JPH0573347B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は基板搬送機構に係り、特にLCD（液
晶表示体素子）等の角型基板を扱うのに好適な基
板機構に関する。

［従来の技術］ 一般にLSI（半導体集積回路）などの半導体ウ
エハ基板やLCD基板等への加工によるLSIや液晶
表示装置などの製造工程においては、基板が複数
枚収納されたキヤリアと呼ばれる収納部を各加工
装置又は各検査装置の搬送部に自動あるいは手動
でセツトすると当該装置の搬送部においてベルト
あるいはバキユームピンセツトなどの搬送手段に
よつてキヤリア内の基板は１枚ずつ取り出され、
順次加工装置又は検査装置に搬送される。そして
基板は所定の位置合わせ（アライメント）の後、
加工又は検査され、加工又は検査が終了後、基板
は再び上記の搬送手段によつて搬送されキヤリア
内に収納される。

ところで、近年のLCD技術の進歩によりテレ
ビ、マイコン等の表示装置等に用いられる大型基
板が製造されるようになつた。このような基板は
２枚のガラス板の微少空間に液晶をはさむ構造に
なつているため、重量も大きく、又こわれやすい
ため製造時及び検査時の取扱いは特に慎重を期さ
なければならず、従つて搬送装置もそのような点
が重要となつてくる。

［発明が解決しようとする問題点］ しかし、このようなLCD等の角型基板の搬送
に従来の円板状シリコンウエハ用の搬送機構を限
られた装置空間にそのまま用いた場合、例えば第
４図に示すようにキヤリア内に基板１０を収納す
るのに基板１０がキヤリアのスロツトに対し若干
でもずれているとそのままバキユームピンセツト
３３でスロツト内に挿入すると、ガラス板のエツ
ジがキヤリアに当たりガラス板の破損を招く問題
があつた。即ち検査工程で不良を発生する要因で
もあつた。この問題を解決する手段として搬送空
間を広くすることが考えられるが、この搬送空間
により装置が非常に大きくなり、クリーンルーム
に設定される装置であるため、その装置を出来る
限り最小規模にすることが要望されている。

本発明はこのような従来の問題点を解決し、収
納時の方向が問題とされるガラス基板等の角型基
板でも安全且つ確実に搬送でき、しかも搬送空間
を比較的小規模に構成できる搬送機構を提供する
ことを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ このような問題点を解決する本発明の基板搬送
機構は、基板を収納部より取り出し且つ操作部に
搬送する搬送手段と、前記基板を搬送時に１時載
置するための回路可能な載置台と、前記載置台上
の前記基板の位置を検知する検知手段とを備え、
前記基板の搬送に際し前記検知手段からの検知信
号に基き前記搬送手段及び前記載置台を駆動し前
記基板を前記載置台上の所定位置に位置決めする
ことを特徴とする。

［実施例］ 以下、本発明の基板搬送機構をLCDプローバ
の搬送部に適用した一実施例について図面を参照
して説明する。

LCDプローバ１はLCD基板（以下、基板と略
す）に形成された電極とテスターとの電気的接触
を図ることによつて基板の電気的特性を検査する
装置で、第１図に示すように基板の電極とテスタ
ー側の端子とを位置合わせし接触させるための操
作部２と、操作部２へ基板を搬送するための搬送
部３とから成る。操作部２の構成は通常のプロー
バ等と同様で基板を載置するチヤツクトツプ２
１、チヤツクトツプ２１上の基板を水平方向、垂
直方向及び回転方向に駆動するためのステージ
（図示せず）、テスタ４と接続するための端子装置
２２等を備えている。

搬送部３は末検査基板を収納したキヤリアＡを
セツトするための収納部３１と検査済基板を収納
するキヤリアＢをセツトするための収納部３２を
有し、更にキヤリアＡから末検査基板を取り出し
たキヤリアＢに検査済基板を戻すための搬送手段
としてバキユームピンセツト３３と、バキユーム
ピンセツト３３によつて搬送された基板を一時載
置し所定の位置合わせを行うための載置台３４を
備える。

キヤリアＡ及びＢは側壁に形成された多数の溝
によつて多数のスロツトに仕切られており、各ス
ロツト内に一枚ずつLCD基板が収納される。そ
してLCD基板を取り出すために前面は開口部が
形成されている。

収納部３１，３２はこれらキヤリアＡ及びＢの
各開口部が約90゜の角度をなすように設けられて
いる。これは搬送部３のスペースフアクタを向上
させる目的でこのように配置したものであるが、
収納部３１，３２の配置は本実施例に限定される
ものではなく、キヤリアＡ，Ｂが平行あるいは向
き合うような配置であつてもかまわない。

バキユームピンセツト３３は第２図に示すよう
に水平ステージ３５及び垂直ステージ３６に支持
されており、水平方向及び垂直方向に移動可能で
あると共に垂直ステージ３６の軸３６ａを中心に
回転可能である。更にバキユームピンセツト３３
は図示しない真空ポンプに接続される複数の開口
を有し、この開口によつて基板を吸着し保持す
る。水平ステージ３５、垂直ステージ３６及び回
転機構は制御部５からの制御信号によつて作動
し、バキユームピンセツト３３を所望の位置及び
角度に移動することによつてバキユームピンセツ
ト３３に保持された基板１０を搬送する。

載置台３４は回転ステージ３７に支持されて回
転可能であり、基板１０を搬送時に１時的に吸着
保持すると共に回転して基板１０の角度方向の位
置を変えることができる。載置台３４近傍に載置
台上の基板１０を検知するための検知手段として
センサ６が備えられている。センサ６は、例えば
発光素子と受光素子とから成り基板１０のエツヂ
を検知するために２個以上設けられる。センサ６
の検知信号は制御部５に入力される。制御部５は
センサ６からの検知信号に基き制御信号を出力
し、これによつてバキユームピンセツト３３の各
ステージ３５，３６及び載置台３４の回転ステー
ジ３７を駆動し、基板１０が収納すべきキヤリア
あるいは搬送される操作部２に対し所定の位置に
あるように位置決めする。載置台３４上の基板１
０の位置の検知方法及びそれに基づく位置決め方
法は、例えば特願昭62−164746号に開示される
LCD基板等に好適な「位置決め方法」を採用す
ることができるが、これに限らず検知手段６とし
て、KLASP等の画像認識装置を用いて認識され
たパターンと予め入力された所定のパターンとの
ずれを検知し、これを制御部で信号処理しバキユ
ームピンセツト３３の各ステージ３５，３６及び
載置台３４の回転ステージ３７を駆動してもよ
い。

［作用］ このような構成において、本実施例における基
板の搬送機構について説明する。

収納部３１にセツトされたキヤリアＡから基板
１０を取り出すには、まずバキユームピンセツト
３３をキヤリアＡに対し相対物に上下移動した
後、スロツト内に差し入れ、キヤリアＡに収納さ
れた基板１０の最下段のものをそのＵ字形の先端
に吸着保持する。

その状態でバキユームピンセツト３３を水平に
駆動し、保持している基板が載置台３４上にきた
時に自らは下方に移動し基板１０が載置台３４に
接触した時に吸着を解除する。これにより基板１
０は載置台３４に保持される。この時の載置台３
４上の基板１０の位置はセンサ６で検知され、そ
のデータは検知信号として制御部６に送られる。

次いで基板１０の位置決めを行う。位置決めに
はまず基板１０と載置台３４とのセンター合わせ
を行う。第３図に示すように基板１０の中心C₁
が載置台３４の中心C₀に対しＸ方向にｘ、Ｙ方
向にｙずれており、かつ基板１０の側縁が搬送方
向と角度方向にずれていることがセンサ６によつ
て検知された場合、バキユームピンセツト３３で
再び基板１０を保持しその状態でバキユームピン
セツト３３を垂直（上）方向に移動した後、セン
サ６の検知信号に基づき制御部６は水平ステージ
３５をＸ方向にｘ、Ｙ方向にｙ駆動して基板１０
の中心C₁と載置台３４の中心C₀とを合致させる。
次いで、バキユームピンセツトを下降してその保
持を解き、基板１０を載置台３４上に載置し更に
載置台３４の回転ステージ３７をずれ分θだけ駆
動し、基板１０の側縁と搬送方向とが所定の関係
となるように位置決めする。

例えば基板１０を測定部２に搬送する場合は、
載置台３４上の基板１０をピンセツトアーム３３
で保持し、ピンセツトアーム３３を90゜回転させ
てから、測定部２のチヤツクトツプ２１に搬送す
るので、あらかじめ載置台３４上の基板１０をセ
ンタリングすると共に基板１０測定部２に対し−
90゜の位置にあるように調整しておく。これによ
つて基板１０は測定部２でのフアインアライメン
トに先立つて粗アライメントされることになる。
また、基板１０を収納部（キヤリアＢ）に収納す
る場合は、上記と同様にしてセンタリングした
後、基板１０側縁とキヤリアＢの側壁とが平行に
なるように位置決めする。これによつて基板１０
は収納のための搬送時にキヤリアＢの側壁とぶつ
かることもなく安全に収納される。

［発明の効果］ 以上の実施例からも明らかなように本発明の基
板搬送機構においては、基板を収納部又は測定部
への搬送に先立つて搬送方向に対して所定の位置
に位置決めするようにしたので、搬送時に収納部
等との衝突による破損等を生じることなく安全に
搬送することができる。更にこのような位置決め
は測定部での微調整に先立つ粗調整としての役目
を果すことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明をLCDプローバに適用した一
実施例を示す図、第２図は同実施例の部分断面
図、第３図は位置決め方法を説明するための図及
び第４図は従来の搬送機構を示す図である。 １……LCDプローバ、２……測定部、３……
搬送部（搬送機構）、４……テスタ、５……制御
部、６……検知手段（センサ）、３１，３２……
収納部、３３……搬送手段（ピセツトアーム）、
３４……載置台、Ａ，Ｂ……キヤリア（収納部）。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 基板を収納部より取り出し且つ操作部に搬送
   する搬送手段と、前記基板を搬送時に１時載置す
   るための回路可能な載置台と、前記載置台上の前
   記基板の位置を検知する検知手段とを備え、前記
   基板の搬送に際し前記載置台上の前記基板の位置
   を検知した前記検知手段からの検知信号に基き前
   記搬送手段及び前記載置台を駆動し前記基板を前
   記載置台上の所定位置に位置決めすることを特徴
   とする基板搬送機構。