JPH01110747A - 基板搬送機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は基板搬送機構に係り、特にＬＣＤ（液晶表示
体素子）基板及び、ＬＳＩ（半導体集積回路）基板を扱
うための基板搬送機構に関する。

［従来の技術］ 一般にＬＳＩやＬＣＤ等の製造工程においては、半導体
ウェハやガラス基板が複数枚収納されたカセットを各加
工装置又は各検査装置のローダのカセット収納部に自動
あるいは手動でセットすると各装置のローダーにおいて
ベルトあるいはバキュームハンドなどの搬送手段によっ
てカセット内のウェハ又は基板は一枚ずつ取り出され、
所定の位置合わせ（アライメント）の後、加工又は検査
され、加工又は検査が終了後、ウェハ又は基板は再び上
記の搬送手段によって搬送されてカセット内に収納され
る。

このような基板の各加工装置又は各検査装置のローダに
装備される収納部は、操作部に供給する基板を収納する
ローダ−用カセット及び操作済暴板を収納するアンロー
ダ−用カセット等通常複数備えられている。

基板収納部にセットされるその他のカセットとしては、
各検査後不良品と判明した基板を収納するためのりジェ
クトカセット及び未操作及び操作済基板収納兼用のロー
ダ−アンローダ−カセット等がある。これらのカセット
は例えばローダ−用カセット及びアンローダ−用カセッ
ト、あるいはローダ−アンローダ−カセット及びリジェ
クトカセット等が収納部に並列にセットされて使用され
ている。

これらのカセットが収納された収納部が上下運動するよ
うに駆動されるか、あるいはバキュームハンドあるいは
ベルト等の搬送手段によりカセットからの基板の出し入
れを行っている。

［発明が解決すべき問題点コ 従来このような２以上のカセットを使用する場合、例え
ば第３図に図示のＬＣＤプローバの平面図に示すように
、操作部１に瞬接した搬送部２において、収納部３−１
及び３−２の開口部は並列に配置されていたので、保守
点検に必要な空間であるメンテナンスゾーン６は搬送部
２の側面全体に広範囲必要であった。特に、基板が大型
化される傾向例えば半導体基板は８インチ、ＬＣＤＣＤ
基板２０負 ーン６はさらに広い面積が必要になることも十分考えら
れる。本来このような基板の加工及び検査装置は塵を嫌
い、クリーンルームに設置されているがクリーンルーム
の広範囲を占領してしまうため、小形化が要望されてい
た。

本発明は上記問題点に鑑みなされたもので、大型基板の
搬送部であっても設置場所を問わず，クリーンルームの
省スペース化を目的とする板状体の搬送機構を提供する
ものである。

［問題点を解決するための手段］ 前記問題点を解決するため、本発明は板状体を収納する
ための２以上の収納部と、この収納部から上記板状体を
操作部に搬送する搬送手段と、前記収納部から取り出し
た前記板状体を位置決めするための回転可能な位置合わ
せ出段とを備えた１般送機構において、前記２以上の収
納部の少なくとも２つは，各々の板状体取り出しＬ口が
互いに直交するように配置されていることを特徴とする
。

［実施例］ 以下、本発明の基板搬送機構をＬＣＤプローバの搬送部
に適用した一実施例について第１図のしＣＤプローバの
斜視図を参照して説明する。

ＬＣＤプローバはＬＣＤ基板（以下，基板と略す）に形
成された各電極の断線の有無をテスターのプローブを電
気的に接触させ検査をする装置である。上記基板の電極
とテスター側のプローブ（端子）とを位置合わせし接触
させるための操作部１と、操作部１へ３０ｃｍ角のガラ
ス基板Ｓを搬送するための搬送部２とから成る。操作部
１の構成は、通常のプローバ等と同様で基板Ｓを載置す
るチャックトップ５，チャックトップ５上の基板Ｓを水
平方向、垂直方向及び回転方向に駆動するためのステー
ジ（図示せず）、テスタ１１と接続するための端子装置
１２等を備えている。

搬送部２は本実施例においては未検査基板を水平に収納
したローダ−用カセットＡをセットした収納部３−１及
び検査済基板を水平に収納したアンローダ−用カセット
Ｂをセットした収納部３−２との２つの収納部を有して
いる。更にローダ−用カセットＡから未検査基板を取り
出したり，アンローダ−用カセットＢに検査済基板を戻
すための搬送手段としてバキュームハンド４と、バキュ
ームハンド４によって搬送された基板を一時載置し所定
の位置合わせを行うための表面円形状載置台２１を備え
る。この載置台２１は回転可能に構成され、回転させる
ことにより位置合わせする。

ローダ−用カセットＡ及びアンローダ−用カセットＢは
側壁に形成された多数の溝によって多数のスロットに仕
切られており、各スロット内に一枚ずつＬＣＤ基板が収
納される。そしてＬＣＤ基板を取り出すために前面は基
板取出し口としての開口部３−１ａ及び３−２ａが形成
されている。そしてこれらの収納部３−１と収納部３−
２の基板取り出し口である開口部３−１ａ及び３−２ａ
は互いに約９０度の角度を成すように設置されている。

バキュームハンド４は図示しない水平ステージ及び垂直
ステージに支持されており、水平方向及び垂直方向に移
動可能であると共に垂直ステージの軸４１を中心に回転
可能である。更にバキュームハンド４は図示しない真空
ポンプに接続される複数の開口を有し、この開口によっ
て基板を吸着し保持する。垂直ステージ及び回転機構は
図示しない制御部からの制御信号によって作動し、バキ
ュームハンド４を所望の位置及び角度に移動することに
よってバキュームハンド４に保持された基板Ｓを搬送す
る。

載置台２１は図示しない回転ステージに支持され、回転
可能であり、基板を一時的に吸着保持すると共に回転し
て基板の角度方向の位置を変えることができる。載置台
２１上に載置された基板の位置は例えば、発光素子と受
光素子とから成るセンサあるいは画像認識装置等の検知
手段を用いて検知され、その位置情報が検知信号として
制御部に入力される。これらの検知信号に基き、制御部
は制御信号を出力し、バキュームハンド４の各ステージ
及び載置台２１の回転ステージを駆動し、基板が搬送さ
れる操作部１あるいは収納されるべきアンローダ−用カ
セットがセットされている収納部３−２に対し所定の位
置にあるように位置決めする。

このような構成において１本発明の基板搬送機構につい
て第２図のＬＣＤプローバの簡単な平面図を参照して説
明する。

収納部３−１にセットされたローダ−用カセットＡから
基板Ｓを取り出すには、まずバキュームハンド（以下ハ
ンドと称す）４を収納部３−１に対し相対的に上下移動
した後、スロット内に差し入れローダ−用カセットＡに
収納された基板Ｓを吸着保持する。その状態でハンド４
を水平駆動し、保持している基板Ｓが載置台２１上にき
た時、自らは下方に移動し基板Ｓが載置台２１に接触し
た時に吸着を解除する。これにより、基板Ｓは載置台２
１に保持され、この時の載置台２１上の基板Ｓの位置は
センサ（図示せず）で検知され、位置決めが行なわれる
。その後、基板Ｓを操作部１に搬送する場合は、載置台
２１上の基板Ｓをハンド４で保持し、ハンド４を９０°
回転させてから操作部１のチャックトップ５に搬送する
。

この時、載置台２１上の基板Ｓをセンタリングすると共
に基板Ｓが操作部１に対し、−９０°の位置にあるよう
に調整しておく。また基板Ｓをアンローダ−用カセット
Ｂがセットされている収納部３−２に収納する場合は、
上記と同様に載置台２１上でセンタリングした後、基板
Ｓの側縁とアンローダ用カセットＢの側壁が水平になる
ように位置決めする。これにより基板Ｓはアンローダ−
用カセットの側壁にぶつかることなく収納部３−２に収
納される。このように収納部であるカセットとの授受し
た時、必ず位置合わせするようにしたことにより搬送空
間を広くせずに安全な搬送を可能とし、もって小型化を
計ったものである。

なお１本発明は上記実施例のみに限らず、ローダ−用カ
セット、アンローダ用カセット及びリジェクトカセット
がセットされ収納部が３設置される場合でも、少くとも
２の収納部の開口部が他の２の収納部と９０度を成すよ
うに設置されればメンテナンスゾーンを搬送部の前面に
保持することができる。

又、本発明の一実施例としてＬＣＤプローバについて説
明したが、ＬＳＩプローバ等の他の装置の搬送部にも適
用できる。

［作用］ 未検査の基板が収納されているローダ−用カセットがセ
ットされる収納部３−１と、検査済の基板が収納される
アンローダ−用カセットがセットされる収納部３−２の
開口部が互いに９０度を成しているため、搬送部２は前
面の隅端部６が縮少される。ここを保守１点検時に必要
なメンテナンスゾーンとすれば、搬送部２は壁７に接触
するように設置することができる。又、ＬＣＤプローバ
装置を多数設置する場合でも、各機器間にメンテナンス
ゾーンを設けることなく、接触するように配列させるこ
とができる。

［発明の効果コ 本発明によれば、ＬＣＤやＬＳＩ等の基板の加工あるい
は検査を行う操作部に伴う搬送部に、収納部が２以上設
置される場合、２の収納部の基板取り出し口が約９０度
を成すように設置したので、省スペース化が図れ、クリ
ーンルーム等の段歯、運転費が非常に軽減でき、基板が
大型化され大きな収納部が必要になってもスペースの有
効利用が達成できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明が適用されるＬＣＤプローバの斜視図、
第２図は本発明の搬送機構の一実施例を示す簡単な平面
図、第３図は従来の搬送機構の平面図である。 １・・・・・・・操作部 ２・・・・・・・搬送部（搬送機構） ３．３−１及び３−２・・・・・・収納部Ａ・・・・・
・・ローダ−用カセット Ｂ・・・・・・・アンローダ−用カセットＳ・・・・・
・・基板 ３−１ａ及び３−２ａ・・・・・・基板取出し口４・・
・・・・・バキュームハンド ５・・・・・・・チャックトップ ６・・・・・・・メンテナンスゾーン ２１・・・・・載置台 代理人　弁理士　　守　谷　−離 溶　２　図 第　３　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　板状体を収納するための２以上の収納部と、この収納
   部から上記板状体を操作部に搬送する搬送手段と、前記
   収納部から取り出した前記板状体を位置決めするための
   回転可能な位置合わせ出段とを備えた搬送機構において
   、前記２以上の収納部の少なくとも２つは、各々の板状
   体取り出し口が互いに直交するように配置されているこ
   とを特徴とする板状体搬送機構。