JPH01109508A - 薄膜磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
薄膜磁気ヘッドの製造方法Info
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- JPH01109508A JPH01109508A JP26854787A JP26854787A JPH01109508A JP H01109508 A JPH01109508 A JP H01109508A JP 26854787 A JP26854787 A JP 26854787A JP 26854787 A JP26854787 A JP 26854787A JP H01109508 A JPH01109508 A JP H01109508A
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Links
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3163—Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ） 産業上の利用分野
本発明は高密度の磁気記録、再生に好適な薄膜磁気ヘッ
ドに関し、特に保護板の接着方法に関する。
ドに関し、特に保護板の接着方法に関する。
（ロ）従来の技術
従来、この種の薄膜磁気ヘッドとしては、例えば、特開
昭６２−４６４１６号公報（ＧＬＩＢ５／３１ ）等に
開示されているものがある。
昭６２−４６４１６号公報（ＧＬＩＢ５／３１ ）等に
開示されているものがある。
第３図は従来の＃暎磁気ヘッドの要部断面図である。
図中、（１）はフェライト、結晶化ガラス等の材料より
なを基板で、該基板（璽１上にはセンダスト、パーマロ
イ、ＣＯ系アモルファス磁性金−等よりなる下部磁性Ｉ
Ｐｌｆ２、５ｉＱ２等からなるギャップスペーサ（３）
、Ｃｕ等からなる導体コイルｌ１ｌ１４＋、５ｉｏ２等
からなる層間絶＃ ｍ １１５１ 、前記下部磁性−（
２）と同じ材料よりなる上部磁性層１６）及び５ｉ０２
等からなる保護絶縁層（９）が夫々形成されている。１
７＋、’ｆＴｉ酸Ｂａ等のセラミック材料よりなる保護
板で、低融点ガラス（８）等により上部磁性層１６）に
接合されている。
なを基板で、該基板（璽１上にはセンダスト、パーマロ
イ、ＣＯ系アモルファス磁性金−等よりなる下部磁性Ｉ
Ｐｌｆ２、５ｉＱ２等からなるギャップスペーサ（３）
、Ｃｕ等からなる導体コイルｌ１ｌ１４＋、５ｉｏ２等
からなる層間絶＃ ｍ １１５１ 、前記下部磁性−（
２）と同じ材料よりなる上部磁性層１６）及び５ｉ０２
等からなる保護絶縁層（９）が夫々形成されている。１
７＋、’ｆＴｉ酸Ｂａ等のセラミック材料よりなる保護
板で、低融点ガラス（８）等により上部磁性層１６）に
接合されている。
しかし乍ら、上記従来の４１臭磁気ヘツドでは、下部磁
性台（２）、導体コイル層（４）、上部磁性１ｔ４ｔ６
１の１無により保護絶縁層：９）の上面には段差（１０
）が生じている。この乏め、保護板１７）を矢印Ａに示
すように平行に加圧し乍ら低融点ガラス（８）を加熱溶
融して前記保護板（７）金目ａ記絶縁層：９）上に接着
固定する１県、前記段差（ＩＯ）の近傍では低融点ガラ
ス（８）の溶融物の売切状態が悪化したり、気泡（１１
）が発生するため、目ｔＩ記保護板（７）の接着が弱い
。
性台（２）、導体コイル層（４）、上部磁性１ｔ４ｔ６
１の１無により保護絶縁層：９）の上面には段差（１０
）が生じている。この乏め、保護板１７）を矢印Ａに示
すように平行に加圧し乍ら低融点ガラス（８）を加熱溶
融して前記保護板（７）金目ａ記絶縁層：９）上に接着
固定する１県、前記段差（ＩＯ）の近傍では低融点ガラ
ス（８）の溶融物の売切状態が悪化したり、気泡（１１
）が発生するため、目ｔＩ記保護板（７）の接着が弱い
。
また、上述の問題を解決する方法として、例えば特開昭
６ｎ−２３１９０６ＪＰｊ公報（ＧｌＩＢ５／３１）に
は、保護絶縁−の上面に不透明な１嘆を破着した後、該
不透明な薄膜を研磨して平担化してから保護板全接着す
る方法が提案されていもしかし乍らこの方法では作業王
政が多く、作業効率が悪い。
６ｎ−２３１９０６ＪＰｊ公報（ＧｌＩＢ５／３１）に
は、保護絶縁−の上面に不透明な１嘆を破着した後、該
不透明な薄膜を研磨して平担化してから保護板全接着す
る方法が提案されていもしかし乍らこの方法では作業王
政が多く、作業効率が悪い。
（ハ）発明が解決しようとする問題点
本発明は上記従来例の欠点に鑑みなされたものであり、
ヘッドコア部の上面に形成された保護絶縁１？４上に保
護板を作業性良くしかも強固に接着固定することが出来
る薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供することを目的とす
るものである。
ヘッドコア部の上面に形成された保護絶縁１？４上に保
護板を作業性良くしかも強固に接着固定することが出来
る薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供することを目的とす
るものである。
に）問題点を解決するための手段
本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法は、保護板の接合面
上にガラス層を形成し次後、前記ガラス層を加熱ｇ融さ
せ、該溶植ガラスと、ヘッドコア部が形成された基板の
接合面の端部とを接触させ、該接ｌｌＩ！１１部分を０
１中心として前記保護板を回動させて該保護板を保護Ｒ
１Ｊ縁層上に接合することを特徴とする。
上にガラス層を形成し次後、前記ガラス層を加熱ｇ融さ
せ、該溶植ガラスと、ヘッドコア部が形成された基板の
接合面の端部とを接触させ、該接ｌｌＩ！１１部分を０
１中心として前記保護板を回動させて該保護板を保護Ｒ
１Ｊ縁層上に接合することを特徴とする。
（ホ））作 用
上記方法に依れば、溶融したガラスが空気を追い出しな
がら低速で保護絶縁層上に一様に流れ拡がるため、該保
護絶縁層上には気泡が封じ込められない。
がら低速で保護絶縁層上に一様に流れ拡がるため、該保
護絶縁層上には気泡が封じ込められない。
（へ）実施例
以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例、特に保護板
の接着方法について詳細に説明する。
の接着方法について詳細に説明する。
第１図は本実施例の保護板の接着方法を示す斜硯図、第
２図は第１図の＃部所面図であり、第３図と同一部分に
は同一符号を付しその説明は第３図の説明を援用する。
２図は第１図の＃部所面図であり、第３図と同一部分に
は同一符号を付しその説明は第３図の説明を援用する。
本実施例の製造方法では、先ず厚さ１ｍｍの基板（１）
上に周知の薄映堆槓法、７オトリー７グラフイ法等によ
り上部磁性層（２）、ギャップスペーｔ（３）、導体コ
イルｊ曽（４）、層間絶縁台１５１及び上部磁性層、６
）からなるヘッドコア部ＩＪ２１ｔ−形成し、その後、
前記上部磁性−１６）の上面に厚さ２〜５μｍの保１＃
絶縁層、９１ ′ｆ！：？ＩＩ者杉成する。
上に周知の薄映堆槓法、７オトリー７グラフイ法等によ
り上部磁性層（２）、ギャップスペーｔ（３）、導体コ
イルｊ曽（４）、層間絶縁台１５１及び上部磁性層、６
）からなるヘッドコア部ＩＪ２１ｔ−形成し、その後、
前記上部磁性−１６）の上面に厚さ２〜５μｍの保１＃
絶縁層、９１ ′ｆ！：？ＩＩ者杉成する。
次に、厚さ１ｍｍのＴ ｉ Ｉ４Ｂ ａよりなる保護板
、フ）を用意し、該昧護板；フ）の接合面（・７ａ）上
に軟化点が５００℃である低融点ガラス層（１濁をスク
リーン印刷等によ０４０μｍ被看形成する。尚、前記低
融点ガラス＠（１３）はｊｉａ記保護絶縁層：９）との
接触角が３０°になるように選定されている。そして、
前記ヘッドコア部（ｌ匂が形成された基板ｉ１ｊと前記
保護＆Ｉ７）とをＮ２が充満されている内ｇ温度５２０
℃の炉内に装着して前記基板＋ｔ７の温度を５５０℃に
制御した後、第１図及び第２図に示すように前記ガラス
ｍ１１３１の一部（１３ａ）を加熱溶融した状態で該ガ
ラス層崗の一部（１３ａ）と前記ヘッドコア部（皿４が
形成さｎた基板（１）の接合面の媒体摺接側の端部とを
接触させ該接＠部を回動中心ｔ１４１として前記保護板
−７１を１分間に１°の速度で矢印Ｂ方回に回動させ、
前記基板＋Ｉｊと４１１記保護板１７）と？平行状兎に
する。その麦、炉内を冷却することにより前記低融点ガ
ラス層（１濁を硬化させて面記呆護絶曖層（９）上に前
記保護板（７）を前記低融点ガラス層（１１を介して接
着固定して接合体１＆：形成する。
、フ）を用意し、該昧護板；フ）の接合面（・７ａ）上
に軟化点が５００℃である低融点ガラス層（１濁をスク
リーン印刷等によ０４０μｍ被看形成する。尚、前記低
融点ガラス＠（１３）はｊｉａ記保護絶縁層：９）との
接触角が３０°になるように選定されている。そして、
前記ヘッドコア部（ｌ匂が形成された基板ｉ１ｊと前記
保護＆Ｉ７）とをＮ２が充満されている内ｇ温度５２０
℃の炉内に装着して前記基板＋ｔ７の温度を５５０℃に
制御した後、第１図及び第２図に示すように前記ガラス
ｍ１１３１の一部（１３ａ）を加熱溶融した状態で該ガ
ラス層崗の一部（１３ａ）と前記ヘッドコア部（皿４が
形成さｎた基板（１）の接合面の媒体摺接側の端部とを
接触させ該接＠部を回動中心ｔ１４１として前記保護板
−７１を１分間に１°の速度で矢印Ｂ方回に回動させ、
前記基板＋Ｉｊと４１１記保護板１７）と？平行状兎に
する。その麦、炉内を冷却することにより前記低融点ガ
ラス層（１濁を硬化させて面記呆護絶曖層（９）上に前
記保護板（７）を前記低融点ガラス層（１１を介して接
着固定して接合体１＆：形成する。
そして最後に、前記接合体の媒体摺接側の端面を下部磁
性軸（２）及び上部磁性層１６）が露出するまで研削研
磨することにより薄膜磁気ヘッドが完成する。
性軸（２）及び上部磁性層１６）が露出するまで研削研
磨することにより薄膜磁気ヘッドが完成する。
上述のような薄膜磁気ヘッドの製造方法では、保護板１
７１ ｖｉ−回動させながら保護絶縁層：９）上に接合
する際、低融点ガラス層＋１３＋は濡れ性により接触角
θを３０に保った状態で前記保護絶縁層：９）上を空気
を追い出しながら低速で拡がるため、気泡が封じ込まれ
ることなく前記低融点ガラスＮＩＯ樽が前記保護絶縁層
（９）上全面に一様に拡がる、これにより、前記保護板
（７）は前記保護絶縁層；９）上に強固に接着固定され
る。
７１ ｖｉ−回動させながら保護絶縁層：９）上に接合
する際、低融点ガラス層＋１３＋は濡れ性により接触角
θを３０に保った状態で前記保護絶縁層：９）上を空気
を追い出しながら低速で拡がるため、気泡が封じ込まれ
ることなく前記低融点ガラスＮＩＯ樽が前記保護絶縁層
（９）上全面に一様に拡がる、これにより、前記保護板
（７）は前記保護絶縁層；９）上に強固に接着固定され
る。
（ト）発明の効果
不発明に依れば、機械的強度に優れ九薄暎磁気ヘッドを
作業性良く製造することが出来る４嘆磁気ヘッドの製造
方法を提供し得る。
作業性良く製造することが出来る４嘆磁気ヘッドの製造
方法を提供し得る。
第１図及び第２図は本発明に係り、第１図は保護板の接
着方法を示す斜視図、ｗＪ２図は３１図の要部断面図で
ある。第３図は従来の保護板の接着方法を示す要Ｓ断面
図である。 （１１・・・基板、（２）・・・下部磁性層、（３）・
・・キャップスペーサ、（４）・・・導体コイル層、（
６）・・・Ｉｉ１間絶縁層、！６１・・７上部磁性層、
１７）・・・保護板、（７ａ）・・・接合面、：９）・
・・保護絶縁層、（１４・・・ヘッドコア部、Ｉ・・・
低融点ガラス層、（１３ａ）・・・一部（溶一部）、す
慟・・・回動中心。 第１図 の 区 ■
着方法を示す斜視図、ｗＪ２図は３１図の要部断面図で
ある。第３図は従来の保護板の接着方法を示す要Ｓ断面
図である。 （１１・・・基板、（２）・・・下部磁性層、（３）・
・・キャップスペーサ、（４）・・・導体コイル層、（
６）・・・Ｉｉ１間絶縁層、！６１・・７上部磁性層、
１７）・・・保護板、（７ａ）・・・接合面、：９）・
・・保護絶縁層、（１４・・・ヘッドコア部、Ｉ・・・
低融点ガラス層、（１３ａ）・・・一部（溶一部）、す
慟・・・回動中心。 第１図 の 区 ■
Claims (2)
- （１）基板上に下部磁性層、ギャップスペーサ、導体コ
イル層、該導体コイル層を絶縁する層間絶縁層及び上部
磁性層からなるヘッドコア部を被着形成し、前記ヘッド
コア部の上面に被着形成した保護絶縁層上に保護板を接
着固定する薄膜ヘッドの製造方法において、前記保護板
の接合面上にガラス層を形成した後、前記ガラス層を加
熱溶融させ、該溶融部と前記ヘッドコア部が形成された
基板の接合面の端部とを接触させ、該接触部分を回動中
心として前記保護板を回動させて、該保護板を前記保護
絶縁層上に接合することを特徴とする薄膜磁気ヘッドの
製造方法。 - （２）前記ガラス層の溶融部と前記ヘッドコア部が形成
された基板の接合面の媒体摺接側の端部とを接触させた
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の薄膜磁気
ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26854787A JPH01109508A (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26854787A JPH01109508A (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01109508A true JPH01109508A (ja) | 1989-04-26 |
Family
ID=17460047
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26854787A Pending JPH01109508A (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01109508A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006220937A (ja) * | 2005-02-10 | 2006-08-24 | Nippon Sheet Glass Environment Amenity Co Ltd | 音響調節装置 |
-
1987
- 1987-10-23 JP JP26854787A patent/JPH01109508A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006220937A (ja) * | 2005-02-10 | 2006-08-24 | Nippon Sheet Glass Environment Amenity Co Ltd | 音響調節装置 |
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