JPS6156543U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6156543U JPS6156543U JP14050584U JP14050584U JPS6156543U JP S6156543 U JPS6156543 U JP S6156543U JP 14050584 U JP14050584 U JP 14050584U JP 14050584 U JP14050584 U JP 14050584U JP S6156543 U JPS6156543 U JP S6156543U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support portion
- thin
- diaphragm
- pressure sensor
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案圧力センサの断面図、第２図は
従来の圧力センサの断面図である。 １ａ，１ａ′……ダイヤフラム部、１ｂ，１ｂ
′……支持部、４，４′……基台、８……溝。
従来の圧力センサの断面図である。 １ａ，１ａ′……ダイヤフラム部、１ｂ，１ｂ
′……支持部、４，４′……基台、８……溝。
Claims (1)
- 一枚の半導体薄板で肉薄のダイヤフラム部と該
部を囲む肉厚の支持部を構成し、少なくとも前記
ダイヤフラム部の主表面に抵抗領域を形成し、前
記支持部の基台に接着剤で固着される平坦面に環
状に連続した溝を形成した半導体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14050584U JPS6156543U (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14050584U JPS6156543U (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6156543U true JPS6156543U (ja) | 1986-04-16 |
Family
ID=30698858
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14050584U Pending JPS6156543U (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6156543U (ja) |
-
1984
- 1984-09-17 JP JP14050584U patent/JPS6156543U/ja active Pending