JPH01112004A - Hydraulic servo valve - Google Patents

Hydraulic servo valve

Info

Publication number
JPH01112004A
JPH01112004A JP26823087A JP26823087A JPH01112004A JP H01112004 A JPH01112004 A JP H01112004A JP 26823087 A JP26823087 A JP 26823087A JP 26823087 A JP26823087 A JP 26823087A JP H01112004 A JPH01112004 A JP H01112004A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spool
sleeve
boat
working fluid
nozzle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP26823087A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0535761B2 (en
Inventor
Eizo Urata
暎三 浦田
Shinpei Miyagawa
新平 宮川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ebara Research Co Ltd
Original Assignee
Ebara Research Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ebara Research Co Ltd filed Critical Ebara Research Co Ltd
Priority to JP26823087A priority Critical patent/JPH01112004A/en
Publication of JPH01112004A publication Critical patent/JPH01112004A/en
Publication of JPH0535761B2 publication Critical patent/JPH0535761B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Servomotors (AREA)

Abstract

PURPOSE:To make it possible to use water as the working fluid by forming static-pressure bearings at both ends of a spool and also forming a passage, which is led from a pump port to a nozzle-back-pressure-chamber via the static- pressure bearings. CONSTITUTION:Static pressure bearings 14L and 14R are formed at both ends of a spool 10, and a pump port P is connected to a nozzle back-pressure- chamber 18 via a passage 17, the static pressure bearings 14L and 14R, a gap C, and a through hole 18a. With this, the spool 10 and a sleeve 2 can be kept in a non-contact state, thereby preventing the wear caused by the contact between the two. Accordingly, both spool 10 and sleeve 2 can be manufactured by using corrosion resisting material such as plastics. Therefore, water can be used as the working fluid.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、作動流体として水を用いるのに適した水圧サ
ーボ弁に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a hydraulic servo valve suitable for using water as a working fluid.

[従来技術] 電気−油圧サーボ弁(以下油圧サーボ弁という)は、微
弱な電気入力信号を油圧に変換し、作動流体の方向を切
換え且つその流量を変えるもので、工作機械の数値制御
、遠隔操作等に広く用いられている。そのような油圧サ
ーボ弁の従来技術の一例を第2図および第3図について
説明する。
[Prior art] Electro-hydraulic servo valves (hereinafter referred to as hydraulic servo valves) convert weak electrical input signals into hydraulic pressure, switch the direction of working fluid, and change its flow rate. Widely used for operations, etc. An example of the prior art of such a hydraulic servo valve will be described with reference to FIGS. 2 and 3.

第2図および第3図において、圧油はポンプボートPか
ら供給される。電気入力信号によりトルクモータ21の
例えばコイル22Rが励磁され可動軸24が右方に移動
してフラッパ2ORの下端部20Raが左方へ変位する
と、ノズル背圧室30Rの背圧が上昇してパイロット室
31Rの圧力が昇圧する。その結果、スプール32は左
方へ変位し、圧油はポンプボートPからシリンダボート
C1を介して図示しない油圧シリンダに導かれ、油圧シ
リンダからの戻り油はシリンダボー)C2から通路33
とタンクボートRを介して図示しないタンクへと戻る。
In FIGS. 2 and 3, pressure oil is supplied from a pump boat P. When, for example, the coil 22R of the torque motor 21 is excited by the electric input signal and the movable shaft 24 moves to the right, and the lower end 20Ra of the flapper 2OR is displaced to the left, the back pressure in the nozzle back pressure chamber 30R increases and the pilot The pressure in the chamber 31R increases. As a result, the spool 32 is displaced to the left, pressure oil is guided from the pump boat P to a hydraulic cylinder (not shown) via the cylinder boat C1, and return oil from the hydraulic cylinder is returned from the cylinder boat C2 to the passage 33.
and returns to the tank (not shown) via tank boat R.

一方、ノズル34Rとフラッパ20Rとの間から流出し
た油は通路35を介してタンクボートRからタンクに戻
るようになっている。
On the other hand, oil flowing out from between the nozzle 34R and the flapper 20R returns from the tank boat R to the tank via a passage 35.

ここで、作動流体の油は非常に燃え易いので取扱いに注
意が必要である。また、排油による環境汚染の問題があ
る。
Here, the oil used as the working fluid is highly flammable, so care must be taken when handling it. There is also the problem of environmental pollution due to waste oil.

ところで、液圧駆動やその制御はかつては水圧機械であ
り、作動流体として水を用いていた。しかし、作動流体
が水である場合には、作動流体の粘性が小さいので摺動
部の隙間S(第3図)からの洩れが多くて効率が悪く、
また摺動部における摩耗が多く、更に金属材料(特に鉄
)製の機械であれば放置しておくとさびてしまう等の問
題があった。
By the way, hydraulic drive and its control used to be hydraulic machines, which used water as the working fluid. However, when the working fluid is water, the viscosity of the working fluid is low, so there is a lot of leakage from the gap S (Fig. 3) in the sliding part, resulting in poor efficiency.
Furthermore, there is a problem that there is a lot of wear on the sliding parts, and if the machine is made of metal material (particularly iron), it will rust if left unused.

近時、プラスチック等新素材の進歩は目ざましく、水を
作動流体とした場合の問題点の1つである上記のさびの
問題は、機械中の少なくとも作動流体と接触する部分を
新素材で形成することによって解決可能である。しかし
、作動流体の粘性が小さいことによる摩耗の問題が依然
として存在し、また洩れを抑えるために摺動部を高精度
に加工することが新素材では困難である。
Recently, advances in new materials such as plastics have been remarkable, and the problem of rust mentioned above, which is one of the problems when using water as a working fluid, can be solved by forming at least the parts of the machine that come into contact with the working fluid with new materials. It can be solved by However, the problem of wear due to the low viscosity of the working fluid still exists, and it is difficult with new materials to machine the sliding parts with high precision to suppress leakage.

[発明の目的] 本発明は上記した従来技術の問題点に鑑みて提案された
もので、作動流体に水を用いることができ、且つ摩耗、
さび、洩れ等の問題を解決した水圧サーボ弁を提供する
ことを目的としている。
[Object of the Invention] The present invention was proposed in view of the problems of the prior art described above.
The purpose is to provide a hydraulic servo valve that solves problems such as rust and leakage.

[発明の構成] 本発明の水圧サーボ弁は、弁本体内を変位して作動流体
の方向を切換え且つ流量を変化せしめるスプールと、該
スプールを変位させるパイロット圧が印加されるノズル
背圧室と、ノズルおよびフラッパからなるフラッパ機構
とを備えたサーボ弁において、前記スプールの両端に静
圧軸受を形成し、そしてポンプボートから該静圧軸受を
介して前記ノズル背圧室に至る作動流体の通路を設けて
いる。
[Structure of the Invention] The hydraulic servo valve of the present invention includes a spool that is displaced within the valve body to switch the direction of working fluid and change the flow rate, and a nozzle back pressure chamber to which pilot pressure for displacing the spool is applied. , a servo valve equipped with a nozzle and a flapper mechanism consisting of a flapper, wherein static pressure bearings are formed at both ends of the spool, and a passage for working fluid from the pump boat to the nozzle back pressure chamber via the static pressure bearings. has been established.

[発明の作用効果コ 本発明の水圧サーボ弁によれば、スプールの両端に形成
した静圧軸受により、スプールと弁本体とを非接触状態
に保ち両者の摩耗をなくすことができると共に、スプー
ルと弁本体との摺動部における加工精度を低くすること
ができる。これにより、精密加工が困難な新素材(例え
ばプラスチック等)を材料として弁体を製造することが
でき、その結果、作動流体が水であってもさびの発生を
防止することができる。また、従来技術では、ノズル背
圧の制御に用いるためにメイン流路からノズル背圧室に
導かれその後にタンクへ戻される流体はノズル背圧の制
御以外の目的に用いられることはないが、本発明では、
そのような作動流体はノズル背圧技術に用いられる以前
に静圧軸受の作動流体として用いられる。こうすること
によって、作動流体のもれの一部を有効に使うことがで
きるのである。
[Operations and Effects of the Invention] According to the hydraulic servo valve of the present invention, the spool and the valve body can be kept in a non-contact state and wear can be eliminated by the static pressure bearings formed at both ends of the spool. Machining accuracy at the sliding portion with the valve body can be lowered. As a result, the valve body can be manufactured from a new material (for example, plastic) that is difficult to precisely process, and as a result, rust can be prevented even if the working fluid is water. Furthermore, in the prior art, the fluid that is led from the main flow path to the nozzle back pressure chamber and then returned to the tank for use in controlling the nozzle back pressure is not used for purposes other than controlling the nozzle back pressure. In the present invention,
Such working fluids are used as working fluids in hydrostatic bearings before being used in nozzle backpressure techniques. By doing this, part of the leakage of the working fluid can be used effectively.

さらに本発明において作動流体として水を用いていれば
、作動流体が可燃性となるので、その取扱いも容易にな
る。そして作動流体を排気しても環境破壊の原因となる
ことはない。
Furthermore, if water is used as the working fluid in the present invention, the working fluid will be flammable and therefore easy to handle. And even if the working fluid is exhausted, it will not cause environmental damage.

[好ましい実施の態様] 本発明の実施に際し、作動流体に接触する部分にプラス
チック等の不錆材料を用いることが好ましい、このよう
にすると、前述の通り水によるさびを防止することがで
きる。
[Preferred Embodiment] When carrying out the present invention, it is preferable to use a non-rusting material such as plastic in the portion that comes into contact with the working fluid. By doing so, rust caused by water can be prevented as described above.

[実施例] 以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。[Example] The present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

第1図において、弁本体1にはスリーブ2が形成され、
そのスリーブ2にはスプール10が内蔵され、それらは
ともにプラスチック材等の不錆材で作られている。
In FIG. 1, a sleeve 2 is formed on a valve body 1;
A spool 10 is built into the sleeve 2, and both of them are made of rust-resistant material such as plastic material.

スリーブ2にはスリーブボート3が形成され、そしてス
リーブボート3の両側にはスリーブポー)4L、4Rが
形成されている。そのスリーブボート3はポンプボート
Pに連通され、スリーブボート4Lは図示しない水タン
クのタンクボートRに連通され、スリーブボート4Rは
通路5を介してタンクボートRに連通されている。そし
てスリーブ2のスリーブボート3とスリープポー)4L
の中間の箇所は、シリンダボートC1に連通され、スリ
ーブボート3とスリーブボート4Rの中間の箇所はシリ
ンダボートC2に連通されている0、また、スリーブボ
ート4L、4Rは、通路6を介して、スリーブ2の両側
に形成された室7L、7Rに連通されている。それらの
室7L、7Rは室8に連通されている。ここでその室8
は弁本体1の上部においてカバー1aにより画成されて
いる。
A sleeve boat 3 is formed in the sleeve 2, and sleeve ports 4L and 4R are formed on both sides of the sleeve boat 3. The sleeve boat 3 is communicated with a pump boat P, the sleeve boat 4L is communicated with a tank boat R of a water tank (not shown), and the sleeve boat 4R is communicated with the tank boat R via a passage 5. And sleeve boat 3 and sleep boat of sleeve 2) 4L
The intermediate point between the sleeve boat 3 and the sleeve boat 4R is communicated with the cylinder boat C1, and the intermediate point between the sleeve boat 3 and the sleeve boat 4R is communicated with the cylinder boat C2. It communicates with chambers 7L and 7R formed on both sides of the sleeve 2. These chambers 7L and 7R are communicated with chamber 8. Here that room 8
is defined by a cover 1a at the upper part of the valve body 1.

また室7L、7Rは二重管状すき間9L、9Rを介して
すき間Cに連通されている。
Further, the chambers 7L and 7R are communicated with the gap C via the double tubular gaps 9L and 9R.

スプール10とスリーブ2との間には隙間Cが形成され
、スプール10の中程には図示の位置において、スリー
ブ2のスリーブボート3と4L、スリーブボート3と4
Rとの間の間隔より若干短い長手方向寸法を有する小径
部11L、IIRが形成され、スリーブ2の両端には二
重管状のすき間9L、9Rに遊合する小径部12L、1
2Rが形成されている。そしてスプール10の両端部に
おいて、スリーブ2とスプール10の端面と、小径部1
2L、12Rとによりパイロット室13L、13Rが形
成されている。更に、スプール10の両端には公知の静
圧軸受14L、14Rが形成されている。静圧軸受14
Rを説明すると、静圧軸受はポケット15と、円周方向
へ等間隔に配置された複数個(図示の例では4個)のオ
リフィス16とからなり、このオリフィス16は通路1
7を介してスリーブボート3に連通されている。また、
小径部12Rを説明すると、小径部12Rには、スプー
ル10の軸線に対して直角な透孔18aと、透孔18a
に連通されたノズル背圧室18と、ノズル背圧室18に
連通されたノズル19とが設けられている。したがって
ポンプボートPは、通路17、静圧軸受14R1隙間C
および透孔18aを介してノズル背圧室18に連通され
ており、更にノズル19を介して室8まで連通している
A gap C is formed between the spool 10 and the sleeve 2, and in the middle of the spool 10, sleeve boats 3 and 4L of the sleeve 2, sleeve boats 3 and 4
Small diameter portions 11L and IIR having a longitudinal dimension slightly shorter than the spacing between the sleeve 2 and the sleeve 2 are formed, and small diameter portions 12L and 1IR are formed at both ends of the sleeve 2 to fit into the double tubular gaps 9L and 9R.
2R is formed. Then, at both ends of the spool 10, the sleeve 2 and the end face of the spool 10, and the small diameter part 1
Pilot chambers 13L and 13R are formed by 2L and 12R. Further, known hydrostatic bearings 14L and 14R are formed at both ends of the spool 10. Hydrostatic bearing 14
To explain R, the hydrostatic bearing consists of a pocket 15 and a plurality of (four in the illustrated example) orifices 16 arranged at equal intervals in the circumferential direction.
It is communicated with the sleeve boat 3 via 7. Also,
To explain the small diameter portion 12R, the small diameter portion 12R includes a through hole 18a perpendicular to the axis of the spool 10, and a through hole 18a.
A nozzle back pressure chamber 18 communicating with the nozzle back pressure chamber 18 and a nozzle 19 communicating with the nozzle back pressure chamber 18 are provided. Therefore, the pump boat P has a passage 17, a hydrostatic bearing 14R1, a clearance C
It communicates with the nozzle back pressure chamber 18 through the through hole 18a, and further communicates with the chamber 8 through the nozzle 19.

このノズル19との間に隙間りを形成してフラッパ20
R(第1図中右側の部材:左側の部材はフラッパ20L
)の下端部20Raが対向して配置されており、そして
フラッパ2ORは弁本体1に枢支されている。
A gap is formed between the nozzle 19 and the flapper 20.
R (The member on the right side in Figure 1: The member on the left side is the flapper 20L.
) are arranged to face each other, and the flapper 2OR is pivotally supported on the valve body 1.

前記した室8の中央には、全体を符号21で示すトルク
モータが設けられている。そのトルクモータ21はコイ
ル22L、22R、アマチュア23および可動軸24か
らなり、可動軸24の両端はフラッパ20L、2ORの
上端部に連結されている。そして、フラッパ2OL、2
0Rの上端部と弁本体1との間にはリターンスプリング
25.25が張設されている。
At the center of the chamber 8 described above, a torque motor, generally designated by the reference numeral 21, is provided. The torque motor 21 includes coils 22L, 22R, an armature 23, and a movable shaft 24, and both ends of the movable shaft 24 are connected to the upper ends of the flappers 20L, 2OR. And flapper 2OL, 2
A return spring 25.25 is stretched between the upper end of 0R and the valve body 1.

次に第1図の実施例の作用について説明する。Next, the operation of the embodiment shown in FIG. 1 will be explained.

圧液(水)はポンプボートPから通路17を通り、そし
て例えば右方の静圧軸受14Rのオリフィス16、ポケ
ット15から隙間Cに洩れ出して、スプール10を非接
触的に支持する。圧液はポケット15から長手方向両側
に分配されるが、その圧液の分配は、隙間Cの大きさと
長さ、そしてポケット15の大きさによって決めること
ができる。
Pressure liquid (water) passes through the passage 17 from the pump boat P, and leaks into the gap C from the orifice 16 and pocket 15 of the right hydrostatic bearing 14R, for example, to support the spool 10 in a non-contact manner. The pressure liquid is distributed from the pocket 15 to both sides in the longitudinal direction, and the distribution of the pressure liquid can be determined by the size and length of the gap C and the size of the pocket 15.

この隙間Cから洩れ出る圧液によりスプール10はスリ
ーブ2に対して非接触に支持されるので、両者の摩耗が
なくなる。従って、プラスチック材でできたスプール1
0およびスリーブ2の加工精度を低くすることができ、
またプラスチック材で製造されているので、さびを防止
することができる。
The spool 10 is supported without contacting the sleeve 2 by the pressure fluid leaking from the gap C, thereby eliminating wear on both. Therefore, the spool 1 made of plastic material
0 and sleeve 2 can be lowered,
Also, since it is made of plastic material, it can prevent rust.

隙間Cを軸方向右方に流れた圧液は、パイロット室13
Rからノズル背圧室18、ノズル19を通り隙間りから
流出する。その流出した水は室7L1通路6、スリーブ
ポート4R1通路5およびタンクボートRを介してタン
クに戻される。
The pressure liquid flowing to the right in the axial direction through the gap C flows into the pilot chamber 13.
From R, it passes through the nozzle back pressure chamber 18 and the nozzle 19 and flows out from the gap. The outflowing water is returned to the tank via the chamber 7L1 passage 6, the sleeve port 4R1 passage 5, and the tank boat R.

作動に際し、電気入力信号によりトルクモータ21の例
えばコイル22Rが励磁されると可動軸24が右方に移
動してフラッパ20Rの端部2゜Raが左方に変位し、
ノズル背圧室18の背圧が上昇する。これによりパイロ
ット室13Rが昇圧してスプール10が左方に変位する
。従って、圧液はポンプボートPからスリーブボート3
、シリンダボートC2を介して図示しない液圧シリンダ
に導かれる。液圧(水圧)シリンダがらの戻り圧液はシ
リンダボートC1がらスリーブボート4L。
In operation, when, for example, the coil 22R of the torque motor 21 is excited by an electric input signal, the movable shaft 24 moves to the right, and the end 2°Ra of the flapper 20R is displaced to the left.
The back pressure in the nozzle back pressure chamber 18 increases. As a result, the pressure in the pilot chamber 13R increases and the spool 10 is displaced to the left. Therefore, the pressure liquid is transferred from the pump boat P to the sleeve boat 3.
, are led to a hydraulic cylinder (not shown) via a cylinder boat C2. The return pressure liquid from the hydraulic (hydraulic) cylinder is from the cylinder boat C1 to the sleeve boat 4L.

タンクボートRを介してタンクに戻される。コイル22
Lが励磁された場合は、前述とは逆に作動する。
It is returned to the tank via tank boat R. coil 22
When L is energized, the operation is opposite to that described above.

[まとめコ 以上説明したように本発明によれば、もれ流量を積極的
に利用して静圧軸受を形成し、スプールとスリーブを非
接触状態に維持して両者の摩耗を防止し、また、軸受特
性を適切に設計することによって、スリーブの大きさの
設定が任意であることから加工精度を低くすることがで
きる。そのためスプールとスリーブをプラスチック材等
の不錆材を用いて製造することができ、さびを防止する
ことができる。従って作動流体として水を用いることが
できるのである。
[Summary] As explained above, according to the present invention, the leakage flow is actively used to form a static pressure bearing, the spool and sleeve are maintained in a non-contact state to prevent wear of both, and By appropriately designing the bearing characteristics, the size of the sleeve can be set arbitrarily, making it possible to lower the machining accuracy. Therefore, the spool and sleeve can be manufactured using a rust-resistant material such as a plastic material, and rust can be prevented. Therefore, water can be used as the working fluid.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例を示す全体構成図であり、第
2図、第3図はそれぞれ従来技術を示す構成図である。 1・・・弁本体  2・・・スリーブ  6.17・・
・通路  10・・・スプール  13L、13R・・
・パイロット室  14L、14R・・・静圧軸受  
16・・・オリフィス18・・・ノズル背圧室  19
・・・ノズル20L、20R・・・フラッパ゛ 21・
・・トルクモータ 第3図
FIG. 1 is an overall configuration diagram showing one embodiment of the present invention, and FIGS. 2 and 3 are configuration diagrams each showing a prior art. 1...Valve body 2...Sleeve 6.17...
・Aisle 10...Spool 13L, 13R...
・Pilot chamber 14L, 14R...Static pressure bearing
16... Orifice 18... Nozzle back pressure chamber 19
...Nozzles 20L, 20R...Flapper 21.
...Torque motor diagram 3

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 弁本体内を変位して作動流体の方向を切換え且つ流量を
変化せしめるスプールと、該スプールを変位させるパイ
ロット圧が印加されるノズル背圧室と、ノズルおよびフ
ラッパからなるフラッパ機構とを備えたサーボ弁におい
て、前記スプールの両端に静圧軸受を形成し、そしてポ
ンプポートから該静圧軸受を介して前記ノズル背圧室に
至る作動流体の通路を設けたことを特徴とする水圧サー
ボ弁。
A servo equipped with a spool that is displaced within the valve body to switch the direction of working fluid and change the flow rate, a nozzle back pressure chamber to which pilot pressure is applied to displace the spool, and a flapper mechanism consisting of a nozzle and a flapper. A hydraulic servo valve, characterized in that static pressure bearings are formed at both ends of the spool, and a working fluid passage is provided from the pump port to the nozzle back pressure chamber via the static pressure bearings.
JP26823087A 1987-10-26 1987-10-26 Hydraulic servo valve Granted JPH01112004A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26823087A JPH01112004A (en) 1987-10-26 1987-10-26 Hydraulic servo valve

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26823087A JPH01112004A (en) 1987-10-26 1987-10-26 Hydraulic servo valve

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01112004A true JPH01112004A (en) 1989-04-28
JPH0535761B2 JPH0535761B2 (en) 1993-05-27

Family

ID=17455715

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP26823087A Granted JPH01112004A (en) 1987-10-26 1987-10-26 Hydraulic servo valve

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH01112004A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108716489A (en) * 2018-08-07 2018-10-30 上海航天控制技术研究所 A kind of Electric hydraulic pressure servo valve power level structure

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108716489A (en) * 2018-08-07 2018-10-30 上海航天控制技术研究所 A kind of Electric hydraulic pressure servo valve power level structure

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0535761B2 (en) 1993-05-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3312146A (en) Fluid pressure jack with three stable positions
US5697401A (en) Hydraulic servovalve
WO1989005407A1 (en) Hydraulic servo valve
US3729026A (en) Control valve with metering type valve spool
JPH01112004A (en) Hydraulic servo valve
US2952246A (en) Valve
JPH01112005A (en) Hydraulic servo valve
JPH0542563B2 (en)
US2980137A (en) Fluid control valves having rectilinearly slidable parts within ported hollow bodies
JPH01145405A (en) Hydraulic servo valve
JPH0456882B2 (en)
JPH01145403A (en) Hydraulic servo valve
JPH01261581A (en) Control valve
KR970001463B1 (en) Operation valve device
US3765437A (en) Hydraulic free-jet servo-valves
JPH0536643B2 (en)
RU2096226C1 (en) Vehicle hydraulic steering gear
JP3609549B2 (en) Hydraulic servo valve
JP3649342B2 (en) Directional control valve
KR0152253B1 (en) Steering Force Control Unit of Power Steering System
JPH0625410Y2 (en) Semi-integral type power steering device
US4036109A (en) Device for moving and positioning an element of a machine
JPH0539050A (en) Flow passage selecting valve device for actuator
JP2999929B2 (en) Control valve for hydraulic power steering device and method of manufacturing the same
JPH05256304A (en) Rotary controlling valve