JPH0415057U - - Google Patents
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- JPH0415057U JPH0415057U JP5429090U JP5429090U JPH0415057U JP H0415057 U JPH0415057 U JP H0415057U JP 5429090 U JP5429090 U JP 5429090U JP 5429090 U JP5429090 U JP 5429090U JP H0415057 U JPH0415057 U JP H0415057U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- gas detection
- resistance value
- electrodes
- metal oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
第１図は実施例に用いるガスセンサの平面図、
第２図はその−方向断面図である。第３図は
実施例の回路図、第４〜第６図は、実施例の湿度
依存性を示す特性図、第７図は実施例の温度依存
性を示す特性図である。 図において、２……耐熱絶縁基板、４……ヒー
タ、６，８，１０，１２……電極、１４……金属
酸化物半導体膜、１６……ガラスコート膜。
第２図はその−方向断面図である。第３図は
実施例の回路図、第４〜第６図は、実施例の湿度
依存性を示す特性図、第７図は実施例の温度依存
性を示す特性図である。 図において、２……耐熱絶縁基板、４……ヒー
タ、６，８，１０，１２……電極、１４……金属
酸化物半導体膜、１６……ガラスコート膜。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 耐熱絶縁基板上に設けた、ガスにより抵抗値が
変化する金属酸化物半導体の膜に、一対の電極を
接続した第１のガス検出部と、 耐熱絶縁基板上に設けた、ガスにより抵抗値が
変化する金属酸化物半導体の膜に、一対の電極を
接続した第２のガス検出部とを設けると共に、 第２のガス検出部の金属酸化物半導体の膜には
、その周辺部に露出部を残して、電極間の領域を
ガラスコート膜で覆い、 かつ第１のガス検出部の抵抗値と、第２のガス
検出部の抵抗値との比から、ガスを検出する手段
を設けた、ガス検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5429090U JPH0415057U (ja) | 1990-05-24 | 1990-05-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5429090U JPH0415057U (ja) | 1990-05-24 | 1990-05-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0415057U true JPH0415057U (ja) | 1992-02-06 |
Family
ID=31576222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5429090U Pending JPH0415057U (ja) | 1990-05-24 | 1990-05-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0415057U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017156280A (ja) * | 2016-03-03 | 2017-09-07 | 富士通株式会社 | ガスセンサデバイス、ガス測定方法及びガス測定装置 |
-
1990
- 1990-05-24 JP JP5429090U patent/JPH0415057U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017156280A (ja) * | 2016-03-03 | 2017-09-07 | 富士通株式会社 | ガスセンサデバイス、ガス測定方法及びガス測定装置 |
| US10495595B2 (en) | 2016-03-03 | 2019-12-03 | Fujitsu Limited | Gas sensor device, gas measurement method, and gas measurement device |