおよび外側
環状溝３３ｂを凹設する構造に限定されるものではな
く、フード３の縁部に膨出縁部３３を設けずフード本体
３１を同一厚みに形成し、この同一厚みのフード本体３
１の裏面であって、上記回転カップ２の環状皿部２２に
突設された内側突起２７および外側突起２８の間隙部に
嵌入する嵌入突起３３ｃのみを突設するようにしてもよ
い。

【００６４】また、本実施例においては、嵌入突起３３
ｃに扁平なテーパ面３３ｄが形成されているが、このテ
ーパ面３３ｄは縦断面で、図４に示すような直線状のも
のに限定されるものではなく、Ｏリング９の曲率に一致
する曲線から曲率が０（すなわち直線）までの間の曲率
を有する曲線に設定することも可能である。こうするこ
とによって、直線の場合よりもＯリング９とテーパ面３
３ｄとの間の接触面積が大きくなり、Ｏリング９による
閉止効果が向上する。

【００６５】さらに、本実施例においては、内側突起２
７、外側突起２８、内側環状溝３３ａおよび外側環状溝
３３ｂの縦断面は矩形状に形状設定されているが、これ
らは矩形状に形状設定されることに限定されるものでは
なく、円弧状その他であってもよい。

【００６６】加えて、本実施例においては嵌入溝２９の
開口はＯリング９の直径と略同じに寸法設定されている
が、Ｏリング９の直径よりも小さくしてもよい。また、
抜け止め片２８ａによってＯリング９は有効に抜け出る
のが阻止されているため、嵌入溝２９の下部傾斜壁２８
ｃは特に設けなくてもよい。

【００６７】図５は、他の例のフードのシール構造を示
す断面図である。この例の場合は、Ｏリング９を貫入す
る嵌入溝２９は、内側防塵突起２７と外側突起２８との
間に形成された溝の底面と面一状態になっている。その
他は先の例のシール構造と同じである。このように、嵌
入溝２９は、内側防塵突起２７と外側突起２８との間に
形成された溝の底面と面一状態にしたとしても、Ｏリン
グ９は上部の抜け止め片２８ａに規制されてＯリング９
から外部に抜け出るのが有効に抑止される。

【００６８】図６は、さらに他のれいのフードのシール
構造を示す断面図である。この例の場合は、フード３の
嵌入突起３３ｃのＯリング９に接する面が垂直壁と水平
壁とからなる段差面３３ｆによって形成されている。そ
の他は最先の例と同じである。従って、フード３によっ
て回転カップ２が閉止されＯリング９でシールされた状
態では、段差面３３ｆの垂直面と水平面とがＯリング９
の表面に当接し、シール効果がさらに向上したものにな
る。

【００６９】

【発明の効果】本発明の請求項１記載の回転カップ式薬
液処理装置によれば、環状突起にはその内周側面に上記
弾性シール部材が嵌入可能な環状溝が形成されるととも
に、上記環状溝の上端には上記弾性シール部材が抜け出
るのを規制する規制片部が形成されているため、上記嵌
入溝に形成されたオーバーハング状の規制片部による抜
け止め作用によって一旦嵌め込まれた弾性シール部材は
嵌入溝から外れるのを有効に抑止された状態になり、フ
ードを上昇させたときにフードの裏面に弾性部材が粘着
してフードに同伴し、シール部材が環状溝から外れるこ
とはない。

【００７０】また、上記規制片部の存在によって、環状
溝を従来のように蟻溝にする必要がないため、環状溝へ
のシール部材の装着時に、シール部材を無理に押圧し変
形させることに起因する密度分布の不均一によってシー
ル部材の露出面が面一にならず、そのためシール性が損
なわれるというような問題点は確実に回避することがで
きる。

【００７１】本発明の請求項２記載の回転カップ式薬液
処理装置によれば、フードには被覆時に上記弾性シール
部材の上記環状溝から一部露出した面に当接する傾斜面
が環状に形成されているため、シール部材を押圧してい
るフードの傾斜面はシール部材から斜め上方に向かう反
発力を受けるため、この反発力の水平分力によって回転
中心方向に押圧され、フードは常に回転カップの回転中
心に押し戻され、偏心することによって起こるフードの
一部と回転カップの一部との擦過接触が有効に回避さ
れ、上記擦過接触による微細な粉塵の発生が阻止され
る。その結果偏心することによって起こるフードの一部
と回転カップの一部との擦過接触が有効に回避され、上
記擦過接触による微細な粉塵の発生を阻止することがで
きる。

【００７２】本発明の請求項３記載の回転カップ式薬液
処理装置によれば、フードには被覆時に上記弾性シール
部材の上記環状溝から一部露出した面に当接する垂直壁
と水平壁とからなる段差面が環状に形成されているた
め、上記段差面の垂直壁と水平壁とがシール部材の露出
した面を挟んだ状態の安定したシールが行われる。そし
て特に垂直面はシール部材から回転中心に向かう反発力
を受けるため、この反発力によってフードは常に回転カ
ップの回転中心に押し戻され、偏心することによって起
こるフードの一部と回転カップの一部との擦過接触が有
効に回避され、上記擦過接触による微細な粉塵の発生が
阻止される。その結果偏心することによって起こるフー
ドの一部と回転カップの一部との擦過接触が有効に回避
され、上記擦過接触による微細な粉塵の発生を阻止する
ことができる。

【００７３】本発明の請求項４記載の回転カップ式薬液
処理装置によれば、環状溝は、その下部の一部が上記環
状突起の周縁部を浅く穿設して形成されているため、環
状溝に嵌入された弾性シール部材は、上記環状突起の周
縁部に浅く穿設された部分に入り込み、弾性シール部材
の環状溝への嵌入状態を安定させることができる。

【００７４】本発明の請求項５記載の回転カップ式薬液
処理装置によれば、フードに形成された傾斜面は平面で
あるため、最小の工作努力で傾斜面を形成し得る。

【００７５】本発明の請求項６記載の回転カップ式薬液
処理装置によれば、フードに形成された傾斜面は、少な
くとも上記弾性シール部材の曲率以下の曲率を有する凹
曲面であるため、傾斜面と弾性シール部材との接触面積
が増大し、フード装着による回転カップの密閉効果をよ
り向上させることができる。

【００７６】本発明の請求項７記載の回転カップ式薬液
処理装置によれば、回転カップは環状突起と同心でその
内周側に環状の防塵突起が形成され、フードは被覆時に
上記回転カップ側の防塵突起に嵌合する環状の防塵溝が
設けられているため、これら防塵突起と溝とにより粉塵
の回転カップ内への侵入を有効に防止することができ
る。

【００７７】本発明の請求項８記載の回転カップ式薬液
処理装置は、環状突起には、幅方向に貫通した１個また
は複数個の孔が設けられているため、この孔に外周より
金具を差し込んで押圧するという作業のみで容易にシー
ル部材を嵌入溝から取り出すことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る回転カップ式薬液処理装置の一例
を示す一部切欠き斜視図である。

【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。

【図３】図２の要部の部分拡大図であり、フードのシー
ル構造を示している。

【図４】図３の要部の部分拡大図である。

【図５】フードのシール構造の他の例を示す断面図であ
る。

【図６】フードのシール構造のさらに他の例を示す断面
図である。

【図７】従来の回転カップ式薬液処理装置を説明するた
めの断面示の説明図である。

【符号の説明】

１薬液処理装置２回転カップ２１中径軸部２２環状皿部２２ａ環状堰部２０１排出孔２３回転軸２３ａ吸気通路２３ｂチューブ２４大径軸部２５支持筒体２５ａフランジ２６ベアリング２７内側突起２８外側突起２９嵌入溝３フード３１フード本体３２把持部３３膨出縁部４ケーシング４１排出用帯孔４０１回収通路４２垂直孔５フード着脱機構５１蓋体５２Ｌ字アーム５３シリンダ５４シリンダロッド６カップ回転機構６１駆動モータ６２駆動プーリ６３従動プーリ７昇降機構７１第二シリンダ７２シリンダロッド７３昇降ブロック７３９Ｏリング

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B05C 11/08 G03F 7/16 502 H01L 21/027 H01L 21/306 H01L 21/68

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】回転カップと、この回転カップを上方か
ら環状の弾性シール部材を介して被覆するフードとを有
する回転カップ式薬液処理装置において、上記回転カッ
プには周縁部上面に環状突起が設けられ、上記環状突起
にはその内周側面に上記弾性シール部材が嵌入可能な環
状溝が形成されるとともに、上記環状溝の上端には上記
弾性シール部材が抜け出るのを規制する規制片部が形成
されていることを特徴とする回転カップ式薬液処理装
置。
【請求項２】上記フードには被覆時に上記弾性シール
部材の上記環状溝から一部露出した面に当接する傾斜面
が環状に形成されていることを特徴とする請求項１記載
の回転カップ式薬液処理装置。
【請求項３】上記フードには被覆時に上記弾性シール
部材の上記環状溝から一部露出した面に当接する垂直壁
と水平壁とからなる段差面が環状に形成されていること
を特徴とする請求項１記載の回転カップ式薬液処理装
置。
【請求項４】上記環状溝は、その下部の一部が上記環
状突起の周縁部を浅く穿設して形成されていることを特
徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の回転カップ
式薬液処理装置。
【請求項５】上記傾斜面は平面であることを特徴とす
る請求項１または２記載の回転カップ式薬液処理装置。
【請求項６】上記傾斜面は、少なくとも上記弾性シー
ル部材の曲率以下の曲率を有する凹曲面であることを特
徴とする請求項１または２記載の回転カップ式薬液処理
装置。
【請求項７】上記回転カップは、上記環状突起と同心
で、かつ、この環状突起の内周側に環状の防塵突起が形
成され、上記フードは、被覆時に上記突起に嵌合する環
状の防塵溝が設けられていることを特徴とする請求項１
乃至６のいずれかに記載の回転カップ式薬液処理装置。
【請求項８】上記環状突起は、上記環状溝と外周側面
とを貫通する１個または複数個の孔が設けられているこ
とを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の回転
カップ式薬液処理装置。