JPH03216997A - エレクトロルミネッセンス素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［利用分野］ 本発明は相対向しない対電極を形成してなるエレクトロ
ルミネッセンス素子に関する。

［従来技術１ エレクトロルミネッセンス素子（以下ＥＬ素子と呼ぶ）
は、平面形固体発光表示装置への応用に対し古くから研
究され、その実用化に対し根強い期待がある。このＥＬ
素子は構造上、基板上に蛍光体の結晶性薄膜を形成させ
ることを特徴とするＮＬ！形と蛍光体粉末を有機系誘電
体バインダー中に均一に分散混合させることを特徴とす
る有機分散形及び蛍光体粉末をガラス等の無機系バイン
ダーで結着させることを特徴とする無機分散形に分けら
れる。無機分散形ＥＬは、しばしばセラミックス形ＥＬ
と呼ばれることもあるが、あくまでも蛍光体粉末粒子が
この無機系バインダー中に分散したものに過ぎない。従
来、開発されているＥＬ素子のすべては、（両面に形成
した）相対向する一対の電極（少なくとも片方は光取り
出し用透明電極）の間に発光層や絶縁層を適当に配置し
て扶持する構造を基本としている。

最近、発明者らは、マンガン添加硫化亜鉛（以下ＺｎＳ
　：　ｌ［ｎと呼ぶ）蛍光体粉末を８５０℃以上の高温
で焼結した蛍光体焼結セラミックス板を基板兼発光層と
して用い、これを相対向する一対の透明電極と対向電極
で挟んだだけの簡単な構造の素子によって数１０Ｖの直
流低電圧駆動にも拘わらず数１０００ｃｄ／ｓ＋”とい
う直流高輝度ＥＬ素子（以下ＰＣＥＬ素子と呼ぶ）を実
現している（特開昭６１−　２２４２９１）［発明が解
決しようとする問題点］ 現在までに提案されている平面形発光素子であるＥＬ素
子のすべては、相対向する電極間に電圧を印加すること
により発光させているため、素子駆動電圧を供給するた
めのリード線を必ず２面から取り出して使用している。

すなわち、ＥＬ素子の発光面の裏側にも電極配線が必要
である。これは素子作製上のブレーナ技術と相反するた
め、素子の作製−ヒおよび素子の実装し、致命的な欠点
である。

高性能なＰＣＥＬ素子が実現している現在、実用的素子
として広く芭及するためには、素子の経時特性が安定で
なければならないこと、またＥＬ素子の応用を考える場
合、電極のバターニングや、素子の実装が容易でなけれ
ばならないことが必要条件である。蛍光体焼結セラミッ
クス板を用いるｆ）ＣＥＬ素子では、透明重極と対向電
極の間に肉厚の該セラミックスが挟まれることになり、
素子駆動中に直流ＥＬ素子の劣化機構の一つであるファ
ーザーフォーミングが進行するため、経時特性に問題か
あるが、従来のＰＣＥＬ素子の構造ではパルス電圧駆動
等の駆動方式による以外解決策がない。その結果、応用
節囲が大幅に狭められるという問題点がある。

［問題点を解決するための千段］ 本発明は、前記問題点を解決するための手段として、直
流低電圧駆動が可能であるという特長を持つＰＣＥＩ．
素子では、発光層と基体を兼ね、Ｉ族金属である銅を０
．０１〜１０％含有する少なくとも一種の硫化物系蛍光
体から成る８５０℃〜１２５０℃の範囲で焼結された蛍
光体焼結セラミックス板を利用していることから、処女
状態の該セラミックスは低抵抗であるという点に着目し
、蛍光体セラミックス板の片方の表面側にのみ透明電極
と対向電極からなる対電極を形成することによって、実
装性を著しく向上させるようにしたものである。さらに
、蛍光体セラミックス表面上の電極の形成していない部
分の改質処理および変形加工等により電流制御層や電界
制御層を形成することによって経時特性の改善や、高性
能化を達成することができる。

［作用］ 本発明は以下に述べる作用効果を有する。即ち、ＰＣＥ
Ｌ素子の場合、銅（Ｃｕ）を含むことによる低抵抗な蛍
光体焼結セラミックス板が発光層と基板を兼ねることが
出来るＢｕｌｋ材料（厚み０．１ｍｍ　〜０．８ｍｓ）
であるため、電極面が対向しない対電極を形成すること
により駆動することが可能であるという従来のＥＬ素子
の常識からは想像出来ない素子構成が可能となる。

本発明によるＰＣＥＬ素子の作用効果を、蛍光体として
ＺｎＳ　：　Ｉｉｎを採用する場合を一例として以下に
説明するが、ここに述べる作用効果が蛍光体ＺｎＳ：ｌ
［ｎおよびその素子作製方法等に限定されるものではな
いことは勿論である。ＺｎＳ　：　Ｍｎ蛍光体粒子を、
Ｉ族金属であるＣｕを含む溶液中において、Ｃｕコーテ
ィングし、その後成型、焼結プロセスを経て作製された
蛍光体焼結セラミックス板上に前記対電極を形成し、透
明電極側を正極に、対向電極側を負極になるように直流
電圧を印加すると、Ｃｕコーティングされた蛍光体粒子
からなる該セラミックスは低抵抗であるために大きな電
流が流れる。この電圧を印加し続けるとＣｕイオンは負
極に至る竃界の向きに沿って移動（マイグレーション）
するため、透明電極下部にＣｕの枯渇した高抵抗のＺｎ
Ｓ　：　Ｉ［ｎ発光層が生成され、電流が減少するとと
もにこの蛍光体層に高電界がかかり始め発光する。一旦
抵抗が高くなると電流はより抵抗の低い部分を流れるた
め、発光部分もそれにつれて広がり最終的には透明電極
下部全体に高抵抗のＺｎＳ　：　ｌ［ｎ蛍光体層が形成
され、全面発光に至る。これがフオーミング現象である
。

しかしながら、本発明によるＥＬ素子ではフオーミング
完了後、長時間に渡って素子を直流連続駆動すると時間
の経過と共にこの高抵抗層が広くなることにより素子抵
抗が上昇するため、一定駆動電圧の下では輝度が漸次低
下するという劣化モード（ファーザーフｔ−ミング）が
現れることがある。

本発明になる素子構造では、対電極が同一平面上にあり
、さらに発光層兼基板である蛍光体セラミックスは［ｆ
ｕｌｋ材料でもあるため、容易に加工することができ、
Ｃｕの移動経路を自由に制御することが可能となる。必
要に応じて、該セラミックスの対電極の付いていない部
分をエッチング、コーティングもしくはドーピング等の
処理によって、高抵抗ＺｎＳ：ｌ［ｎ蛍光体層の直流電
界を制御することが出来る。すなわち、Ｃｕの移動経路
に当たる部分に外部から故意に第三元素を注入し、Ｃｕ
の移動速度を制御することが可能であり、また、更に電
極間の幾何学的な加工やドーピングにより電流制限層（
部分）を形成すれば、前述の連続駆動時においてさえも
素子の安定動作および長寿命化を実現できる。

一方、蛍光体セラミックスの片方の表面上に形成した対
電極と、これらの両電極と相対向する他方の表面上に形
成した金属等からなる電極との間に前者を正、後者を負
とする直流バイアス電圧を印加し、フォーミングを行う
ことによって、上記対電極直下に高抵抗ＺｎＳ：ｌｌｎ
蛍光体層を形成させ、しかる後、対電極間に交流電圧を
印加すれば両電極での発光が実現でき、かつＣｕの移動
方向が電界方向によって変化するため、フγ−ザーフォ
ーミング等による劣化を抑えることができる。

以上のように本発明によるＥＬ素子は同一平面上の対電
極に電圧を印加するため、すなわち、電極を一面上に形
成すればよいため、簡単に作製でき、配線の取り出しは
最後にワイヤボンディング等で可能であり、面発光形照
光ランプや平面形固体発光表示装置等への実装上極めて
有利となるのみならず、ＥＬ特性の高性能化および高機
能化が可能となる。よって、本発明になる素子構造は従
来の概念を逸脱するものであり画期的といえる。

以下、本発明を実施例により説明する。

［実施例ｌ］ 市販のＺｎＳ：Ｉ［ｎ蛍光体粉末に塩化銅（ＣｕＣｌ　
ｚ　）を０．３８％加え、さらにバインダーとしてバラ
フィンを８．５％加え均一に混合した後４ｔ／ｃｍ”の
プレス圧力で直径２５ｍＩ１、厚さ０．　６ｍｍのディ
スク状に金型成型し、減圧下６００℃で５時間バインダ
ー除去を行い、その後９５０℃で１時間アルゴンと二硫
化炭素の混合雰囲気ガス中にて焼結し、第１図に示すよ
うな蛍光体焼結セラミックス板１を作製した。このセラ
ミックス板の片面中心上に、マグネトロンスバッタ法に
より直径１６■、厚さ１０００ｎ一のアルミニウム（Ａ
Ｉ）添加酸化亜鉛（ＺｎＯ：Ａｌ）円形透明竃極２を形
成し、その周囲に真空蒸着法により内径２１簡一、外径
２５ｍｍ、厚さ約３０ｏｎ一のドーナツ状ＡＩ対向電極
３を形成し、第１図に示すような同一表面に対電極を有
するＰＣＥＬ素子を作製した。透明竃極２を正極に、対
向電極３を負極とする直流バイアス電圧を印加しフォー
ミングを行った後、ＥＬ特性を測定した結果、第２図に
見られるように発光開始電圧ｖｔｈ（１ｉ度ｌｅｄ／■
２が得られる印加電圧の値）５０ｖ、１００ｖ印加時の
輝度（Ｌ＋ｏｏ）２０００ｃｄ／ｍ”（７）黄橙色発光
という、従来の素子構造で得られている特性と同程度の
ものが実現出来た。さらに、駆動電圧を半波整流や直流
パルス波形としても同等のＥＬ特性が得られ、かつ、そ
のＥＬ特性の経時特性は向上した。

［実施例２］ 実施例ｌと同じ条件で作製した第３図に示すような厚さ
約０．５１の蛍光体焼結セラミックス板１の片面上に、
スバッタＺｎＯ：ＡＬ透明電極２として英文字やセグメ
ントパターンを、対向電極３として内径２１ｍｍ、外径
２５■一、厚さ１０００ｎ閣のドーナツ状ＺｎＯ：Ａｌ
スバッタ膜を形成したＰＣＥＬ素子を作製した。透明電
極２を正極に、対向電極３を負極として直流電圧を印加
しフオーミングを行った後、各パターンのＥＬ特性を測
定した結果、各パターンは全面均一に発光し、ｖｔｈは
５５Ｖ，　ｌ＋ｏｏは２１００ｃｄ／ｃｍ”と、実施例
１とほぼ同じ特性を示した。また、駆動電圧を半波整流
や直流パルス波形としても同等のＥＬ特性が得られ、か
つ、その経時安定性は向上した。

［実施例３］ 実施例１と同じ条件で作製した厚さ０．５１の蛍光体焼
結セラミックス板１の片面上に、マグネトロンスパッタ
法により第４図に示すような直径１６ｍｍ，厚さ４００
ｎｍのＺｎＯ　：　Ａ　１円形透明電極２およびその周
囲に内径２１ｌ．外径２５ｌのドーナツ状対向透明電極
・３を形成し、更に該蛍光体セラミックス板の反対側の
面には電界制御層としてＡＩ金属層もしくは導電ペイン
ト層４を形成した面発光形照光ランプ用ＰＣＥＬ素子を
作製した。同図に示すように対電極２、３と、Ａｌ金属
層４との間に、前者を正、後者を負とする直流バイアス
電圧を印加しフォーミングを行った。フｔ−ミング終了
後、該対電極間に４　０　０　ＩＩ　ｚ交流電圧を印加
し素子を発光させた。ＥＬ特性を測定した結果、Ｌｈは
４０Ｖ，　Ｌ＋ｏｏは５５００ｃｄ／ｃ＋＊”の黄橙色
発光を呈した。尚、輝度半減時間は６０００時間に達し
た。また、同図の対電極のうち２を正に、３と金属ｆ！
１４を接続しこれを負とする直流電圧を印加した場合や
、同じく、対電極のうち２を正、３を負とする直流電圧
を印加すると同時に電極３を正、金属層４を負とする直
流電圧を印加した結果、いずれも前述の交流駆動の場合
とほぼ同等のＥＬ特性が得られた。上記直流駆動の場合
、半波整流や直流パルス駆動いずれにおいても同程麿の
ＥＬ特性が得られ、かつ、経時特性の改善ができた。

［実施例４］ 実施例ｌと同じ条件で作製した厚さ０．４１■の蛍光体
セラミックス板の片面ｔに、同実施例１と同じ形状、大
きさの対電極を形成し、各電極をマスクとして、内側と
外側の電極間スペースに、第５図に示すように酸素をイ
オン注入法により打ち込み高抵抗な電流制限層５を形成
し面発光形照光ランプ用ＰＣＥＬ素子を作製した。該対
電極間もしくは該対電極と背面電極４との間に直流電圧
を印加しフォーミング終了後、ＥＬ特性を測定した結果
、Ｌｂハ４５Ｖ，　Ｌ＋ｏｏ４ｔ６０００ｃｄ／ｍ”ｌ
？アッタ。また、この方法により経時特性を著しく改善
することができた。さらに、駆動電圧を半波整流波形や
直流パルス波形にしても同等なＥＬ特性が得られた。

［実施例５］ 実施例ｌと同じ条件で作製した厚さ０．４■■の蛍光体
セラミックス板の片面上に、同実施例１と同じ形状、大
きさの対電極を形成し、各電極にマスキングを施し、内
側と外側の電極間スペースを、スパッタエッチングによ
り第６図に示すように幅２謹１、深さ０．２鳳ｌのリン
グ状溝６を掘り高抵抗化することによって電流制限層を
形成し、面発光形照光ランプ用ＰＣＥＬ素子を作製した
。該対電極間もしくは該対ｉｔＩＩと背面電極４との間
に直流電圧を印加し７ォーミング終了後、ＥＬ特性を測
定した結果、Ｖ＋ｋは５０Ｖ、ｔ，　Ｉ　ｏ　ｏは５７
００Ｃｄ／ｌＩ！テアッタ。

また、実施例４と同様経時特性を大幅に改善することが
できた。さらに、駆動電圧を半波整流や直流パルス波形
にしてもほぼ同様なＥＬ特性が得られた。

［実施例６］ 実施例ｌと同じ条件で作製した、第７図に示すような厚
さ０．　５ｍ一の蛍光体セラミックス板１の片面上に、
マグネトロンスパッタ法により直径１６ｌ■、厚さ４５
０ｎ−のＺｎＯ：Ａ１円形透明亀極２およびその周囲に
内径２１ｇ＋＋ｓ，外径２５一鳳のドーナツ状透明電極
３を形成した。更に、該重極２と同３の電極間スペース
に内径１８ｍｍ、外径１９ｍｍのドーナツ状＾ｌ対向電
極７を真空蒸着法により形成し面発光形照光ランプ用Ｐ
ＣＥＬ素子を作製した。該竃極２と３を接続し、これを
正に、Ａｔ対向電極７を負とする直流バイアス電圧を印
加し、フォーミング終了後、該透明電極２、３と対向竃
極７との間に直流駆動電圧を印加しＥＬ特性を測定した
結果、Ｌｈは３４Ｖ，　Ｌ＋ｏｏは６４００ｃｄ／ｓ”
であった。駆動電圧の波形を、半波整流や直流パルスの
いずれに替えてもほぼ同様のＥＬ特性を示した。また、
第７図の楕造は、まず直径２５ｍｍのＺｎＯ・Ａｌ透明
電極を形成した後、スバッタエッチングによってパター
ニングすることにより作製することも可能であった。

この場合のＥＬ特性は、前記特性と同等以上であり、か
つ経時特性も向上した。

［実施例７］ 実施例１のセラミックス作製条件の中で、ＣｕＣｌ２を
全く含まないで作製した厚さ０．５■■の蛍光体焼結セ
ラミックス板ｌの片面全面にわたって第８図に示すよう
な金属Ｃｕ層８を、スバッタ法により、厚さ２０００ｎ
鳳形成し、アルゴン雰囲気中７００℃で５時間熱拡散処
理を施して得られた第９図に示す蛍光体焼結セラミック
ス板９の上に、スパッタ法により外径１６ｍ■のＺｎＯ
　：　Ａ　１円形透明電極２を、その周囲には対向電極
３として内径２１置■、外径２５一一のスパッタＺｎＯ
：＾ｌからなる対電極を形成した。

対電極間に、該円形透明電極２を正極とする直流電圧を
印加してフォーミングしたところ、黄橙色発光が得られ
、ＥＬ特性を測定した結果、Ｖ＋ｂは３５Ｌ　Ｌ＋ｏｏ
は４０００ｃｄ／ｍ”　’Ｔ：あった。また、半波整流
や直流パルス駆動いずれにおいても同程度のＥＬ特性が
得られた。尚、本実施例の熱拡散によるＺｎＳ　：１１
ｎ焼結体セラミックス中へのＣｕの導入は、硫酸銅（Ｃ
ＩＩＳＯ４）水溶液や塩化銅（ＣｕＣＬｚ）メタノール
溶液中へセラミックスを浸すことによるＣｕの導入によ
って置き換えても全く支障がなかった。

本実施例に示したようなＺｎＳ　：　Ｉｎ蛍光体へのＣ
ｕの導入法を用いた蛍光体焼結セラミックスの場合にお
いても、実施例２から実施例６において示したＥＬ素子
作製法が有効であるは勿論であった。

【実施例８］ 実施例ｌと同じ条件で作製した、第１０図・に示すよう
な厚さ０．４−の蛍光体セラミックス板１の片而上にマ
グネトロンスバッタ法により直径２４ｌ１厚さ４２０ｎ
ｍのＺｎＯ：Ａ１円形透明電極２を、該セラミックス板
１の側面外周に導電ペイントを塗布した対向電極３をそ
れぞれ形成した面発光形照光ランプ用ＰＣＥＬ素子を第
１０図に示すように１０個平面上に並べ、それらを並列
駆動することにより大面積の発光型照光ランプパネルを
作製した。各素子のＥＬ特性は同実施例１で得られた結
果とほぼ同じであった。また、このパネルを直流、半波
整流波、直流パルスのいずれでも駆動することができ、
かつ経時特性の向上を図ることができた。

尚、第１０図に示した各素子の対向電極３の形状やその
配置は同図に制限されるものではなく、さらに、この対
向竃極３と前述した第４図に示すような金属電界制御層
４を併用もしくは組み合わせて使用することは一向に差
し支えなかった。

以上の実施例１から実施例８は、いずれも蛍光体として
ＺｎＳ：ｌｌｎを採用した場合について説明してきたが
、この蛍光体をＺｎＳ：Ｔｂ．Ｆ，　ＺｎＳ：Ｓｓ，Ｐ
等のＺｎＳ系や硫化ストロンチウム（ＳｒＳ）系、硫化
カルシウム（ＣａＳ）系および硫化バリウム（ＢａＳ）
系に置き換えても全く同様の効果、性能が期待できるこ
とが確認された。

［実施例９］ 市販の緑色発光用ＺｎＳ：Ｃｕ蛍光体粉末に／くイング
ーとしてバラフィンを８．０％加え均一に混合した後、
実施例ｌと同じ条件で第１１図に示すようなＺｎＳ：Ｃ
ｕ蛍光体焼結セラミックス板１０　　を作製した。

このセラミックス板の片面全面にマグネトロンスバッタ
法により厚さ３００ｎ園の高抵抗ＺｎＳ：ｌ［ｎｉｉｌ
ｌｌ１１を形成した。更にその上に同じくマグネトロン
スパッタ法により同実施例１と同じ形状、大きさのＺｎ
Ｏ：Ａ１円形透明電極２およびＡｔ対向電極３からなる
対電極を形成した。対電極間に該円形透明電極２を正極
とする直流電圧を印加したところ、電圧の値を変えるこ
とにより緑色から黄橙色に変化する発光が得られた。Ｅ
Ｌ特性を測定した結果、Ｙｔｂは３０Ｖ，　Ｌ＋ｏＪ；
１２０００ｃｄ／ｌ”ｌ？あった。また、該Ｆ！４ｕ　
ｉｉを青色および赤色蛍光体であるアルカリ土類を含む
ＳｒＳ系やＣａＳ系に置き換えても問程度の発光輝度を
有するＥＬ特性が得られた。該薄膜を選択することによ
り、また、印加電圧の値を変化させることにより、望み
の発光色をもつＰＣＥＬ素子を実現することができた。

さらに、駆動電圧波形を半波整流波、直流パルス波のい
ずれにおいても、ほぼ同じＥＬ特性が得られた。

以上の実施例では蛍光体セラミックスの焼結温度を９５
０℃としたが、８５０℃から１２５０℃の温度範囲であ
れば本発明の発光層として使用可能な蛍光体セラミック
スを作製することができた。また、実施例では素子の横
造を円形としたが、本発明によるＰＣＥＬ素子の形状は
全く任意であり、前記実施例に制限されるものではない
。さらに、本発明で実施した少なくとも一種の透明電極
は、ＺｎＯ系、ＩＴＯ系あるいは酸化スズＣＳｎＯｔ）
系等いずれでも良く、更に必要に応じて素子の封止加工
を行って使用できる。

［発明の効果］ 本発明によるＰＣＥＬ素子は対電極がセラミックスの片
面にのみ形成される故、実装性が著しく改善され、両電
極間のスペースに外から種々の加工を行うことによって
素子の劣化等に結び付く要因を抑制したり、高性能化や
新たな機能を付加することも可能である。薄膜形ＥＬ素
子では前述のような加工処理は全く不可能であり、従来
の平行平面対電極形のＥＬ素子でも不可能であったが、
肉厚のバルクセラミックスを使用して片面上に対電極を
形成することによって初めて可能になったものである。

本発明によるＰＣＥＬ素子では、面発光体である特長を
活かす各種パターン表示を、発光ダイオード（ＬＥＤ）
並のワイヤボンディング実装技術を駆使して実現できる
ため、直流もしくは交流駆動の安価な平面形固体発光素
子を堤供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る面発光形照光ランプ用ＰＣＥＬ素
子の断面図、第２図は第１図で示したＰＣＥＬ素子を直
流電圧で駆動した時の印加電圧に対する発光輝廣の変化
、第３図は本発明に係る平面形固体発光表示装置用ＰＣ
ＥＬ素子の断而図、第４図は該焼結セラミックス板の対
電極が形成されていない表面に電界制御層として金属層
を着けたＰＣＥＬ素子の断面図、第５図および第６図は
対電極間のスペースに電流制限層を形成したＰＣＥＬ素
子の断面図をそれぞれ示す、第７図は透明電極間スペー
スに＾ｌ対向電極を形成したＰＣＥＬ素子の断面図、第
８図はＣｕを含まない蛍光体焼結セラミックス板の片面
上に金属Ｃｕをコーティングしたセラミックスの断面図
、第９図は第８図のＣｕを熱拡敢処理した後その上に該
対電極を形成したＰＣＥＬ素子の断面図、第１０図は該
セラミックス板の側面上に対向電極を設けたＰＣＥＬ素
子の断而図、第１１図はＺｎＳ：Ｃｕ蛍光体焼結セラミ
ックス板上にさらに蛍光体発光層を形成したｒ’ｃＥＬ
素子の断面図。 ■・・・蛍光体焼結セラミックス板、　２・・・透明電
極、　３・・・対向電極、４・・・金属電界制御層、　
５・・・酸素イオン注入された電流制限層、　６・・・
スバッタエッチされた溝、７・・・Ａｔ電極、　８・・
・金属Ｃｕ層、９・・・Ｃｕを片面上に熱拡散させた蛍
光体焼結セラミックス板、　１０・・・ＺｎＳ　：　Ｃ
ｕ蛍光体焼結セラミックス板、　１１・・・蛍光体薄膜
・ 第１図 第２図 Ｏ ５０ 印加電圧 １００　　　　１５０ Ｙ　　［Ｙ］ ０Ｔ３図 第４図 第５図 第７図 第９図 第１１図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）　発光層と基体を兼ね、銅を０．０１〜１０％含
   有する少なくとも一種の硫化物系蛍光体から成る８５０
   ℃〜１２５０℃の範囲で焼結された蛍光体焼結セラミツ
   クスの表面上に、電極面が相対向しない少なくとも一つ
   の対電極を形成し、対電極の少なくとも一方を透明電極
   とし、対電極間に電圧を印加することにより該透明電極
   を通して発光を取り出すことを特徴とするエレクトロル
   ミネツセンス素子。
2. （２）　面発光形照光ランプ、平面形固体発光表示装置
   を製造するのに使用される特許請求の範囲第１項記載の
   エレクトロルミネツセンス素子。