JPH01100847A - 金属蒸気放電灯の製造方法 - Google Patents

金属蒸気放電灯の製造方法

Info

Publication number
JPH01100847A
JPH01100847A JP62256877A JP25687787A JPH01100847A JP H01100847 A JPH01100847 A JP H01100847A JP 62256877 A JP62256877 A JP 62256877A JP 25687787 A JP25687787 A JP 25687787A JP H01100847 A JPH01100847 A JP H01100847A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
metal
arc tube
metal halide
rod
manufacturing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP62256877A
Other languages
English (en)
Inventor
Akira Ose
明 小瀬
Shinya Omori
信哉 大森
Akihiko Tsurumaru
鶴丸 明彦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Stanley Electric Co Ltd
Original Assignee
Stanley Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Stanley Electric Co Ltd filed Critical Stanley Electric Co Ltd
Priority to JP62256877A priority Critical patent/JPH01100847A/ja
Priority to CA000579739A priority patent/CA1320248C/en
Priority to DE3851030T priority patent/DE3851030T2/de
Priority to EP88116950A priority patent/EP0312021B1/en
Publication of JPH01100847A publication Critical patent/JPH01100847A/ja
Priority to US07/463,001 priority patent/US4993981A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/38Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
    • H01J9/395Filling vessels

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は電極を有する透光性発光管内に水銀、不活性ガ
ス及び金属ハロゲン化物を封入してなる金属蒸気放電灯
に圓するものであり、更に詳しくは金属ハロゲン化物の
封入方法に関するものである。
〔従来の技術〕
高圧水銀放電灯はその発光効率の向上、演色性の改善等
のため一般にタリウム、ナi−リウム、インジウム等の
金属がハロゲン化物の形態で発光管内に封入されている
。しかし、金属ハロゲン化物の中には沃化インジウムの
様に非常に吸湿性が高いため、大気にさらすことのでき
ない物質があり、これが金H蒸気tli電灯の製造方法
を複雑なりのとしている。
最も一般的な製造方法は予め脱水、削出した粒状の金属
ハロゲン化物を、先ず不活性ガス雰囲気のドライボック
ス内で発光管内に入れ、次に発光管内と外気との気密を
保つ適当な手段を講じて排気装置に接続し、発光管内の
耕気を行ない、更に水銀適下、不活性ガス導入、封じと
いう一連の複雑な工程による製造である。
また、特公昭40−19548号公報、特公昭43−1
7787号公報、特公昭46−19390号公報等では
排気管の途中、あるいは封体に金属ハロゲン化物溜りを
設け、排気管より排気を行いながら金属ハロゲン化物を
加熱することにより、脱水を行うと共に金属ハロゲン化
物を移送し易い様に気化させ、予め冷却しである発光管
内に導入凝縮させる方法が提案されている。
更に、特公昭54−14874号公報には排気系内に金
属ハロゲン化物の落下装置を設け、発光管内に落下させ
る方法が提案されている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
従来技術の項の最初に記載した複雑で非能率な方法によ
ってもドライボックス内の治具類、発光管の気密を保つ
治具等に表面吸着した水、酸素等を完全に除去すること
は極めて困難であり、これらが金属ハロゲン化物に吸着
されて故?tf開始電圧が異常に高くなるとか、早期黒
化、不点灯等の原因になるという欠点は解消されていな
い。
一方、特公昭40−19548号公報、特公昭43−1
7787号公報、特公昭46−19390号公報等で提
案された方法によって、金属ハロゲン化物は大気との接
触が妨げられるので放電開始電圧が高くなるとか、早期
黒化、不点灯といった従来の問題点の多くは解消された
が、発光管内に一定量の金属ハロゲン化物を正確に封入
することが極めて困難であるという新たな問題点のある
ことが判った。即ち、いかに金属ハロゲン化物を予め正
確に計量し、金属ハロゲン化物溜り挿入したとしても、
金属ハロゲン化物を加熱、移送する際に金属ハロゲン化
物の蒸気は発光管内だけでなく、導入管、排気管等の他
の低温部分に於いても凝縮するため、予め計量した金属
ハロゲン化物仝吊を発光管内に凝縮させることはできな
い。この封入量のバラツキは発光管が小さい程顕箸とな
る。
金属ハロゲン化物の封入量のバラツキは直接発光管の放
電特性に著しい影響を及ぼずので、この方法の大きな問
題点となっている。
また、特公昭54−14874号公報によって提案され
た方法にも見過しえない欠点がある。先ず第1に放電管
が小型になると金属ハロゲーン、化物の封入量も微量と
なり、容易に落下しない大きさになってしまうことであ
る。また、何とか落下させたとしても落下途中の管壁に
衝突、付着して発光管内に到達する量が減少すると共に
著しく変動することが判った。
従って、この方法によって製造した放電灯も前述の放電
灯と同様、金属ハロゲン化物の封入量のバラツキによる
放電特性のバラツキが回避できない。 更に、これまで
に提案された方法はいずれも発光管1本毎に予め金属ハ
ロゲン化物を計量しておく必要があるが、この計量作業
もドライボックス内で行わなければならず、極めて非能
率な作業となっていた。また、通常は数種類の金属ハロ
ゲン化物を混合して使用するため、計量回数が多くなる
だけでなく個々の金属ハロゲン化物は極めて徴mとなり
、これを精度良く計量することが求められていた。しか
し現実には能率と計量精度の両方を追求することは不可
能な状況であった。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明は前記の従来法の問題点をことごとく解消する
ことのできる金属蒸気放電灯の製造方法を提供すること
を目的とするものであり、この発明の要旨は金属ロッド
先端部に金属ハロゲン化物を蒸着、あるいはスパッタリ
ングにより付着させた侵、該ロッドを発光管内に挿入し
、高周波誘導加熱により金属ロッド先端部に付着した金
属ハロゲン化物を発光管内に移すことにあり、更にはロ
ッド先端部への金属ハロゲン化物の付着工程と、該ロン
ドを発光管内に挿入する工程とを連続的に同一容器内で
行うことにある。
〔実施例〕
次にこの発明を図示の実施例によって詳細に説明する。
図面はこの発明の一実施例を示すものであって、ドライ
ボックス3が(111閉可能な気密手段5を介して装置
本体1と連結されており、ドライボックス内を窒素など
の不活性ガスで置換し、気密手段5をblけることによ
り、蒸着源容器9に入れた金属ハロゲン化物11を大気
に触れることなく装置本体1に供給することができる。
蒸着源容器9はヒーター(図示なし)等で加熱すること
ができ、矢印の方向に装置本体1とドライボックス3の
間を移動することができる機構となっている。装置本体
1の内部にある金属ロッド13は矢印の方向に移動可能
であり、本体1には脱ガス、排気のためのパイプ15.
15′があり、各々排気ポンプ(図示なし)に接続して
いる。また、本体1はゲートバルブ17を介して発光管
21を取付けるヘッド19を備えている。蒸@源容鼎9
の装置本体1への挿入に先立って、本体1に於いてはゲ
ートバルブ17を■じ排気バイブ15を排気ポンプに接
続して排気を行うとともに、ヘッド19に取付けた発光
管21内の脱ガス、排気も排気パイプ15′を通して行
う。続いて、蒸着源容器9を気密手段5を開けて装置本
体1内に移動させ、続いて金属ロッド13を下方に移動
させ、第21図の様にロッド先端113aに金属ハロゲ
ン化物11bを蒸着させる。金属ハロゲン化物11は加
熱装置(図示なし)により加熱されると蒸気11aとな
り、ロッド先端13aに凝縮し金属ハロゲン化物の膜1
1bを形成する。蒸@員は加熱温度と時間で精密にコン
トロールできる。蒸着時間のコントロールは蒸着源容器
9のフタの穴にシャッター(図示なし)を設け、該シャ
ッターを1FiI関して調節しても良い。
蒸着源容器9は第1図の場合2ヶ例示しているが必要に
応じて用意1ればよく、必要な種類だけ順次金属ロッド
の先端13aに蒸着することができる。尚、金属ロッド
先端部13aへの金属ハロゲン化物11の蒸看工稈と、
発光管21の脱ガス、排気工程は同時でも良いし、逆の
順序でも良い。
次に蒸着源容器9を元の位置に戻し、ゲートバルブ17
を開け、第3図の様に金属ロッド13を発光管21の内
部に挿入し、高周波誘導加熱コイル25により該ロッド
13を加熱し、金属ロッド先端部13aに蒸着されてい
た金属ハロゲン化物11bの全量を発光管内に再蒸着さ
せ金属ハロゲン化物の膜11Gを形成させる。
尚、蒸am容器の温度及び雰囲気の圧力を金属ハロゲン
化物の種類に応じて調整することにより、金属ハロゲン
化物の脱ガス、脱水を行うことが可能である。特に金属
ハロゲン化物を蒸着させる時の条件と、脱ガス脱水を行
うための条件を変えて蒸着黴のコントロールと脱ガス、
脱水をそれぞれ最高の条件で行うこともできる。また、
金属ロッド13への金属ハロゲン化物11の付着は蒸着
に限定されるものではなく、容器の構造を変えることに
よりスパッタリング等信の方法によっても行うことがで
きる。
〔発明の効果〕
この発明によれば金属ハロゲン化物の脱ガス、脱水、計
量、発光管内への供給、という全工程が外気と遮断され
た密閉容器内で連続的に行なえるため、不純ガス、水分
と接触する機会がない。また、治具等も外気に触れるこ
とがないため、金属ハロゲン化物が二次的にも外気と接
触することが防止できるので、従来の様に放電開始電圧
が異常に高くなるとか早期黒化、不点灯といった欠点が
解消された。また発光管内へ封入する金属ハロゲン化物
が微量となる、小型の放電管の製造においても金属ロッ
ド先端への付着量が温度、圧力等の作業条件を一定とす
ることにより正確にコントロールできるので、封入量の
バラツキによる放電特性のバラツキもなくなった。更に
発光管の排気、金属ハロゲン化物の計量、発光管内への
供給が連続的に行えるため、極めて効率よく金属蒸気放
電灯が製造できるようになった。
【図面の簡単な説明】
図面はこの発明の一実施例を示すもので、第1図は全体
の構成の説明図、第2図は金属ロッド先端部に金属ハロ
ゲン化物を蒸着する説明図、第3図は発光管内への金属
ハロゲン化物の移送説明図である。 1・・・装置本体、     3・・・ドライボックス
、9・・・蒸着源容器、 11〜11C・・・金属ハ0グン化物、13〜13a・
・・金属ロッド、 17・・・ゲートバルブ、 21・・・発光管、 25・・・高周波誘導加熱コイル。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)金属ロッド先端部に金属ハロゲン化物を蒸着ある
    いはスパッタリングにより付着させた後、該ロッドを発
    光管内に挿入し、高周波誘導加熱により、金属ロッド先
    端部に付着した金属ハロゲン化物を発光管内に移送する
    ことを特徴とする金属蒸気放電灯の製造方法。
  2. (2)金属ロッド先端部に金属ハロゲン化物を付着させ
    る工程と、該ロッドを発光管内に挿入する工程を連続的
    に同一容器内で行うことを特徴とする特許請求の範囲第
    1項記載の金属蒸気放電灯の製造方法。
JP62256877A 1987-10-12 1987-10-12 金属蒸気放電灯の製造方法 Pending JPH01100847A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62256877A JPH01100847A (ja) 1987-10-12 1987-10-12 金属蒸気放電灯の製造方法
CA000579739A CA1320248C (en) 1987-10-12 1988-10-11 Method of manufacturing vaporized metal discharge lamp
DE3851030T DE3851030T2 (de) 1987-10-12 1988-10-12 Herstellungsverfahren für Entladungslampen mit verdampftem Metall und Gerät dafür.
EP88116950A EP0312021B1 (en) 1987-10-12 1988-10-12 Method of manufacturing vaporized metal discharge lamp and apparatus therefor
US07/463,001 US4993981A (en) 1987-10-12 1990-01-08 Method of manufacturing vaporized metal discharge lamp

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62256877A JPH01100847A (ja) 1987-10-12 1987-10-12 金属蒸気放電灯の製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01100847A true JPH01100847A (ja) 1989-04-19

Family

ID=17298654

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62256877A Pending JPH01100847A (ja) 1987-10-12 1987-10-12 金属蒸気放電灯の製造方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4993981A (ja)
EP (1) EP0312021B1 (ja)
JP (1) JPH01100847A (ja)
CA (1) CA1320248C (ja)
DE (1) DE3851030T2 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5496201A (en) * 1994-06-16 1996-03-05 Industrial Technology Research Institute Extendable exhausting assembly for the manufacture of gas discharge lamps
DE4422419A1 (de) * 1994-06-29 1996-01-04 Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh Glove-Box
US7063583B2 (en) * 2001-03-23 2006-06-20 Wafermasters, Inc. Multi-spectral uniform light source
DE10147727B4 (de) * 2001-09-27 2011-06-01 Osram Gesellschaft mit beschränkter Haftung Herstellungsverfahren für eine Flachstrahler-Entladungslampe
KR100496769B1 (ko) * 2002-07-09 2005-06-22 공주대학교 산학협력단 흡습성 고체 전구체 기화장치

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2733115A (en) * 1956-01-31 Apparatus for evaporating chemicals
CH119065A (fr) * 1926-01-21 1927-03-01 Westinghouse Lamp Co Procédé pour introduire une matière vaporisable dans une enveloppe.
US1881616A (en) * 1929-03-07 1932-10-11 Bell Telephone Labor Inc Electrooptical device
US2744808A (en) * 1952-08-27 1956-05-08 Rca Corp Apparatus for evaporating chemicals
US3348588A (en) * 1964-04-24 1967-10-24 Sylvania Electric Prod Mercury dispenser
US3328108A (en) * 1965-11-22 1967-06-27 Sylvania Electric Prod Iodine dispenser
US3572877A (en) * 1968-03-12 1971-03-30 Tokyo Shibaura Electric Co Apparatus for manufacturing discharge tubes
DE2024286A1 (de) * 1969-05-24 1970-11-26 S.A.E.S. Getters S.P.A., Mailand (Italien) Alkalimetalldampferzeuger
JPS62177834A (ja) * 1986-01-31 1987-08-04 Toshiba Corp メタルハライドランプの製造方法
HU207175B (en) * 1986-02-12 1993-03-01 Tungsram Reszvenytarsasag Device for manufacturing discharge tube of a sodium vapour discharge lamp
US4671778A (en) * 1986-03-19 1987-06-09 Rca Corporation Imaging device having an improved photoemissive cathode appendage processing assembly

Also Published As

Publication number Publication date
DE3851030D1 (de) 1994-09-15
US4993981A (en) 1991-02-19
EP0312021B1 (en) 1994-08-10
EP0312021A3 (en) 1990-08-29
CA1320248C (en) 1993-07-13
DE3851030T2 (de) 1994-12-22
EP0312021A2 (en) 1989-04-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH01100847A (ja) 金属蒸気放電灯の製造方法
CS270218B2 (en) Device for discharge tubes production for sodium vapour lamps
CN108411253A (zh) 一种碱金属定量填充的原子气室制备装置与制备方法
US3957328A (en) Method of manufacturing a mercury vapour discharge lamp
ITMI962449A1 (it) Dispensatore di ossigeno per lampade a scarica ad alta pressione
JP2004059982A (ja) 真空蒸着方法
US4099081A (en) Electric lamps and their production
CN211148352U (zh) 接触角测量装置
US3208812A (en) Process and apparatus for dosing electrical devices
US6814641B2 (en) Method of manufacturing discharge lamps and a discharge lamp with a halogen introduction carrier
US2764857A (en) Introducing mercury into discharge lamps
US3248118A (en) Discharge devices fabricating apparatus and method
JP2975564B2 (ja) 放電灯の製造方法
CN112768326A (zh) 一种194nm谱线汞灯的制作装置和方法
JPH065627Y2 (ja) アルミニウム材中のガス分析装置
JPS585499B2 (ja) 放電管用水銀の封入方法
JPH029490Y2 (ja)
US3707643A (en) Halogen regenerative-cycle incandescent lamp
JPH01220359A (ja) 金属蒸気放電灯およびその製造方法
JPH0340337A (ja) 高圧金属蒸気放電灯の製造方法
JPH02244537A (ja) 放電灯の製造方法
US3783328A (en) Halogen incandescent lamp
US3540789A (en) Method of dosing vapor-discharge lamps with gallium
JPS54161764A (en) Method and device for manufacturing discharge lamp
JPS5835338B2 (ja) 管球への水銀封入方法