JPH01102738A - 磁気デイスクの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はヘッドスライダとの吸着が防止できる磁気デ
ィスクのｓｌＩ造方決方法するものである。

〔従来の技術〕

コンピュータの外部記憶装置の一つである。固定磁気デ
ィスク装置の主構成部は磁気ディスクと６［ヘントスラ
イダで構成されている。

第３図にその概念図を示す。（１）は磁気ディスク、（
８）　ｄ　１１気ヘッドスライダ％（９）はサスベンシ
ョ／。

αＱはスピンドル％０１）は回転軸である。

磁気ディスク（１）とは記録情報が書かれて、それを保
持する媒体である。磁気ヘントスライダ（８）とは磁気
ディスクに記録情報を書き込んだシ、読み出し７ｔｌｔ
）する装置であり、サスベアジョン（９）とは磁気ヘッ
ドスライダを磁気ディスクに押付けるバネである。スピ
ンドルα０とは磁気ディスクを矢印方向に回転させる装
置である。

固定磁気ディスク装置において、磁気ディスク（１）に
記録情報ｔ−４Ｆ＠込んだり、読み出し比すする場合は
、矢印方向に磁気ディスクを高速回転Ｃ例えば３６００
ｒｐｍ　）させる。この回転により生じる空気流で、磁
気へ７ドスライダ（８）は空気軸受の原理で、磁気ディ
スク表面エリサブばクロンのすきまを保って浮上する。

すなわち、サスペンション（９）の押付力と空気流の押
出力がつす合って、磁気ヘントスライダ（８）は安定浮
上する。

−万、磁気ディスク装置を使用しない時は、スピンドル
α１の回転は停止し、磁気ヘントスライダ（８）はサス
ペン７ヨン（９）により、押し付けられ磁気ディスク上
に接触した状態となる。

第４図と第５図は、各々第３図における磁気ヘントスラ
イダ付近の拡大図である。第４図は磁気ディスク装置の
稼動時〔磁気ディスクは回転している）、第５図は磁気
ディスク装置の停止時（磁気ディスクは停止している）
％をそれぞれ示す。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来の磁気ディスク装置は以上のように構成されており
、近年、高密度化の要求が高まるにつれて、磁気へ７ド
スライダの浮上すきまの微小化が進められてきている。

これに伴い必然的に磁気ディスクと磁気ヘントスライダ
の表面精度の向上がなされてさた。特に磁気ディスクの
表面粗さの向上は著しく、従来の粗さ一λｘ　２０００
Ａが現在ではＲｍａｘ１００八近くになってきている。

ところが１表面粗度の同上に伴って、別の問題が新たに
生じてきた。それは磁気ディスク装置が停止している時
に、磁気ヘントスライダと磁気ディスクが吸着するとい
う問題である。吸着が生じると磁気ディスクが回転を始
めても磁気へ７ドスライダが浮上できず、磁気へ７ドス
ライダが破損する。仮に吸着が解除されても、磁気ディ
スクと磁気ヘントスライダの間の動摩擦係数が大きいた
め、磁気ディスクが回転を始める時や、停止する時に、
磁気ヘントスライダが磁気ディスク表面に傷七付けると
いう問題があった。

吸着を・軽減する方法として、最も効果があるのは、磁
気ディスクの表面に凹凸を付け、ある程度表面粗さを大
きくする方法である。凹凸形成の方法に関しては、いく
つかの解決方法が試みられてきたが、いずれも不都合な
点があった。例えば。

特開昭６１−２３０６１８号公報に示されている方法や
、ま之一般に多く用いられている方法として基板にテク
スチャーを付ける方法がある。この時の磁気ディスクの
断面図を第６図に示す。図において、（１）はり−市等
の基材、（２）は硬質膜、（３）は磁気記録媒体、（４
）は保護膜である。基材（１）上に硬質膜（２１を成膜
したものは一般に「基板」と呼ばれている。基板にテク
スチャーを付ける方法は、基板を回転させ、その上に研
磨テープ等を押し付けることにより、基板上に同心円状
の溝を付ける方法である。（磁気ディスクは基板上に磁
気記録媒体（３）、保護膜（４）ヲスパンタなどで成膜
し完成させる）この方法は吸着の防止にはある程度の効
果があるものの、凹凸形状を任意に操作することができ
な（ハ、同一ディスク面内で凹凸のばらつきが生じる。

ディスクごとに凹凸形状にばらつきが生じ。

再現性がない、微妙な加工テクニックを要し、加工時間
が長いなどの問題点かあつ之。

この発明は上記のような問題点を解決するｔめになされ
ｔもので、安価に、早く、再現性良く、任意形状の凹凸
を磁気ディスク用基板上にｊｔｅ成することのできる磁
気ディスクの製造方法を得ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係る磁気ディスクの製造方法に、基板上に形
成され之硬質膜表面にスタンプ金押圧し、上記スタンプ
の凹凸形状を上記硬質膜上に転写する工程、及び凹凸形
状の転写された硬質膜上に磁気記録媒体を成膜する工程
ｔ−施すものである。

〔作用〕

この発明によれば、磁気ディスク用基板の凹凸はスタン
プの凹凸を転写することで得られる。ゆえに、短時間に
、簡単に、再現性良く、凹凸を形成することができる。

そのうえ、スタンプの凹凸ｔ−変えることにより、凹凸
の太キ姑１分布、ピンチｈ　ＩＦｅ状などｔ任意に設定
し、凹凸を形成することができる。

〔実施例〕 第１図にこの発明の一実施例に係る磁気ディスクを示す
断面図である。図＜２いて、（１１は例えばＡ！−重合
金の基材、（２）に例えばＮ１−Ｐメツキ膜の硬質膜、
＋３）ｖよ例えばスパッタによる＋３−Ｆｅ２０゜の磁
気記録媒体、（４）は例えばＣの保護膜である。

基材ｍ上に硬質膜（２１を形成したものに、通常「基板
」と呼ばれ市販妊れている。この基板？用いて以下の様
に凹凸を形成し之。

第２図はこの発明の一実施例に係る磁気ディスクの製造
工程を示す断面図であり１図において。

（５）は基板、（６）ｉセクィックスのスタンプである
。

スタンプの表面には表面粗さＲｍａｘ　５００　Ａの凹
凸を設けである。

上下のスタンプ（６）の間に基板（５）を置き、基板（
５１をブレスし、磁気ディスク用の基板を得た。その後
、スパツタによシａＦｅ２０＠よりなる磁気記録媒体（
３）を成膜し、Ｃの保護膜（４）紫成膜し、実際の磁気
ディスクとして使用した。

上記磁気ディスクの表面粗さは約４５ＯＡで均一な凹凸
が観察された。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば基板上に形成されｔ硬
質膜表面にスタンプを押圧し、上記スタンプの凹凸形状
を上記硬質膜上に転写し、この凹凸形状の転写された硬
質膜上に磁気記録媒体を成膜するよう、にし友ので早く
、安価ＶＣ１再現性良く凹凸を形成することができる。

ざらに、スタンプの凹凸を変えることで、凹凸の大きさ
１分布、ピッチ、形状を任意に設定し、均一な凹凸を形
成できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例に係る磁気ディスクを示す
断面図、第２図はこの発明の一実施例ｖＣ係る磁気ディ
スクの製造工程を示す断面図、第３図は磁気ディスク装
ｆ’に示す概念図１ｇ４図は磁気ティスフが稼動してい
る時の磁気へ７ドスライダの位置を示す概念図、第５図
は磁気ディスクが停止しＣいる時の磁気ヘントスライダ
の位Ｉｆｔ示す概念図、及び第６図は従来の磁気ディス
クを示す断面図である。 図に２いて、Ｃ１）ぼ基材、（２）は硬質膜、１３）　
ｉｄ磁気記録媒体、（４）　Ｖｉ保護膜、Ｃ５）は基板
、ｔｏ）ｉまスタンバグである。 な２１図中同一符号は同一％またｖｉ相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基板上に形成された硬質膜表面にスタンプを押圧し、上
   記スタンプの凹凸形状を、上記硬質膜上に転写する工程
   、及び凹凸形状の転写された硬質膜上に磁気記録媒体を
   成膜する工程を施す磁気ディスクの製造方法。