JP3176366B2 - 窒化珪素を焼結するための窒化珪素容器 - Google Patents

窒化珪素を焼結するための窒化珪素容器

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Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、一般的に窒化珪素物品の焼結に関し、そし
て特に焼結作業中に窒化珪素物品を密閉するための容器
に関するものである。
背景技術 焼結窒化珪素セラミックの現行の製造方法では、焼結
前に窒化珪素物品を収容する耐火物容器（代表的には黒
鉛から成る）が使用される。窒化珪素若しくは窒化硼素
又はそれらの混合物からなる調整粉末を容器内に注入
し、焼結すべき窒化珪素物品を被覆することにより、熱
分解及び炉材との反応から窒化珪素物品を保護する。こ
の保護を行なわないと、窒化珪素物品は1800℃で部分的
に珪素と窒素に分解するであろうということが経験上分
かった。更に、前記物品を黒鉛炉内で焼結する場合に
は、珪素は黒鉛中の炭素と反応して、1800℃で安定な炭
化珪素を生成するであろう。調整粉末を使用する場合、
その粉末自体は炉内の高温により分解し且つ前記粉末は
窒化珪素物品の代わりに炉材と優先的に反応する。
しかしながら、調整粉末を使用する上記の方法は、焼
結後に粉末を物品から除去しなければならないので、望
ましくないことが判明している。時々、窒化珪素物品上
の粉末は互いに焼結するか又は物品に焼結し、それ故、
その焼結物を除去するために過大な力が必要となる。時
には焼結物は力を加えても除去することができず、この
場合には物品を廃棄しなければならない。調整粉末の再
使用も問題がないわけではない。先ず、使用中に調整粉
末に特有の損失（流出などによる）があるので、焼結作
業費用が一層増加する。窒化珪素物品自体と等しい重量
の粉末を損失することが知られている。加えて、再使用
前に焼結物を破砕するために、再使用中にしばしば調整
粉末を粉砕し且つ選別する必要がある。
窒化珪素物品が前記焼結助剤を含有する場合には、調
整粉末もその助剤を含有しない限り、焼結助剤は焼結中
に調整粉末により物品から“奪われる”ので、イットリ
ア又は他の焼結助剤が調整粉末へ時々添加される。焼結
助剤が調整粉末へ添加される場合、調整粉末を化学分析
して、焼結助剤が適正量存在することを確認するのが一
般的である。
本発明の主な目的は、焼結中に窒化珪素物品が熱分解
したり又は炉材と反応することを防止する器具を提供す
ることにある。
本発明の別の目的は、焼結作業中に窒化珪素物品の保
護被覆を行なう器具であって、使用が容易で、その器具
に関する如何なる追加の操作もすることなく容易に再使
用することができ、且つ焼結物品の事後清掃のような追
加作業工程を必要としない器具を提供することにある。
本発明の更に別の目的は、メカニカルシールのような反
応結合した窒化珪素部品を収納するための保護容器を提
供することにある。
発明の開示 本発明の好ましい態様によれば、前記目的と他の目的
及び利点は下記の如く記載される。炉内における焼結中
に珪素含有物品を収容して、窒化珪素物品を熱分解及び
炉材との汚染反応から保護するための密閉可能な容器が
開示されている。密閉可能な容器は、窒化珪素から成る
閉鎖可能な壁仕切り容器であり、珪素含有物品をその壁
仕切り容器内に収容するための開口部を有している。前
記容器は、好ましくは反応結合した窒化珪素から成り、
そして箱形又は円筒形であってもよい。更に、容器の内
側と外側との間におけるガスの流通のために壁仕切り容
器に孔を残しておくことは都合が良い。
密閉可能な容器は、焼結すべき窒化珪素物品を支持す
るために、窒化珪素又は反応結合した窒化珪素から成る
延長支持片を更に備えていてもよい。焼結箱又は密閉可
能な容器は、窒化珪素物品を支持するために、延長支持
片の上端に載置するための平らな支持板を備えていても
よい。
図面の簡単な説明 本発明の特徴及び範囲は、添付図面と連係して、本発
明の特定の態様に関する下記の詳細な説明から明らかで
あろう：ここで、 図１は、窒化珪素物品を焼結箱の蓋と平らな支持片と
の間に配置した、本発明に従って構成された焼結箱の分
解斜視図を示し； 図２は、焼結箱の両側に直角に切断することにより垂
直に半分に切断された、本発明に従って構成され組立ら
れた焼結箱の側断面図を示し、更に延長支持片、平らな
支持板及び焼結箱内の所定位置に配置された珪素含有物
品を示し； 図３は、図２の線３−３に沿って取られた、本発明に
従って構成された焼結箱の断面図を示す。
発明の実施態様 先ず図１を参照すると、本発明の一態様が数字10によ
り一般的に表示される焼結箱として示される。焼結箱
は、ベース12と呼ばれる平らな支持片と、箱形蓋14とか
ら構成されているものとして示され、その両方は反応結
合した窒化珪素から成る。蓋14は、上端壁16と、上端壁
16に実質的に直角な４つの垂直側壁18及び20とを備え
て、反応結合した窒化珪素から成る焼結箱10を形成す
る。蓋14の底には、側壁18及び20の底縁により形成され
る底開口部22がある。
ベース12は、蓋14を受ける平らな底縁部24と、窒化珪
素物品36を焼結のために載置する架台28を有するものと
して示されている。作業に際して、窒化珪素物品36は焼
結箱10内に収容され、次いで焼結箱10が窒化珪素物品36
の焼結のために焼結炉（図示されない）内へ収容され
る。何れかの慣用の焼結方法を用いる場合と同様に、焼
結炉の温度は好ましくは窒素雰囲気内で高められる。架
台28は、蓋14の底開口部22の内側で且つ下側に嵌合する
ように寸法決めされた平らな上面部26を有している。底
開口部22への架台28の嵌合は、蓋14が僅かな力を用いて
又は全く力を必要とすることなくベース12へ容易に載置
されるようなものであることが好ましい。
図１に示される如く、ベース12は、底縁部24及び架台
28を通して上方に延びている、各側部につき１箇所の４
つの切り込み30を備える。切り込み30は、炉が閉じられ
た場合に焼結箱10の内側と炉内の焼結ガス雰囲気との間
での雰囲気の流通を行なうので、これによって焼結中に
ガスは焼結箱10への流入及びそれからの流出ができる。
前記雰囲気の流通は、炉内の雰囲気圧力が加圧により又
は部分的真空を生じさせるための減圧により変更される
炉に焼結箱が収納される場合に重要である。
焼結箱10の内側と外側との間の雰囲気の流通は、種々
の方法で行なうことができる。例えば、切り込み30をベ
ース12に設けるよりもむしろ、蓋14の底開口部22におい
て側壁18の縁部に切り込みを備えてもよい。代わりに、
側壁18を通して延びる2,3の小孔を蓋14に備えることが
考えられる。蓋14とベース12との間の何らかのそのよう
な開口部又は隙間は、焼結中に、それらが窒化珪素物品
の熱分解を防止できるほど十分小さく且つ窒化珪素物品
と炉材との反応を実質的に防止できるほど十分小さいよ
うにすればよい。しかしながら、開口部は、蓋14を爆発
させることなく（焼結箱10の外部圧力を減少中に）又は
焼結箱10を爆縮させることなく（箱の外部圧力を増加中
に）、焼結箱10内でガス交換及び雰囲気圧力の変更がで
きるように十分大きくなければならない。
図１を再び参照すると、反応結合した窒化珪素から成
る３つの延長支持片34が、ベース12と平らな支持板35の
間に示されている。所定位置において延長支持片34は平
らな上面部26上に載置され、そして平らな支持板35は、
順に延長支持片34上に載置される。窒化珪素物品36は、
支持片34又は支持板35を使用しないで架台28上に直接載
置してもよいが、延長支持片34及び平らな支持板35を、
参照番号36で示される窒化珪素物品を支持するために使
用してもよい。しかしながら、延長支持片34及び平らな
支持板35は、焼結作業中に生じ得る窒化珪素物品36のベ
ース12への「接着」が全くないようにするために、焼結
中にベース12から窒化珪素物品36を分離するための有用
な手段を提供するということが判った。
物品36は、未処理体の珪素物品、すなわち未だ窒化さ
れていない珪素物品でもよいことも判るであろう。連続
キルン式炉を使用する場合には、物品36は、未処理体の
珪素物品として工程の開始時に本発明の焼結箱内に収容
してもよいと考えられる。焼結箱内の未処理体の珪素物
品は、前記連続炉を通って第１の位置から窒化位置まで
移動し、次いで雰囲気を中断することなく焼結位置まで
移動してもよい。未処理体の珪素物品を雰囲気を中断す
ることなく前記工程を通して移動することが望ましい場
合には、連続炉内へ収容する前で且つ窒化前に未処理体
の珪素物品を焼結箱内に収容することが好都合であろ
う。
ここで図２を参照すると、物品36を収容する図１上の
焼結箱10の両側に直角で且つ垂直に半分に切断した焼結
箱の断面図が示されている。同一の参照番号が、図１
と、図２及び図３の両方で使用されている。
図３は、図２の線３−３に沿って取られた焼結箱10の
断面図を示し、そして焼結箱の底部の詳細を明瞭に示
す。
上述したように焼結箱及び所望の延長支持片と平らな
支持板は、反応結合した窒化珪素から形成することがで
き、且つ従来技術によって調製される。例えば、珪素粉
末と窒化剤との混合物は所望形状に圧縮されて焼結箱を
形成し、次いで約1400℃まで加熱しながら前記の圧縮さ
れた珪素を窒素含有雰囲気に暴露することにより窒化さ
れる。焼結箱及び補助支持片の実質的に全ての珪素は、
焼結中における窒化珪素物品の焼結箱及び補助支持片の
未反応珪素への起こり得る「接着」を避けるために、特
に前記物品と接触する焼結箱上の場所で窒化珪素へ変換
されることが好ましい。安定性を最大にするためには、
焼結箱又は焼結箱を形成する材料の大部分は如何なる焼
結助剤も含有しないことが好ましい。焼結箱及び補助支
持片は、反復焼結作業を通して構造的な安定性を与える
ように十分厚くすべきである。1/8″〜1/4″の壁厚を有
する焼結箱は満足できることが判った。
焼結容器及び補助支持片の種々の形状を、設計につい
ての他の変更と同様、本発明において使用するであろ
う。例えば、焼結箱は図１〜図３において示されるもの
と逆に使用してもよく、この場合、焼結箱は上端壁16上
に載置することができ、物品36は蓋14の内側に収容して
よく、次いで開口部22を閉鎖するためにベース12を蓋14
の上端に載置してもよい。言い換えれば、この場合に
は、ベース部は窒化珪素物品の収容用の開口部と、垂直
壁又は前記物品の側部を囲む壁とを有することになり、
そして蓋部は、一般的に平らであり且つ開口部を閉鎖す
るためにベース部の開口部の上端上に載置されるために
使用されてよい。加えて、焼結容器は円筒形状又は三角
形状などでもよい。容器が円筒形状の場合には、蓋部は
円形開口部を有する円筒形状のものでよく、そしてベー
ス部は、蓋の開口部に適合するように円形の突出部分を
有する平らで且つ円筒形状のものでよい。
反応結合した窒化珪素から成る焼結箱は、強固で且つ
安定しており、そして多くの焼結作業を通して継続使用
できる。焼結作業中に、例えば炉が黒鉛で形成されてい
る場合には、焼結箱の外側は犠牲反応側として作用する
ので、その内部に収容された窒化珪素物品は炉材と反応
しない。犠牲片として、焼結箱の外側は変換して窒化珪
素の層を形成する。
それ故、本発明に基づいて、調整粉末の使用を除き且
つ窒化珪素物品の熱分解又は炉材との反応を防止するこ
とにより焼結中の窒化珪素物品の完全な保護を行なう焼
結容器が提供される。加えて、本発明の容器は迅速且つ
容易に使用でき、再使用可能であり（それにより費用が
節減され）、そして焼結後に焼結された物品から粉末を
清掃除去するような付加工程を必要としない。
産業上の利用可能性 本発明の産業上の利用可能性には、タービン羽根、エ
ンジン部品、バルブ、ステム及び窒化珪素セラミック部
品のための他の従来の用途の全てが包含される。私の発
明は特定の態様の項に記載されていたけれども、他の態
様は当業者によって容易に採用され得るということが判
るであろう。したがって、私の発明の範囲は下記請求の
範囲によってのみ限定されるべきである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−150269（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−106479（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−239369（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−201999（ＪＰ，Ｕ) 米国特許3186696（ＵＳ，Ａ) 米国特許4090851（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F27D 3/12 C04B 35/64

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】炉内での焼結中に窒化珪素物品を収容し
    て、前記窒化珪素物品を熱分解及び汚染反応から保護す
    るための密閉可能な容器であって、 ベース部に受けられる上部を有する密閉可能な壁仕切り
    容器であって、窒化珪素から成る該容器は、焼結すべき
    窒化珪素物品を壁仕切り容器内に収容し、それにより前
    記密閉可能な壁仕切り容器は焼結炉の内側に設けられ、
    そして前記容器密閉することで外部ガスと反応させるた
    めの犠牲的容器として作用することにより且つ炉からの
    熱分解物質との接触から前記物品を保護することによ
    り、焼結すべき窒化珪素物品の保護を行なうこと、 その縁部上に少なくとも１つの開口部を有する前記ベー
    ス部であって、それにより蓋部が該ベース部に置かれた
    時、少なくとも１つの開口部が、容器の内部と外部との
    間にガスの流通を行い、それにより密閉可能な壁仕切り
    容器は焼結炉の内側に設けられ、そして前記容器を密閉
    し且つ炉からの熱分解物質との接触から前記物品を保護
    することにより、焼結すべき窒化珪素物品の保護を行な
    うこと、を特徴とする密閉可能な容器。
  2. 【請求項２】炉内での焼結中に窒化珪素物品を収容し
    て、前記窒化珪素物品を熱分解及び汚染反応から保護す
    るための密閉可能な容器であって、 （ａ）底部に矩形の開口部を有する、反応結合した窒化
    珪素から成る５つの側面付き箱形蓋；及び （ｂ）蓋部の開口部の内部に嵌合されるように寸法決め
    された矩形の突起部を有し、前記突起部は窒化珪素物品
    を載置するための平らな面を有する、反応結合した窒化
    珪素から成る一般に平らな矩形のベース部であって、前
    記ベース部はその４つの側部のそれぞれの端部に切り込
    みを有し、それにより前記蓋部が開口部を閉じるために
    ベース部上の所定位置に載置される場合に、前記切り込
    みは容器の内部と外部との間のガスの流通を行ない、そ
    れにより密閉可能な壁仕切り容器は焼結炉の内側に設け
    られ、そして前記容器を密閉し且つ炉からの熱分解物質
    との接触から前記物品を保護することにより、焼結すべ
    き窒化珪素物品の保護を行なうベース部； からなる密閉可能な容器。
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5364608A (en) * 1993-07-30 1994-11-15 Eaton Corporation Method of converting a silicon nitride from alpha-phase to beta-phase, apparatus used therefor, and silicon nitride material made therefrom
US6270727B1 (en) 1998-07-31 2001-08-07 Leco Corporation Analytical crucible
US6899137B2 (en) 1999-06-28 2005-05-31 California Institute Of Technology Microfabricated elastomeric valve and pump systems
US7678547B2 (en) * 2000-10-03 2010-03-16 California Institute Of Technology Velocity independent analyte characterization
US20040211496A1 (en) * 2003-04-25 2004-10-28 Crystal Systems, Inc. Reusable crucible for silicon ingot growth
US8470279B2 (en) * 2004-04-13 2013-06-25 Si Options, Llc High purity silicon-containing products and method of manufacture
US7638108B2 (en) * 2004-04-13 2009-12-29 Si Options, Llc High purity silicon-containing products
US7588745B2 (en) * 2004-04-13 2009-09-15 Si Options, Llc Silicon-containing products
JP2006310129A (ja) * 2005-04-28 2006-11-09 Denso Corp スパークプラグ製造装置およびスパークプラグの製造方法
KR20090023498A (ko) * 2006-06-23 2009-03-04 알이씨 스캔웨이퍼 에이에스 반도체 등급 다결정 실리콘 잉곳의 직접 응결을 위한 도가니 및 방법
RU181401U1 (ru) * 2017-03-17 2018-07-12 Акционерное общество "Ордена Трудового Красного Знамени и ордена труда ЧССР опытное конструкторское бюро "ГИДРОПРЕСС" Устройство для термической обработки деталей в среде инертных газов
RU179406U1 (ru) * 2017-04-10 2018-05-14 ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "Брянский государственный технический университет" Контейнер для отжига и активации ионно-легированных слоёв карбидкремниевых пластин

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3186696A (en) 1961-12-18 1965-06-01 Kornelius Hildebrand Heating unit
US4090851A (en) 1976-10-15 1978-05-23 Rca Corporation Si3 N4 Coated crucible and die means for growing single crystalline silicon sheets

Family Cites Families (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US779474A (en) * 1902-11-21 1905-01-10 John H Gruner Machine for cutting the shells of nuts.
US1085540A (en) * 1913-09-22 1914-01-27 Willis W Case Jr Metallurgical-furnace part.
US1213082A (en) * 1916-06-17 1917-01-16 Fritz Doerinckel Furnace.
US2268589A (en) * 1934-07-07 1942-01-06 Heany Ind Ceramic Corp Method of producing vitreous silica articles
US2263309A (en) * 1940-05-24 1941-11-18 John F Murphy Furnace hood
US2383353A (en) * 1943-04-05 1945-08-21 Doty M Steele Cupel muffle
US2472456A (en) * 1945-03-20 1949-06-07 Robert J Anicetti Crucible and method of making crucibles
US2543700A (en) * 1948-01-31 1951-02-27 Electro Refractories & Alloys Crucible for metal melting
US2869215A (en) * 1955-06-20 1959-01-20 Robert S Smith Molding method
NL248844A (ja) * 1959-02-27
US3205080A (en) * 1964-10-19 1965-09-07 Nat Beryllia Corp Beryllia-silicon carbide ceramic bodies
GB1138284A (en) * 1966-02-09 1968-12-27 Nat Res Dev Spray deposition of silicon powder structures
US3819786A (en) * 1969-09-29 1974-06-25 Nat Res Dev Production of silicon nitride material components
US3991166A (en) * 1972-01-11 1976-11-09 Joseph Lucas (Industries) Limited Ceramic materials
JPS523647B2 (ja) * 1972-10-24 1977-01-29
US3992497A (en) * 1973-05-18 1976-11-16 Westinghouse Electric Corporation Pressureless sintering silicon nitride powders
US4033400A (en) * 1973-07-05 1977-07-05 Eaton Corporation Method of forming a composite by infiltrating a porous preform
US3887412A (en) * 1973-12-20 1975-06-03 Ford Motor Co Method of making a triple density silicon nitride article
US4036653A (en) * 1975-05-28 1977-07-19 E. I. Du Pont De Nemours And Company Amorphous silicon nitride composition containing carbon, and vapor phase process
US4067943A (en) * 1975-07-18 1978-01-10 Ford Motor Company Method of manufacturing a slip cast article
JPS5830264B2 (ja) * 1975-10-18 1983-06-28 トウホクダイガク キンゾクザイリヨウケンキユウシヨチヨウ キンゾクチツカブツシヨウケツセイケイタイノセイゾウホウホウ
GB1556378A (en) * 1976-10-27 1979-11-21 Skf Uk Ltd Bearing cages
US4119689A (en) * 1977-01-03 1978-10-10 General Electric Company Sintering of silicon nitride using Be additive
GB2010913B (en) * 1977-12-23 1982-06-23 Fiat Spa Process for sintering silicon nitride compacts
US4285895A (en) * 1979-03-23 1981-08-25 Ford Motor Company Method of densifying a reaction bonded silicon nitride article
US4235857A (en) * 1979-07-02 1980-11-25 Ford Motor Company Method of nitriding silicon
US4356136A (en) * 1980-08-29 1982-10-26 Ford Motor Company Method of densifying an article formed of reaction bonded silicon nitride
US4376742A (en) * 1981-02-23 1983-03-15 Systems Research Laboratories, Inc. Fugitive liquid phase densification of silicon nitride
JPS5881250A (ja) * 1981-11-07 1983-05-16 Honda Motor Co Ltd Ｖ型多気筒内燃機関におけるバランシング構造
FR2517665B1 (fr) * 1981-12-08 1986-01-31 Ceraver Procede de fabrication d'un materiau fritte a base de nitrure de silicium, et materiau obtenu par ce procede
US4377542A (en) * 1981-12-21 1983-03-22 Ford Motor Company Method of forming a densified silicon nitride article
FR2528454A1 (fr) * 1982-06-11 1983-12-16 Criceram Creuset modifie pour la methode de cristallisation par goutte pendante
US4471060A (en) * 1983-07-08 1984-09-11 Ford Motor Company Method of forming a relatively stable slip of silicon metal particles and yttrium containing particles
US4443394A (en) * 1983-07-19 1984-04-17 Ford Motor Company Method of making a silicon nitride body from the Y2 O3 /SiO2 3 N4 /Al2 O3
US4519967A (en) * 1983-10-24 1985-05-28 Ford Motor Company Method of making a silicon metal containing article
IT1172847B (it) * 1983-12-29 1987-06-18 Sirma Procedimento di cottura di anodi in forni a tunnel e carrello per effettuare il procedimento
US4747774A (en) * 1987-02-09 1988-05-31 Westinghouse Electric Corp. Conforming crucible/susceptor system for silicon crystal growth
US4781874A (en) * 1987-10-23 1988-11-01 Eaton Corporation Process for making silicon nitride articles

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3186696A (en) 1961-12-18 1965-06-01 Kornelius Hildebrand Heating unit
US4090851A (en) 1976-10-15 1978-05-23 Rca Corporation Si3 N4 Coated crucible and die means for growing single crystalline silicon sheets

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Publication number Publication date
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DE69127626T2 (de) 1998-04-09
JPH05509152A (ja) 1993-12-16
DE69127626D1 (de) 1997-10-16
WO1992001898A1 (en) 1992-02-06
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EP0540677A4 (en) 1993-12-15

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