JPS61273709A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS61273709A JPS61273709A JP11402885A JP11402885A JPS61273709A JP S61273709 A JPS61273709 A JP S61273709A JP 11402885 A JP11402885 A JP 11402885A JP 11402885 A JP11402885 A JP 11402885A JP S61273709 A JPS61273709 A JP S61273709A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- magnetic head
- protective plate
- film magnetic
- head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3163—Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、薄膜磁気ヘッドに係り、特に良好な走行特性
を得るための保護板接着方法及び保護層形成方法に関す
るものである。
を得るための保護板接着方法及び保護層形成方法に関す
るものである。
電子スチルカメラの高画質化を計るために、フレーム記
録が行なわれている。このフレーム記録を可能とするヘ
ッド構造としては、インラインヘッド構造が最も適して
いる。インライン構造のヘッドとしては、トラックピッ
チ、クロストークの面で有利な、多素子薄膜ヘッドが採
用されている。
録が行なわれている。このフレーム記録を可能とするヘ
ッド構造としては、インラインヘッド構造が最も適して
いる。インライン構造のヘッドとしては、トラックピッ
チ、クロストークの面で有利な、多素子薄膜ヘッドが採
用されている。
電子スチルカメラ用のインラインヘッドは、第１図のよ
うに、基板上１の上に下部コア２、コイル３、上部コア
４を、非磁性層５、保護層６から成るヘッドチップ８と
保護板９を接着した構造となっている。
うに、基板上１の上に下部コア２、コイル３、上部コア
４を、非磁性層５、保護層６から成るヘッドチップ８と
保護板９を接着した構造となっている。
従来の保護板接着方法としては、ヘッドチップ８と保護
板９を近接させ、その空隙に低融点ガラス溶し、浸透さ
せて両者を結合させる方法や、特開昭５９−１４０５１
８号公報に示されるような方法、すなわち保護板上にガ
ラスライニング層をあらかじめ設けておき、ヘッドチッ
プに融着する方法が一般的である。
板９を近接させ、その空隙に低融点ガラス溶し、浸透さ
せて両者を結合させる方法や、特開昭５９−１４０５１
８号公報に示されるような方法、すなわち保護板上にガ
ラスライニング層をあらかじめ設けておき、ヘッドチッ
プに融着する方法が一般的である。
しかし上部のような方法では、前記の接着用ガラスを流
動させる又は溶すのにす分な温度と時間を必要とするた
め、薄膜磁気ヘッドを構成している磁性薄膜の磁気特性
を著しく劣下させてしまう。
動させる又は溶すのにす分な温度と時間を必要とするた
め、薄膜磁気ヘッドを構成している磁性薄膜の磁気特性
を著しく劣下させてしまう。
以上のように、上記のような薄膜磁気ヘッドでは、磁気
回路を構成する磁性薄膜の磁気特性をその製造工程中に
そこなわないという点についての配慮がなされていない
。
回路を構成する磁性薄膜の磁気特性をその製造工程中に
そこなわないという点についての配慮がなされていない
。
また、第２図に示すように、保護層６を形成後ラッピン
グ等釦より該保護層の上部６ａの平坦化を行ない、その
後に樹脂等を用いて、保護板を接着する方法が知られて
いる。
グ等釦より該保護層の上部６ａの平坦化を行ない、その
後に樹脂等を用いて、保護板を接着する方法が知られて
いる。
この方法によれば、接着層を１μ属以下とすることがで
き、接着温度も３００で以下にでき、磁性薄膜の磁気特
性もそこなうことはないが、接着層が大気中等の水分を
吸収、膨張するため、保護板とへラドチップとの間に段
差を生じる。該段差によりスペーシング損失が増大し、
上記薄膜磁気ヘッドの走行特性を著しく劣下させてしま
う。以上のように、上記のような保護板接着方法では、
磁気ヘッドの良好な走行特性が得られるような配慮がな
されていない。
き、接着温度も３００で以下にでき、磁性薄膜の磁気特
性もそこなうことはないが、接着層が大気中等の水分を
吸収、膨張するため、保護板とへラドチップとの間に段
差を生じる。該段差によりスペーシング損失が増大し、
上記薄膜磁気ヘッドの走行特性を著しく劣下させてしま
う。以上のように、上記のような保護板接着方法では、
磁気ヘッドの良好な走行特性が得られるような配慮がな
されていない。
本発明の目的は、磁性薄膜の磁気特性をそこなわず、保
護板と磁気へラドチップとの間に段差の生じない、良好
な走行特性を有する薄膜磁気ヘッドを提供することにあ
る。
護板と磁気へラドチップとの間に段差の生じない、良好
な走行特性を有する薄膜磁気ヘッドを提供することにあ
る。
本発明の特徴は、薄膜磁気ヘッドの磁気特性をそこなわ
ずに、良好な走行特性を得るためＫ、基板と保護板に接
着層が大気中の水分等を吸収し膨張した時にその位置関
係が変わらない、移動防止用の凹凸部を設け、該基板と
該保護板の摺動面側圧空隙ができるように接着し、その
後に該空隙を薄膜磁気ヘッドの摺動面側からスパッタ、
蒸着等で形成する層間材料で埋めたことを特徴としてい
る。
ずに、良好な走行特性を得るためＫ、基板と保護板に接
着層が大気中の水分等を吸収し膨張した時にその位置関
係が変わらない、移動防止用の凹凸部を設け、該基板と
該保護板の摺動面側圧空隙ができるように接着し、その
後に該空隙を薄膜磁気ヘッドの摺動面側からスパッタ、
蒸着等で形成する層間材料で埋めたことを特徴としてい
る。
以下、本発明の一実施例を第３図〜第７図により説明す
る。
る。
第５図は、本発明の一実施例である薄膜磁気ヘッドの側
断面図を示す。第３図において、１はフェライト、セラ
ミック等の基板、２は下部コア、３は導体コイル、４は
上部コア、５は非磁性のギャップ材及び眉間材、６はヘ
ッド素子保護のためのＳｉＯ２，ＡｊｈＯｓ等の保誇膜
、７は保護板を接着するための樹脂等の低温硬化型接着
層、８はへラドチップ、９はフェライト、セラミック等
の保護板、１０は保護板９を接着した後に矢印１１の方
向からスパッタリング、蒸着等で形成した５ｉＯｚ、
Ａｊ！２０ｓの保護層である。なお８ａは、摺動面側を
示している。
断面図を示す。第３図において、１はフェライト、セラ
ミック等の基板、２は下部コア、３は導体コイル、４は
上部コア、５は非磁性のギャップ材及び眉間材、６はヘ
ッド素子保護のためのＳｉＯ２，ＡｊｈＯｓ等の保誇膜
、７は保護板を接着するための樹脂等の低温硬化型接着
層、８はへラドチップ、９はフェライト、セラミック等
の保護板、１０は保護板９を接着した後に矢印１１の方
向からスパッタリング、蒸着等で形成した５ｉＯｚ、
Ａｊ！２０ｓの保護層である。なお８ａは、摺動面側を
示している。
次に、本発明の一実施例の製造方法について具体的に説
明する。
明する。
第４図に示すような、摺動面側圧空隙１５ができるよう
に制御された凹凸部を有するヘッドテップ８と保護板９
を第５図に示すように、矢印１５の方向に圧力をかけな
がら、樹脂等の薄膜磁気ヘッドを構成している磁性薄膜
の磁気特性を劣化させない硬化温度が３００℃以下の接
着材で接着する。該空［１３の間隔は凹凸部１２の形状
と寸法により任意に決定できるが、ここでは、該空隙１
３の間隔が１０μＭ〜１ｒａＭとなるように制御した。
に制御された凹凸部を有するヘッドテップ８と保護板９
を第５図に示すように、矢印１５の方向に圧力をかけな
がら、樹脂等の薄膜磁気ヘッドを構成している磁性薄膜
の磁気特性を劣化させない硬化温度が３００℃以下の接
着材で接着する。該空［１３の間隔は凹凸部１２の形状
と寸法により任意に決定できるが、ここでは、該空隙１
３の間隔が１０μＭ〜１ｒａＭとなるように制御した。
一般に樹脂等の低温硬化型の接着材は、基板や保護板に
比べて硬度が低いため、摺動面に接着層が露出している
と、該接着層が偏摩耗して、該ヘッドチップ、該接着層
、該保護板の間に段差が生じる。この段差によるスペー
シング損失のため、該薄膜磁気ヘッドの記録再生特性は
著しく劣下してしまう。また、摺動面に該接着層が露出
していない場合でも、樹脂等の接着材は大気中の水分等
を吸収し、膨張するため、前記と同様忙ヘッドチップ、
接着層、保護板の間に段差を生じるため、薄膜磁気ヘッ
ドの性能低下の原因となる。
比べて硬度が低いため、摺動面に接着層が露出している
と、該接着層が偏摩耗して、該ヘッドチップ、該接着層
、該保護板の間に段差が生じる。この段差によるスペー
シング損失のため、該薄膜磁気ヘッドの記録再生特性は
著しく劣下してしまう。また、摺動面に該接着層が露出
していない場合でも、樹脂等の接着材は大気中の水分等
を吸収し、膨張するため、前記と同様忙ヘッドチップ、
接着層、保護板の間に段差を生じるため、薄膜磁気ヘッ
ドの性能低下の原因となる。
本発明では、ヘッドチップ８と保護板９に移動防止用の
凹凸部１２を設けることにより接着層が水分等を吸収し
て膨張しても、該ヘッドチップ８と該保護板９どの位置
関係が変わらないようにした。また、該ヘッドチップ８
と該保護板９の摺動面側８ａに１０μ＃ｌ〜１ ｍｒｎ
の空隙１３ができるように該保護板９を接着するために
、接着層７は摺動面に露出しない。
凹凸部１２を設けることにより接着層が水分等を吸収し
て膨張しても、該ヘッドチップ８と該保護板９どの位置
関係が変わらないようにした。また、該ヘッドチップ８
と該保護板９の摺動面側８ａに１０μ＃ｌ〜１ ｍｒｎ
の空隙１３ができるように該保護板９を接着するために
、接着層７は摺動面に露出しない。
上記空隙１５ができるように保護板９を接着した後に、
矢印１１の方向から５ｉｆ２． ）ｄ２０ｓ等の保護層
１０をスパッタ、蒸着等の方法で形成し、該空隙１５を
埋めることにより、磁気記碌媒体のバインダ、磁性粉が
該空隙につまってしまうことを防止する。さらに、ラッ
ピング等により摺動面を鏡面忙仕上げて、本発明の薄膜
磁気ヘッドが完成する。
矢印１１の方向から５ｉｆ２． ）ｄ２０ｓ等の保護層
１０をスパッタ、蒸着等の方法で形成し、該空隙１５を
埋めることにより、磁気記碌媒体のバインダ、磁性粉が
該空隙につまってしまうことを防止する。さらに、ラッ
ピング等により摺動面を鏡面忙仕上げて、本発明の薄膜
磁気ヘッドが完成する。
なお、上記の実施例では移動防止の凹凸部を設けたもの
のみを述べたが、第６図〜第７図に示すように基板に溝
又は段差を設けても同様の効果が得られる。
のみを述べたが、第６図〜第７図に示すように基板に溝
又は段差を設けても同様の効果が得られる。
また、上記実施例では空Ｉ！Ｊ１３の隔を１０μｍ〜１
鵬としであるが凹凸１２の形状、寸法により１０μｍ以
下、１ｍ以上とすることも可能であり、同様な効果が得
られる。また、第８図に示すように、横一列にならんだ
ヘッドチップ８に対して、移動防止段差１２をグイシン
グリ−１超音波加工機等で加工し、第９図に示すような
移動防止用段差付保護板１４を接着することにより、本
発明の薄膜磁気ヘッドの量産性を向上させることがでよ
る。
鵬としであるが凹凸１２の形状、寸法により１０μｍ以
下、１ｍ以上とすることも可能であり、同様な効果が得
られる。また、第８図に示すように、横一列にならんだ
ヘッドチップ８に対して、移動防止段差１２をグイシン
グリ−１超音波加工機等で加工し、第９図に示すような
移動防止用段差付保護板１４を接着することにより、本
発明の薄膜磁気ヘッドの量産性を向上させることがでよ
る。
本発明によれば、磁性薄膜の磁気特性を劣化させない温
度及び時間で保護板を接着でき、移動防止用凹凸部を設
けたことによりヘッドチップと保護板との間に接着層の
膨張等による段差を生じない、スペーシング損失が小さ
く、良好な走行特性を有する薄膜磁気ヘッドを提供する
ことができる。
度及び時間で保護板を接着でき、移動防止用凹凸部を設
けたことによりヘッドチップと保護板との間に接着層の
膨張等による段差を生じない、スペーシング損失が小さ
く、良好な走行特性を有する薄膜磁気ヘッドを提供する
ことができる。
第１図、第２図は薄膜磁気ヘッドの従来例を示す側断面
図、第３図は本発明の実施例を示す側断面図、第４図は
本発明の実施例を示す斜視図、第５図は本発明の移動防
止凹凸部を示す側面図、第６図は本発明の他の実施例を
示す斜視図、第７図はその側面図、第８図は本発明の実
施例を示す正面図、第９図は本発明の保護板側の移動防
止段差を示す斜視図である。 １・・・基板、２・・・下部コア、３・・・導体コイル
、４・・・上部コア、５・・・非磁性層、６・・・保護
層、７・・・接着層、８・・・ヘッドチップ、８ａ・・
・摺動面側、９・・・保護板、１０・・・保護層、１１
・・・保護層形成方向、１２・・・移動防止段差、１３
・・・ヘッドチップと保護板間の空隙、１４・・・移動
防止段差付保護板、１５・・・圧力をかける方向。 発１ 目 第２ 目 烏３圀 掲４ 兄 第６呂 ８″′
図、第３図は本発明の実施例を示す側断面図、第４図は
本発明の実施例を示す斜視図、第５図は本発明の移動防
止凹凸部を示す側面図、第６図は本発明の他の実施例を
示す斜視図、第７図はその側面図、第８図は本発明の実
施例を示す正面図、第９図は本発明の保護板側の移動防
止段差を示す斜視図である。 １・・・基板、２・・・下部コア、３・・・導体コイル
、４・・・上部コア、５・・・非磁性層、６・・・保護
層、７・・・接着層、８・・・ヘッドチップ、８ａ・・
・摺動面側、９・・・保護板、１０・・・保護層、１１
・・・保護層形成方向、１２・・・移動防止段差、１３
・・・ヘッドチップと保護板間の空隙、１４・・・移動
防止段差付保護板、１５・・・圧力をかける方向。 発１ 目 第２ 目 烏３圀 掲４ 兄 第６呂 ８″′
Claims (2)
- （１）基板、磁性層、絶縁層及び保護板で構成される薄
膜磁気ヘッドにおいて、あらかじめ、保護板とヘッドチ
ップを摺動面側に空隙ができるように接着し、その後に
、該空隙を該薄膜磁気ヘッドの摺動面側から層間材料で
埋めたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - （２）特許請求範囲第１項の薄膜磁気ヘッドにおいて、
基板及び保護板に接着層の膨張等で両者の位置関係が変
わらない移動防止用の凹凸部を設けたことを特徴とする
薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11402885A JPS61273709A (ja) | 1985-05-29 | 1985-05-29 | 薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11402885A JPS61273709A (ja) | 1985-05-29 | 1985-05-29 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61273709A true JPS61273709A (ja) | 1986-12-04 |
Family
ID=14627229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11402885A Pending JPS61273709A (ja) | 1985-05-29 | 1985-05-29 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61273709A (ja) |
-
1985
- 1985-05-29 JP JP11402885A patent/JPS61273709A/ja active Pending
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