JPH01107219A - 光回路基板の光ファイバー接続構造 - Google Patents
光回路基板の光ファイバー接続構造Info
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- JPH01107219A JPH01107219A JP26579487A JP26579487A JPH01107219A JP H01107219 A JPH01107219 A JP H01107219A JP 26579487 A JP26579487 A JP 26579487A JP 26579487 A JP26579487 A JP 26579487A JP H01107219 A JPH01107219 A JP H01107219A
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- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims description 43
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 23
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 5
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 239000011882 ultra-fine particle Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は光集積回路に関し、光回路基板への光ファイバ
ーの接続構造に関する。
ーの接続構造に関する。
「従来の技術J
光集積回路では、集積回路基板に光ファイバーを結合し
、基板上の光導波路と光ファイバーとの間で効率よく光
情報の交換、即ち、光の入射及び出射を行う必要がある
。基板にはガラス材やニオブ酸リチウム(L iN b
o 3)の結晶材料が多く用いられ、光導波路にはチタ
ン(Ti)拡散層などからなる薄膜導波路が主に用いら
れる。
、基板上の光導波路と光ファイバーとの間で効率よく光
情報の交換、即ち、光の入射及び出射を行う必要がある
。基板にはガラス材やニオブ酸リチウム(L iN b
o 3)の結晶材料が多く用いられ、光導波路にはチタ
ン(Ti)拡散層などからなる薄膜導波路が主に用いら
れる。
従来の光回路基板の光ファイバー接続構造としては、第
9図及び第1O図に示す様に、基板2に溝31を形成し
、この溝31に光ファイバー1を沿わせて紫外線硬化樹
脂により固定し、消31の先端32から始まる光導波路
6に光ファイバー1の先端を臨ませて直接光を入射する
ものがあった。
9図及び第1O図に示す様に、基板2に溝31を形成し
、この溝31に光ファイバー1を沿わせて紫外線硬化樹
脂により固定し、消31の先端32から始まる光導波路
6に光ファイバー1の先端を臨ませて直接光を入射する
ものがあった。
しかし、基板2は一般にぜい性の高い難削材を材質とす
ることから溝部31の加工が一般に困難であり、薄い砥
石33を用いた研削加工により溝加工を行っていた。こ
のため、湧31の端部32の形状が砥石33の半径で決
められてしまい、光ファイバー1を溝31に固定した際
に、光ファイバー1の端面と光導波路6との間に隙間S
gを生じ、この隙間Sgでの光の分散及び損失が大きく
なるという問題点があった。また、渭加工に砥石33を
用いず切削加工で行うものにあっては、溝加工時に微少
なチッピングを生じ易く、泪の端部の表面が荒れて光の
乱反射を引き起こし光損失が大きくなるという問題点が
あった。
ることから溝部31の加工が一般に困難であり、薄い砥
石33を用いた研削加工により溝加工を行っていた。こ
のため、湧31の端部32の形状が砥石33の半径で決
められてしまい、光ファイバー1を溝31に固定した際
に、光ファイバー1の端面と光導波路6との間に隙間S
gを生じ、この隙間Sgでの光の分散及び損失が大きく
なるという問題点があった。また、渭加工に砥石33を
用いず切削加工で行うものにあっては、溝加工時に微少
なチッピングを生じ易く、泪の端部の表面が荒れて光の
乱反射を引き起こし光損失が大きくなるという問題点が
あった。
「発明が解決しよ”うとする問題点」
本発明は上記の問題点を解決するためなされたものであ
り、光ファイバーを光導波路に密接して固定することを
可能とし、光ファイバーと光導波路との間の光の分散及
び損失を最小限にすることができる光回路基板の光ファ
イバー接続構造を提供することを目的とする。
り、光ファイバーを光導波路に密接して固定することを
可能とし、光ファイバーと光導波路との間の光の分散及
び損失を最小限にすることができる光回路基板の光ファ
イバー接続構造を提供することを目的とする。
r問題点を解決するための手段」
このため本発明では、断面がV字形状をした7字溝と、
その7字溝の先端に位置すると共に前記7字溝の進行方
向線と略直交する垂直側面を有する第2の清とを基板表
面に形成し、光ファイバーの側周面を前記7字溝に沿わ
せて配設し、光ファイバーの先端面が前記第2の溝の垂
直側面に当接するように基板に固定したことを特徴とす
る光回路基板の光ファイバー接続構造が提供される。
その7字溝の先端に位置すると共に前記7字溝の進行方
向線と略直交する垂直側面を有する第2の清とを基板表
面に形成し、光ファイバーの側周面を前記7字溝に沿わ
せて配設し、光ファイバーの先端面が前記第2の溝の垂
直側面に当接するように基板に固定したことを特徴とす
る光回路基板の光ファイバー接続構造が提供される。
「作用」
上記の構成によれば、光ファイバーの接続部は2本の溝
により構成される。第1の溝であるv字゛溝に−沿わせ
て光ファイバーを配設固定することにより、光ファイバ
ーを精度よく光回路基板上に位置決めすることができる
。第2の溝は7字溝に直交して形成されているため、光
ファイバーの先端面を第2の溝の垂直側面に当接させる
ことができる。光導波路を第2の溝の垂TPL側面から
始まるように基板上に形成しておけば、光ファイバーの
先端を精度良く、光導波路に密着させて゛固定すること
ができる。光導波路の光入射面は第2の溝の垂直側面で
あるから、円板状砥石の側面による研削加工により精密
な平面に鏡面仕上げすることができる。光入射面が鏡面
加工され、また光入射面と光ファイバー先端との間に隙
間がないため、光の分散及び損失が極めて少なく結合効
率が高い接続構造となる。
により構成される。第1の溝であるv字゛溝に−沿わせ
て光ファイバーを配設固定することにより、光ファイバ
ーを精度よく光回路基板上に位置決めすることができる
。第2の溝は7字溝に直交して形成されているため、光
ファイバーの先端面を第2の溝の垂直側面に当接させる
ことができる。光導波路を第2の溝の垂TPL側面から
始まるように基板上に形成しておけば、光ファイバーの
先端を精度良く、光導波路に密着させて゛固定すること
ができる。光導波路の光入射面は第2の溝の垂直側面で
あるから、円板状砥石の側面による研削加工により精密
な平面に鏡面仕上げすることができる。光入射面が鏡面
加工され、また光入射面と光ファイバー先端との間に隙
間がないため、光の分散及び損失が極めて少なく結合効
率が高い接続構造となる。
「実施例」
本発明の実施例について図面に従って具体的に説明する
。
。
第1図は光ファイバーの接続箇所を示す分解斜視図、第
2図は縦断面図である。
2図は縦断面図である。
光回路基板2はニオブ酸リチウム(LiNbOs)の結
晶を素材としている。基板2には、断面がV字形状をし
た7字溝3が基板2の一端から形成され、その7字溝3
に直交してT字状に第2の溝である平溝4が形成されて
いる。平溝4の深さは7字溝3よりやや深く形成され、
7字溝3に対向する垂直側面5は基板表面に対して正確
に垂直に、また、精密な歪みのない平面となるよう仕上
げられている。7字溝3の進行方向の延長線に沿って基
板2表面にチタン拡散層からなる光導波路6が形成され
ている。光導波路6は平溝4の垂直側面5で断たれ、こ
の垂直側面5が光導波路6への光の入射面となる。
晶を素材としている。基板2には、断面がV字形状をし
た7字溝3が基板2の一端から形成され、その7字溝3
に直交してT字状に第2の溝である平溝4が形成されて
いる。平溝4の深さは7字溝3よりやや深く形成され、
7字溝3に対向する垂直側面5は基板表面に対して正確
に垂直に、また、精密な歪みのない平面となるよう仕上
げられている。7字溝3の進行方向の延長線に沿って基
板2表面にチタン拡散層からなる光導波路6が形成され
ている。光導波路6は平溝4の垂直側面5で断たれ、こ
の垂直側面5が光導波路6への光の入射面となる。
光ファイバー1がその側周面を7字溝3に沿わせて配設
され、光ファイバー1の先端面が平溝4の垂直側面5に
密着するように位置決められ、紫外線硬化樹脂により基
板2上に固定される。このとき、光ファイバー1の中心
部のコアが正確に先導波路6の端面6Aに位置するよう
に、7字溝3の深さ及び形状が形成されている。従って
、光ファイバー1のコア中を伝送されてきた光は光導波
路6の端部6Aに直接入射される。二とになる。
され、光ファイバー1の先端面が平溝4の垂直側面5に
密着するように位置決められ、紫外線硬化樹脂により基
板2上に固定される。このとき、光ファイバー1の中心
部のコアが正確に先導波路6の端面6Aに位置するよう
に、7字溝3の深さ及び形状が形成されている。従って
、光ファイバー1のコア中を伝送されてきた光は光導波
路6の端部6Aに直接入射される。二とになる。
7字溝3及び平溝4の加工方法について説明する。加工
手順は予め先導波路6が形成された基板2に、まず7字
溝3を形成し、次いで平溝4を形成する。
手順は予め先導波路6が形成された基板2に、まず7字
溝3を形成し、次いで平溝4を形成する。
7字溝3の形成には、第3図に示す様に、角錐工具11
による切削加工が行われる。被加工物である基板2はニ
オブ敢すチュウム(L iN bo 5)等のぜい性が
高く割れ易い部材である。これを加工する角錐工具11
は超微粒子を焼結した超硬合余若しくはダイヤモンドか
らなる。角誰工0.11は丸棒の先端が四角錐に研がれ
た形状をなし、その角錐部12が刃部をなす、−h記の
形状によれば、角錐工具11の工具すくい角は負の角度
になるから、ぜい件部材をほとんどチッピングなく切削
加エすることができる。角錐部12の角度(以下、先端
角と称する)が60°、丸棒部13の径が5−の角錐工
具11を用いて基板2に幅及びP!iさが約0.1am
の■字溝3を加工する。加工は、エンドミルによる溝加
工と同様に、角錐工具11に回転と送りを同時に与え、
角工作部12により切削加工を行う、なお、直径0 、
1 m+*のエンドミルを作成することは非常に困難で
あり、かつ折れ易く、また、エンドミルを用いた切削で
は基板2が割れてしまい、溝を加工することができない
。
による切削加工が行われる。被加工物である基板2はニ
オブ敢すチュウム(L iN bo 5)等のぜい性が
高く割れ易い部材である。これを加工する角錐工具11
は超微粒子を焼結した超硬合余若しくはダイヤモンドか
らなる。角誰工0.11は丸棒の先端が四角錐に研がれ
た形状をなし、その角錐部12が刃部をなす、−h記の
形状によれば、角錐工具11の工具すくい角は負の角度
になるから、ぜい件部材をほとんどチッピングなく切削
加エすることができる。角錐部12の角度(以下、先端
角と称する)が60°、丸棒部13の径が5−の角錐工
具11を用いて基板2に幅及びP!iさが約0.1am
の■字溝3を加工する。加工は、エンドミルによる溝加
工と同様に、角錐工具11に回転と送りを同時に与え、
角工作部12により切削加工を行う、なお、直径0 、
1 m+*のエンドミルを作成することは非常に困難で
あり、かつ折れ易く、また、エンドミルを用いた切削で
は基板2が割れてしまい、溝を加工することができない
。
第4図は上記の様にして加工された■字溝3を示す斜視
図である。このV字溝3は、断面が角錐工具11の形状
に従って7字形状に精密に形成される。このため、円形
断面を有する光ファイバー1を基板2上に精度良く位置
決めすることができ、光ファイバー1の中心軸線をjE
確に先導波1i’86の位置と一致させることが容易に
なる。
図である。このV字溝3は、断面が角錐工具11の形状
に従って7字形状に精密に形成される。このため、円形
断面を有する光ファイバー1を基板2上に精度良く位置
決めすることができ、光ファイバー1の中心軸線をjE
確に先導波1i’86の位置と一致させることが容易に
なる。
また、加工されたV字溝3の先端部14の形状は、角錐
工具11の回転による加工であるから角錐工具11の先
端角度で決まる小さな円錐面形状になる。この円錐面形
状の先端部14を削除するように、平溝4の形成が行わ
れる。
工具11の回転による加工であるから角錐工具11の先
端角度で決まる小さな円錐面形状になる。この円錐面形
状の先端部14を削除するように、平溝4の形成が行わ
れる。
平溝4の形成には、第5図に示す様に、薄い円板状砥石
15を用いた精密研削加工が行われる。
15を用いた精密研削加工が行われる。
−V字−溝3の先端部14の曲面形状が小さいから、薄
い円板状砥石15でもって先端部14を削除し、平面か
らなる垂直側面5を形成することができる。
い円板状砥石15でもって先端部14を削除し、平面か
らなる垂直側面5を形成することができる。
砥石軸16が基板2表面の光導波路6と正確に平行にな
るようにセットされ、円板状砥石15が高速回転しなが
ら紙面と垂直方向に送られ、第1図に示す様な、平溝4
が基板2に形成される。平溝4の垂直側面5は円板状砥
石15の側面による連続的な研削により、チッピングの
ない鏡面状態に仕上げられる。
るようにセットされ、円板状砥石15が高速回転しなが
ら紙面と垂直方向に送られ、第1図に示す様な、平溝4
が基板2に形成される。平溝4の垂直側面5は円板状砥
石15の側面による連続的な研削により、チッピングの
ない鏡面状態に仕上げられる。
このように本実施例の加工方法によれば、光ファイバー
1の位置決めを行う■字溝3は切削加工により効率よく
加工され、一方、光の入射面(5゜6A)を形成する平
溝4は研削加工により表面状態が良好に加工される。
1の位置決めを行う■字溝3は切削加工により効率よく
加工され、一方、光の入射面(5゜6A)を形成する平
溝4は研削加工により表面状態が良好に加工される。
以上述べた実施例では基板2に一本の光ファイバー1を
接続するものとして説明したが、第6図に示す様に、一
つの平溝4に対向して複数のV字溝3及び光導波路6を
形成し、複数本の光ファイバー1を接続する構造とする
ことも容易である。
接続するものとして説明したが、第6図に示す様に、一
つの平溝4に対向して複数のV字溝3及び光導波路6を
形成し、複数本の光ファイバー1を接続する構造とする
ことも容易である。
また、平溝4を基板2の側面にまで開放した形状とせず
、円板状砥石15を上下方向に送ることにより、第7図
に示す様に、基板2の一部の短い区間にのみ溝17を形
成し、その垂直側面18を光入射面とすることも可能で
ある。
、円板状砥石15を上下方向に送ることにより、第7図
に示す様に、基板2の一部の短い区間にのみ溝17を形
成し、その垂直側面18を光入射面とすることも可能で
ある。
また、光入射面を構成する溝は平溝4に限られるもので
はなく、第8図に示す様に、テーパー形状の砥石20を
用いて断面が7字形状の溝21を形成し、その垂直側面
22を光導波路6への光入射面とすることも可能である
。
はなく、第8図に示す様に、テーパー形状の砥石20を
用いて断面が7字形状の溝21を形成し、その垂直側面
22を光導波路6への光入射面とすることも可能である
。
さらに、前記実施例では、光入射面をなす平溝4の垂直
側面5が■字fi3の進行方向線及び光導波路6に直交
する様に平溝4を形成したが、垂直側面5を上下方向又
は横方向に僅かに傾斜させ、垂直側面5と、光導波路6
とが完全には直交しないようにしてもよい、このように
することが、光入射面6Aにおける戻り光による干渉を
防止する上で好ましい場合があるからである。
側面5が■字fi3の進行方向線及び光導波路6に直交
する様に平溝4を形成したが、垂直側面5を上下方向又
は横方向に僅かに傾斜させ、垂直側面5と、光導波路6
とが完全には直交しないようにしてもよい、このように
することが、光入射面6Aにおける戻り光による干渉を
防止する上で好ましい場合があるからである。
「発明の効果」
以上説明したように本発明は上記の構成を有し、光ファ
イバーを案内するV字溝と、光の入射面をなす垂直側面
を有する第2の溝とを用いて、光ファイバーを基板に接
続するものであるから、光ファイバーを光導波路に密接
して直接光を入射することができ、接続部における光の
分散及び損失を極めて少なくすることができ、高い結合
効率を得ることができるという優れた効果がある。また
、V字溝により光ファイバーを案内しているから、光フ
ァイバーの基板への組付けが極めて容易であり、安価に
提供できるという効果を奏する。
イバーを案内するV字溝と、光の入射面をなす垂直側面
を有する第2の溝とを用いて、光ファイバーを基板に接
続するものであるから、光ファイバーを光導波路に密接
して直接光を入射することができ、接続部における光の
分散及び損失を極めて少なくすることができ、高い結合
効率を得ることができるという優れた効果がある。また
、V字溝により光ファイバーを案内しているから、光フ
ァイバーの基板への組付けが極めて容易であり、安価に
提供できるという効果を奏する。
第1図乃至第8図は本発明の実施例を示し、第1図は光
ファイバー接続構造を示す分解斜視図、第2図は縦断面
図、第3図はV字溝の加工方法を示す正面図、第4図は
斜視図、第5図は平溝の加1方法を示す断面図、第6図
は第2の実施例を示す平面図、第7図は第3の実施例を
示す平面図、第8図は加工方法を示す断面図であり、第
9図は従来の接続構造を示す分解斜視図、第10図は縦
断面図である。 191.光ファイバー、 281.基板、 3 、、、
V字溝、 400.平溝、 501.垂直側面、 61
.。 先導波路。 第1図 第2図 第3図 又 第4[ 第5図 第6図 第7図 第8図 第9図 33 / 第10図
ファイバー接続構造を示す分解斜視図、第2図は縦断面
図、第3図はV字溝の加工方法を示す正面図、第4図は
斜視図、第5図は平溝の加1方法を示す断面図、第6図
は第2の実施例を示す平面図、第7図は第3の実施例を
示す平面図、第8図は加工方法を示す断面図であり、第
9図は従来の接続構造を示す分解斜視図、第10図は縦
断面図である。 191.光ファイバー、 281.基板、 3 、、、
V字溝、 400.平溝、 501.垂直側面、 61
.。 先導波路。 第1図 第2図 第3図 又 第4[ 第5図 第6図 第7図 第8図 第9図 33 / 第10図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 断面がV字形状をしたV字溝と、そのV字溝の先端に位
置すると共に前記V字溝の進行方向線と略直交する垂直
側面を有する第2の溝とを基板表面に形成し、 光ファイバーの側周面を前記V字溝に沿わせて配設し、
光ファイバーの先端面が前記第2の溝の垂直側面に当接
するように基板に固定したことを特徴とする光回路基板
の光ファイバー接続構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26579487A JPH01107219A (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | 光回路基板の光ファイバー接続構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26579487A JPH01107219A (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | 光回路基板の光ファイバー接続構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01107219A true JPH01107219A (ja) | 1989-04-25 |
Family
ID=17422130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26579487A Pending JPH01107219A (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | 光回路基板の光ファイバー接続構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01107219A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0194305A (ja) * | 1987-10-07 | 1989-04-13 | Hitachi Ltd | 光回路装置 |
| US6599803B2 (en) | 2001-12-03 | 2003-07-29 | Hynix Semiconductor Inc. | Method for fabricating semiconductor device |
-
1987
- 1987-10-21 JP JP26579487A patent/JPH01107219A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0194305A (ja) * | 1987-10-07 | 1989-04-13 | Hitachi Ltd | 光回路装置 |
| US6599803B2 (en) | 2001-12-03 | 2003-07-29 | Hynix Semiconductor Inc. | Method for fabricating semiconductor device |
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