JP7366146B2 - 基板支持ピン設置用治具、基板支持ピン設置方法 - Google Patents

Description

本開示は、回路基板を支持する基板支持ピンを支持台に設置する場合に用いる基板支持ピン設定治具、基板支持ピンを支持台に設置する方法である基板支持ピン設置方法に関するものである。

特許文献１には、複数の基板支持ピン（以下、支持ピンと略称する）を保持する支持ピンベースであって、(a)回路基板に対して昇降可能な支持台に固定的に設置された本体と、(b)本体に上下方向に貫通して形成された複数のピン収容孔と、(c)本体の上下方向の中間部に相対移動可能に挿入され、支持ピンを下方から保持する保持位置と、保持しない非保持位置とにスライド可能なシャッタ板とを含むものが記載されている。

複数のピン収容孔に複数の支持ピンが収容された状態で、支持ピンベースの上方に治具ベースが搬入される。治具ベースの支持ピンを設置すべき位置である基準位置に対応する部分には磁石が嵌め込まれている。支持ピンベースを上昇させて、磁石と支持ピンとを接触させ、その後、支持ピンベースを下降させる。それにより、磁石に接触した支持ピンを、他の支持ピンに対して上方へ突出させ、シャッタ板を保持位置に移動させる。それにより、支持ピンが、支持ピンベースを介して支持台の基準位置に設置される。

特開２００８－１５３４５７号公報

開示の概要

開示が解決しようとする課題

本開示の課題は、新規な基板支持ピン設置用治具、基板支持ピン設置方法を提供することである。

課題を解決するための手段および効果

本開示に係る基板支持ピン設置用治具（以下、治具と略称する場合がある）は、支持台に相対移動可能な本体と、本体に設けられた複数のピン収容部と、支持台への位置決めに用いられる被位置決め部とを含む。治具の複数のピン収容部のうちの少なくとも１つに基板支持ピンが収容されて保持される。治具が、支持台に被位置決め部により位置決めされた状態で載置される。少なくとも１つの基板支持ピンの保持の解除により、少なくとも１つの基板支持ピンが支持台に設置され、その後、治具が外される。その結果、少なくとも１つの基板支持ピンの各々がそれぞれ支持台上の予め定められた位置に設置される。本開示に係る治具、基板支持ピン設置方法は、特許文献１に記載されておらず、新規なものである。

電子部品の回路基板への装着が行われる実装機の斜視図である。 上記実装機の基板保持装置を表す側面図である。 上記実装機の制御装置の周辺を概念的に示すブロック図である。 上記基板保持装置の基板支持ピンの設置に用いられる治具の平面図である。 上記治具の本体を表す斜視図である。 上記本体の平面図である。 図６のA-A断面図である。 上記治具の保持部材の平面図である。 上記治具に基板支持ピンが収容されて、保持部材が保持位置にある状態を示す断面図である。 上記治具が支持台に載置された状態を示す平面図である。 上記治具が支持台に載置された状態を示す正面図である。 上記基板支持ピンが支持台に載置された状態を示す正面図である。 上記治具の別の態様を示す斜視図である。 上記治具の本体の別の態様を示す断面図である。 上記治具の本体のさらに別の態様を示す断面図である。

開示を実施するための形態

以下、本開示の一実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。

図１に示す実装機は、電子部品（以下、部品と略称する場合がある）ｓを回路基板（以下、基板と略称する場合がある）Ｐに装着するものであり、装置本体２，回路基板搬送保持装置４，部品供給装置６，ヘッド移動装置８等を含む。
回路基板搬送保持装置４は、基板Ｐを搬送して保持するものであり、図２に示す基板搬送装置１０と基板保持装置１２とを含む。図１において、基板Ｐの搬送方向をｘ方向、基板Ｐの幅方向をｙ方向、基板Ｐの厚み方向をｚ方向とする。ｙ方向、ｚ方向は、それぞれ、実装機の前後方向、上下方向である。これら、ｘ方向、ｙ方向、ｚ方向は互いに直交する。

部品供給装置６は、基板Ｐに装着される部品ｓを供給するものであり、本実施例においては、複数のテープフィーダ１４を含む。

ヘッド移動装置８は、作業ヘッド１６を保持してｘ、ｙ方向へ移動させるものである。作業ヘッド１６は、部品ｓを保持する部品保持具の一例としての吸着ノズル１７と、図９等に示す基板支持ピン（以下、支持ピンと略称する場合がある）１８を保持するピン保持具１９と、吸着ノズル１７，ピン保持具１９を、それぞれ、ヘッド本体に対してｚ方向に移動させる図示しない昇降機構とを有する。作業ヘッド１６の移動により、吸着ノズル１７が部品供給装置６と基板Ｐとの間で移動させられる。部品供給装置６により供給された部品ｓが、基板Ｐの予め決まった位置に装着される。また、作業ヘッド１６の移動により、ピン保持具１９が、後述する初期位置と基準位置との間で移動させられる。それにより、初期位置に設置された支持ピン１８が基準位置へ移動させられ、設置される。本実施例において、ピン保持具１９およびヘッド移動装置８等を含んで、支持ピン１８を基準位置に自動で設置するピン自動設置装置２０が構成される。

基板搬送装置１０は、基板Ｐをｘ方向に搬送するものであり、図２に示すように、ｙ方向に隔てて設けられた一対の側板２１，２２と、一対の側板２１，２２に取り付けられた一対のコンベア機構２３，２４とを含む。
一対の側板２１，２２は、それぞれ、ｘ方向に伸びたものであり、側板２１が固定され、側板２２が側板２１に対して接近・離間可能とされる。一対のコンベア機構２３，２４は、駆動源としての電動モータ２６（図３参照）、図示しない複数のプーリ、複数のプーリに掛けられたベルト２８等を含む。複数のプーリは、それぞれ、側板２１，２２に回転可能に保持される。電動モータ２６の駆動により、複数のプーリが回転させられ、ベルト２８が移動させられ、ベルト２８に載せられた基板Ｐが搬送される。なお、符号３０はベルト２８を支持する支持レールを示す。

基板保持装置１２は、基板Ｐを保持するものであり、支持台４０、複数の支持ピン１８、支持台４０を昇降させる昇降装置４４、基板Ｐをクランプするクランプ装置４６等を含む。
支持台４０は、磁性材料により製造されたものであり、基板搬送装置１０の下方に位置する。支持台４０は、昇降装置４４により基板Ｐに対して相対的に昇降させられる。支持台４０には、図１０，１１に示すように、後述する基板支持ピン設置用治具１００の位置を決める位置決め部の構成要素であるｘ方向位置決め部４８が設けられる。ｘ方向位置決め部４８は、支持台４０に固定された支持柱４８ｈと、支持柱４８ｈに取り付けられ、概してｘ方向に伸びた係合凸部４８ａとを含む。係合凸部４８ａは、伸縮可能、例えば、ねじ機構等により支持柱４８ｈに対する突出量が変更可能なものとすることができる。

支持ピン１８は、基板Ｐを下方から支持するものであり、図９に示すように、長手方向に伸びた段付き形状を成し、大径の底部５０と、小径の先端部５２と、底部５０と先端部５２との間の中径の中間部５４とを含む。底部５０は、本体５５の内部に設けられた磁石５６と、磁石５６を下方から保持する磁石保持部５８とを含む。支持ピン１８は、磁石５６により支持台４０に設置される。また、磁石５６と支持台４０との間に磁石保持部５８が介在するため、支持台４０の表面に傷が付き難くされる。先端部５２には、被係合部５９が設けられる。被係合部５９は、中心角１２０°間隔で半径方向に伸びた３つの突出ロッド６０（図１０参照）を含む。前述のピン支持具１９は、被係合部５９を把持することにより支持ピン１８を保持する。

昇降装置４４は、本実施例において、駆動源としての流体シリンダ６４と、案内装置６５とを含む。流体シリンダ６４の図示しないピストンのピストンロッド６６に昇降台を介して支持台４０が取り付けられる。流体シリンダ６４において、流体給排制御装置（図３参照）６８の制御により、流体の給排が制御され、支持台４０の昇降が制御される。

クランプ装置４６は、一対の側板２１，２２と、一対の受け部材７０，７１と、一対の押上部７３，７４とを含む。受け部材７０，７１は、基板Ｐを上方から押さえるものであり、ｘ方向に伸びて設けられる。また、受け部材７０，７１の各々は、一対の側板２１，２２から互いに対向する向きに突出し、先端部が、ベルト２８より内側に位置する。押上部７３，７４は、押上プレート７６，７７と、押上プレート７６，７７を下部においてそれぞれ保持する保持体７８，７９とを含む。押上プレート７６，７７は、保持体７８，７９に上部が突出した状態で保持され、上端部が、ベルト２８より内側の、一対の受け部材７０，７１の先端部の下方に位置する。保持体７８，７９は、側板２１，２２に、相対的に昇降可能、かつ、図示しないスプリングにより下方に付勢された状態で保持される。保持体７８，７９の各々の下端部には係合部としてのボルト８０，８１が取り付けられる。

支持台４０が上昇させられることにより、支持台４０の上面がボルト８０，８１に当接し、押上部７３，７４が持ち上げられる。押上プレート７６，７７によりベルト２８に保持された基板Ｐが持ち上げられ、受け部材７０，７１と押上プレート７６，７７とによりクランプされる。また、基板Ｐは支持ピン１８により下方から支持される。

本実装機は、図３に示すように、コンピュータを主体とする制御装置９０を含む。制御装置９０は図示しない実行部、記憶部、入出力部等を含み、入出力部には、ヘッド移動装置８、基板搬送装置１０の電動モータ２６、基板保持装置１２の昇降装置４４の流体給排装置６８等が駆動回路を介して接続される。

１つ以上の支持ピン１８の各々は、それぞれ、支持台４０上の基準位置（基準位置とは、基板Ｐの形状、特性、部品ｓの装着位置等に基づいて予め決まる位置をいう）に、ピン自動設置装置２０により自動で設置されるが、それに先立って、作業者は、１つ以上の支持ピン１８を、それぞれ、予め定められた初期位置に設置する必要がある。しかし、１つ以上の支持ピン１８を、それぞれ、初期位置に設置するのは面倒である。また、支持ピン１８の初期位置は、作業者にとって作業が困難な位置であることが多い。そこで、本実施例においては、基板支持ピン設置用治具（以下、治具と略称する場合がある）１００を用いて支持ピン１８の初期位置への設置、すなわち、初期設定が行われる。

治具１００は、支持台４０に固定的に設けられたものではなく、着脱可能、相対移動可能なものであり、図４に示すように、本体１０２と、保持部材１０４とを含む。本体１０２は、図５～７に示すように、概して直方体状を成し、本体１０２の内部には、支持ピン１８を収容可能なピン収容部１０６が複数設けられる。ピン収容部１０６には、支持ピン１８が自身の長手方向に移動可能に収容される。保持部材１０４は、ピン収容部１０６に収容された支持ピン１８を保持するものであり、本体１０２に相対移動可能、すなわち、スライド可能に取り付けられる。

ピン収容部１０６は、図７に示すように、本体１０２の互いに対向する一対の面１１２，１１４を貫通する貫通孔であり、互いに平行に、間隔を隔てて並んで形成される。ピン収容部１０６は、それぞれ、孔径が異なる段付き形状を成し、大径孔部１０８、中径孔部１０９、小径孔部１１０を含む。大径孔部１０８の直径は、支持ピン１８の底部５０の直径より大きく、中径孔部１０９の直径は、支持ピン１８の中間部５４の直径より大きく、小径孔部１１０の直径は、支持ピン１８の被係合部５９の外径より大きい。被係合部５９の外径は、３つの突出ロッド６０の先端部によって決まる。そして、本体１０２の、面１１２には、ピン収容部１０６の小径孔部１１０の開口１１０ａが位置し、面１１４には、大径孔部１０８の開口１０８ａが位置する。また、面１１２には、複数のピン穴１２０が設けられる。

本体１０２の正面１２２は、段付き形状を成す。正面１２２は、正面１２２に対向する裏面１２３からの距離が異なる第１面１２２ａ、第２面１２２ｂ、第３面１２２ｃ、第２面１２２ｂと第３面１２２ｃとの間の断面１２２ｄ等を含む。段面１２２ｄと第１面１２２ａとは互いに交差する方向、例えば、直交する方向に伸びる。本実施例において、第１面１２２ａ、段面１２２ｄ等により被位置決め部１２４が構成される。

保持部材１０４は、図８に示すように、概して長方形状の板状を成し、保持部材１０４の、本体１０２のピン収容部１０６に対応する位置には、それぞれ、互いに連通した大径孔部１３２と小径孔部１３４とを備えた貫通孔１３０が設けられる。大径孔部１３２の直径は、支持ピン１８の被係合部５９の外径より大きく、小径孔部１３４の直径は、被係合部５９の外径より小さく先端部５２の直径より大きい。

また、保持部材１０４の、本体１０２の複数のピン穴１２０に対応する位置に、それぞれ、長孔１４０が形成される。長孔１４０は、貫通孔１３０の大径孔部１３２と小径孔部１３４とが並ぶ方向と平行な方向に伸びたものであり、保持部材１０４は、図４，１０に示すように、長孔１４０において、本体１０２の面１１２のピン穴１２０に取り付けられたピン１４２によりスライド可能に保持される。保持部材１０４は、大径孔部１３２が開口１１０ａに対応する非保持位置と、小径孔部１３４が開口１１０ａに対応する保持位置とに、面１１２に沿ってスライド可能とされる。なお、ピン１４２と長孔１４０の両端縁とにより、保持部材１０４のスライド移動の限度が規定される。

保持部材１０４は、保持位置において、支持ピン１８の被係合部５９に係合し、支持ピン１８を保持する。非保持位置において、支持ピン１８の被係合部５９に係合せず、支持ピン１８の保持を解除する。また、保持部材１０４の長孔１４０の伸びる方向の両端部には、それぞれ、外方に突出する凸部１２８，１２９が設けられ、保持部材１０４を移動させる場合の取っ手として機能する。

以上のように構成された治具１００を用いて、初期設定を行う場合の作動について説明する。

治具１００に、少なくとも１つの支持ピン１８を保持させる（保持工程）。
保持部材１０４の非保持位置において、少なくとも１つの支持ピン１８が、本体１０２の複数のピン収容部１０６のうちの少なくとも１つにそれぞれ収容される。支持ピン１８は、大径孔部１０８の開口１０８ａから挿入され、先端部５２、すなわち、被係合部５９が本体１０２の開口１１０ａ、保持部材１０４の大径孔部１３２から突出した姿勢とされる。その後、保持部材１０４を、被係合部５９と本体１０２の面１１２との間において、保持位置に移動させる。被係合部５９の外径は保持部材１０４の小径孔部１３４の直径より大きいため、図９に示すように、保持位置において、保持部材１０４が被係合部５９に係合し、支持ピン１８が保持される。また、突出ロッド６０が１２０°間隔で３本設けられるため、支持ピン１８の位相に関係なく、保持部材１０４は保持位置において３つの突出ロッド６０のうちの少なくとも１つに係合することが可能となる。保持部材１０４が被係合部５９に係合した状態で、支持ピン１８の底部５０の底面５０ｆは面１１４より内側に位置する。なお、保持工程は、保持部材１０４が被係合部５９に係合する係合工程と称することができる。

支持ピン１８を保持する治具１００を支持台４０に載置する（治具載置工程）。
本体１０２が支持台４０に、面１１４が下面、面１１２が上面となる姿勢で、図１０，１１に示すように、第１面１２２ａが固定側の押上プレート７６の内側面７６ｆに当接し、段面１２２ｄが係合凸部４８ａに当接する状態で、載置される。内側面７６ｆと第１面１２２ａとが当接することにより、治具１００のｙ方向の位置が決まり、係合凸部４８ａと段面１２２ｄとが当接することにより、治具１００のｘ方向の位置が決まる。押上プレート７６の内側面７６ｆは、治具１００のｙ方向の位置を決めるｙ方向位置決め部としての機能を有し、これらｙ方向位置決め部７６ｆ、ｘ位置決め部４８等により位置決め部１５０が構成される。基板保持装置１２の位置決め部１５０と治具１００の被位置決め部１２４とにより、治具１００の支持台４０における相対位置が決まるのであり、治具１００が位置決めされる（位置決め工程）。
また、治具１００が支持台４０に載置された状態で、支持ピン１８は、図９に示すように、保持部材１０４に、底部５０の底面５０ｆが支持台４０から離間した状態で保持される。そのため、磁石５７の影響が小さくなり、治具１００の支持台４０の上での移動が容易となる。

支持ピン１８を支持台４０に設置する（ピン設置工程、ピン初期位置設置工程）。
保持部材１０４を、図１０の２点鎖線が示すように、非保持位置へ移動させる。被係合部５９の外径は、保持部材１０４の大径孔部１３２の直径より小さく、本体１０２の小径孔部１１０の直径より小さいため、支持ピン１８の保持が解除され、支持ピン１８が落下する。支持ピン１８の底部５０が支持台４０に当接して設置される。図１２に示すように、少なくとも１つの支持ピン１８は、それぞれ、初期位置に設置される。その後、治具１００が外される。

その後、ピン自動設置装置２０により、支持台４０の初期位置に設置された少なくとも１つの支持ピン１８が１本ずつ把持されて、基準位置に移動させられ、設置される。それにより、少なくとも１つの支持ピン１８を、それぞれ、基準位置に設置することができる（ピン基準位置設置工程）。本実施例において、基板Ｐが支持ピン１８により下方から支持された状態で、部品ｓの装着が行われる。

このように、本実施例においては、治具１００を利用して、少なくとも１つの支持ピン１８を一括して、初期位置に設定することができる。作業者が支持ピン１８を１本ずつ設置する必要がなく、しかも、治具１００の被位置決め部１４と基板保持装置１２の位置決め部１５０とにより、正確に設置することができる。その結果、ピン自動設置装置２０により、良好に支持ピン１８を基準位置に設置することが可能となる。

なお、本実施例においては、治具１００が実装機において支持ピン１８が設置される場合に利用される場合について説明したが、スクリーン印刷機において支持ピン１８が設置される場合にも利用することができる。また、支持ピン１８を初期位置に設定する場合に限らず、基準位置に設定する場合にも利用することができる。

さらに、支持ピンの形状は問わない。例えば、被係合部５９は、等間隔で設けられた突出ロッド６０を４本以上含むものとすることができる。

また、保持部材の形状は問わない。例えば、図１３に示すように、保持部材２０４の凸部２０６，２０７は、保持部材２０４の長孔１４０の伸びる方向と直交する方向の両端部に設けることができる。

さらに、ピン収容部の形状は問わない。例えば、図１４に示すように、本体３０２に設けられたピン収容部３０４は、大径孔部３０８、中径孔部３０９、小径孔部３１２、大径孔部３０８と中間孔部３０９との間に位置し、孔径が連続的に変化する傾斜部３１０、中間孔部３０９と小径孔部３１２との間に位置し、孔径が連続的に変化する傾斜部３１４等を有する形状を成すものとすることができる。傾斜部３１０，３１４を設けることにより、支持ピン１８のピン収容部３０４への挿入が容易となる。

また、図１５に示すように、本体４０２に設けられたピン収容部４０４の形状を、大径孔部４０８、小径孔部４１０、大径孔部４０８と小径孔部４１０との間に位置し、孔径が連続的に変化する傾斜部４１２等を有する形状とすることができる。ピン収容部４０４は、図７等に示すピン収容部１０６において中径孔部１０９を傾斜部４１２としたような形状を成す。本実施例においても、傾斜部４１２により、支持ピン１８のピン収容部４０４への挿入が容易となる。

また、本体１０２の形状は問わない。例えば、面１２２の四隅に台座を設けることができる。台座を作業面に当接させた状態で支持ピン１８をピン収容部１０６に収容させることができる。

さらに、上記実施例においては、基板保持装置１２の押上プレート７６の内側面７６ｆがｙ方向位置決め部とされたが、ｙ方向位置決め部は支持台に設けることができる等、本開示は、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。

１２：基板保持装置 ４０：支持台 ４２：基板支持ピン ４８：ｘ方向位置決め部 ７６ｆ:ｙ方向位置決め部 １００：基板支持ピン設置用治具 １０２，３０２，４０２：本体 １０４，２０４：保持部材 １０６，３０４，４０４：ピン収容部 １２２ａ：第１面 １２２ｄ：段面 １２４：被位置決め部 １３０：貫通孔 １３０：大径孔部 １３２：小径部 １４０：長孔 １４２：ピン １５０：位置決め部

Claims (8)

1. 回路基板を支持する少なくとも１つの基板支持ピンの支持台への設置に用いられる基板支持ピン設置用治具であって、
   当該基板支持ピン設置用治具が、
   前記支持台に対して相対移動可能な本体と、
   前記本体に設けられ、前記少なくとも１つの基板支持ピンを含む複数の基板支持ピンを収容可能な複数のピン収容部と、
   前記本体に設けられ、前記複数のピン収容部の各々に収容された前記複数の基板支持ピンの各々を保持する保持位置と、前記複数の基板支持ピンの各々を保持しない非保持位置とに切換可能な保持部材と
   を含み、
   前記複数の基板支持ピンの各々が、それぞれ、底部と、被係合部とを含み、
   前記保持部材が、前記保持位置において、前記被係合部が前記ピン収容部である貫通孔から突出し、前記底部の底面が前記支持台から離間した状態で、前記被係合部に係合することにより、前記複数の基板支持ピンの各々を保持し、前記非保持位置において、前記被係合部に係合せず、前記複数の基板支持ピンを保持しないものであり、
   前記基板支持ピンの前記底面が、前記保持部材の前記非保持位置において、前記支持台に当接した状態にある基板支持ピン設置用治具。
2. 当該基板支持ピン設置用治具が、前記本体に設けられ、前記支持台への位置決めに用いられる被位置決め部を含む請求項１に記載の基板支持ピン設置用治具。
3. 前記支持台を含む基板保持装置が、前記被位置決め部に係合可能な位置決め部を含み、
   前記位置決め部と前記被位置決め部とにより、前記本体の前記支持台に対する相対位置が決まる請求項２に記載の基板支持ピン設置用治具。
4. 前記底部が、磁石と、磁石を保持する磁石保持部とを含み、
   前記基板支持ピンが、前記磁石により前記支持台に設置される請求項１ないし３のいずれか１つに記載の基板支持ピン設置用治具。
5. 複数のピン収容部を有する基板支持ピン設置用治具を使って少なくとも１つの基板支持ピンを支持台上に設置する基板支持ピン設置方法であって、
   前記基板支持ピン設置用治具に、前記少なくとも１つの基板支持ピンを、前記複数のピン収容部のうちの少なくとも１つの各々に前記基板支持ピンをそれぞれ収容して、保持させる保持工程と、
   前記少なくとも１つの基板支持ピンを保持する前記基板支持ピン設置用治具を、前記支持台の予め定められた位置に載置する治具載置工程と、
   前記少なくとも１つの基板支持ピンの各々の保持を解除し、前記少なくとも１つの基板支持ピンの各々を前記支持台に設置して、前記基板支持ピン設置用治具を前記支持台から外すピン設置工程と
   を含む基板支持ピン設置方法。
6. 前記基板支持ピン設置用治具が、前記複数のピン収容部のうちの少なくとも１つにそれぞれ収容された前記少なくとも１つの基板支持ピンの各々に係合して、前記少なくとも１つの基板支持ピンを保持する保持位置と、前記少なくとも１つの基板支持ピンの各々に係合せず、前記少なくとも１つの基板支持ピンを保持しない非保持位置とに切換え可能な保持部材を含み、
   前記保持工程において、前記保持部材を前記保持位置とし、
   前記ピン設置工程において、前記保持部材を前記非保持位置とする請求項５に記載の基板支持ピン設置方法。
7. 前記治具載置工程が、前記基板支持ピン設置用治具を前記支持台の前記予め定められた位置に位置決めする位置決め工程を含み、
   前記位置決め工程において、前記支持台を含む基板保持装置に設けられた位置決め部と、前記基板支持ピン設置用治具に設けられた被位置決め部とにより、前記基板支持ピン設置用治具の前記支持台の相対位置を規定する請求項５または６に記載の基板支持ピン設置方法。
8. 複数のピン収容部が設けられた本体と、
   前記複数のピン収容部のうちの少なくとも１つに保持された少なくとも１つの基板支持ピンの各々に係合して、前記少なくとも１つの基板支持ピンを保持する保持位置と、前記少なくとも１つの基板支持ピンの各々に係合せず、前記少なくとも１つの基板支持ピンを保持しない非保持位置とに切換え可能な保持部材と
   を含む基板支持ピン設置用治具を使って前記少なくとも１つの基板支持ピンを支持台に設置する基板支持ピン設置方法であって、
   前記複数のピン収容部のうちの少なくとも１つに、前記基板支持ピンをそれぞれ収容して前記保持部材を前記保持位置とすることにより、前記基板支持ピン設置用治具に前記少なくとも１つの前記基板支持ピンを保持させる保持工程と、
   前記少なくとも１つの基板支持ピンを保持する前記基板支持ピン設置用治具を、前記支持台に載置する治具載置工程と、
   前記保持部材を前記非保持位置に切り換えることにより、前記少なくとも１つの基板支持ピンを前記支持台に設置するピン設置工程と
   を含む基板支持ピン設置方法。

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