JPH01100892A - 薄膜el素子 - Google Patents

薄膜el素子

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Publication number
JPH01100892A
JPH01100892A JP62256604A JP25660487A JPH01100892A JP H01100892 A JPH01100892 A JP H01100892A JP 62256604 A JP62256604 A JP 62256604A JP 25660487 A JP25660487 A JP 25660487A JP H01100892 A JPH01100892 A JP H01100892A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thin film
laminated
base material
insulating film
elements
Prior art date
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Pending
Application number
JP62256604A
Other languages
English (en)
Inventor
Naoya Tsurumaki
直哉 鶴巻
Satoshi Tanda
聡 丹田
Takashi Nire
孝 楡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Komatsu Ltd
Original Assignee
Komatsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Komatsu Ltd filed Critical Komatsu Ltd
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Publication of JPH01100892A publication Critical patent/JPH01100892A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、低電圧駆動で高輝度を得ることのできる薄膜
EL素子において、その発光層に添加するドープ材に関
するものである。
(従来の技術) 薄膜EL素子は、輝度が高く、薄膜で構成されていると
いう点から、次世代のフラットデイスプレィパネルに応
用できる表示素子として有力な候補となっている。
従来の薄膜EL素子の二重絶縁膜構造を第4図に示す、
透明基板1上に、ITOなどからなる透明電極2と、T
 a t Osなどからなる第1絶縁膜3と、母材(Z
nS等)と発光中心物質(Mn等)とからなる発光層7
と、T a z Os等からなる第2絶縁膜5と、金属
電極6とを順次積層して構成されている。
次に、二重絶縁膜構造の薄膜絶縁膜素子の発光メカニズ
ムについて説明する。
上記説明した、薄膜EL素子の透明電極2と金属電極6
に交流電界を印加すると、第1絶縁膜3と、第2絶縁膜
5を介して発光層7に電界が印加される。そして、その
電界により母材中に存在する価電子帯にある電子が、エ
ネルギーを受けとり伝導帯に多数存在するようになる(
電子なだれ現象)。
この電子なだれ現象がおきたとき、4移、動電筒が増加
し多数の発光中心物質を励起状態にする。
そして励起状態の電子が基底状態にもどる時、そのエネ
ルギーを光に変換して放出し、薄膜EL素子は発光する
(発明が解決しようとする問題点) 従来の薄膜EL素子は、前記移動電荷に母材中に存在す
る価電子帯にある電子を用いていたが移動電荷量は充分
ではなく、そのため薄膜EL素子を発光させるためには
、高駆動電圧が必要であり、高電圧を印加する割には、
高輝度を得ることができなかった。
本発明は、上記問題点に鑑み低電圧駆動、高輝度の薄膜
EL素子を得ることのできる構造を提供することを目的
とする。
(問題点を解決するための手段及び作用)上記問題点を
解決するために、本発明では、ドープ材として、Sc、
YS La、L t、NaK、Pb、Cs、Mo、C0
1Cr、Gdのうち1種類あるいは多種類の元素を、発
光層に添加する。
発光層に添加されたドープ材の価電子は、薄膜EL素子
に電界が印加されると、移動電荷となり、発光中心物質
の基底状態の電子にぶつかりそれを励起状態にする。従
来の母材中に存在していた価電子のみを用いたのにくら
べて、ドープ材を添加することにより、移動電荷は、多
量になり発光中心物質の基底状態の電子により多くぶつ
かることになる。
従って、励起状態の電子が、増加し、発光量が増加する
(実施例) 以下、図面に従って本発明の薄膜EL素子を説明する。
母材としてZnS、発光中心物質としてMn、ドープ材
とし−てScとKを用いた場合を例にとり説明する。第
1図に、本発明の薄膜EL素子の一実施例の断面図を示
す。
ガラス基板などの透明基板1上に、ITO等からなる透
明電極2を積層する0次にT a z OS等からなる
第1tPA縁膜3を0.6μmスバ・フタ法で積層する
。そして、母材としてZnS、発光中心としてMn、 
 ドープ材としてScとKとからなる発光層4をMSD
法で0635μm積層する。
ここで、MSD法での積層方法を説明する。
第2図にMSD装置の概要図を示す、真空槽11の中に
、原料を入れるルツボ12と、基板13があり、ルツボ
12を独立に温度コントロールし原料を基板13へ蒸着
させる。真空槽ll内は真空ポンプ14によって排気さ
れる0本実施例の場合、ルツボ12に各々Zn、、S、
Mn。
K、Scを投入し、温度をコントロールしMn、K、S
cを含有したZnS薄膜を蒸着する。にとScは、母材
に対して10mo 1%以下としする。
ところで、KとScは各々1価と、3価のイオンである
ため、Znの2価イオンと置換され電価の補償もなされ
る。
続いて、T a ! Os等からなる第2絶縁膜をスパ
ッタ法で0.6μm1積層する。最後にAf等からなる
金属電極を積層゛し、配線する。
上記説明した薄膜EL素子は、発光層4内にドープ材を
含有しているので低い電圧でも、ドープ材から移動電荷
が多数発生するため低電圧で発光する。そして、移動電
荷の量が多いため、発光中心の基底状態の電子に多数ぶ
つかるため、輝度も向上する。
第3図に本発明の薄膜EL素子と、従来の薄膜EL素素
子子の電圧と輝度の関係を示す。
図中イが従来のものであり、駆動電圧的15OV、飽和
輝度的1700 c d/cm3トナッテいるのにくら
べて、図中口の本発明の薄膜EL素子は、駆動電圧的8
0V、飽和輝度的2200Cd/c+a”となっており
低電圧駆動、高輝度の薄膜EL素子を得ることができた
尚、本実施例においては、母材としてZnS、発光中心
物質としてMn、ドープ材としてKとScを用いる場合
を説明したがこの組み合わせに限ることなく、母材とし
てはSrS、CaSでもよく、発光中心物質としてはM
n、Tb、Ce、Euでもよい。ドープ材としてはSc
、Y、  La、  L  i、  Na、  K、 
 Rh、  Cs  、、 M、o。
Co、Cr、Gdの中から1種類以上の元素を用いても
よい。
(発明の成果) 以上述べたように本発明では発光層にドープ材を添加す
ることにより移動電荷の発生する電界値を下げ、さらに
従来と同じ電界値での移動電荷数を増加できる。従って
低駆動電圧で高輝度が得られるという優れた効果がある
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明薄膜EL素子の断面図、第2図は本発明
薄膜EL素子の発光層を積層するMSD法装置の概要図
、第3図は本発明および従来例の電圧対輝度の関係を比
較して表わすグラフである。第4図は従来の薄膜EL素
子の断面図。 l・・・透明基板     2・・・透明電極3・・・
第1絶縁膜 4・・・ドープ材を含有している発光層5・・・第2絶
縁膜    6・・・金属電極7・・・発光層 特許出願人 株式会社小松製作所 代理人 (弁理士)岡 1)和 喜 第1図 第2図 電圧(Vσ−p) 第3図 第4図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  二重絶縁膜構造の薄膜EL素子で、ZnS・SrS・
    CaS等の母材とMn・Tb・Ce・Eu・Sm等の発
    光中心物質とから成る薄膜EL素子において、ドープ材
    としてSc・Y・La・Li・Na・K・Pb・Cs・
    Mo・Co・Cr・Gdのうち、1種類以上を添加させ
    ることを特徴とする薄膜EL素子。
JP62256604A 1987-10-12 1987-10-12 薄膜el素子 Pending JPH01100892A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0311591A (ja) * 1989-06-09 1991-01-18 Komatsu Ltd 青色表示用el素子
WO1992008333A1 (fr) * 1990-11-02 1992-05-14 Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho Element electroluminescent a couches minces
JP2010048085A (ja) * 2009-12-04 2010-03-04 Oiles Eco Corp ルーバ装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO1992008333A1 (fr) * 1990-11-02 1992-05-14 Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho Element electroluminescent a couches minces
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