JP5126370B2 - 回路モジュール - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 83
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 33
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 11
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 7
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 4
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 238000010330 laser marking Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 239000011093 chipboard Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
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- Y10T29/49108—Electric battery cell making
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- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
- Y10T29/49121—Beam lead frame or beam lead device
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Description
このような回路モジュール及び集合基板の生産履歴管理を行う方法として特許文献1が開示されている。
(1)複数の回路モジュールが形成された集合基板の分割によって得られる回路モジュールであって、
矩形板状のモジュール基板と、
前記モジュール基板の第1の主面に形成された電極と、
前記モジュール基板の第1の主面に形成されたレジスト膜と、を備え、
前記モジュール基板の第1の主面には、前記電極の部分的な形成/非形成によって、または前記レジスト膜の部分的な形成/非形成によって、前記モジュール基板の方向を表す方向識別用領域を有し、
前記モジュール基板の第1の主面の周辺部には信号入出力端子が配列され、
前記信号入出力端子で囲まれた内側の縦横のマトリクス状の位置に複数の内側端子が配列され、
前記方向識別用領域は前記マトリクス状の位置の少なくとも一つの位置であり、
前記方向識別用領域に前記集合基板上の回路モジュールの位置情報をもつ第1の識別符号が形成されたものとする。
これにより、文字を形成する場合よりも必要解像度は低くてすみ、限られたスペースに識別符号を形成できる。
この構成により、電極パターンの形成時に前記第1の識別符号を同時に形成でき、またはレジスト膜の形成時に前記第1の識別符号を同時に形成でき、第1の識別符号を形成するための特別な工程が不要となる。
この構成により、第1の識別符号が剥がれにくく、前記方向識別用領域を光反射により認識する際に誤認識が生じにくい。
前記モジュール基板の第2の主面に複数の部品が配置され、
前記複数の部品は前記モジュール基板上で樹脂により封止されているものとする。
これにより、金属キャップが不要となり、薄型化できる。しかも、樹脂封止された状態のまま識別符号を容易に読み取ることができる。すなわち、特に樹脂封止された回路モジュールに適した構造となる。
この構成により、2つの識別符号を用いて回路モジュールの識別機能が高まる。
これにより、第2の識別符号で集合基板が識別でき、第1の識別符号で集合基板内での位置が識別できる。また、第2の識別符号は製造毎に異なるが、第1の識別符号は常に同じパターンに形成できる。このように一定パターンの第1の識別符号は基本的に印刷法で形成できるので、第1の識別符号を形成するためのコストの増加がない。しかも、変動する識別符号のみ第2の識別符号として設けるだけであるので、第2の識別符号の桁数などを最小限なものとすることができ、レーザマーキング等で形成する際に回路モジュール1個あたりに要する時間が長くなることがない。
第1の実施形態に係る回路モジュールについて図2〜図6を参照して説明する。
図2は第1の実施形態に係る回路モジュールの製造途中における集合基板の状態での平面図である。集合基板100には複数のモジュール基板部30が備えられている。この例では12行×12列のモジュール基板部を備え、後にこの集合基板100を分割することによって144個の回路モジュールを得ることになる。
なお、モジュール基板30の四隅のすべてまたは幾つかに信号入出力端子を形成してもよい。このことは、後に示す他の実施形態についても同様である。
このようにして、最大(16行,16列)のモジュール基板の位置を表す。
(1)図2に示した集合基板100の部品搭載面(図2に示された方向からは裏面側になる面)に所定の電子部品を搭載する。
(2)集合基板100の部品搭載面の全体を絶縁性の樹脂によって封止する。
(3)各モジュール基板30の境界線で、樹脂封止面側から集合基板100の厚みの中央までの深さの溝を形成する。
(4)封止された前記樹脂の表面に導電性ペーストを塗布し、乾燥硬化させる。
(5)その後、各回路モジュールの天面(実装面とは反対側の面)となる位置に、集合基板の識別(その回路モジュールがどの集合基板から分割されたものであるかを表す識別情報)をもつ第2の識別符号を付与する。
(6)最後に、集合基板100全体をカットすることによって個別の回路モジュールを構成する。
図7(A)、図7(B)は、第2の実施形態に係る2種類の回路モジュールの実装面側の平面図である。
図8は、第3の実施形態に係る回路モジュールで用いる第1の識別符号の構成を示す図である。この第1の識別符号は、行位置情報37R及び列位置情報37Cを備えている。丸内の数字はビットの桁番号である。
方向識別用領域39に対してこのように8ビットの行位置情報と8ビットの列位置情報とをもたせてもよい。
このようにして、最大(255行,255列)のモジュール基板の位置情報をもたせることができる。
図10は、第4の実施形態に係る回路モジュールの基板実装面側の平面図であり、回路モジュールとして完成したときの実装面側(第1の主面側)の平面図である。モジュール基板30の周辺部(四辺)には信号入出力端子42が配列されている。またモジュール基板30の四隅には外側グランド端子41が形成されている。
モジュール基板30の前記信号入出力端子42及び外側グランド端子41で囲まれた内側は内側グランド端子形成領域31である。この内側グランド端子形成領域31内に複数の内側グランド端子40が個別に形成されている。これらの各電極間にはレジスト膜43が形成されている。
このことによって、各電極の剥がれを防止できるとともに、方向識別用領域の位置をその光の反射量の違いにより認識する際に、誤認識が生じにくいという効果を奏する。
図11は、第5の実施形態に係る回路モジュールの基板実装面側の平面図であり、回路モジュールとして完成したときの実装面側(第1の主面側)の平面図である。モジュール基板30の周辺部(四辺)には信号入出力端子42が配列されている。またモジュール基板30の四隅には外側グランド端子41が形成されている。
モジュール基板30の、信号入出力端子42及び外側グランド端子41で囲まれた内側は内側グランド端子形成領域31である。この内側グランド端子形成領域31内に連続したグランド電極が形成されている。但し、方向識別用領域39にグランド電極の部分的な開口(抜きパターン)によって第1の識別符号38が形成されている。
このことによって、各電極の剥がれを防止できるとともに、方向識別用領域の位置をその光の反射量の違いにより認識する際に、誤認識が生じにくいという効果を奏する。
図12は、第6の実施形態に係る回路モジュールの基板実装面側の平面図であり、回路モジュールとして完成したときの実装面側(第1の主面側)の平面図である。モジュール基板30の周辺部(四辺)には信号入出力端子42が配列されている。またモジュール基板30の四隅には外側グランド端子41が形成されている。
モジュール基板30の、信号入出力端子42及び外側グランド端子41で囲まれた内側は内側グランド端子形成領域31である。この内側グランド端子形成領域31内に連続したグランド電極が形成されている。そして、内側グランド端子形成領域31内に複数のレジスト膜43の開口による内側グランド端子40が形成されている。但し、方向識別用領域39にはレジスト膜の部分的な開口(抜きパターン)によって第1の識別符号38が形成されている。
この構成により、第1の識別符号38が剥がれにくくなる。
図13は、第7の実施形態に係る回路モジュールの実装面側の平面図である。この例では、内側グランド端子形成領域31に、連続したグランド電極40Aが形成され、レジスト膜43の開口による内側グランド端子40が設けられるとともに、レジスト膜のパターンによって第1の識別符号38が形成されている。この第1の識別符号38の周囲(方向識別用領域39)にはグランド電極が形成されていなくて、この部分にレジスト膜のみによって第1の識別符号38が形成されている。
次に、この発明の回路モジュールの管理方法について図14のフローチャートを参照して説明する。
図14(A)は回路モジュールの製造方法の手順を示すフローチャートである。まず、第1の実施形態で図2等に示したように、集合基板100に対して複数の回路モジュールを形成する(S11)。続いて各回路モジュールの表面側に第2の識別符号をレーザマーキング法で形成する(S12)。その後、複数の回路モジュールへ分割し、所定のパーツフィーダに適合するようにテーピングする(S13→S14)。
もし異常であれば、その回路モジュールの実装面側の第1の識別符号を読み取り、その回路モジュールが集合基板のどの位置から切り出されたものであるかを把握する。そして、その回路モジュールの不良解析を行う(S34→S35)。このことにより、集合基板の位置と不良率や不良モードとの関係(分布等)を統計的に管理できる。
これにより、いつ製造されたどの集合基板のどこから分割された回路モジュールであるかを管理対象にでき、トレーサビリティが向上する。なお、識別符号の読み取りは、画像認識で行ったり、レーザー、顕微鏡を用いて行ったりできる。
30…モジュール基板,モジュール基板部
31…内側グランド端子形成領域
37C…列位置情報
37R…行位置情報
38…第1の識別符号
38C…列位置情報
38C1,38C2,38C3,38C4…ドット形成領域
38R…行位置情報
38R1,38R2,38R3,38R4…ドット形成領域
39…方向識別用領域
39A,39B…方向識別用領域
40…内側グランド端子
41…外側グランド端子
42…信号入出力端子
43…レジスト膜
50…回路モジュール
51…第2の識別符号
51A…集合基板番号
51B…製造番号
Claims (7)
- 複数の回路モジュールが形成された集合基板の分割によって得られる回路モジュールであって、
矩形板状のモジュール基板と、
前記モジュール基板の第1の主面に形成された電極と、
前記モジュール基板の第1の主面に形成されたレジスト膜と、を備え、
前記モジュール基板の第1の主面には、前記電極の部分的な形成/非形成によって、または前記レジスト膜の部分的な形成/非形成によって、前記モジュール基板の方向を表す方向識別用領域を有し、
前記モジュール基板の第1の主面の周辺部には信号入出力端子が配列され、
前記信号入出力端子で囲まれた内側の縦横のマトリクス状の位置に複数の内側端子が配列され、
前記方向識別用領域は前記マトリクス状の位置の少なくとも一つの位置であり、
前記方向識別用領域に前記集合基板上の前記モジュール基板の位置情報をもつ第1の識別符号が形成された回路モジュール。 - 前記第1の識別符号はドットパターンで表された、請求項1に記載の回路モジュール。
- 前記第1の識別符号は、前記電極の部分的な形成/非形成によって、または前記レジスト膜の部分的な形成/非形成によって構成された、請求項1または2に記載の回路モジュール。
- 前記第1の識別符号は、前記電極の部分的な形成/非形成によって構成され、且つ前記方向識別用領域が前記レジスト膜で覆われた、請求項1〜3のいずれかに記載の回路モジュール。
- 前記モジュール基板の第1の主面は前記回路モジュールの実装面であり、
前記モジュール基板の第2の主面に複数の部品が配置され、
前記複数の部品は前記モジュール基板上で樹脂により封止されている、請求項1〜4のいずれかに記載の回路モジュール。 - 前記モジュール基板の第2の主面側の外面に第2の識別符号が形成された、請求項1〜5のいずれかに記載の回路モジュール。
- 前記第2の識別符号は、前記集合基板の識別情報をもつ、請求項6に記載の回路モジュール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010542907A JP5126370B2 (ja) | 2008-12-16 | 2009-09-29 | 回路モジュール |
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008319852 | 2008-12-16 | ||
| JP2008319852 | 2008-12-16 | ||
| JP2010542907A JP5126370B2 (ja) | 2008-12-16 | 2009-09-29 | 回路モジュール |
| PCT/JP2009/066907 WO2010070964A1 (ja) | 2008-12-16 | 2009-09-29 | 回路モジュール及びその管理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2010070964A1 JPWO2010070964A1 (ja) | 2012-05-24 |
| JP5126370B2 true JP5126370B2 (ja) | 2013-01-23 |
Family
ID=42268639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010542907A Active JP5126370B2 (ja) | 2008-12-16 | 2009-09-29 | 回路モジュール |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8431827B2 (ja) |
| JP (1) | JP5126370B2 (ja) |
| CN (1) | CN102246605B (ja) |
| WO (1) | WO2010070964A1 (ja) |
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| WO2010070964A1 (ja) | 2010-06-24 |
| JPWO2010070964A1 (ja) | 2012-05-24 |
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| US20110239457A1 (en) | 2011-10-06 |
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