JPH0652754B2 - 基板搬送機構 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は基板搬送機構に係り、特にＬＣＤ（液晶表示
体素子）基板及び、ＬＳＩ（半導体集積回路）基板を扱
うための基板搬送機構に係わり、特にＬＣＤプローバに
設けられる基板搬送機構に関する。

［従来の技術］ 一般にＬＳＩやＬＣＤ等の製造工程においては、半導体
ウェハやガラス基板が複数枚収納されたカセットを各加
工装置又は各検査装置のローダのカセット収納部に自動
あるいは手動でセットすると各装置のローダーにおいて
ベルトあるいはバキュームハンドなどの搬送手段によっ
てカセット内のウェハ又は基板は一枚ずつ取り出され、
所定の位置合わせ（アライメント）の後、加工又は検査
され、加工又は検査が終了後、ウェハ又は基板は再び上
記の搬送手段によって搬送されてカセット内に収納され
る。

このような基板の各加工装置又は各検査装置のローダに
装備される収納部は、操作部に供給する基板を収納する
ローダー用カセット及び操作済基板を収納するアンロー
ダー用カセット等通常複数備えられている。

基板収納部にセットされるその他のカセットとしては、
各検査後不良品と判明した基板を収納するためのリジェ
クトカセット及び未操作及び操作済基板収納兼用のロー
ダーアンローダーカセット等がある。これらのカセット
は例えばローダー用カセット及びアンローダー用カセッ
ト、あるいはローダーアンローダーカセット及びリジェ
クトカセット等が収納部に並列にセットされて使用され
ている。

これらのカセットが収納された収納部が上下運動するよ
うに駆動されるか、あるいはバキュームハンドあるいは
ベルト等の搬送手段によりカセットからの基板の出し入
れを行っている。

［発明が解決すべき問題点］ 従来このような２以上のカセットを使用する場合、例え
ば第３図に図示のＬＣＤプローバの平面図に示すよう
に、操作部１に隣接した搬送部２において、収納部３−
１及び３−２の開口部は並列に配置されていたので、保
守点検に必要な空間であるメンテナンスゾーン６は搬送
部２の側面全体に広範囲必要であった。特に、基板が大
型化される傾向例えば半導体基板は８インチ、ＬＣＤ基
板２０cm角３０cm角になる今後は、メンテナンスゾーン
６はさらに広い面積が必要になることも十分考えられ
る。本来このような基板の加工及び検査装置は塵を嫌
い、クリーンルームに設置されているがクリーンルーム
の広範囲を占領してしまうため、小形化が要望されてい
た。

本発明は上記問題点に鑑みなされたもので、大型基板の
搬送部であっても設置場所を問わず、クリーンルームの
省スペース化を目的とする基板の搬送機構を提供するも
のである。

［問題点を解決するための手段］ 前記問題点を解決するため、本発明は基板を収納する少
くとも２つの収納部と、これら収納部から基板を取り出
し且つ操作部に搬送する搬送手段と、基板を搬送時に一
時載置するための回転可能な載置台と、載置台上の基板
の位置を検知する検知手段と、検知手段からの検知信号
に基づき搬送手段及び載置台を駆動し基板を載置台上の
所定位置に位置決めする制御手段とを備え、収納部の各
々の基板取り出し口が互いに直交するように配置されて
いるものである。

また、好適には、基板は、液晶表示基板であり、基板搬
送機構は、ＬＣＤプローバに設けられているものであ
る。

更に、収納部の隅端部であって、収納部の側面部にメン
テナンスゾーンを設けたことを特徴とする。

［実施例］ 以下、本発明の基板搬送機構をＬＣＤプローバの搬送部
に適用した一実施例について第１図のＬＣＤプローバの
斜視図を参照して説明する。

ＬＣＤプローバはＬＣＤ基板（以下、基板と略す）に形
成された各電極の断線の有無をテスターのプローブを電
気的に接触させ検査をする装置である。上記基板の電極
とテスター側のプローブ（端子）とを位置合わせし接触
させるための操作部１と、操作部１へ３０cm角のガラス
基板Ｓを搬送するための搬送機構である搬送部２とから
成る。操作部１の構成は、通常のプローバ等と同様で基
板Ｓを載置するチャックトップ５、チャックトップ５上
の基板Ｓを水平方向、垂直方向及び回転方向に駆動する
ためのステージ（図示せず）、テスタ１１と接続するた
めの端子装置１２等を備えている。

搬送部２は本実施例においては未検査基板を水平に収納
したローダー用カセットＡをセットした収納部３−１及
び検査済基板を水平に収納したアンローダー用カセット
Ｂをセットした収納部３−２との２つの収納部を有して
いる。更にローダー用カセットＡから未検査基板を取り
出したり、アンローダー用カセットＢに検査済基板を戻
すための搬送手段としてバキュームハンド４と、バキュ
ームハンド４によって搬送された基板を一時載置し所定
の位置合わせを行うための表面円形状載置台２１を備え
る。この載置台２１は回転可能に構成され、回転させる
ことにより位置合わせする。ローダー用カセットＡ及び
アンローダー用カセットＢは側壁に形成された多数の溝
によって多数のスロットに仕切られており、各スロット
内に一枚ずつＬＣＤ基板が収納される。そしてＬＣＤ基
板を取り出すために前面は基板取出し口としての開口部
３−１ａ及び３−２ａが形成されている。そしてこれら
の収納部３−１と収納部３−２の基板取り出し口である
開口部３−１ａ及び３−２ａは互いに約９０度の角度を
成すように設置されている。（第２図） バキュームハンド４は図示しない水平ステージ及び垂直
ステージに支持されており、水平方向及び垂直方向に移
動可能であると共に垂直ステージの軸４１を中心に回転
可能である。更にバキュームハンド４は図示しない真空
ポンプに接続される複数の開口を有し、この開口によっ
て基板を吸着し保持する。垂直ステージ及び回転機構は
図示しない制御手段である制御部からの制御信号によっ
て作動し、バキュームハンド４を所望の位置及び角度に
移動することによってバキュームハンド４に保持された
基板Ｓを搬送する。

載置台２１は図示しない回転ステージに支持され、回転
可能であり、基板を一時的に吸着保持すると共に回転し
て基板の角度方向の位置を変えることができる。載置台
２１上に載置された基板の位置は例えば、発光素子と受
光素子とから成るセンサあるいは画像認識装置等の検知
手段を用いて検知され、その位置情報が検知信号として
制御部に入力される。これらの検知信号に基き、制御部
は制御信号を出力し、バキュームハンド４の各ステージ
及び載置台２１の回転ステージを駆動し、基板が搬送さ
れる操作部１あるいは収納されるべきアンローダー用カ
セットがセットされている収納部３−２に対し所定の位
置にあるように位置決めする。

このような構成において、本発明の基板搬送機構につい
て第２図のＬＣＤプローバの簡単な平面図を参照して説
明する。

収納部３−１にセットされたローダー用カセットＡから
基板Ｓを取り出すには、まずバキュームハンド（以下ハ
ンドと称す）４を収納部３−１に対し相対的に上下移動
した後、スロット内に差し入れローダー用カセットＡに
収納された基板Ｓを吸着保持する。その状態でハンド４
を水平駆動し、保持している基板Ｓが載置台２１上にき
た時、自らは下方に移動し基板Ｓが載置台２１に接触し
た時に吸着を解除する。これにより、基板Ｓは載置台２
１に保持され、この時の載置台２１上の基板Ｓの位置は
センサ（図示せず）で検知され、位置決めが行なわれ
る。その後、基板Ｓを操作部１に搬送する場合は、載置
台２１上の基板Ｓをハンド４で保持し、ハンド４を90°
回転させてから操作部１のチャックトップ５に搬送す
る。

この時、載置台２１上の基板Ｓをセンタリングすると共
に基板Ｓが操作部１に対し、-90°の位置にあるように
調整しておく。また基板Ｓをアンローダー用カセットＢ
がセットされている収納部３−２に収納する場合は、上
記と同様に載置台２１上でセンタリングした後、基板Ｓ
の側縁とアンローダ用カセットＢの側壁が水平になるよ
うに位置決めする。これにより基板Ｓはアンローダー用
カセットの側壁にぶつかることなく収納部３−２に収納
される。このように収納部であるカセットとの授受した
時、必ず位置合わせするようにしたことにより搬送空間
を広くせずに安全な搬送を可能とし、もって小型化を計
ったものである。

なお、本発明は上記実施例のみに限らず、ローダー用カ
セット、アンローダ用カセット及びリジェクトカセット
がセットされ収納部が３設置される場合でも、少くとも
２の収納部の開口部が他の２の収納部と９０度を成すよ
うに設置されればメンテナンスゾーンを搬送部の前面に
保持することができる。

又、本発明の一実施例としてＬＣＤプローバについて説
明したが、ＬＳＩプローバ等の他の装置の搬送部にも適
用できる。

［作用］ 未検査の基板が収納されているローダー用カセットがセ
ットされる収納部３−１と、検査済の基板が収納される
アンローダー用カセットがセットされる収納部３−２の
開口部が互いに９０度を成しているため、搬送部２は前
面の隅端部６が縮小される。ここを保守、点検時に必要
なメンテナンスゾーンとすれば、搬送部２は壁７に接触
するように設置することができる。又、ＬＣＤプローバ
装置を多数設置する場合でも、各機器間にメンテナンス
ゾーンを設けることなく、接触するように配列させるこ
とができる。

［発明の効果］ 本発明によれば、ＬＣＤやＬＳＩ等の基板の加工あるい
は検査を行う操作部に伴う搬送部に、収納部が２以上設
置される場合、２の収納部の基板取り出し口が約９０度
を成すように設置したので、省スペース化が図れ、クリ
ーンルーム等の設備、運転費が非常に軽減でき、基板が
大型化され大きな収納部が必要になってもスペースの有
効利用が達成できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明が適用されるＬＣＤプローバの斜視図、
第２図は本発明の搬送機構の一実施例を示す簡単な平面
図、第３図は従来の搬送機構の平面図である。 １……操作部 ２……搬送部（搬送機構） ３、３−１及び３−２……収納部 Ａ……ローダー用カセット Ｂ……アンローダー用カセット Ｓ……基板 ３−１ａ及び３−２ａ……基板取出し口 ４……バキュームハンド（搬送手段） ５……チャックトップ ６……メンテナンスゾーン ２１……載置台

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板を収納する少なくとも２つの収納部
   と、これら収納部から前記基板を取り出し且つ操作部に
   搬送する搬送手段と、前記基板を搬送時に一時載置する
   ための回転可能な載置台と、前記載置台上の前記基板の
   位置を検知する検知手段と、前記検知手段からの検知信
   号に基づき前記搬送手段及び前記載置台を駆動し前記基
   板を前記載置台上の所定位置に位置決めする制御手段と
   を備え、前記収納部の各々の基板取り出し口が前記載置
   台を囲むように且つ互いに直交するように配置されてい
   ることを特徴とする基板搬送機構。
2. 【請求項２】前記基板は、液晶表示基板であることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の基板搬送機構。