JPH01102754U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01102754U JPH01102754U JP19766887U JP19766887U JPH01102754U JP H01102754 U JPH01102754 U JP H01102754U JP 19766887 U JP19766887 U JP 19766887U JP 19766887 U JP19766887 U JP 19766887U JP H01102754 U JPH01102754 U JP H01102754U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- sensors
- insulating substrate
- sensitive film
- input terminal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Description
第１図ａ，ｂはこの考案のガス検出器に用いる
ガスセンサの１例を示す上面図と正面図、第２図
ａ，ｂ，ｃは、この考案の要部を示す電気回路と
ガス濃度に対する電圧変化の線図と経過時間に対
する電圧の線図、第３図はこの考案の電気回路の
１例、第４図はこの考案の電気回路のより具体的
な１例、第５図ａは従来のガス検出器の電気回路
、第５図ｂは同図ａのガス濃度と電圧ＶＲとの関
係を示す線図、第５図ｃは同図ａの経過時間に対
するガスセンサ抵抗値のを示す線図である。 ２……耐熱性の絶縁基板、３，３′……１組の
電極、３′，３″……他の組の電極、４……ガス
感応膜、５……加熱用のヒータ、６……電圧比較
回路、Ｅ……電源。
ガスセンサの１例を示す上面図と正面図、第２図
ａ，ｂ，ｃは、この考案の要部を示す電気回路と
ガス濃度に対する電圧変化の線図と経過時間に対
する電圧の線図、第３図はこの考案の電気回路の
１例、第４図はこの考案の電気回路のより具体的
な１例、第５図ａは従来のガス検出器の電気回路
、第５図ｂは同図ａのガス濃度と電圧ＶＲとの関
係を示す線図、第５図ｃは同図ａの経過時間に対
するガスセンサ抵抗値のを示す線図である。 ２……耐熱性の絶縁基板、３，３′……１組の
電極、３′，３″……他の組の電極、４……ガス
感応膜、５……加熱用のヒータ、６……電圧比較
回路、Ｅ……電源。
Claims (1)
- 耐熱性の絶縁基板と、該絶縁基板の表面に設け
た２組の電極と、これ等の電極の一部或いは全部
を覆うように前記絶縁基板の表面に設けた金属酸
化物半導体のガス感応膜とからなり、前記２組の
電極のうち、一方の組の電極同志の間隔を前記感
応膜の厚みより小さく、他方の組の電極同志の間
隔を前記感応膜の厚み以上としてこれ等各組の電
極を有する二つのセンサを形成し、さらに、これ
等のセンサを加熱するヒータと、二つのセンサの
電極を直列に接続した回路に電圧をかける電源と
、二つのセンサの電極を直列接続した中点を一方
の入力端子に、基準電圧を他方の入力端子にそれ
ぞれ接続した電圧比較回路とを有するガス検出器
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19766887U JPH01102754U (ja) | 1987-12-26 | 1987-12-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19766887U JPH01102754U (ja) | 1987-12-26 | 1987-12-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01102754U true JPH01102754U (ja) | 1989-07-11 |
Family
ID=31488211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19766887U Pending JPH01102754U (ja) | 1987-12-26 | 1987-12-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01102754U (ja) |
-
1987
- 1987-12-26 JP JP19766887U patent/JPH01102754U/ja active Pending
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